JP2005062164A - キャリアおよびこれを具備する分析装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料が載置されかつガイド溝が形成される試料ホルダー31と、試料ホルダー31が搭載されてガイド溝と雌雄結合するガイドレールが形成された試料収容部11と、試料収容部11を上下に昇降させて試料ホルダー31を引き込み/排出する試料昇降部19とを具備し、試料昇降部19は、試料収容部11を上下に駆動させる駆動部25および、駆動部25が内設されかつ密閉状態で真空を保持する真空チャンバを含むキャリア10。これにより、水分を遮蔽して精密な分析を可能にする。
【選択図】図3
Description
11 試料収容部
15 ハンドル
19 試料昇降部
20 試料導入部
21 スクリュー
23 回転軸
25 駆動部
27 ローディングチャンバ
28 ガイドバー
31 試料ホルダー
Claims (16)
- 試料が載置されかつガイド溝が形成される試料ホルダーと、
前記試料ホルダーが搭載されて前記ガイド溝と雌雄結合するガイドレールが形成された試料収容部と、
前記試料収容部を上下に昇降させて前記試料ホルダーを引き込みまたは排出する試料昇降部とを具備し、
前記試料昇降部は、
前記試料収容部を上下に駆動させる駆動部および、前記駆動部が内設されかつ密閉状態で真空を保持する真空チャンバを有することを特徴とするキャリア。 - 前記試料収容部は前記試料ホルダーの移動を遮断する固定ピンを具備することを特徴とする請求項1に記載のキャリア。
- 前記固定ピンは前記試料収容部の底面から上方に突設されたことを特徴とする請求項2に記載のキャリア。
- 前記ガイドレールは前記試料収容部の両側面から中心方向に突設されたことを特徴とする請求項1に記載のキャリア。
- 前記ガイドレールは少なくとも一つのリブで形成されたことを特徴とする請求項1に記載のキャリア。
- 前記試料ホルダーは、
前記ガイド溝が形成された載置台と、
前記載置台の上部に連結されたクランパーと、
を有することを特徴とする請求項1に記載のキャリア。 - 前記駆動部は、
前記試料収容部を上下方向に移動させるスクリューと、
前記スクリューを回転させる回転軸と、
前記回転軸と連結されて回転力を加えるハンドルと、
を有することを特徴とする請求項1に記載のキャリア。 - 前記試料昇降部は外部装置に結合されて固定させるロック部をさらに具備することを特徴とする請求項1に記載のキャリア。
- 分析チャンバ内部に試料を移動させる試料マウント部と、前記試料に電子ビームを照射する照明部と、前記試料から発生する電子を検出して前記試料の表面を分析する検出部とを具備する電子分析装置において、
前記試料マウント部は、
前記試料が載置される試料ホルダーを保管して移送するキャリアと、
前記分析チャンバに着脱自在に装着され、前記キャリアと結合されて前記試料ホルダーを前記チャンバ内部にロードディングするローディングチャンバと、
前記ローディングチャンバを貫通して前記試料ホルダーを前記ローディングチャンバ内部に移動させるガイドバーとを具備し、
前記キャリアは、
前記試料が載置されてガイド溝が形成された試料ホルダーと、
前記試料ホルダーが搭載され、前記ガイド溝と雌雄結合するガイドレールが形成された試料収容部と、
前記試料収容部を上下に昇降させて前記試料ホルダーを引き込みまたは排出する試料昇降部とを具備し、
前記試料昇降部は、
前記試料収容部を上下に駆動させる駆動部と、
前記駆動部が内設されて密閉状態で真空を保持する真空チャンバと、
を有することを特徴とする分析装置。 - 前記試料収容部は前記試料ホルダーの移動を遮断する固定ピンを具備することを特徴とする請求項9に記載の分析装置。
- 前記固定ピンは前記試料収容部の底面から突設されたことを特徴とする請求項9に記載の分析装置。
- 前記ガイドレールは前記試料収容部の両側面から中心方向に突設されたことを特徴とする請求項9に記載の分析装置。
- 前記ガイドレールは少なくとも一つのリブで形成されたことを特徴とする請求項9に記載の分析装置。
- 前記試料ホルダーは、
前記ガイド溝が形成された載置台と、
前記載置台の上部に連結されたクランパーと、
を有することを特徴とする請求項9に記載の分析装置。 - 前記駆動部は、
前記試料収容部を上下方向に移動させるスクリューと、
前記スクリューを回転させる回転軸と、
前記回転軸と連結されて回転力を加えるハンドルと、
を有することを特徴とする請求項9に記載の分析装置。 - 前記試料昇降部は外部装置に結合されて固定させるロック部をさらに具備することを特徴とする請求項9に記載の分析装置。
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