JP2005074247A - 垂直回転式単板塗布装置。 - Google Patents

Abstract

【課題】生産性の向上が見込める回転式単板塗布装置を提供する。
【解決手段】ガラス板を垂直に搭載して供給排出移動可能なガラス板供給部と排出部とを備えたガラス板供給排出ユニット、ガラス板供給部から供給されるガラス板を垂直に保持可能な垂直な塗布テーブル面を回転方向に等間隔に３面もち１２０°毎に間欠回転する回転塗布テーブルユニット、回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面に保持されたガラス板の板厚を測定する板厚測定手段、回転塗布テーブルユニットに近接して配置され、且つ塗布テーブル面に保持された垂直なガラス板に対して平行に垂直方向に移動して塗布可能な塗布ダイヘッドを搭載した塗布ユニット、塗布ユニットの塗布ダイヘッドに塗液を供給する塗液供給手段、塗布ユニットにてガラス板に塗布された塗膜を乾燥させる減圧乾燥部を具備する。
【選択図】図１

Description

本発明は、枚葉状のガラス板に対する精密薄膜コーティングを実現するものであって、カラーフィルタなどの製造に展開可能な垂直回転式単板塗布装置に関する。

枚葉状のガラス板への塗布装置の多くは、回転するガラス板の中央部へ塗液を滴下させながら、ガラス板面に薄膜を形成するスピンコート法が使用されている。しかし、このスピンコート方式は、ガラス板のサイズの大型化に伴い、滴下する液量が多く必要となるとともに、膜厚の精度も低下する傾向がある。

その他の塗布方式としては、ガラス板を精密なテーブル上へ真空吸着させて保持し、そのガラス板を保持した状態のテーブルを水平方向に移動させながら、塗布用のダイヘッドの下部を通過させることにより、ガラス板への塗液の塗布を行う装置がある。また、ガラス板を保持するテーブル上部に位置するダイヘッドユニットを、ガラス板を保持した状態のテーブル上を移動通過させることによりガラス板への塗液の塗布を行う装置もある。

装置の塗布速度は、一般的に２０〜１５０ｍｍ／ｓｅｃ程度であるが、ガラス板の大型化により、装置のガラス板を保持するテーブルは大型化され、水平に安定して保持、移動させることが、装置のたわみ等もあり難しくなっている。

上記いずれの塗布装置や塗布方式は、ガラス板を水平に保持して塗布するものである。そのために、塗布装置にガラス板を供給／排出するための大型のガラス板保持ハンドを持った供給／排出ロボットが必要となる。また、ガラス板の大型化により、ガラス板保持ハンドは、たわみ防止等を考慮した複雑な構造になってきている。また、ガラス板の大型化により装置も大型化して、ハンドロボットのストローク（ガラス板の搬送距離）も長くなり、そのためにガラス板の供給／排出に要する時間も長くなり、タクトタイムに占める割合は大きなものとなっている。また、ガラス板の供給／排出動作の間は、塗布等の処理はできない。

本発明は、前記問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、生産性の向上が見込める回転式単板塗布装置を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の請求項１に係る発明は、枚葉状のガラス板への塗布装置において、
（ａ）ガラス板を垂直に搭載して供給排出移動可能なガラス板供給部と排出部とを備えたガラス板供給排出ユニット、
（ｂ）前記ガラス板供給部から供給されるガラス板を垂直に保持可能な垂直な塗布テーブル面を回転方向に等間隔に３面もち１２０°毎に間欠回転する回転塗布テーブルユニット、
（ｃ）前記回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面に保持されたガラス板の板厚を測定する板厚測定手段、
（ｄ）前記回転塗布テーブルユニットに近接して配置され、且つ塗布テーブル面に保持された垂直なガラス板に対して平行に垂直方向に移動して塗布可能な塗布ダイヘッドを搭載した塗布ユニット、
（ｅ）前記塗布ユニットの塗布ダイヘッドに塗液を供給する塗液供給手段、
（ｆ）前記塗布ユニットにてガラス板に塗布された塗膜を乾燥させる減圧乾燥部、
を少なくとも具備することを特徴とする垂直回転式単板塗布装置である。

本発明の請求項２に係る発明は、上記請求項１に係る垂直回転式単板塗布装置において、前記間欠回転する回転塗布テーブルユニットに備える３面の塗布テーブル面の回転円の外側近傍に沿っての３面の各塗布テーブル面の回転円の外側近傍に沿って、前記ガラス供給排出ユニット、塗布ユニット、減圧乾燥ユニットがこの順に配置され、３面の各塗布テーブル面が間欠回転毎に各ユニットに順に対峙することを特徴とする垂直回転式単板塗布装置である。

本発明の請求項３に係る発明は、上記請求項１又は２記載の垂直回転式単板塗布装置において、回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面にガラス板を垂直に供給排出する前記ガラス板供給排出ユニットが、ガラス板を保持して移載するガラス板保持アームを備える移載ロボットであることを特徴とする垂直回転式単板塗布装置である。

本発明の請求項４に係る発明は、上記請求項１乃至３記載の垂直回転式単板塗布装置において、前記塗布ユニットに塗布ダイヘッドとガラス板との間隙を調整する間隙調整部を備えることを特徴とする垂直回転式単板塗布装置である。

本発明の請求項５に係る発明は、上記請求項１乃至４のいずれか１項記載の垂直回転式単板塗布装置において、前記回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面は回転ホルダーに対して着脱可能に構成され、前記塗布ユニットには、回転ホルダーから切り離した後の前記塗布テーブル面を固定保持して回転塗布テーブルユニットの振動の伝搬を防ぐ固定保持手段を備えることを特徴とする垂直回転式単板塗布装置である。

本発明の請求項６に係る発明は、上記請求項１乃至４のいずれか１項記載の垂直回転式単板塗布装置において、前記回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面は回転ホルダーに対して一体的に取り付け固定されて構成され、前記塗布ユニットには、回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面を固定保持して回転塗布テーブルユニットの振動の伝搬を防ぐ固定保持手段を備えることを特徴とする垂直回転式単板塗布装置である。

本発明の垂直回転式単板塗布装置によれば、垂直に配したガラス板に、感光液やフォトレジスト液、あるいはインキや塗料等の樹脂液を塗布することにより水平状態で塗布した場合に比較して、上方より落下してくる異物等の付着による欠陥を防ぐことができる。

また、ガラスを保持することができる塗布テーブル板Ｔを３面もつ回転塗布テーブルユニットの各塗布テーブル面を、ガラス供給排出ユニット、塗布ユニット、減圧乾燥ユニットの各ユニットと対峙させるようにして、各ユニットによる処理工程の処理時間帯を重ね合わせることにより高生産性が期待できる。

また、各処理工程の処理時間帯を重ね合わせることと、ガラス板を垂直に起立させることにより、装置がコンパクトになり、少ないスペースで各工程を処理することが可能になり、装置の設置スペースも削減できる。

本発明装置の回転塗布テーブルユニットＤの３面の各塗布テーブル板Ｔは、塗布工程においてクランプ手段による固定保持手段により、一旦固定保持されることで、減圧乾燥やガラス供給／排出に伴う振動による影響を防ぐことができ、塗布工程の高精度なギャップ精度が実現でき、高精度な塗布条件の実現が可能となり、高精度薄膜塗工が実現できる。
さらに、振動の影響による段ムラの無い高精度薄膜塗工が実現できる。

また、本発明装置の回転塗布テーブルユニットＤの３面の各塗布テーブル板Ｔは、そのユニットの回転ホルダー３に対して着脱可能に構成されることで、塗布工程において塗布テーブル板Ｔは回転ホルダー３から切り離して、塗布ユニットＡ側のクランプ手段による固定保持手段により塗布ユニットＡ側に連結、保持／位置決めすることができ、塗布テーブル板Ｔが塗布工程において回転塗布テーブルユニットＤから切り離されることで、高精度なギャップ精度が実現でき、高精度な塗布条件の実現が可能となり、高精度薄膜塗工が実現できる。又、塗布テーブル板Ｔ面が回転塗布テーブルユニットＤから切り離されることで、減圧乾燥やガラス供給／排出に伴う振動による影響を防ぐことができ、振動の影響による段ムラの無い高精度薄膜塗工が実現できる。

以下に、本発明の垂直回転式単板塗布装置及び方法を、図面に基づいて詳細に説明すれば、図１は、本発明装置の一実施例を説明する平面図、図２は、その側面図であり、上記請求項の要件を満たすものであれば、特に装置の構造に制約はなく、下記実施例だけに制限されるものではない。

本発明の垂直回転式単板塗布装置は、図示するように、ガラス板Ｇ（斜線部）を直線状の供給ガイド溝１ａ内に垂直に直立させて間欠的に供給するベルトコンベア、コロコンベア、押送爪（図示せず）等の搬送手段１ａを備えた供給部１と、ガラス板Ｇを直線状の排出ガイド溝２ａ内に垂直に直立させて間欠的に排出するベルトコンベア、コロコンベア、押送爪（図示せず）等の搬送手段２ｂを備えた排出部２とを備える。

前記供給部１と排出部２との間には、ガラス板厚を測定する非接触式変位計７と、該非接触式変位計７に対峙する回転塗布テーブルユニットＤを備えている。

該回転塗布テーブルユニットＤは、垂直方向の回転軸１７に支持して１２０°毎の回転角にて間欠回転する回転ホルダー３と、該回転ホルダー３に回転方向に沿って等間隔に垂直に３面もつガラス板Ｇを吸着保持するバキュームチャックを備えた垂直な塗布テーブル板Ｔを備え、その１つの塗布テーブル板Ｔには、その塗布テーブル板Ｔの回転円の外側近傍に、前記非接触式変位計７が対峙するように配置されている。

また、該回転塗布テーブルユニットＤは、その塗布テーブル板Ｔの回転円の外側近傍に配置された塗布ユニットＡと減圧乾燥ユニットＢとを回転方向に順に配置していて、塗布ユニットＡは、塗布テーブル板Ｔに吸着保持されたガラス板Ｇの上端から下端方向に下降動作しながら、そのガラス板Ｇ面に塗液を塗布し、減圧乾燥ユニットＢは、ガラス板Ｇ面に塗布された塗液を乾燥して塗膜を形成する。

塗布ユニットＡは、フレームＦに支持されていて、塗布ダイヘッド４と、塗布テーブル板Ｔに保持したガラス板Ｇと塗布する塗布ダイヘッド４との間隙を調整する間隙調整部５（塗布幅方向両端に左右調整部５ａ、５ｂを備える）と、塗布ダイヘッド４に塗液を供給する塗液供給ポンプユニット６とを備えている。

塗布ユニットＡの塗布ダイヘッド４、間隙調整部５、塗液供給ポンプユニット６は、フレームＦに取り付け支持された適宜な昇降駆動手段により昇降動作する昇降手段Ｅ上に取り付けられていて、例えば、図２に示すように、フレームＦに回転可能に軸支され、電動モータ（サーボモータ、パルスモータ等）にて駆動回転する垂直なスクリューシャフト１２、１２が昇降手段Ｅに螺着していて、スクリューシャフト１２の回転により垂直方向のガイド１３に沿って昇降移動可能な昇降手段Ｅ上に取り付けられている。

なお、供給部１の供給ガイド溝１ａの途中には退避ラック８ａ、排出部２の排出ガイド溝２ａの途中には退避ラック８ｂを備えるようにして、装置の一時停止時やトラブル時に供給又は排出されるガラス板Ｇを一旦格納するようにしてもよい。

また、供給部１の前段には前工程としてガラス板洗浄装置９を設け、また、排出部２の後段には後工程としてガラス板Ｇの塗膜にパターンなどの露光を行う露光機１０を備えるようにしてもよい。

まず、ガラス板Ｇは、搬入工程において、ボルトコンベア、コロコンベア等のコンベア手段Ｃ1 にて水平に起立ユニット１１に搬入されて、ガラス板Ｇを載せた起立ユニット１１は水平方向から垂直方向に姿勢変換し、ガラス板Ｇの下端部を供給部１の供給ガイド溝１ａ内に落とし込み、ガラス板Ｇを垂直に起立させる。

続いて、直立したガラス板Ｇを供給ガイド溝１ａに沿ってベルトコンベア、コロコンベア、押送爪（図示せず）等の搬送手段１ｂを備えた供給部１にて、通常は退避ラック８ａを通過させて、回転塗布テーブルユニットＤの垂直方向の回転軸１７に支持して回転する回転ホルダー３に回転方向に等間隔に設けた３面の垂直な塗布テーブル板Ｔのうち１つの塗布テーブル板Ｔと所定の間隔を以て対峙するガラス板厚を測定する非接触式変位計７との間の受け渡し部に移動させて、ガラス板受け渡し工程に入る。

この位置でガラス板Ｇは回転塗布テーブルユニットＤの回転方向に等間隔に３面ある塗布テーブル面のうちの一つの塗布テーブル板Ｔに平行に対峙し、続いて、その塗布テーブル板Ｔにバキュームチャックの吸引動作により移載、吸着保持されて受け渡される。

ガラス板厚を測定する非接触式変位計７の計測ヘッドは３個所に設置されていて、続く板厚測定工程では、塗布テーブル板Ｔに吸着保持された前記ガラス板Ｇの中央と両端部の３個所の板厚が測定される。

この時に、測定されたガラス板Ｇの厚み情報（測定データ）は測定値集計手段（図示せず）にフィードバックされて、該手段に搭載するメモリに記憶され、回転塗布テーブルユニットＤの塗布テーブル板Ｔに保持されたガラス板Ｇと、その回転塗布テーブルユニットＤの回転によりガラス板Ｇが対峙する後述する塗布ヘッドとの間の間隙（ギャップ）を、常に一定に保ち、安定した塗膜形成を行うための間隙調整制御用データとして使用される。

次に、回転ホルダー３は図面左回転方向に１２０°回転して停止し、ガラス板Ｇを吸着保持した前記塗布テーブル板Ｔは塗布ユニットＡに到達し、ガラス板Ｇは所定の間隙を以て塗布ダイヘッド４に対峙し、塗液の塗布工程に入る。

他方、回転ホルダー３の回転上流側にある塗布テーブル板Ｔは、ガラス板供給部１から供給される次のガラス板Ｇに対峙して、ガラス板受け渡し工程に入り、供給されたガラス板Ｇが前記塗布テーブル板Ｔに吸着保持されて受け渡された後に、板厚測定工程に入り、塗布テーブル板Ｔとガラス板Ｇを挟んで対向する非接触式変位計７の計測ヘッドにより板厚が測定される。

一方、この塗布ダイヘッド４にガラス板Ｇを吸着保持した塗布テーブル板Ｔが対峙した状態の塗布工程では、まず、塗布ダイヘッド４は、退避位置から塗布テーブル板Ｔに保持されているガラス板Ｇの上端の塗布開始位置まで移動する。

続いて、ガラス板Ｇと塗布ダイヘッド４との間隙が、間隙調整部５により塗布ダイヘッド４を移動させることにより、塗布開始ギャップまで調整されて所定距離に設定される。この時のガラス板Ｇと塗布ダイヘッド４との所定間隙（ギャップ）は、例えば２０〜７０μｍであって、その調整制御には、前述のガラス板厚の測定データをフィードバックして算出した数値となっている。

このように塗布開始ギャップまで塗布ダイヘッド４が移動した後、塗液供給ポンプユニット６が動作を開始して、塗布ダイヘッド４の吐出口４ａからガラス板Ｇ面に向かって塗液Ｌが吐出される。

ここで、塗液供給ポンプユニット６の動作開始後に、塗布ダイヘッド４より実際に塗液が吐出されるのには、一定の時間を要するため、遅延タイマーを設けて、塗液吐出開始から所定秒の経過後に、塗布ヘッド４は、間隙調整部５により所定の塗布ギャップ８０〜１５０μｍへ移動し、同時に塗布ダイヘッド４は、昇降手段Ｅの下降動作の開始により下降動作して、所定の塗布速度へ加速しながら、ガラス板Ｇ面の上端領域から順に下端領域へと塗布を開始する。そして塗布ダイヘッド４は、正規の塗布領域への塗布終了位置まで等速で下降移動しながらガラス板Ｇ面の上端部から下端部までの正規の塗布領域に対して塗液を塗布する。

続いて、塗布ダイヘッド４は減速して停止する。同時に塗布ダイヘッド４は、間隙調整部５により塗布終了ギャップまで移動し、塗液供給ポンプ６は、液垂れを防ぐために逆回転して、塗布ダイヘッド４の吐出口４ａ先端に残留した塗液を吸引する。その後、塗布ダイヘッド４は退避位置（例えば、ガラス板Ｇの上端部と対峙する位置より上方の位置）まで移動する。

本発明においては、塗布工程前のガラス板Ｇの受け渡し工程及び塗布工程後の後述する減圧乾燥工程による回転塗布テーブルユニットＤの回転ホルダー３及び塗布テーブル板Ｔの振動等の影響を排除するために、上記塗布工程では、図２に示すように、塗布開始直前にて、ガラス板Ｇを吸着保持している塗布テーブル板Ｔの上下端面を、塗布ダイヘッド４側のフレームＦの上部と下部とに搭載したクランプユニット１４、１５（例えば、上下に互いに対向方向に進退動作可能に設けたクランプ１４、１５）により挟み付けて、一旦固定保持し、その固定保持により、塗布テーブル板Ｔに伝わる振動を防止して、振動の影響による段ムラ等の処理品質の低下の発生を無くして、段ムラ等の無い高精度薄膜塗工を実現するようにしてもよい。

本発明においては、塗布テーブル板Ｔを回転塗布テーブルユニットＤの回転ホルダー３側から切り離すように構成することができ、例えば、図２に示すように、各塗布テーブル板Ｔの裏面に一体に支持シャフトＴ2 を取り付け、回転ホルダー３にアクチュエータ（例えば、ラック・アンド・ピニオンギア、エアーシリンダー、油圧シリンダー等）にて矢印方向に開閉動作可能なチャツク機構３ａ、３ａを搭載し、チャツク機構３ａ、３ａの閉鎖動作によって支持シャフトＴ2 を凹凸嵌合にてクランプすることにより、塗布テーブル板Ｔを回転ホルダー３側に装着固定し、チャツク機構３ａ、３ａの開放動作によって支持シャフトＴ2 を開放し、塗布テーブル板Ｔを回転ホルダー３から切り離すことができる。

上記クランプユニット１４、１５のクランプ機構に関しては、塗布テーブル板Ｔの上下端面を挟み付け固定できる機構であれば、本発明においては特に限定されるものではないが、そのクランプユニット１４、１５の具体例としては、例えば、図２に示すように、塗布テーブル板Ｔの上端面と下端面とに、それぞれテーブル嵌合凹部Ｔ1 、Ｔ1 を設け、昇降手段Ｅを支持するフレームＦの上下に互いに対向して、エアーシリンダー等のアクチュエータ１８により進退動作可能に設けたクランプユニット１４、１５のそれぞれテーパー
コーン１４ａ、１５ａを、塗布テーブル板Ｔの各々上下の嵌合凹部Ｔ1 、Ｔ1 に嵌入することにより、塗布テーブル板Ｔを固定保持するものである。

図１に示すように、塗布ダイヘッド４の上方への退避後は、塗布テーブルＴによるガラス板Ｇの吸着保持を再開し、該塗布テーブルＴに吸着保持されたガラス板Ｇはクランプユニット１４、１５による固定保持を解除されて、その後、回転ホルダー３及び塗布テーブル板Ｔは１２０°回転し、塗布テーブル板Ｔに吸着保持されている塗布後のガラス板Ｇは減圧乾燥ユニットＢに到達して減圧乾燥工程に入る。

また、図２に示すように、塗布テーブルＴが回転ホルダー３から切り離し可能な構成の場合には、塗布ダイヘッド４の上方への退避後は、塗布テーブルＴは塗布ダイヘッド４を支持するフレームＦ側から切り離され、回転ホルダー３側へ再び連結保持され、その後、回転ホルダー３は１２０°回転し、塗布テーブルＴによりガラス板Ｇは減圧乾燥工程に進む。

他方、それより回転ホルダー３回転上流側の塗布テーブル板Ｔのガラス板Ｇは、塗布ユニットＡに対峙して塗布工程に入り、さらに、それより上流側の塗布テーブル板Ｔは、非接触式変位計７の計測ヘッドのあるガラス板供給部１に対峙し、ガラス板供給工程及び板厚測定工程に入る。なお、ガラス板供給部１に対峙した塗布テーブル板Ｔが、既に塗布、乾燥を終了して塗膜形成されたガラス板Ｇを吸着保持した状態で対峙した場合には、その塗布テーブル板Ｔの吸着保持を解除した後、そのガラス板Ｇを排出部２にて排出ガイド溝２ａに沿って垂直に起立した状態で排出する。

減圧乾燥ユニットＢに対峙した塗布後のガラス板Ｇは、直ちに減圧乾燥工程に入り、減圧乾燥ユニットＢの減圧乾燥により、ガラス板Ｇの塗膜中の揮発成分を減らして乾燥させて塗膜形成を終了する。他方、ガラス板供給部１に対峙した塗布テーブル板Ｔには、前述の供給部１の動作により次のガラス板Ｇが吸着保持され、塗布ユニットＡに対峙した塗布テーブル板Ｔのガラス板Ｇには、塗布ダイヘッド４の前述の動作により塗液Ｌが塗布される。

続いて、図１に示すように回転ホルダー３及び塗布テーブル板Ｔは１２０°回転して、ガラス板供給部１にて塗布テーブル板Ｔに吸着保持されたガラス板Ｇは塗布ユニットＡに到達して塗布工程に入り、塗布テーブル板Ｔに吸着保持された塗布後のガラス板Ｇは減圧乾燥ユニットＢに到達して減圧乾燥工程に入り、塗布テーブル板Ｔに吸着保持された乾燥後の塗膜形成の終了したガラス板Ｇはガラス板供給部１に到達して排出工程に入り、排出工程が終了した塗布テーブル板Ｔには供給工程にて次のガラス板Ｇが供給される。

排出工程にて排出された塗膜形成の終了したガラス板Ｇは、排出ガイド溝２ａに沿ってベルトコンベア、コロコンベア、押送爪（図示せず）等の搬送手段２ｂを備えた排出部２にて、通常は退避ラック８ｂを通過して、起立姿勢の起立ユニット１６に平行に搬入し、その後、起立ユニット１６は起立姿勢から水平姿勢に姿勢変換してガラス板Ｇを水平に載せた後、起立ユニット１６に付帯するコンベア手段Ｃ2 にて、次工程のガラス板Ｇの形成塗膜への露光、現像を行う露光・現像機１０による露光／現像工程へ搬送されて、一連の塗布サイクルの終了となる。なお、前工程の洗浄装置９による洗浄工程及び後工程の露光・現像機１０による露光／現像工程では、水平搬送されるガラス板Ｇへの処理加工を行う例の他に、垂直搬送されるガラス板Ｇへ処理加工を行う例であってもよい。

本発明装置の一例を説明する平面図。 本発明装置の一例を説明する側面図。

符号の説明

Ａ…塗布ユニット Ｂ…乾燥ユニット Ｃ1 、Ｃ2 …コンベア手段
Ｄ…回転塗布テーブルユニット Ｅ…昇降手段 Ｆ…塗布ユニット支持フレーム
Ｇ…ガラス板 Ｌ…塗液 Ｔ…塗布テーブル板 Ｔ1 、Ｔ1 …テーブル嵌合凹部
Ｔ2 …テーブル支持シャフト
１…供給部 ２…排出部 ３…回転ホルダー ３ａ…クランプ機構
４…塗布ダイヘッド ５…間隙調整部 ６…ポンプユニット
７…非接触式変位計（板厚計測部） ８ａ、８ｂ…退避ラック（バッファ手段）
９…ガラス板洗浄装置 １０…露光・現像装置 １１…姿勢変換ユニット
１２スクリューシャフト １３…リニアガイド １４、１５…クランプ手段
１６…姿勢変換ユニット １７…回転軸 １８…アクチュエータ

Claims (6)

1. ガラス板への塗布装置において、
   （ａ）ガラス板を垂直に搭載して供給排出移動可能なガラス板供給部と排出部とを備えたガラス板供給排出ユニットと、
   （ｂ）前記ガラス板供給部から供給されるガラス板を垂直に保持可能な垂直な塗布テーブル面を回転方向に等間隔に３面もち、１２０°毎に間欠回転する回転塗布テーブルユニットと、
   （ｃ）前記回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面に保持されたガラス板の板厚を測定する板厚測定手段と、
   （ｄ）前記回転塗布テーブルユニットに近接して配置され、且つ塗布テーブル面に保持された垂直なガラス板に対して平行に垂直方向に移動して塗布可能な塗布ダイヘッドを搭載した塗布ユニットと、
   （ｅ）前記塗布ユニットの塗布ダイヘッドに塗液を供給する塗液供給手段と、
   （ｆ）前記塗布ユニットにてガラス板に塗布された塗膜を乾燥させる減圧乾燥部と、
   を少なくとも具備することを特徴とする垂直回転式単板塗布装置。
2. 請求項１記載の垂直回転式単板塗布装置において、前記間欠回転する回転塗布テーブルユニットに備える３面の塗布テーブル面の回転円の外側近傍に沿っての３面の各塗布テーブル面の回転円の外側近傍に沿って、前記ガラス供給排出ユニット、塗布ユニット、減圧乾燥ユニットがこの順に配置され、３面の各塗布テーブル面が間欠回転毎に各ユニットに順に対峙することを特徴とする垂直回転式単板塗布装置。
3. 請求項１又は２記載の垂直回転式単板塗布装置において、回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面にガラス板を垂直に供給排出する前記ガラス板供給排出ユニットが、ガラス板を保持して移載するガラス板保持アームを備える移載ロボットであることを特徴とする垂直回転式単板塗布装置。
4. 請求項１乃至３記載の垂直回転式単板塗布装置において、前記塗布ユニットに塗布ダイヘッドとガラス板との間隙を調整する間隙調整部を備えることを特徴とする垂直回転式単板塗布装置。
5. 請求項１乃至４のいずれか１項記載の垂直回転式単板塗布装置において、前記回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面は回転ホルダーに対して着脱可能に構成され、前記塗布ユニットには、回転ホルダーから切り離した後の前記塗布テーブル面を固定保持して回転塗布テーブルユニットの振動の伝搬を防ぐ固定保持手段を備えることを特徴とする垂直回転式単板塗布装置。
6. 請求項１乃至４のいずれか１項記載の垂直回転式単板塗布装置において、前記回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面は回転ホルダーに対して一体的に取り付け固定されて構成され、前記塗布ユニットには、回転塗布テーブルユニットの塗布テーブル面を固定保持して回転塗布テーブルユニットの振動の伝搬を防ぐ固定保持手段を備えることを特徴とする垂直回転式単板塗布装置。