JP2005072082A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】所定間隔を存して配列される複数個のシートを一括して冷却器上に供給するとともに、テフロンシートなどを用いることなく、シートを接着できるようにした半導体装置の製造装置を提供する。
【解決手段】絶縁樹脂製のシート基材7を第1の保護フィルム5を残して第2の保護フィルム6とともに複数にカットし、このカット後、カットされた絶縁樹脂シート基材7の一部、及び第2の保護フィルム6を除去することにより、第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシート2を形成し、シート形成後、第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシート2を一括して冷却器1上に供給し、この供給後、ヒータ10により第1の保護フィルム5を介して複数個のシート2を加圧するとともに加熱して冷却器1に接着し、このシート接着後、第1の保護フィルム5を剥離して複数個のシート2上に半導体チップ4を有した導体3を接着する。
【選択図】 図2
【解決手段】絶縁樹脂製のシート基材7を第1の保護フィルム5を残して第2の保護フィルム6とともに複数にカットし、このカット後、カットされた絶縁樹脂シート基材7の一部、及び第2の保護フィルム6を除去することにより、第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシート2を形成し、シート形成後、第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシート2を一括して冷却器1上に供給し、この供給後、ヒータ10により第1の保護フィルム5を介して複数個のシート2を加圧するとともに加熱して冷却器1に接着し、このシート接着後、第1の保護フィルム5を剥離して複数個のシート2上に半導体チップ4を有した導体3を接着する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップを接合した導体を、絶縁樹脂シートで冷却器に接着する半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の半導体装置としては、例えば、図9に示すようなものが知られている。
【0003】
即ち、図中11は冷却器で、この冷却器11上には、所定間隔を存してセラミックスを含有した複数枚(例えば、3枚)の絶縁樹脂シート12が配置されている。これら絶縁樹脂シート12上には並列に導体13,13が配列され、これら導体13,13の上面部には複数個の半導体チップ14…が導体13,13の長手方向に亘って所定間隔を存して配置され、ハンダないし導電性ペーストなどで接合されている。
【0004】
図10は、上記した半導体装置の製造方法を示すものである。
【0005】
まず、図10(a)に示すように、両面がタック力の異なる保護フィルム15,16により保護された絶縁樹脂シート12を所定の大きさで切出す。ついで、図10(b)に示すように、冷却器11の上面部にケガキ線用治具によりシート12を貼付ける位置を示すためのケガキ線を形成する。この形成後、図10(c)に示すように、絶縁樹脂シート12から冷却器11に接着する側の保護フィルム16を剥がす。こののち、図10(d)に示すように、絶縁樹脂シート12を冷却器11に仮付けする。この仮付け後、図10(e)に示すように、反対側の保護フィルム15を剥がす。そして、図10(f)に示すように、加圧加熱板20により、テフロンシート21を介して絶縁樹脂シート12を加熱するとともに加圧して絶縁樹脂シート12を冷却器11に接着する。
【0006】
なお、ここでテフロンシート21を用いるのは、加圧加熱板20と絶縁樹脂シート12が接着してしまわないようにするためである。また、保護フィルム15を剥がすのは、絶縁樹脂シート12と保護フィルム15とが同寸法であるため、絶縁樹脂シート12を加熱、加圧した時に、樹脂が這い上がってしまうためである。従って、テフロンシート21は、絶縁樹脂シート12より約1mm大きくしてある。
【0007】
絶縁樹脂シート12を接着したのち、図10(g)に示すように、加圧加熱板20を離間させてテフロンシート21を剥してから、半導体チップ14を接合配置した導体13を絶縁樹脂シート12…上に接合して組み立てを終える(例えば、特許文献1参照。)。
【0008】
【特許文献1】
特願平10−7261号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来においては、図10で示した各工程を、手(ピンセット)で作業していた。シート12は厚さ約0.15mm、保護フィルム15,16は厚さ約0.038mmであり、皺が寄ったり破いたりと、作業性が悪かった。
【0010】
また、絶縁樹脂シート12の加圧加熱時に、樹脂が這い上がってしまうことに対する対策として、テフロンシート21を使用しているため、工程数が増すとともに、コストが増大してしまうという問題があった。
【0011】
本発明は、上記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、所定間隔を存して配列される複数個のシートを一括して冷却器上に供給するとともに、テフロンシートなどを用いることなく、シートを接着できるようにした半導体装置の製造装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1記載の発明は、一面側が第1の保護フィルム、他面側が第2の保護フィルムにより保護された絶縁樹脂製のシート基材を前記第1の保護フィルムを残して第2の保護フィルムとともに複数にカットするカット工程と、このカット工程後、前記カットされた絶縁樹脂シート基材の一部、及び第2の保護フィルムを除去することにより、前記第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシートを形成するシート形成工程と、このシート形成工程後、前記第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシートを一括して冷却器上に供給する供給工程と、この供給工程後、ヒータにより前記第1の保護フィルムを介して前記複数個のシートを加圧するとともに加熱して前記冷却器に接着するシート接着工程と、このシート接着工程後、前記第1の保護フィルムを剥離して前記複数個のシート上に半導体素子を有した導体を接着する導体接着工程とを具備する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施の形態を参照して詳細に説明する。
【0014】
図1は、本発明の一実施の形態である半導体装置を示す外観斜視図である。
【0015】
即ち、図中1は冷却器で、この冷却器1上には所定間隔を存してセラミックスを含有した複数枚(例えば、3枚)の絶縁樹脂シート2…が配置されている。これら絶縁樹脂シート2…上には並列に導体3,3が配列され、これら導体3,3の上面部には複数個の半導体チップ4…が導体3,3の長手方向に亘って所定間隔を存して配置されてハンダないし導電ペーストなどで接合されている。
【0016】
次に、上記した半導体装置の製造方法を図2に基づいて説明する。
【0017】
まず、図2(a)に示すように、両面が第1及び第2の保護フィルム5,6により保護された絶縁樹脂シート基材7を用意し、この絶縁樹脂シート基材7を強タック側の第1の保護フィルム5を残して第2の保護フィルム6とともに所定間隔を存して複数にカットするとともに(カット工程)、第1の保護フィルム5に冷却器1に対する位置決め用の穴(図7に示す5a)を打ち抜く。
【0018】
こののち、図2(b)に示すように、第2の保護フィルム6を除去するとともに、カットされた絶縁樹脂シート基材7の一部7a,7bを除去して複数個(3個)の絶縁樹脂シート2を形成する(シート形成工程)。
【0019】
ついで、図2(c)に示すように、冷却器1に位置決めピン25を取付け、この位置決めピン25に第1の保護フィルム5の位置決め用の穴5aを嵌め込んで位置合せしてシート2を供給する(供給工程)。
【0020】
この供給後、図2(d)に示すように、残っている第1の保護フィルム5を介してヒータ10により絶縁樹脂シート2…を加熱するとともに加圧して絶縁樹脂シート2…を冷却器1に接着する(シート接着工程)。
【0021】
この接着後、図2(e)に示すように、残っている第1の保護フィルム5を剥し、図2(f)に示すように半導体チップ4を接合配置した導体3を、絶縁樹脂シート2…上に接合して(導体接着工程)組み立てを終える。
【0022】
上記したように、この実施の形態によれば、冷却器1に位置決めピン25を取付け、この位置決めピン25に保護フィルム5の位置決め用の穴5aを嵌め込んで位置合せして絶縁樹脂シート2を供給するため、冷却器1に対し複数個の絶縁樹脂シート2を一括して供給することができ、作業性が優れる。
【0023】
また、第1及び第2の保護フィルム5,6によって複数個の絶縁樹脂シート2を覆うため、各絶縁樹脂シート2から個別に保護フィルムを剥がす必要がなく、保護フィルムを一括して剥がすことができ、剥がし作業が容易になる。
【0024】
さらに、絶縁樹脂シート2よりもサイズを大とする保護フィルム5を介してヒータ10により加熱するため、絶縁樹脂シート2の樹脂が這い上がってきてもヒータ10に接触することがなく、テフロンシートが不要になるとともに、テフロンシートの供給作業も不要となる。
【0025】
ところで、上記したヒータ10による加熱、加圧時には、絶縁樹脂シート2の上面が第1の保護フィルム5によって覆われているため、加熱、加圧時に絶縁樹脂シート2から染み出した樹脂の逃げ場所が無くなり、沁み出し範囲が従来に比べて広くなってしまう。
【0026】
また、半導体装置では、最終的には図3に示すように、絶縁樹脂シート2,2間にケース27の足27aを立てる場合もあるため、図4に示すように沁み出す樹脂2aの量が比較的少ない場合には、ケース27の足27aを立てることが可能となるが、図5に示すように、沁み出す樹脂2aの量が多い場合には、ケース27の足27aを立てることができなくなる恐れがある。
【0027】
そこで、本発明では、図6に示すように、沁み出した樹脂2aを溜め込むための溝部28を、冷却器1の表面に絶縁樹脂シート2の外周に沿って設けた。これにより、沁み出した樹脂2aの広がり範囲を溝部28によって規制することができ、ケース27の足27aを確実に立てることができる。
【0028】
図7は、本発明の他の実施の形態を示す平面図である。
【0029】
この実施の形態においては、沁み出した樹脂2aを溜め込むための溝部30を、保護フィルム5の下面部に絶縁樹脂シート2の外周に沿って設けている。これによっても、上記した実施の形態と同様に沁み出した樹脂2aの広がり範囲を規制することが出来る。
【0030】
また、絶縁樹脂シート基材7をより無駄なく使用するため、図8に示すように、冷却器1に接着する面と反対側に搬送用のシート32を設けても良い。
【0031】
さらに、応用例としては、保護フィルム5,6はシート枚葉でなく、ロール巻きで供給することも出来る。この場合、シート送り、位置決め用にスプロケットホールを設けても良い。
【0032】
その他、本発明はその要旨の範囲内で種々変形実施可能なことは勿論である。
【0033】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように、複数個のシートを一括して冷却器に供給することができるため、作業性が優れる。
【0034】
また、第1及び第2の保護フィルムにより複数個のシートを覆うため、保護フィルムの剥がし作業が容易になり、作業ミスにより廃棄される絶縁樹脂シートの量を減らすことが出来る。
【0035】
さらに、テフロンシートを用いる必要がないため、テフロンシートの供給作業が不要になるとともに、コストの低減が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である半導体装置を示す外観斜視図。
【図2】図1の半導体装置の製造方法を示す図。
【図3】図1の半導体装置にケースが被せられた状態を示す図。
【図4】図1の半導体装置の製造時に絶縁樹脂シートから樹脂が沁み出した状態を示す図。
【図5】図1の半導体装置の製造時に絶縁樹脂シートから樹脂が沁み出した状態を示す図。
【図6】図1の半導体装置の冷却器の他の実施例を示す図。
【図7】図1の半導体装置の保護フィルムの他の実施例を示す図。
【図8】図1の半導体装置の絶縁樹脂シート基材の他の実施例を示す図。
【図9】従来の半導体装置を示す外観斜視図。
【図10】従来の半導体装置の製造方法を示す図。
【符号の説明】
1…冷却器、2…シート、3…導体、4…半導体チップ(半導体素子)、5…第1の保護フィルム、6…第2の保護フィルム、7…絶縁樹脂製のシート基材、10…ヒータ、28,30…溝部、32…搬送用シート。
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップを接合した導体を、絶縁樹脂シートで冷却器に接着する半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種の半導体装置としては、例えば、図9に示すようなものが知られている。
【0003】
即ち、図中11は冷却器で、この冷却器11上には、所定間隔を存してセラミックスを含有した複数枚(例えば、3枚)の絶縁樹脂シート12が配置されている。これら絶縁樹脂シート12上には並列に導体13,13が配列され、これら導体13,13の上面部には複数個の半導体チップ14…が導体13,13の長手方向に亘って所定間隔を存して配置され、ハンダないし導電性ペーストなどで接合されている。
【0004】
図10は、上記した半導体装置の製造方法を示すものである。
【0005】
まず、図10(a)に示すように、両面がタック力の異なる保護フィルム15,16により保護された絶縁樹脂シート12を所定の大きさで切出す。ついで、図10(b)に示すように、冷却器11の上面部にケガキ線用治具によりシート12を貼付ける位置を示すためのケガキ線を形成する。この形成後、図10(c)に示すように、絶縁樹脂シート12から冷却器11に接着する側の保護フィルム16を剥がす。こののち、図10(d)に示すように、絶縁樹脂シート12を冷却器11に仮付けする。この仮付け後、図10(e)に示すように、反対側の保護フィルム15を剥がす。そして、図10(f)に示すように、加圧加熱板20により、テフロンシート21を介して絶縁樹脂シート12を加熱するとともに加圧して絶縁樹脂シート12を冷却器11に接着する。
【0006】
なお、ここでテフロンシート21を用いるのは、加圧加熱板20と絶縁樹脂シート12が接着してしまわないようにするためである。また、保護フィルム15を剥がすのは、絶縁樹脂シート12と保護フィルム15とが同寸法であるため、絶縁樹脂シート12を加熱、加圧した時に、樹脂が這い上がってしまうためである。従って、テフロンシート21は、絶縁樹脂シート12より約1mm大きくしてある。
【0007】
絶縁樹脂シート12を接着したのち、図10(g)に示すように、加圧加熱板20を離間させてテフロンシート21を剥してから、半導体チップ14を接合配置した導体13を絶縁樹脂シート12…上に接合して組み立てを終える(例えば、特許文献1参照。)。
【0008】
【特許文献1】
特願平10−7261号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来においては、図10で示した各工程を、手(ピンセット)で作業していた。シート12は厚さ約0.15mm、保護フィルム15,16は厚さ約0.038mmであり、皺が寄ったり破いたりと、作業性が悪かった。
【0010】
また、絶縁樹脂シート12の加圧加熱時に、樹脂が這い上がってしまうことに対する対策として、テフロンシート21を使用しているため、工程数が増すとともに、コストが増大してしまうという問題があった。
【0011】
本発明は、上記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、所定間隔を存して配列される複数個のシートを一括して冷却器上に供給するとともに、テフロンシートなどを用いることなく、シートを接着できるようにした半導体装置の製造装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、請求項1記載の発明は、一面側が第1の保護フィルム、他面側が第2の保護フィルムにより保護された絶縁樹脂製のシート基材を前記第1の保護フィルムを残して第2の保護フィルムとともに複数にカットするカット工程と、このカット工程後、前記カットされた絶縁樹脂シート基材の一部、及び第2の保護フィルムを除去することにより、前記第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシートを形成するシート形成工程と、このシート形成工程後、前記第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシートを一括して冷却器上に供給する供給工程と、この供給工程後、ヒータにより前記第1の保護フィルムを介して前記複数個のシートを加圧するとともに加熱して前記冷却器に接着するシート接着工程と、このシート接着工程後、前記第1の保護フィルムを剥離して前記複数個のシート上に半導体素子を有した導体を接着する導体接着工程とを具備する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施の形態を参照して詳細に説明する。
【0014】
図1は、本発明の一実施の形態である半導体装置を示す外観斜視図である。
【0015】
即ち、図中1は冷却器で、この冷却器1上には所定間隔を存してセラミックスを含有した複数枚(例えば、3枚)の絶縁樹脂シート2…が配置されている。これら絶縁樹脂シート2…上には並列に導体3,3が配列され、これら導体3,3の上面部には複数個の半導体チップ4…が導体3,3の長手方向に亘って所定間隔を存して配置されてハンダないし導電ペーストなどで接合されている。
【0016】
次に、上記した半導体装置の製造方法を図2に基づいて説明する。
【0017】
まず、図2(a)に示すように、両面が第1及び第2の保護フィルム5,6により保護された絶縁樹脂シート基材7を用意し、この絶縁樹脂シート基材7を強タック側の第1の保護フィルム5を残して第2の保護フィルム6とともに所定間隔を存して複数にカットするとともに(カット工程)、第1の保護フィルム5に冷却器1に対する位置決め用の穴(図7に示す5a)を打ち抜く。
【0018】
こののち、図2(b)に示すように、第2の保護フィルム6を除去するとともに、カットされた絶縁樹脂シート基材7の一部7a,7bを除去して複数個(3個)の絶縁樹脂シート2を形成する(シート形成工程)。
【0019】
ついで、図2(c)に示すように、冷却器1に位置決めピン25を取付け、この位置決めピン25に第1の保護フィルム5の位置決め用の穴5aを嵌め込んで位置合せしてシート2を供給する(供給工程)。
【0020】
この供給後、図2(d)に示すように、残っている第1の保護フィルム5を介してヒータ10により絶縁樹脂シート2…を加熱するとともに加圧して絶縁樹脂シート2…を冷却器1に接着する(シート接着工程)。
【0021】
この接着後、図2(e)に示すように、残っている第1の保護フィルム5を剥し、図2(f)に示すように半導体チップ4を接合配置した導体3を、絶縁樹脂シート2…上に接合して(導体接着工程)組み立てを終える。
【0022】
上記したように、この実施の形態によれば、冷却器1に位置決めピン25を取付け、この位置決めピン25に保護フィルム5の位置決め用の穴5aを嵌め込んで位置合せして絶縁樹脂シート2を供給するため、冷却器1に対し複数個の絶縁樹脂シート2を一括して供給することができ、作業性が優れる。
【0023】
また、第1及び第2の保護フィルム5,6によって複数個の絶縁樹脂シート2を覆うため、各絶縁樹脂シート2から個別に保護フィルムを剥がす必要がなく、保護フィルムを一括して剥がすことができ、剥がし作業が容易になる。
【0024】
さらに、絶縁樹脂シート2よりもサイズを大とする保護フィルム5を介してヒータ10により加熱するため、絶縁樹脂シート2の樹脂が這い上がってきてもヒータ10に接触することがなく、テフロンシートが不要になるとともに、テフロンシートの供給作業も不要となる。
【0025】
ところで、上記したヒータ10による加熱、加圧時には、絶縁樹脂シート2の上面が第1の保護フィルム5によって覆われているため、加熱、加圧時に絶縁樹脂シート2から染み出した樹脂の逃げ場所が無くなり、沁み出し範囲が従来に比べて広くなってしまう。
【0026】
また、半導体装置では、最終的には図3に示すように、絶縁樹脂シート2,2間にケース27の足27aを立てる場合もあるため、図4に示すように沁み出す樹脂2aの量が比較的少ない場合には、ケース27の足27aを立てることが可能となるが、図5に示すように、沁み出す樹脂2aの量が多い場合には、ケース27の足27aを立てることができなくなる恐れがある。
【0027】
そこで、本発明では、図6に示すように、沁み出した樹脂2aを溜め込むための溝部28を、冷却器1の表面に絶縁樹脂シート2の外周に沿って設けた。これにより、沁み出した樹脂2aの広がり範囲を溝部28によって規制することができ、ケース27の足27aを確実に立てることができる。
【0028】
図7は、本発明の他の実施の形態を示す平面図である。
【0029】
この実施の形態においては、沁み出した樹脂2aを溜め込むための溝部30を、保護フィルム5の下面部に絶縁樹脂シート2の外周に沿って設けている。これによっても、上記した実施の形態と同様に沁み出した樹脂2aの広がり範囲を規制することが出来る。
【0030】
また、絶縁樹脂シート基材7をより無駄なく使用するため、図8に示すように、冷却器1に接着する面と反対側に搬送用のシート32を設けても良い。
【0031】
さらに、応用例としては、保護フィルム5,6はシート枚葉でなく、ロール巻きで供給することも出来る。この場合、シート送り、位置決め用にスプロケットホールを設けても良い。
【0032】
その他、本発明はその要旨の範囲内で種々変形実施可能なことは勿論である。
【0033】
【発明の効果】
本発明は、以上説明したように、複数個のシートを一括して冷却器に供給することができるため、作業性が優れる。
【0034】
また、第1及び第2の保護フィルムにより複数個のシートを覆うため、保護フィルムの剥がし作業が容易になり、作業ミスにより廃棄される絶縁樹脂シートの量を減らすことが出来る。
【0035】
さらに、テフロンシートを用いる必要がないため、テフロンシートの供給作業が不要になるとともに、コストの低減が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態である半導体装置を示す外観斜視図。
【図2】図1の半導体装置の製造方法を示す図。
【図3】図1の半導体装置にケースが被せられた状態を示す図。
【図4】図1の半導体装置の製造時に絶縁樹脂シートから樹脂が沁み出した状態を示す図。
【図5】図1の半導体装置の製造時に絶縁樹脂シートから樹脂が沁み出した状態を示す図。
【図6】図1の半導体装置の冷却器の他の実施例を示す図。
【図7】図1の半導体装置の保護フィルムの他の実施例を示す図。
【図8】図1の半導体装置の絶縁樹脂シート基材の他の実施例を示す図。
【図9】従来の半導体装置を示す外観斜視図。
【図10】従来の半導体装置の製造方法を示す図。
【符号の説明】
1…冷却器、2…シート、3…導体、4…半導体チップ(半導体素子)、5…第1の保護フィルム、6…第2の保護フィルム、7…絶縁樹脂製のシート基材、10…ヒータ、28,30…溝部、32…搬送用シート。
Claims (5)
- 一面側が第1の保護フィルム、他面側が第2の保護フィルムにより保護された絶縁樹脂製のシート基材を前記第1の保護フィルムを残して第2の保護フィルムとともに複数にカットするカット工程と、
このカット工程後、前記カットされた絶縁樹脂シート基材の一部、及び第2の保護フィルムを除去することにより、前記第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシートを形成するシート形成工程と、
このシート形成工程後、前記第1の保護フィルムに所定間隔を存して配列される複数個のシートを一括して冷却器上に供給する供給工程と、
この供給工程後、ヒータにより前記第1の保護フィルムを介して前記複数個のシートを加圧するとともに加熱して前記冷却器に接着するシート接着工程と、
このシート接着工程後、前記第1の保護フィルムを剥離して前記複数個のシート上に半導体素子を有した導体を接着する導体接着工程と
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁樹脂シートはセラミックスを含有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記冷却器の表面に、前記絶縁樹脂シートの外周に沿って溝部を設けたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記第1の保護フィルムに、前記絶縁樹脂シートの外周に沿って溝部を設けたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 前記第1の保護フィルム側に搬送用シートを設けたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003209307A JP2005072082A (ja) | 2003-08-28 | 2003-08-28 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP2003209307A JP2005072082A (ja) | 2003-08-28 | 2003-08-28 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
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JP2005072082A true JP2005072082A (ja) | 2005-03-17 |
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JP2003209307A Pending JP2005072082A (ja) | 2003-08-28 | 2003-08-28 | 半導体装置の製造方法 |
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JP (1) | JP2005072082A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014099505A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-05-29 | Nittoshinko Corp | 接着剤層付放熱部材の製造方法、及び、半導体装置の製造方法 |
-
2003
- 2003-08-28 JP JP2003209307A patent/JP2005072082A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014099505A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-05-29 | Nittoshinko Corp | 接着剤層付放熱部材の製造方法、及び、半導体装置の製造方法 |
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