JP2005072565A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. レーザビームを第１の方向に分割するシリンドリカルレンズアレイと、
   前記シリンドリカルレンズアレイによって分割されたレーザビームを合成する凸シリンドリカルレンズと、
   前記第１の方向において前記レーザビームの強度分布を均一化する光導波路とを有し、
   前記凸シリンドリカルレンズによって、前記シリンドリカルレンズアレイによって分割されたレーザビームは複数の焦点をむすび、
   前記光導波路は、向かい合う２つの反射面を有することを特徴とするレーザ照射装置。
2. レーザビームを第１の方向及び前記第１の方向と直交する第２の方向に分割するフライアイレンズと、
   前記フライアイレンズによって分割されたレーザビームを合成する球面レンズと、
   前記第１の方向及び前記第２の方向において前記レーザビームの強度分布を均一化する光導波路とを有し、
   前記球面レンズによって、前記フライアイレンズによって分割されたレーザビームは複数の焦点をむすび、
   前記光導波路は向かい合う２つの反射面を２組有することを特徴とするレーザ照射装置。
3. 請求項１において、
   前記複数の焦点は前記凸シリンドリカルレンズと前記光導波路の間に形成されることを特徴とするレーザ照射装置。
4. 請求項２において、
   前記複数の焦点は前記球面レンズと前記光導波路の間に形成されることを特徴とするレーザ照射装置。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
   前記レーザビームを出力するレーザ発振器はエキシマレーザ、ＹＡＧレーザ、ガラスレーザのいずれかであることを特徴とするレーザ照射装置。
6. 請求項１乃至請求項４のいずれか一において、
   前記レーザビームを出力するレーザ発振器はＹＶＯ_４レーザ、ＹＬＦレーザ、Ａｒレーザのいずれかであることを特徴とするレーザ照射装置。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれか一において、
   照射面を前記レーザビームに対し相対的に移動させる移動ステージを有することを特徴とするレーザ照射装置。
8. 請求項７において、
   前記照射面を前記移動ステージに運搬する運搬装置を有することを特徴とするレーザ照射装置。