JP2005072190A - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 POP構造を有し、量産に適した半導体装置の製造方法および半導体装置を提供する。
【解決手段】 ベース基板51上に、第1の半導体パッケージ11を同時に複数個配列する。次に、第2の半導体パッケージ31を複数個同時にベース基板51に配列する。さらに、第1の半導体パッケージ11と第2の半導体パッケージ31とを少なくとも1個ずつ含むように、ベース基板51を切断線81に沿って分割することで、POP構造を有する半導体装置を製造する。
【選択図】 図7
【解決手段】 ベース基板51上に、第1の半導体パッケージ11を同時に複数個配列する。次に、第2の半導体パッケージ31を複数個同時にベース基板51に配列する。さらに、第1の半導体パッケージ11と第2の半導体パッケージ31とを少なくとも1個ずつ含むように、ベース基板51を切断線81に沿って分割することで、POP構造を有する半導体装置を製造する。
【選択図】 図7
Description
この発明は、半導体装置の製造方法および半導体装置に関し、より特定的には、一対の半導体パッケージを上下に重ねて実装する、半導体装置の製造方法および半導体装置に関する。
従来から、半導体パッケージの実装面積を削減するため、POP(package onpackage)構造と呼ばれる、一対の半導体パッケージを上下に重ねて実装する構造が提案されている。このような構造を有する半導体装置としては、たとえば、特許文献1に記載されているようなものがある。
特開平11−317497号公報
しかし、POP構造を有する半導体装置を量産するための製造方法はまだ確立されていない。
上記特許文献1でも、1個のPOP構造を有する半導体装置を製造する方法は開示されているが、POP構造を有する半導体装置を、量産する場合を考慮した製造方法や半導体装置の構造については開示されていない。
したがって、この発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、POP構造を有し、量産に適した半導体装置の製造方法および半導体装置を提供することを目的とする。
この発明に基づいた半導体装置の製造方法に従えば、第1および第2のランド群を複数組備えるベース基板上で、それぞれ対応する位置に、外部と接続するための第1の電極群を有する第1の半導体パッケージを複数個配列し、それぞれの上記第1の半導体パッケージの上記第1の電極群と上記ベース基板の上記第1のランド群とを電気的に接続する第1の半導体パッケージ実装工程を備えている。また、それぞれの上記第1の半導体パッケージの上方に少なくともその一部が重複するように、外部と接続するための第2の電極群を有する第2の半導体パッケージを複数個配列し、それぞれの上記第2の半導体パッケージの上記第2の電極群と上記ベース基板上の上記第2のランド群とを電気的に接続する第2の半導体パッケージ実装工程を備えている。さらに、上記第1の半導体パッケージと上記第2の半導体パッケージとを少なくとも1個ずつ含むように、上記ベース基板を分割する分割工程を備えている。
この発明の基づいた半導体装置に従えば、外部に接続するための第1の電極群を有する第1の半導体パッケージと、上記第1の半導体パッケージの上方に少なくともその一部が重複するように配設され、外部に接続するための第2の電極群を有する第2の半導体パッケージと、上記第1および第2の電極群がそれぞれ接続される第1および第2のランド群を有し、第1の半導体パッケージの下方に位置する基板とを備えている。
上記第1の電極群は上記第1の半導体パッケージの底面に設けられており、上記第1の電極群を構成する各電極と、上記基板の第1のランド群を構成する各ランドとは、上下方向に少なくとも一部が重なるように位置している。上記第2の電極群は、上記第2の半導体パッケージの側面から突出した複数のアウターリードにより構成され、上記アウターリードの先端は、上記基板の上記第2のランド群を構成する各ランドと接続されている。
本発明に係る半導体装置の製造方法によると、半導体パッケージを実装する工程におけるタクトタイムを削減することができる。また、半導体パッケージを実装する工程においては、分割した後の基板より大型のベース基板を用いるので、これらの製造工程におけるハンドリングが容易になる。これらにより、半導体装置を効率的に量産することができる。
本発明に係る半導体装置によると、第1の半導体パッケージと基板とは、第1の半導体パッケージ下面の電極を用いて電気的な接続を行ない、第2の半導体パッケージと基板とは、第2の半導体パッケージの側面から突出したアウターリードからなる電極により電気的な接続を行なうことで、量産に適した半導体装置を構成することができる。
(実施の形態1)
以下、実施の形態1における半導体装置およびその製造方法について、図1から10を参照して説明する。なお、図1は、本実施の形態における半導体装置の構造を示す正面図である。図2は、第1の半導体パッケージとして好適な、半導体パッケージの一例を示す一部を切欠いた斜視図である。図3は、第2の半導体パッケージとして好適な、半導体パッケージの一例を示す、一部を切欠いた斜視図である。図4は、図3におけるIV−IV矢視断面図である。図5は、本実施の形態における第1の半導体パッケージ実装工程を示す正面図である。図6は、第1の半導体パッケージ実装工程を示す斜視図である。図7は、第2の半導体パッケージ実装工程を示す正面図である。図8は、第2の半導体パッケージを実装した状態を示す平面図である。図9および図10は、異なる形状のベース基板を示す斜視図である。
以下、実施の形態1における半導体装置およびその製造方法について、図1から10を参照して説明する。なお、図1は、本実施の形態における半導体装置の構造を示す正面図である。図2は、第1の半導体パッケージとして好適な、半導体パッケージの一例を示す一部を切欠いた斜視図である。図3は、第2の半導体パッケージとして好適な、半導体パッケージの一例を示す、一部を切欠いた斜視図である。図4は、図3におけるIV−IV矢視断面図である。図5は、本実施の形態における第1の半導体パッケージ実装工程を示す正面図である。図6は、第1の半導体パッケージ実装工程を示す斜視図である。図7は、第2の半導体パッケージ実装工程を示す正面図である。図8は、第2の半導体パッケージを実装した状態を示す平面図である。図9および図10は、異なる形状のベース基板を示す斜視図である。
図1を参照して、半導体装置1の構造の概略について説明する。本実施の形態の半導体装置1は、POP(package on package)構造を有している。すなわち、半導体装置1は、外部に接続するための第1の電極群12を有する第1の半導体パッケージ11を備えている。また、半導体装置1は、第1の半導体パッケージ11の上方に重複するように、第2の半導体パッケージ31を備えている。第2の半導体パッケージ31は、外部に接続するための第2の電極群32を有している。
第1の半導体パッケージ11および第2の半導体パッケージ31は、基板55に実装されている。基板55は、第1および第2の電極群12,32がそれぞれ接続される第1および第2のランド群61,64を有している。
第1の電極群12は、第1の半導体パッケージ11の底面14に設けられている。第1の電極群12は、第1の電極群12を構成する各電極13が、基板55の第1のランド群61を構成する各ランド62と、上下方向にちょうど重なるように位置している。第2の電極群32は、第2の半導体パッケージ31の側面から突出した複数のアウターリード33により構成されている。アウターリード33の先端は、基板55の第2のランド群64を構成する各ランド65と接続されている。
以下に、この半導体装置の構造について詳細に説明する。
図2を参照して、第1の半導体パッケージ11の構造について説明する。この第1の半導体パッケージ11は、その底面14にはんだボールからなる電極13を複数個配列し、この電極13により外部に接続するBGA(ball grid array)パッケージである。図2は、第1の半導体パッケージ11を底面14の側から見た図である。
第1の半導体パッケージ11の底面14は、エポキシ樹脂などで構成された絶縁基板により構成されている。絶縁基板の底面(図2の上面)には、前述のように、複数のはんだボールからなる電極13が設けられている。電極は、この実施の形態では、底面14の外周に沿って2列に配列されている。電極13の配列は、第1の半導体パッケージ11の機能等に応じて適宜変更することができる。この複数の電極13により、第1の電極群12が構成されている。
第1の半導体パッケージ11の内部には、半導体チップ15が封止樹脂17に封止されて設けられている。半導体チップ15の底面(図2の上面)には、複数のはんだボールからなるバンプ16が設けられている。バンプ16は、図示しない電極および配線を介して、第1の半導体パッケージ11の底面14に設けられた、電極13に電気的に接続している。
この第1の半導体パッケージ11は、上述のように基板55の上面に実装される。そのとき、第1の半導体パッケージ11の底面14に設けられた電極13は、基板55の上面に設けられた第1のランド群61を構成するランド62に、それぞれ電気的に接続される(図1参照)。このように、第1の電極群12は、第1の半導体パッケージ11の下面に設けられ、直接基板55の第1のランド群61に接続される。したがって、第1の半導体パッケージ11の平面的な範囲から電極などが横方向に突出することが無い。
本実施の形態では、上述のように、第1の半導体パッケージ11をBGAパッケージで構成しているが、第1の半導体パッケージ11をLGA(land grid array)パッケージにより構成してもよい。LGAパッケージで構成する場合には、第1の半導体パッケージ11の底面14に複数のパッドを設け、このパッドの表面に、BGAパッケージのはんだボールからなる電極13に代えて、はんだペーストおよび電極パッドからなる電極を配設する。LGAパッケージにおいては、このはんだペーストを介して電極パッドを第1のランド群61を構成するランド62に電気的に接続する。上述した第1の半導体パッケージ11の構造は、一例であって、第1の半導体パッケージの構造はこれに限定されるものではない。
図3および図4を用いて、第2の半導体パッケージの構造について説明する。ここでは、第2の半導体パッケージ31として、TSOP(thin small outline package)と呼ばれる構造の半導体パッケージを用いている。このTSOPにおいては、図3および図4に示すように、ダイパッド35上に半導体チップ36が配設されている。半導体チップ36の上面には、図示しないパッドが設けられている。このパッドには、アウターリード33に連続するインナーリード34の端部34aが金線37を介して接続されている。
アウターリード33の内側に連続するインナーリード34は、図示するように、半導体チップ36の上方にまで延びている。これにより、通常の半導体パッケージのように、半導体チップ36の外側に半導体チップ36のパッドに接続するための電極を設ける必要が無い。これにより第2の半導体パッケージ31の面積は、通常の半導体パッケージより小さいものとなっている。一方、インナーリード34が、半導体チップ36の幅方向中央部付近まで延びているので、封止樹脂38の厚みを最小限にすることができる。これにより、第2の半導体パッケージ31の厚みは、通常の半導体パッケージより小さいものとなっている。
このように、TSOPと呼ばれる構造により第2の半導体パッケージ31を構成することで、実装面積が小さく、厚みが薄い第2の半導体パッケージ31を構成でき、実装密度を向上させることができる。本実施の形態のようなPOP構造の半導体装置を構成した場合には、さらにその実装密度を向上させることができる。
アウターリード33は半導体パッケージ31の側面に突出して設けられている。複数個のアウターリード33により第2の電極群32が構成されている。アウターリード33は、第2の半導体パッケージ31の下方に位置する第1の半導体パッケージ11を受け入れるスペースを確保するため、その高さ方向の長さを、長くしている。
アウターリード33の先端は、第2のランド群64を構成するランド65にそれぞれ接続されている。第2の半導体パッケージ31の第2の電極群32と基板55の第2のランド群64とは、このように第1の半導体パッケージ11の側方において接続されている。
基板55は、耐燃性ガラス基材エポキシ樹脂積層基板であり、下面には、半導体装置1を外部に接続するための、はんだボール56が設けられている。上面には、第1のランド群61と第2のランド群64が設けられている(図6参照)。第1のランド群61は、第1の半導体パッケージ11の下面に相当する位置に設けられている。また、第1のランド群は、複数のランド62により構成されており、各ランド62は、第1の半導体パッケージ11の各電極13に対応する位置に設けられている。
一方、第2のランド群64は、第1の半導体パッケージ11が配設される位置の側方に設けられている。第2のランド群64は複数のランド65により構成されている。この実施の形態では、第1の半導体パッケージ11が設けられる位置の対向する二辺に沿って、第2のランド群64を設けている。第2のランド群64は、第1の半導体パッケージ11を囲む4辺の全てに沿うように設けてもよい。
上記のように、第1の半導体パッケージ11の第1の電極群12と、基板55の第1のランド群61とは、第1の半導体パッケージ11の下面において直接接続されている。一方、第2の半導体パッケージ31の第2の電極群32と、基板55の第2のランド群64とは、第1の半導体パッケージ11の側方において接続されている。これにより、基板55と第1の半導体パッケージ11との配線が、基板55と第2の半導体パッケージ31との配線と交錯することがない。その結果、半導体装置1の製造が容易に行なえるので、半導体装置1の量産が容易となる。
次に、上記のような半導体装置の製造方法について説明する。本実施の形態の半導体装置の製造方法は、第1および第2のランド群61,64を複数組備えるベース基板51上に、第1の半導体パッケージ11を複数個配列し、第1の電極群12と第1のランド群とをそれぞれ電気的に接続する第1の半導体パッケージ実装工程を備えている。また、それぞれの第1の半導体パッケージ11の上方に、少なくともその一部が重複するように、第2の半導体パッケージ31を配列し、それぞれの第2の電極群32と第2のランド群64とを電気的に接続する第2の半導体パッケージ実装工程を備えている。さらに、第1の半導体パッケージ11と第2の半導体パッケージ31とを少なくとも1個ずつ含むように、ベース基板51を分割する分割工程を備えている。
図5および図6を用いて第1の半導体パッケージ実装工程について説明する。本実施の形態の第1の半導体パッケージ実装工程においては、一例としてベース基板51上に3個の第1の半導体パッケージ11を実装する。
まず、図5および図6に示すようなベース基板51を準備する。ベース基板51は、第1の半導体パッケージ11および第2の半導体パッケージ31を3個ずつ実装できるように、第1のランド群61および第2のランド群64を3組ずつ備えている。この実施の形態では、ベース基板51を一方向に長い短冊状に構成し、その長手方向に第1のランド群61および第2のランド群64を配列している。
このベース基板51に、3個の第1の半導体パッケージ11を配列する。このとき、図5および図6に破線で示す治具71により、3個の第1の半導体パッケージ11を同時に保持し、3個同時にベース基板51上に配列する。
3個の第1の半導体パッケージ11を配列すると同時に、3個の第1の半導体パッケージ11の、第1の電極群12を、第1のランド群61に電気的に接続する。具体的には、第1のランド群61を加熱して、第1の電極群12を構成する電極13のはんだボールを溶融させ、第1のランド群61を構成するランド62に接続する。これにより、第1の半導体パッケージ11を、個別に配列および接続する場合に比べて、第1の半導体パッケージ11を配列および接続するためのタクトタイムを減少させることができる。
図7を用いて、第2の半導体パッケージ実装工程について説明する。本実施の形態の第2の半導体パッケージ実装工程においては、ベース基板51上に3個の第2の半導体パッケージ31を実装する。
ベース基板51に、3個の第2の半導体パッケージ31を配列するときには、図7に破線で示す治具71により、3個の第2の半導体パッケージ31を同時に保持し、3個同時にベース基板51上に配列する。
第2の半導体パッケージ31を配列した後、第2の半導体パッケージ31の第2の電極群32を第2のランド群64に電気的に接続する。具体的には、第2の電極群32を構成するアウターリード33の先端を加熱して、はんだなどにより、アウターリード33の先端を、第2のランド群64を構成するランド65に接続する。これにより、第2の半導体パッケージ31を、個別に配列および接続する場合に比べて、第2の半導体パッケージ31を配列および接続するためのタクトタイムを減少させることができる。
また、第1の半導体パッケージ実装工程および第2の半導体パッケージ実装工程においては、個別に切り分けた基板55ではなく、3個分の基板55を連続させた、比較的大型のベース基板51を扱うので、その取扱いが容易である。
図7および図8を用いて、分割工程について説明する。分割工程においては、図7および図8に破線で示す切断線81に沿って、ベース基板51を分割する。分割は、ルーターを用いて、切断線81に沿って切断することで行なう。ベース基板51の切断線に沿って、あらかじめ断面V字状の溝などを形成しておき、それを用いて分割するようにしてもよい。
本実施の形態の製造方法により、3個の半導体装置1を同時に製造することができるので、POP構造を有する半導体装置1を量産することが可能となる。
本実施の形態では、第1の半導体パッケージ実装工程と、第2の半導体パッケージ実装工程とを別の工程としている。3個の第1の半導体パッケージ11と、3個の第2の半導体パッケージ31を同時に治具71により保持して、これらをベース基板51に同時に配列するようにしてもよい。この場合には、半導体パッケージを実装する工程をさらに短時間にすることができる。
本実施の形態では、3組の第1および第2のランド群61,64を備えたベース基板51を用いて、3個の半導体装置1を同時に製造するようにした。たとえば、ベース基板51を図9に示すように、3組の第1および第2のランド群61,64を2列設けるようにすることで、6個の半導体装置1を同時に製造することができる。このように同時に製造する個数は、必要性に応じて種々変更し得る。このように同時に製造する半導体装置1の個数を増加させることで、さらに量産に好適な半導体装置の製造方法となる。
図10は、第1および第2の半導体パッケージ11,31を2組備えた半導体装置1を製造する場合のベース基板51を示している。このベース基板51には、第1および第2の半導体パッケージ11,31をそれぞれ6個ずつ実装する。そして、図10に示すように、ベース基板51を3個に分割する。これにより、各半導体装置1が、第1および第2の半導体パッケージ11,31を2組備えた半導体装置1を構成することができる。
ここで、各半導体装置1の内部で、一方の第1のランド群61のランド62と、他方の第1のランド群61のランド62とを接続する配線68を設けている。同様に、一方の第2のランド群64のランド65と、他方の第1のランド群64のランド65とを接続するような配線を設けるようにしてもよい。
(実施の形態2)
実施の形態2について、図面を用いて説明する。図11は、第2の実施の形態の半導体装置を示す正面図である。図12は、第2の実施の形態の半導体装置の変形例を示す正面図である。図13は、第2の実施の形態の半導体装置の製造工程を示す正面図である。
実施の形態2について、図面を用いて説明する。図11は、第2の実施の形態の半導体装置を示す正面図である。図12は、第2の実施の形態の半導体装置の変形例を示す正面図である。図13は、第2の実施の形態の半導体装置の製造工程を示す正面図である。
本実施の形態では、図11に示すように、POP構造を有する上記実施の形態1で示した半導体装置に再配線基板95を設けている。再配線基板95は、半導体装置下面に設けられた外部電極としての、はんだボール56に接続している。再配線基板95は、上面にはんだボール56と接続するための図示しないランドを有している。再配線基板95は、図示しない配線パターンをさらに有している。上記ランドは、その配線パターンに接続している。また、その配線パターンは、再配線基板95の下面に設けられた、はんだボール96にも接続している。はんだボール96は、再配線基板95を接続した後、この再配線基板95を取り付けた半導体装置1の外部電極となる。
図11に示す実施の形態では、再配線基板95が一対の半導体装置1を連結するように設けられている。このように再配線基板95を設けることで、POP構造を有する複数の半導体装置を接続して1個の半導体装置1を構成することができる。このとき、接続する再配線基板95の配線パターンを変更することで、たとえばメモリ容量などの各半導体パッケージの機能に応じて、半導体装置単位でその配線構造を変更することができる。
さらに、図10で示したベース基板51を用いた、2組の第1および第2の半導体パッケージ11,31を備えた半導体装置1を、図12に示すように、再配線基板95により再度配線するようにしてもよい。これにより、複雑な配線にも対応することができる。また、再配線基板95の配線パターンを変更することで、その機能に併せて様々な用途の半導体装置を構成することができる。
この再配線基板95を備えた半導体装置1は、図13に示すように、ベース基板51を分割する前に、ベース再配線基板91を接続しておき、切断線81に沿ってベース基板51と同時にルーターなどで切断して分割することで構成してもよい。これにより、再配線基板95を接続する工程において、比較的大型のベース再配線基板91を用いるので、そのハンドリングが容易となる。これにより、再配線基板95を備えたPOP構造を有する半導体装置を量産することが可能となる。
なお、今回開示した上記実施の形態はすべての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施の形態のみによって解釈されるのではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。
1 半導体装置、11 第1の半導体パッケージ、12 第1の電極群、13 電極、14 底面、31 第2の半導体パッケージ、32 第2の電極群、33 アウターリード、51 ベース基板、55 基板、61 第1のランド群、62 ランド、64 第2のランド群、65 ランド、71 治具。
Claims (5)
- 第1および第2のランド群を複数組備えるベース基板上で、それぞれ対応する位置に、外部と接続するための第1の電極群を有する第1の半導体パッケージを複数個配列し、それぞれの前記第1の半導体パッケージの前記第1の電極群と前記ベース基板の前記第1のランド群とを電気的に接続する第1の半導体パッケージ実装工程と、
それぞれの前記第1の半導体パッケージの上方に、少なくともその一部が重複するように、外部と接続するための第2の電極群を有する第2の半導体パッケージを複数個配列し、それぞれの前記第2の半導体パッケージの前記第2の電極群と前記ベース基板の前記第2のランド群とを電気的に接続する第2の半導体パッケージ実装工程と、
前記第1の半導体パッケージと前記第2の半導体パッケージとを少なくとも1個ずつ含むように、前記ベース基板を分割する分割工程とを備えた、半導体装置の製造方法。 - 前記第1の半導体パッケージ実装工程における、前記第1の半導体パッケージを複数個配列する工程は、前記ベース基板上に配列する個数の前記第1の半導体パッケージを治具により同時に保持して、前記ベース基板上に同時に配列し、
前記第2の半導体パッケージ実装工程における、前記第2の半導体パッケージを複数個配列する工程は、前記ベース基板上に配列する個数の前記第2の半導体パッケージを治具により同時に保持して、前記ベース基板上に同時に配列する、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1および第2の半導体パッケージ実装工程における前記第1および第2の半導体パッケージを配列する工程は、前記ベース基板上に配列する個数の第1および第2の半導体パッケージを治具により同時に保持して、前記ベース基板上に同時に配列する、請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の電極群は前記第1の半導体パッケージの底面に設けられており、前記第1の電極群を構成する各電極と、前記ベース基板の第1のランド群を構成する各ランドとは、上下方向に少なくとも一部が重なるように位置し、
前記第2の電極群は、前記第2の半導体パッケージの側面から突出した複数のアウターリードにより構成され、前記複数のアウターリードの先端は、前記ベース基板の前記第2のランド群を構成する各ランドとそれぞれ接続される、請求項1から3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。 - 外部に接続するための第1の電極群を有する第1の半導体パッケージと、前記第1の半導体パッケージの上方に少なくともその一部が重複するように配設され、外部に接続するための第2の電極群を有する第2の半導体パッケージと、前記第1および第2の電極群がそれぞれ接続される第1および第2のランド群を有し、第1の半導体パッケージの下方に位置する基板とを備えた、半導体装置であって、
前記第1の電極群は前記第1の半導体パッケージの底面に設けられており、前記第1の電極群を構成する各電極と、前記基板の第1のランド群を構成する各ランドとは、上下方向に少なくとも一部が重なるように位置し、
前記第2の電極群は、前記第2の半導体パッケージの側面から突出した複数のアウターリードにより構成され、前記アウターリードの先端は、前記基板の前記第2のランド群を構成する各ランドと接続されている、半導体装置。
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JP2003298725A JP2005072190A (ja) | 2003-08-22 | 2003-08-22 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
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WO2007139132A1 (ja) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Toshihiko Mizukami | 半導体装置 |
US7723834B2 (en) | 2006-09-06 | 2010-05-25 | Samsung Electronics Co., Ltd. | POP package and method of fabricating the same |
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