JP2014099505A - 接着剤層付放熱部材の製造方法、及び、半導体装置の製造方法 - Google Patents
接着剤層付放熱部材の製造方法、及び、半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 title claims abstract description 75
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 title claims abstract description 55
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 40
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims abstract description 37
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 71
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 27
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 23
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 21
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 21
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 19
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 17
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 16
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 claims description 14
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 6
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 16
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 15
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 14
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 14
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 5
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 4
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical class C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N triphenylmethane Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 2
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004497 NIR spectroscopy Methods 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 2
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- VILCJCGEZXAXTO-UHFFFAOYSA-N 2,2,2-tetramine Chemical compound NCCNCCNCCN VILCJCGEZXAXTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 2,2,4,4,6,6-hexaphenoxy-1,3,5-triaza-2$l^{5},4$l^{5},6$l^{5}-triphosphacyclohexa-1,3,5-triene Chemical compound N=1P(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP(OC=2C=CC=CC=2)(OC=2C=CC=CC=2)=NP=1(OC=1C=CC=CC=1)OC1=CC=CC=C1 RNFJDJUURJAICM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N Dapsone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(N)C=C1 MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006057 Non-nutritive feed additive Substances 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004931 aggregating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 230000005674 electromagnetic induction Effects 0.000 description 1
- JDVIRCVIXCMTPU-UHFFFAOYSA-N ethanamine;trifluoroborane Chemical compound CCN.FB(F)F JDVIRCVIXCMTPU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000012845 near infrared spectroscopy analysis Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000010008 shearing Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N triphenyl phosphate Chemical compound C=1C=CC=CC=1OP(OC=1C=CC=CC=1)(=O)OC1=CC=CC=C1 XZZNDPSIHUTMOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】半導体素子を備えた電子部品2と放熱部材10とが無機フィラーを含有する熱硬化性樹脂組成物によって接着されている半導体装置の形成に用いられ、接着剤層11が前記熱硬化性樹脂組成物で形成されている接着剤層付放熱部材の製造方法であって、前記熱硬化性樹脂組成物で作製されたシート体を一面側から冷却用部材で冷却しつつ該冷却用部材で冷却している側とは逆側の他面側に予め加熱された放熱部材を当接させ、該放熱部材の熱でシート体の表面に接着性を発揮させるとともに前記冷却用部材と前記放熱部材との間に前記シート体を挟んで加圧することにより前記シート体を前記放熱部材に接着させて前記接着剤層を形成させることを特徴とする接着剤層付放熱部材の製造方法。
【選択図】図1
Description
前記パワートランジスタとしては、背面側に放熱板を露出させたタイプのものが広く用いられており、半導体チップを樹脂モールドした部分よりも外側に前記放熱板が延出され、該延出部分において螺子止め用の貫通孔が穿設されたものが広く用いられている。
そして、この種のパワートランジスタを半導体装置に利用する場合には、前記放熱板に放熱フィンを面接させる形で放熱フィンとパワートランジスタとが前記貫通孔を使って螺子止めによって固定されたりしている。
このときパワートランジスタから放熱フィンへの熱伝達を良好にさせるべく間に無機フィラーを含有したシリコーンゴムシート(放熱シート)やシリコーングリス(放熱グリス)を介在させることが行われている。
そのために、近年では、下記特許文献1にも示されているようにエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂と、窒化ホウ素粒子や窒化アルミニウム粒子などの熱伝導性に優れた無機フィラーとを含有する熱硬化性樹脂組成物によって熱伝導性に優れた接着シートなどと呼ばれるシート体を形成させて該接着シートで電子部品と放熱部材とを接着させることが行われている。
例えば、前記放熱シートであれば、通常、弾性変形を生じさせる必要があるために無機フィラーを高充填させるのにも限界があり、その熱伝導率は、高くても5W/(m・K)程度であるが、前記接着シートの場合には無機フィラーを50体積%以上含有させることも困難ではなく、5W/(m・K)を超え、場合によっては10W/(m・K)に及ぶような熱伝導率を有するものも作製することが容易である。
さらに、ヒートスプレッダがケーシングも兼用しているような電子部品で、動作時に該ヒートスプレッダに通電がなされるような非絶縁型の電子部品は、放熱部材との間に絶縁性を確保することが求められるが前記接着シートは電気絶縁性にも優れ、通常、その硬化物が1×1012Ω・cm以上もの体積抵抗率を有することからこの種の電子部品の放熱に特に適したものであるといえる。
このことから接着シートの形成に用いられるような熱硬化性樹脂組成物によって放熱部材の表面に接着剤層を形成させた接着剤層付放熱部材が半導体装置の形成に利用されるようになっている。
即ち、この種の接着剤層付放熱部材においては、接着剤層が放熱部材表面に保持された状態となっているために半導体装置を作製する作業において該接着剤層に割れ等のトラブルを生じるおそれが低く接着シートを単体で用いて半導体装置を作製する場合に比べて作業を容易にさせることができる。
このような放熱フィンとの接着に際しては、シート体を構成している熱硬化性樹脂が過度に熱硬化されてBステージ化が過度に進行してしまうと電子部品を接着させる際の接着力が失われてしまうおそれを有する。
しかし、放熱部材に良好に接着させるべく無機フィラーを高充填させたシート体を十分に軟化させるためには該シート体を高温にさせなければならないことからシート体を構成している熱硬化性樹脂の硬化反応を抑制させることが難しい。
即ち、良好なる放熱性を有しながらも電子部品との接着性に優れた接着剤層付放熱部材を得ることが難しくなってきており、電子部品の発する熱の放熱性に優れた半導体装置を得ることが難しくなってきている。
即ち、無機フィラーが高充填されたシート体を用いるような場合でも、放熱部材の温度を、予め所定の温度に加熱しておくことによってシート体の表面を良好な接着を実施可能な温度に素早く加熱させることができる。
しかも、シート体の他面側においては、冷却用部材による冷却が実施されることから、電子部品との接着に用いられる側においてBステージ化が過度に進行することを抑制させることができる。
従って、本発明によれば、良好なる放熱性を有しながらも電子部品との接着性に優れた接着剤層付放熱部材を提供することができ、電子部品の発する熱の放熱性に優れた半導体装置を提供することができる。
まず、接着剤層付放熱部材、及び、電子部品を示した概略斜視図である図1を参照しつつ本実施形態の接着剤層付放熱部材の利用方法について説明する。
なお、図にも示されているように、ここでは半導体装置の形成に用いる電子部品として、扁平な直方体形状を有する本体部20を備えた電子部品2を例示して該電子部品2の冷却に用いる接着剤層付放熱部材1について説明する。
また、該電子部品2は、3本の板状の主端子21aと10本の針状の制御端子21bとを前記本体部20の4つの側面部の内の互いに対向する2つの側面から突出させており、該端子21a,21bを前記本体部20の厚み方向略中央部において外向きに突出させている。
また、本実施形態の電子部品2は、本体内の半導体素子の熱を外部に放熱するための放熱板22が備えられており、該電子部品2の底面部2bの中央部において前記放熱板22の下面側を露出させているとともに該放熱板22の上面側は、前記半導体素子(図示せず)が搭載されているとともに樹脂モールドが施されている。
即ち、本実施形態の電子部品2は、動作時においては前記放熱板22が通電状態となる非絶縁型のものである。
そして、本実施形態の接着剤層付放熱部材1は、前記放熱部材10に、前記電子部品2の輪郭形状よりも一回り大きなシート体11aを接着させることによって形成されている。
なお、前記放熱部材10は、平板ブロック状に形成されたものであっても良く、内部を中空状とし該中空領域に作動液が減圧封入されたヒートパイプ機能を有するものであっても良い。
なお、優れた熱伝導性、及び、接着性をこれらの接着剤層11に付与する上において、前記シート体11aを構成する前記熱硬化性樹脂組成物には、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、及び、無機フィラーを含有させ、該無機フィラーを40体積%〜70体積%含有させることが好ましい。
なかでも、トリフェニルメタン型フェノール樹脂は、耐熱性において有利であり、フェノールアラルキル樹脂は、放熱部材や電子部品との間に良好なる接着性を発揮させ得る上において好ましく用いられ得る。
該硬化剤としては、例えば、ジアミノジフェニルスルホン、ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、トリエチレンテトラミンなどのアミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤などを用いることができる。
前記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール類や、トリフェニルフォスフェイト(TPP)、三フッ化ホウ素モノエチルアミンなどのアミン系硬化促進剤が挙げられる。
これらの中でも、熱伝導性に優れる窒化ホウ素粒子が好ましく用いられ得る。
特に、六角板状の一次粒子を複数凝集一体化させて20μm〜100μm程度の大きさの凝集粒子の形態となった窒化ホウ素粒子を採用することが好ましい。
ただし、窒化ホウ素粒子は、エポキシ樹脂やフェノール樹脂との間に相互作用を発揮させるのに有効な表面官能基を殆ど有しておらず、接着剤層に優れた凝集破壊強度を発揮させるためには、アルミナ粒子、シリカ粒子を併用することが好ましい。
なお、アルミナ粒子やシリカ粒子は、その表面官能基を利用すべく熱硬化性樹脂組成物に含有させることから粒径が細かい方が好ましい。
また、前記金属酸化物粒子は、メジアン径が0.5〜10μmのものが特に好ましい。
このメジアン径については、レーザー回折散乱式粒度分布計による測定によって求めることができる。
上記のようにして窒化ホウ素粒子と金属酸化物粒子とを含有させることにより、熱硬化後における接着剤層の熱伝導率を、例えば、4.5W/mK以上とすることができ、3oz(105μm)の厚みの電解銅箔のマット面との間の接着力(90度ピール強度)を5.7N/cm以上とすることができる。
なお、窒化ホウ素の一次粒子は、通常、前記のように六角板状となっており、前記凝集粒子はこの一次粒子が複数集合した球状に近い形状を示していることから、当該接着剤層の断面を顕微鏡観察するなどすれば、窒化ホウ素粒子が凝集粒子として含有されているかどうかを容易に判別することができる。
上記のようにこの凝集粒子は、良好なる伝熱パスを形成させるのに有効な成分であり、接着剤層11に優れた熱伝導性を発揮させ得る点において含有させる窒化ホウ素粒子の内、50質量%以上を凝集粒子の状態で含有させることが好ましい。
さらに、前記熱硬化性樹脂組成物には、分散剤、粘着性付与剤、老化防止剤、酸化防止剤、加工助剤、安定剤、消泡剤、難燃剤、増粘剤、顔料などといった樹脂製品に一般に用いられる配合薬品を適宜含有させることができる。
a)コーティング液作製工程
前記エポキシ樹脂や前記フェノール樹脂を溶解可能な有機溶媒に所望の濃度となるようにエポキシ樹脂とフェノール樹脂とを溶解させるとともにこの樹脂溶液に前記窒化ホウ素粒子や前記金属酸化物粒子等を分散させてコーティング液を作製するコーティング液作製工程、
b)コーティング工程
マット加工された樹脂フィルムや電解銅箔などを転写用シートとして用い、該転写用シートのマット面に前記コーティング液をコーティングするコーティング工程、
c)乾燥工程
前記コーティング液がコーティングされた転写用シートを乾燥炉に導入して前記有機溶媒を除去し前記コーティング液の乾燥被膜を転写用シート上に形成させる乾燥工程、
d)積層工程
前記乾燥被膜の形成された転写用シートを2枚用意し、前記乾燥被膜が内側になるように重ね合わせ、熱プレスしてこれらの乾燥被膜を積層一体化させて、2つの乾燥被膜が積層されてなるシート体が2枚の転写用シートの間に挟まれた積層シートを形成させる積層工程、
e)外形加工工程
前記積層シートを、前記電子部品2の輪郭形状よりも一回り大きな形状に切断した後に転写用シートを取り除き接着剤層形成用のシート体11aを作製する外形加工工程、
f)予熱工程
前記放熱部材10の基板部10aの表面温度が、前記シート体11aに表面粘着性を発揮させ得る温度となるように放熱部材10を加熱する予熱工程、
g)冷却プレス工程
前記予熱工程によって所定温度に加熱された放熱部材を前記シート体の表面に当接させて該表面に接着性を発揮させるとともに裏面側から板状の冷却用部材(冷却板)を当接させて前記シート体を冷却し、該冷却板と前記放熱部材との間に前記シート体を挟んで加圧することにより該シート体を前記放熱部材に接着させて前記接着剤層を形成させる冷却プレス工程。
ただし、コーティング液に過度にせん断が加えられると窒化ホウ素の凝集粒子を破砕してしまうおそれを有することから、そのようなことが起こり難い装置を選択することが好ましい。
また、装置の運転条件としても凝集粒子の破砕が生じないように調整することが好ましい。
前記積層工程は、乾燥被膜を2枚重ねとして、厚み方向に貫通する欠陥を形成させないようにする上においても有効なものではあるが、上記の空隙部を原因としたボイドなどの欠陥が接着剤層に形成されることを抑制させる上においても有効となる。
また、窒化ホウ素粒子どうしを接近させて、特に凝集粒子を主体とした伝熱パスを形成させるのにも該積層工程は有効なものであるといえる。
また、後段の熱プレス工程においても同種の効果を期待することができるため、この積層工程における熱プレスは仮接着程度のものであってもよい。
当該予熱工程は、次段の冷却プレス工程における冷却性を考慮すると上記のように必要箇所のみを必要温度に加熱することが好ましいものではあるが、局所的な加熱によって放熱部材に歪が生じるようなおそれを有する場合には、放熱部材全体を必要温度にまで加熱してもよい。
また、この冷却プレス工程は、通常、シート体に0.5MPa〜10MPaの圧力が0.5分(30秒)〜30分の時間作用するように実施すれば良い。
例えば、フッソ樹脂コートされたアルミニウム箔などをシート体11aと冷却板310との間に介挿させた状態で冷却プレスを実施してもよい。
また、上記においては、シート体11aの冷却に板状の冷却部材を用いる場合を例示しているが、当該冷却プレス工程には、板状以外のブロック状などといった種々の形状を有する冷却部材を前記冷却板に代えて用いうる。
一方で、本実施形態での好ましい態様においては、含有させる樹脂成分としてエポキシ樹脂とフェノール樹脂とが採用されている熱硬化性樹脂組成物によって前記シート体が形成されることから、このシート体を加熱しすぎると多くのエポキシ樹脂とフェノール樹脂樹脂とが反応を起こし、エポキシ基やフェノール性水酸基とが消費されてしまい電子部品との接着に際して接着力を発揮させることが難しくなるおそれを有する。
即ち、放熱部材の予熱温度を高温に設定しても、冷却板をそれに見合う冷却温度とすることで前記シート体によって形成される接着剤層の表面を電子部品との接着性に優れたものとすることができる。
また、放熱部材は、通常、金属製やセラミックス製であるために、通常、200℃〜300℃程度に加熱しただけでは、問題を生じるおそれは低く、放熱部材をこのような温度に加熱してシート体との接着に要する時間の短縮を図ることも可能である。
従って、作業効率の観点からは、電子部品への接着条件を一定化させることが好ましく、熱プレス工程後、電子部品との接着前に、接着剤層の硬化度合いを判定し、その度合いを調整する硬化度調整工程をさらに設けることが好ましい。
より詳しくは、AOTF−NIRによって、4611cm-1近傍に出現する芳香族由来の吸収ピークと4525cm-1近傍に出現するエポキシ基由来の吸収ピークとの強度比で硬化の進行度合いを判定することが好ましい。
2 電子部品
10 放熱部材
10a 基板部
10b フィン部
11 接着剤層
11a シート体
22 放熱板
Claims (4)
- 半導体素子を備えた電子部品と該電子部品が発する熱を放熱するための放熱部材とが無機フィラーを含有する熱硬化性樹脂組成物を硬化させた硬化物によって接着されている半導体装置の形成に用いられ、前記放熱部材の表面に前記電子部品を接着させるための接着剤層が前記熱硬化性樹脂組成物で形成されている接着剤層付放熱部材を製造する接着剤層付放熱部材の製造方法であって、
前記熱硬化性樹脂組成物で作製されたシート体を一面側から冷却用部材で冷却しつつ該冷却用部材で冷却している側とは逆側の他面側に予め加熱された放熱部材を当接させ、該放熱部材の熱でシート体の表面に接着性を発揮させるとともに前記冷却用部材と前記放熱部材との間に前記シート体を挟んで加圧することにより前記シート体を前記放熱部材に接着させて前記接着剤層を形成させることを特徴とする接着剤層付放熱部材の製造方法。 - 前記熱硬化性樹脂組成物には、エポキシ樹脂とフェノール樹脂とが含有され、前記無機フィラーが40体積%〜70体積%含有されており、該無機フィラーとして窒化ホウ素粒子が含有されている請求項1記載の接着剤層付放熱部材の製造方法。
- 前記無機フィラーとして、アルミナ粒子及びシリカ粒子の少なくとも一方からなる金属酸化物粒子がさらに含有されており、該金属酸化物粒子と前記窒化ホウ素粒子との体積比率が10:90〜50:50で、前記金属酸化物粒子のメジアン径が0.5μm〜30μmである請求項1又は2記載の接着剤層付放熱部材の製造方法。
- 半導体素子を備えた電子部品と該電子部品が発する熱を放熱するための放熱部材とが無機フィラーを含有する熱硬化性樹脂組成物を硬化させた硬化物によって接着されている半導体装置を製造する半導体装置の製造方法であって、
請求項1乃至3の何れか1項に記載の接着剤層付放熱部材の製造方法によって得られた接着剤層付放熱部材と前記電子部品とを用い、前記接着剤層付放熱部材を加熱して該接着剤層付放熱部材の接着剤層の表面に前記電子部品を接着させるとともに該接着剤層を構成している前記熱硬化性樹脂組成物を熱硬化させることを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012250488A JP6059964B2 (ja) | 2012-11-14 | 2012-11-14 | 接着剤層付放熱部材の製造方法、及び、半導体装置の製造方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2014099505A true JP2014099505A (ja) | 2014-05-29 |
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