JP2005076090A - 銅および銅合金の平面仕上げエッチング液およびそのエッチング工法 - Google Patents
銅および銅合金の平面仕上げエッチング液およびそのエッチング工法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 第一と第二のエッチング工程により銅および銅合金の平面仕上げを行うエッチング液であって、第一のエッチング工程に用いられる第一のエッチング液と第二のエッチング工程に用いられる第二のエッチング液が共に銅および銅合金を溶解する主剤を過酸化水素水および硫酸の水溶液とし、第一のエッチング液には前記主剤に添加剤として脂肪族アミン類を含有し、第二のエッチング液には前記主剤に添加剤としてアゾール類を含有するように調合した銅および銅合金の平面仕上げエッチング液である。
【選択図】 無し
Description
Claims (8)
- 第一と第二のエッチング工程による銅および銅合金の平面仕上げを行うエッチング液であって、第一のエッチング工程に用いられる第一のエッチング液と第二のエッチング工程に用いられる第二のエッチング液が共に銅および銅合金を溶解する主剤を過酸化水素水および硫酸の水溶液とし、第一のエッチング液には前記主剤に添加剤として脂肪族アミン類を含有し、第二のエッチング液には前記主剤に添加剤としてアゾール類を含有するように調合したことを特徴とする銅および銅合金の平面仕上げエッチング液。
- 前記第一のエッチング液は前記主剤の過酸化水素水が0.1g/L乃至100g/L、好ましくは1g/L乃至50g/L、より好ましくは10g/L乃至40g/Lを含み、且つ前記主剤の硫酸が0.1g/L乃至1000g/L、好ましくは1g/L乃至600g/L、より好ましくは100g/L乃至500g/Lを含み、前記第二のエッチング液には前記主剤の過酸化水素水が0.1g/L乃至100g/L、好ましくは0.5g/L乃至50g/L、より好ましくは1g/L乃至10g/Lを含み、且つ前記主剤の硫酸が0.1g/L乃至1000g/L、好ましくは1g/L乃至600g/L、より好ましくは100g/L乃至500g/Lを含むことを特徴とする請求項1に記載の銅および銅合金の平面仕上げエッチング液。
- 前記第一のエッチング液には平面仕上げ剤として前記脂肪族アミン類が0.01g/L乃至50g/L、好ましくは0.1g/L乃至20g/L、より好ましくは1g/L乃至10g/Lを含み、前記第二のエッチング液には平面仕上げ剤としてアゾール類が0.0001g/L乃至20g/L、好ましくは0.001g/L乃至10g/L、より好ましくは0.01g/L乃至5g/Lを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の銅および銅合金の平面仕上げエッチング液。
- 前記第一と第二のエッチング液には、化学反応により銅および銅合金表面から発生する酸素ガスの離脱促進剤として、非イオン系界面活性剤を0.01g/L乃至20g/L、好ましくは0.1g/L乃至10g/L、より好ましくは0.5g/L乃至5g/Lを含むことを特徴とする請求項1,2又は3に記載の銅および銅合金の平面仕上げエッチング液。
- 第一と第二のエッチング工程からなる銅および銅合金の平面仕上げエッチング工法であって、第一と第二のエッチング工程に主剤を共通とする異なる添加剤を含む第一と第二のエッチング液が用いられ、第一のエッチング液によって、銅および銅合金の表面の銅をエッチングし、前記第二のエッチング液によって、第一のエッチング液では溶解除去できない該銅合金の合金成分を除去して、前記銅および銅合金の表面の平面仕上げすることを特徴とする銅および銅合金の平面仕上げエッチング工法。
- 第一と第二のエッチング工程からなる銅および銅合金の平面仕上げエッチング工法であって、第一と第二のエッチング液が、前記主剤を過酸化水素水と硫酸との水溶液とし、第一のエッチング液は添加剤として脂肪族アミン類および/または非イオン系界面活性剤を含み、銅および銅合金を第一のエッチング液に浸漬した後、前記主剤に添加剤としてアゾール類および/または非イオン系界面活性剤を含む第二のエッチング液に、第一のエッチング液で処理した銅および銅合金の表面を平面エッチングすることを特徴とする銅および銅合金の平面仕上げエッチング工法。
- 前記第一と第二のエッチング工程に続き、超音波洗浄工程を実施することを特徴とする請求項5又は6に記載の銅および銅合金の平面仕上げエッチング工法。
- 前記超音波洗浄工程において、洗浄液として水若しくはアルカリ洗浄液を用いたことを特徴とする請求項5,6又は7に記載の銅および銅合金の平面仕上げエッチング工法。
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