JP2005072417A - セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】外部電極の熱処理雰囲気の制御を正確に行うことができるとともに、緻密な外部電極を得ることができ、且つESRの増大を防止できるセラミック電子部品の製造方法を提供する。
【解決手段】ペロブスカイト型誘電体材料からなるセラミック基体1の表面に、卑金属、ホウケイ酸系ガラス及び有機バインダを含む導電性ペーストを塗布し、これを乾燥させることによって導体膜5、6を形成する工程Aと、導電膜5、6を酸素濃度が50ppm以下の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、導電膜5、6中の有機バインダを燃焼させる工程Bと、工程Bの後、酸素濃度が50ppm以下の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、工程Bの熱処理に伴って還元されたセラミック基体1を形成しているペロブスカイト型誘電体材料に酸素を付与して酸化する工程C、とを経てセラミック電子部品10を製造する。
【選択図】図1
【解決手段】ペロブスカイト型誘電体材料からなるセラミック基体1の表面に、卑金属、ホウケイ酸系ガラス及び有機バインダを含む導電性ペーストを塗布し、これを乾燥させることによって導体膜5、6を形成する工程Aと、導電膜5、6を酸素濃度が50ppm以下の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、導電膜5、6中の有機バインダを燃焼させる工程Bと、工程Bの後、酸素濃度が50ppm以下の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、工程Bの熱処理に伴って還元されたセラミック基体1を形成しているペロブスカイト型誘電体材料に酸素を付与して酸化する工程C、とを経てセラミック電子部品10を製造する。
【選択図】図1
Description
本発明は、セラミック電子部品の製造方法に関するものであり、詳しくは、セラミック基体の熱処理に関するものである。
代表的なセラミック電子部品として、積層セラミックコンデンサを例にとって説明する。
図2は、従来の積層セラミックコンデンサの製造方法における熱処理のプロファイルである。
積層セラミックコンデンサは、複数のチタン酸バリウム等のペロブスカイト型誘電体材料からな誘電体層と、複数の内部電極とが交互に積層されてなる積層体(セラミック基体)と、その積層体の両端面に形成した一対の外部電極とから構成され、積層方向に隣接しあう各内部電極は、各々異なる外部電極に接続されている。
また、外部電極は、積層体端面に、卑金属、ホウケイ酸系ガラス及び有機バインダを含む導電性ペーストを塗布し、これを乾燥させることによって導体膜を形成した後、図2に示すように、この導電膜を微量の酸素を含む中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、導電膜中の有機バインダを燃焼させるとともに、導電膜を積層体の両端面に焼き付けることにより、形成されていた。
特開平5−243083号公報 (3−4頁、図1)
特開平7−335477号公報 (3−5頁、図3)
特開平11−97281号公報 (2−4頁)
特開2002−25849号公報 (3−6頁、図1)
しかしながら、上記セラミック電子部品の製造方法によれば、有機バインダの燃焼の際に生じた燃焼ガスの存在により、熱処理雰囲気の酸素濃度を正確に制御することが困難になっていた。
例えば、熱処理雰囲気の酸素濃度が低すぎる場合、ペロブスカイト型誘電体材料が還元され、酸素欠陥が生じるため、絶縁抵抗などの信頼性が低下するという問題点があった。さらに、酸化物であるホウケイ酸系ガラスが還元されることにより、ガラスとしての機能が低下するため、卑金属との濡れ性が低下し、外部電極がポーラスになるという問題点があった。
一方、熱処理雰囲気中の酸素濃度が高すぎる場合、卑金属が酸化され、等価直列(ESR)が増大するなどの問題点があった。
本発明は、上述の問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的は、外部電極の熱処理雰囲気の制御を正確に行うことができ、絶縁抵抗などの信頼性の低下を防止できるとともに、緻密な外部電極を得ることができ、且つ等価直列抵抗(ESR)の増大などを防止できるセラミック電子部品の製造方法を提供するものである。
本発明は、ペロブスカイト型誘電体材料からなるセラミック基体の表面に、卑金属、ホウケイ酸系ガラス及び有機バインダを含む導電性ペーストを塗布し、これを乾燥させることによって導体膜を形成する工程Aと、前記導電膜を酸素濃度が50ppm以下(0ppmを除く)の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、前記導電膜中の有機バインダを燃焼させる工程Bと、前記工程Bの後、酸素濃度が50ppm以下(0ppmを除く)の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、前記工程Bの熱処理に伴って還元されたセラミック基体を形成しているペロブスカイト型誘電体材料に酸素を付与して酸化する工程Cと、を含むセラミック電子部品の製造方法である。
また、前記工程Bにおける熱処理と前記工程Cにおける熱処理とが同一の加熱炉内で行われるとともに、前記工程Bと前記工程Cとの間に、前記加熱炉内を排気することにより工程Bの熱処理の際に生じた燃焼ガスを除去することを特徴とするものである。
本発明によれば、ペロブスカイト型誘電体材料からなるセラミック基体の表面に、卑金属、ホウケイ酸系ガラス及び有機バインダを含む導電性ペーストを塗布し、これを乾燥させることによって導体膜を形成する工程Aと、導電膜を酸素濃度が50ppm以下(0ppmを除く)の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、導電膜中の有機バインダを燃焼させる工程Bと、工程Bの後、酸素濃度が50ppm以下(0ppmを除く)の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、工程Bの熱処理に伴って還元されたセラミック基体を形成しているペロブスカイト型誘電体材料に酸素を付与して酸化する工程Cと、を含む。
すなわち、工程Bにおいて、有機バインダを燃焼させるために、熱処理雰囲気中の酸素が用いられることにより、ペロブスカイト型誘電体材料が還元され、酸素欠陥が生じた場合も、ペロブスカイト型誘電体材料に酸素を付与して酸化する工程Cにより、酸素欠陥が補充されることから、絶縁抵抗などの信頼性の劣化を防ぐことができる。
また、工程Bにおいて、有機バインダはほぼ完全に燃焼するため、工程Cにおける熱処理雰囲気中の酸素が用いられることはなく、ペロブスカイト型誘電体材料に酸素を十分に付与することができる。
さらに、工程Bにおいて、酸化物であるホウケイ酸系ガラスが還元されると、ガラスとしての機能が低下し、卑金属との濡れ性が低下するという問題点があったが、工程Cにおける熱処理雰囲気中の酸素により、ガラスの濡れ性は回復し、緻密な外部電極を得ることができる。
また、工程B及び工程Cにおいて、酸素濃度が50ppm以下の中性または還元性雰囲気で熱処理するため、卑金属の酸化による等価直列抵抗(ESR)の増大を防ぐことができる。一方、酸素濃度が0ppmを除く中性または還元性雰囲気で熱処理するため、工程Bにおいて、導電膜中の有機バインダを十分燃焼させることができるとともに、工程Cにおいて、工程Bの熱処理に伴って還元されたセラミック基体を形成しているペロブスカイト型誘電体材料に十分酸素を付与して酸化することができる。
さらに、工程Bにおける熱処理と工程Cにおける熱処理とが同一の加熱炉内で行われるとともに、工程Bと工程Cとの間に、加熱炉内を排気することにより工程Bの熱処理の際に生じた燃焼ガスを除去するため、工程Bにおいて生じた燃焼ガスを完全に除去した後で、工程Cを行うことができることから、工程Cにおける雰囲気の制御をより正確に行うことができる。
以下、本発明のセラミック電子部品の製造方法を図面に基づいて説明する。
図1において、(a)は本発明の製造方法によって製造された積層セラミックコンデンサを示す外観斜視図であり、(b)は(a)の積層セラミックコンデンサの製造方法における熱処理のプロファイルである。
図において、積層セラミックコンデンサ10は、チタン酸バリウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸カルシウム、チタン酸ジルコン酸カルシウム等のペロブスカイト型誘電体材料からなる複数の誘電体層2と、Ni、Cu、あるいはこれらの合金からなる複数の内部電極3、4とが交互に積層されてなる積層体(セラミック基体)1と、その積層体1の両端面に形成した一対の外部電極5、6とから構成され、積層方向に隣接しあう各内部電極3、4は、各々異なる外部電極5、6に接続されている。
以下、図1の積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。なお、各参照符は、焼成(熱処理)の前後で区別しないものとする。
まず、誘電体層となるセラミックグリーンシート2の所定の領域に、内部電極3、4となる金属粉末を含有する導電ペーストをスクリーン印刷で形成する。
導電性ペーストは、Cu、Ni、あるいはこれらの合金などの卑金属、ホウケイ酸亜鉛、ホウケイ酸カルシウム、ホウケイ酸バリウム、ホウケイ酸ビスマスなどのホウケイ酸系ガラス、及びアクリル樹脂、エチルセルロースなどの有機バインダを含む。
そして、このようなセラミックグリーンシート2を、内部電極3、4が互いに対向し、且つ内部電極3、4が互いに異なる端面に延出するように所定の積層枚数重ねた後、切断して未焼成状態の積層体1とし、所定の雰囲気、温度、時間を加えて焼成する。これにより、焼成後の積層体1の一対の端面には、内部電極3、4が露出している。
次に、上記積層体1の両端面に外部電極5、6を形成する。具体的には、図1(c)に示すように、積層体1の両端面に、卑金属、ホウケイ酸系ガラス及び有機バインダを含む導電性ペーストを塗布し、これを乾燥させることによって外部電極となる導体膜5、6を形成する工程Aと、導電膜5、6を酸素濃度が50ppm以下(0ppmを除く)の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、導電膜5、6中の有機バインダを燃焼させる工程Bと、工程Bの後、酸素濃度が50ppm以下(0ppmを除く)の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、前記工程Bの熱処理に伴って還元された積層体1を形成している誘電体層2(ペロブスカイト型誘電体材料)に酸素を付与して酸化する工程Cとを含む。
また、工程Bにおける熱処理と工程Cにおける熱処理とが同一の加熱炉内で行われるとともに、工程Bと前記工程Cとの間に、加熱炉内を排気することにより工程Bの熱処理の際に生じた燃焼ガスを除去する。
このようにして、図1(a)(b)に示すように、外部電極5、6が形成される。ここで、必要に応じて、熱処理後の導体膜5、6の表面に、Niメッキ、Snメッキなどの金属メッキ膜を形成しても良い。
このようにして、図1(a)(b)に示すように、積層セラミックコンデンサ10が得られる。
なお、本発明は上記の実施の形態例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内での種々の変更や改良などは何ら差し支えない。
例えば、上記実施の形態では、本発明を積層セラミックコンデンサ10の製造方法に用いた例について説明したが、本発明は、回路基板などその他のセラミック部品にも適用できる。
また、工程Cの後、さらに1回以上酸素濃度が50ppm以下(0ppmを除く)の中性または還元性雰囲気で熱処理しても良い。このことにより、さらに効果的に絶縁抵抗などの信頼性の低下を防ぐことができる。
さらに、工程Aと工程Bの間に、大気中、あるいは酸素濃度が50ppmより高い中性または還元性雰囲気中で、導電膜中の有機バインダを燃焼させる工程を設けても良い。またこのとき、工程Bの前に加熱炉内を排気することにより、燃焼ガスを除去するようにしても良い。これらのことによっても、さらに効果的に絶縁抵抗などの信頼性の低下を防ぐことができる。
さらに、工程Bと工程Cの熱処理のプロファイル、熱処理雰囲気などの熱処理条件は、完全に同一にしても良く、部分的に異ならせても良い。
また、熱処理炉は、トンネル式熱処理炉を用いても良く、バッチ式熱処理炉を用いても良い。
本発明者は、図1(c)に示す本発明の熱処理プロファイルと、図2に示す従来の熱処理プロファイルを用いて、積層セラミックコンデンサ10の外部電極5、6の形成を行った。得られた積層セラミックコンデンサ10について、絶縁抵抗試験、熱衝撃(ΔT)試験、等価直列抵抗(ESR)の測定を行った。
絶縁抵抗試験は、試料20個に定格電圧を1秒間印加した後の絶縁抵抗を測定し、絶縁抵抗値が108Ω以下に低下したものを不良品とした。
熱衝撃(ΔT)試験は、試料300個を340℃の半田槽に1秒間浸漬した後、クラックの発生率を評価した。
等価直列抵抗(ESR)は、試料5個について測定し、最も大きい値とした。
測定の結果、図1(c)に示す本発明の熱処理プロファイルにより作製された積層セラミックコンデンサ10は、絶縁抵抗試験における不良率が0%、熱衝撃(ΔT)試験時のクラックの発生率が0%、等価直列抵抗(ESR)が300mΩ以下となった。これに対し、図2に示す従来の熱処理プロファイルにより作製された積層セラミックコンデンサ10は、絶縁抵抗試験における不良率が100%、熱衝撃(ΔT)試験時のクラックの発生率が2%、等価直列抵抗(ESR)が330mΩとなった。
これらの結果から、本発明の熱処理プロファイルにより作製された積層セラミックコンデンサ10は、絶縁抵抗などの信頼性の低下を防止できるとともに、緻密な外部電極を得ることができることにより熱衝撃(ΔT)試験時のクラックを抑制でき、且つ等価直列抵抗(ESR)の増大などを防止できることがわかった。
10・・・積層セラミックコンデンサ
1・・・・積層体(セラミック基体)
2・・・・誘電体層
3、4・・内部電極
5、6・・外部電極(導体膜)
1・・・・積層体(セラミック基体)
2・・・・誘電体層
3、4・・内部電極
5、6・・外部電極(導体膜)
Claims (2)
- ペロブスカイト型誘電体材料からなるセラミック基体の表面に、卑金属、ホウケイ酸系ガラス及び有機バインダを含む導電性ペーストを塗布し、これを乾燥させることによって導体膜を形成する工程Aと、
前記導電膜を酸素濃度が50ppm以下(0ppmを除く)の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、前記導電膜中の有機バインダを燃焼させる工程Bと、
前記工程Bの後、酸素濃度が50ppm以下(0ppmを除く)の中性または還元性雰囲気で熱処理することにより、前記工程Bの熱処理に伴って還元されたセラミック基体を形成しているペロブスカイト型誘電体材料に酸素を付与して酸化する工程Cと、を含むセラミック電子部品の製造方法。 - 前記工程Bにおける熱処理と前記工程Cにおける熱処理とが同一の加熱炉内で行われるとともに、前記工程Bと前記工程Cとの間に、前記加熱炉内を排気することにより工程Bの熱処理の際に生じた燃焼ガスを除去することを特徴とする請求項1に記載のセラミック電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
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JP2003302415A JP2005072417A (ja) | 2003-08-27 | 2003-08-27 | セラミック電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2003302415A JP2005072417A (ja) | 2003-08-27 | 2003-08-27 | セラミック電子部品の製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009182011A (ja) * | 2008-01-29 | 2009-08-13 | Taiyo Yuden Co Ltd | 積層セラミックコンデンサ及びその製造方法 |
-
2003
- 2003-08-27 JP JP2003302415A patent/JP2005072417A/ja active Pending
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