JP2005061879A

JP2005061879A - 抵抗測定装置

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Publication number: JP2005061879A
Application number: JP2003207957A
Authority: JP
Inventors: Tatsuya Sato; 佐藤　　達也; Masahiro Wakabayashi; 正弘若林
Original assignee: Hioki EE Corp
Current assignee: Hioki EE Corp
Priority date: 2003-08-20
Filing date: 2003-08-20
Publication date: 2005-03-10

Abstract

【課題】測定対象体の特定温度における抵抗値を短時間でしかも容易に測定し得る抵抗測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象体９の抵抗値を測定する抵抗測定部２と、温度に対応する電圧信号Ｓ２を入力すると共に、その電圧信号Ｓ２、および予め設定された電圧信号Ｓ２と温度との関係を示す特性データＤ３に基づいて測定対象体９の現在温度Ｔａを測定する温度測定部４と、抵抗値、現在温度Ｔａ、および測定対象体９の温度係数に基づいて特定温度における測定対象体９の補正後抵抗値Ｒｃｏを算出する演算制御部７とを備えている。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、測定対象体の抵抗値測定に際して、測定値を補正して特定の温度における測定値を取得可能に構成された抵抗測定装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この種の抵抗測定装置に類似する測定装置として、特開２０００−２７５２８６号公報において開示された抵抗率測定器が知られている。この抵抗率測定器は、電流計と、直流電流源と、電位差測定器と、４本の探針と、制御部とを備えて構成されている。この場合、制御部は、シリコンウェーハの抵抗率（温度補正前の抵抗率）を測定する抵抗率計測手段と、シリコンウェーハの温度を測定する温度計測手段と、異なる抵抗率に基づいてそれぞれ定められた多数の温度係数のデータを、温度係数のパラメータ・テーブルとして記憶する温度係数記憶手段と、温度補正係数を算出する温度補正係数算出手段と、温度補正された抵抗率を演算する補正抵抗率演算手段とを有している。
【０００３】
この抵抗率測定器では、抵抗率計測手段が、シリコンウェーハの温度補正前の抵抗率ρを測定する。次いで、ウェーハ温度測定室の中でシリコンウェーハを一定時間放置することで、シリコンウェーハ温度を室内温度と同じ温度にした後、温度計測手段がこのシリコンウェーハの温度を経時的に複数回測定すると共に、温度補正係数算出手段により温度補正係数βを求める。この温度補正係数βは、温度係数記憶手段から選出された温度係数αと、経時的な２つの温度データｔ１，ｔ２の差Δｔとを乗算することで得られる（α・Δｔ）。次いで、補正抵抗率演算手段が、この温度補正係数βと、経時的な温度データｔ１，ｔ２と、抵抗率ρとを、ρ′×ｔ２＝ρ×ｔ１×（１−β）に代入することにより温度補正後の抵抗率ρ′を求めている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２０００−２７５２８６号公報（第３−４頁、第１図）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、抵抗と抵抗率は比例関係にあるため、この従来の抵抗率測定器の構成を適用して抵抗測定装置を実現することができるが、その場合には、以下の問題点が生じる。すなわち、従来の抵抗率測定器では、上記したように、測定対象体であるシリコンウェーハをウェーハ温度測定室の中で一定時間放置して、シリコンウェーハの温度を室内温度と同じ温度にする構成のため、この構成を抵抗測定装置に適用した場合においても、測定対象体をウェーハ温度測定室と同様に構成された温度測定室に一定時間放置しなければならず、測定に長時間を要するという問題点がある。この場合、温度測定室に放置しないで温度センサを接触させて測定対象体の温度を測定する方法を採用することもできる。しかしながら、この方法を採用した場合であっても、温度センサを接触させるのに時間を要すると共にその作業が煩雑であるという問題点がある。
【０００６】
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、測定対象体の特定温度における抵抗値を短時間でしかも容易に測定し得る抵抗測定装置を提供することを主目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく請求項１記載の抵抗測定装置は、測定対象体の抵抗値を測定する抵抗測定部と、温度に対応する電気信号を入力すると共に、当該電気信号、および予め設定された当該電気信号と前記温度との関係を示す特性データに基づいて前記測定対象体の現在温度を測定する温度測定部と、前記抵抗値、前記現在温度、および前記測定対象体の温度係数に基づいて特定温度における前記測定対象体の抵抗値を算出する演算制御部とを備えている。
【０００８】
また、請求項２記載の抵抗測定装置は、請求項１記載の抵抗測定装置において、前記演算制御部は、前記特性データを装置外部から入力すると共に記憶部に記憶させる。
【０００９】
また、請求項３記載の抵抗測定装置は、請求項１または２記載の抵抗測定装置において、前記演算制御部は、異なる２つの温度における前記電気信号と当該２つの温度とを前記特性データとして用いる。
【００１０】
また、請求項４記載の抵抗測定装置は、請求項１から３のいずれかに記載の抵抗測定装置において、前記演算制御部は、予め設定された上限温度および下限温度と前記現在温度とを比較すると共に、その比較結果を表示部に表示させる。
【００１１】
さらに、請求項５記載の抵抗測定装置は、請求項１から４のいずれかに記載の抵抗測定装置において、前記温度に対応する電気信号として放射温度センサの出力信号が用いられている。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に係る抵抗測定装置の好適な実施の形態について説明する。
【００１３】
最初に、本発明の実施の形態に係る抵抗測定装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１４】
抵抗測定装置１は、図１に示すように、抵抗測定部２、温度センサ（一例として放射温度センサ）３、温度測定部４、操作部５、表示部６、演算制御部７および記憶部８を備え、測定対象体９の特定温度における補正後抵抗値Ｒｃｏを測定可能に構成されている。この抵抗測定装置１は、例えば、通電状態直後のトランスやコイルを評価する際に使用され、その際には、使用状態によってその現在温度Ｔａが変化するコイルの抵抗値を特定温度の補正後抵抗値Ｒｃｏに換算して測定する。したがって、この補正後抵抗値Ｒｃｏに基づいて、その現在温度に左右されない状態でコイルを評価することが可能となっている。
【００１５】
抵抗測定部２は、図１に示すように、制御信号Ｓ１を入力しているときには、測定対象体９の現在温度Ｔａにおける抵抗値Ｒｔを測定して出力する。一例として、抵抗測定部２は、図２に示すように、抵抗測定装置１のフロントパネル１ａに配設された一対の電流供給用コネクタ１０ａ，１０ｂに接続された電流プローブＰ１，Ｐ２を介して測定対象体９に定電流Ｉ（図１参照）を供給すると共に、フロントパネル１ａに配設された一対の電圧検出用コネクタ１１ａ，１１ｂに接続された電圧プローブＰ３，Ｐ４を介して測定対象体９に発生する電圧Ｖ（図１参照）を検出することにより、測定対象体９の抵抗値Ｒｔを四端子法に従って測定する。
【００１６】
放射温度センサ３は、非接触型の温度センサであって、測定対象体９の現在温度Ｔａに対応して電気量（一例として電圧値）がリアルタイムに変化する電気信号（一例として電圧信号）Ｓ２を連続して出力する。また、放射温度センサ３は、図２に示すように、抵抗測定装置１のフロントパネル１ａに配設されたセンサ用コネクタ（温度信号入力端子）１２を介して温度測定部４に交換（取り替え）可能に接続されている。つまり、このセンサ用コネクタ１２は、各種の温度センサを着脱自在に取り付けることが可能となっている。なお、放射温度センサ３の他の一例として、測定対象体９の現在温度Ｔａに対応してその電気量としての電流値が変化する電流信号を電気信号として出力する放射温度センサを採用することもできる。温度測定部４は、図１に示すように、Ａ／Ｄ変換回路４ａと演算回路４ｂとを備えている。この温度測定部４では、制御信号Ｓ３を入力しているときには、Ａ／Ｄ変換回路４ａが、入力した電圧信号Ｓ２の電圧値をディジタルデータＤｖに変換する。一方、演算回路４ｂは、演算制御部７から予め入力して内部メモリに記憶している電圧−温度変換用の特性データＤ３に基づいて、このディジタルデータＤｖに対応する温度、つまり測定対象体９の現在温度Ｔａを算出（測定）して出力する。具体的には、演算回路４ｂは、異なる２つの温度Ｔ１，Ｔ２において放射温度センサ３がそれぞれ出力する電圧信号Ｓ２の電圧値Ｖ１，Ｖ２を特性データＤ３として内部メモリ（図示せず）に記憶すると共に、図３に示すように、この２点（Ｖ１，Ｔ１）、（Ｖ２，Ｔ２）で規定される直線Ａ（電圧と温度との関係を示す特性直線：つまり特性データＤ３）に基づいて、ディジタルデータＤｖによって示される電圧値Ｖａに対応する現在温度Ｔａを算出する。
【００１７】
操作部５は、図２に示すように、抵抗測定装置１のフロントパネル１ａに配設されると共に、入力データ選択スイッチ、アップダウンスイッチ、設定スイッチ、測定開始スイッチおよび表示切替スイッチ（いずれも図示せず）を備え、各種データおよび命令を演算制御部７に出力可能に構成されている。この場合、操作部５は、特性データＤ３（温度Ｔ１，Ｔ２および電圧値Ｖ１，Ｖ２の各データ）、上限温度データＤ４、下限温度データＤ５、上限抵抗データＤ６、下限抵抗データＤ７、および温度係数データαのうちから入力データ選択スイッチの操作によって選択されたデータの各値をアップダウンスイッチの操作によって増減可能に構成されると共に、増減したデータの値を設定スイッチの操作によって確定可能に構成されている。また、操作部５は、上記の各データＤ３〜Ｄ７，αが確定されたときには、その各データＤ３〜Ｄ７，αを演算制御部７に出力する。また、操作部５は、測定開始スイッチおよび表示切替スイッチが操作されたときに、各スイッチに対応する命令を演算制御部７に出力する。
【００１８】
表示部６は、一例としてＬＣＤによって構成されて、入力した測定対象体９の補正後抵抗値Ｒｃｏを表示領域６ａに表示させる。また、表示部６は、上限温度データＤ４、下限温度データＤ５、上限抵抗データＤ６、および下限抵抗データＤ７を入力して表示領域６ｂ（図２参照）における所定の位置に表示させる。この際に、表示部６は、表示領域６ｂ（同図参照）に表示しているデータに合致する単位表示（℃またはΩ）を表示領域６ｃに表示させる。また、表示部６は、測定した現在温度Ｔａについての温度比較データＤ８または補正後抵抗値Ｒｃｏについての抵抗比較データＤ９を入力したときは、各データＤ８，Ｄ９の内容に応じて、オーバー表示６ｄ、範囲内表示６ｅおよびアンダー表示６ｆのいずれかを点灯させる。
【００１９】
演算制御部７は、記憶部８に記憶されている動作プログラムに従って作動して、操作部５から出力される各データα，Ｄ３〜Ｄ７の入力および記憶処理と、測定対象体９についての補正後抵抗値Ｒｃｏの測定処理と、測定した現在温度Ｔａおよび測定した補正後抵抗値Ｒｃｏに対する比較処理とを実施する。
【００２０】
記憶部８は、演算制御部７についての動作プログラム、および操作部５を介して入力された各データα，Ｄ３〜Ｄ７を記憶する。また、記憶部８には、測定対象体９の現在温度Ｔａと、その現在温度Ｔａにおける測定対象体９の抵抗値Ｒｔと、測定対象体９の温度係数データαとに基づいて、特定温度（例えば、２０℃）における測定対象体９の抵抗値（補正後抵抗値Ｒｃｏ）を算出するための下記の算出式が予め記憶されている。なお、下記の式において、αは、温度係数データαによって示される温度係数を意味する。
Ｒｃｏ＝Ｒｔ／（１＋α×（Ｔａ−２０））
【００２１】
次いで、抵抗測定装置１を用いた抵抗測定について説明する。
【００２２】
まず、操作部５の入力データ選択スイッチ、アップダウンスイッチおよび設定スイッチを操作することにより、特性データＤ３、温度係数データα、上限温度データＤ４、下限温度データＤ５、上限抵抗データＤ６、および下限抵抗データＤ７を演算制御部７に順次入力する。この場合、特性データＤ３として、使用する放射温度センサ３の温度−電圧特性を考慮して予め決定された温度Ｔ１，Ｔ２および電圧値Ｖ１，Ｖ２の各データを入力する。具体的には、図３に示すように、放射温度センサ３が０℃のときに出力する電圧値が０ボルトで、２００℃のときに出力する電圧値が２ボルトのときは、（Ｖ１，Ｔ１）＝（０，０）、および（Ｖ２，Ｔ２）＝（２，２００）を特性データＤ３として使用する。また、温度係数データαとして、測定対象体９の温度係数値を入力する。また、上限温度データＤ４および下限温度データＤ５として、抵抗測定中における測定対象体９が通常状態において達する温度範囲を想定して、この温度範囲の上限温度値および下限温度値をそれぞれ入力する。さらに、上限抵抗データＤ６および下限抵抗データＤ７は、測定した補正後抵抗値Ｒｃｏの良否を判別するための上限値および下限値をそれぞれ入力する。演算制御部７は、入力した各データα，Ｄ３〜Ｄ７を記憶部８に順次記憶させる（データの入力および記憶処理）。
【００２３】
また、演算制御部７は、記憶部８に記憶されている特性データＤ３を読み出して温度測定部４に出力する。この際に、温度測定部４では、演算回路４ｂが、入力した特性データＤ３を内部メモリ（図示せず）に記憶する。また、演算制御部７は、操作部５の表示切替スイッチの設定状態に応じて、表示部６の表示領域６ｂに、上限温度データＤ４および下限温度データＤ５によって示される各温度、または上限抵抗データＤ６および下限抵抗データＤ７によって示される各抵抗値を表示させる。この場合、演算制御部７は、表示領域６ｂに表示させたデータに合致する（対応する）単位表示を表示部６の表示領域６ｃに表示させる。具体的には、表示切替スイッチが温度データを表示させるように設定されているときは、演算制御部７は、図４に示すように、表示領域６ｂの上段に上限温度データＤ４によって示される温度を表示させると共に、その下段に下限温度データＤ５によって示される温度を表示させる。また、表示領域６ｃにはその上下の各段に温度の単位表示（℃）を表示させる。一方、表示切替スイッチが抵抗データを表示させるように設定されているときは、演算制御部７は、図５に示すように、表示領域６ｂの上段に上限抵抗データＤ６によって示される抵抗値を表示させると共に、その下段に下限抵抗データＤ７によって示される抵抗値を表示させる。また、表示領域６ｃにはその上下の各段に抵抗値の単位表示（Ω）を表示させる。
【００２４】
次いで、各プローブＰ１〜Ｐ４を測定対象体９に接続した後に、操作部５の測定開始スイッチを操作する。これにより、演算制御部７は、操作部５から出力される測定開始命令に従い、測定対象体９についての補正後抵抗値Ｒｃｏの測定処理を実施する。具体的には、まず、演算制御部７は、制御信号Ｓ１，Ｓ３を所定周期で出力することにより、抵抗測定部２に測定対象体９の抵抗値Ｒｔを繰り返し測定させると共に、温度測定部４に測定対象体９の現在温度Ｔａを繰り返し測定させる。また、演算制御部７は、抵抗測定部２から出力された抵抗値Ｒｔ、および温度測定部４によって算出された現在温度Ｔａを入力する都度、この抵抗値Ｒｔおよびこの現在温度Ｔａと、記憶部８から読み出した温度係数データαとを、記憶部８に記憶されている上記の算出式にそれぞれ代入することにより、測定対象体９の２０℃における抵抗値（補正後抵抗値Ｒｃｏ）を算出し、算出した抵抗値を記憶部８に記憶させると共に表示部６の表示領域６ａに表示させる。
【００２５】
また、演算制御部７は、測定した現在温度Ｔａおよび測定した補正後抵抗値Ｒｃｏに対する比較処理を実行する。具体的には、演算制御部７は、現在温度Ｔａを入力する都度、この現在温度Ｔａと、記憶部８に記憶されている上限温度データＤ４および下限温度データＤ５とを比較して、現在温度Ｔａが上限温度データＤ４および下限温度データＤ５で規定される温度範囲内にあるか、またはこの温度範囲を上回っている（オーバー状態）か、またはこの温度範囲を下回っている（アンダー状態）かを示す温度比較データＤ８を生成して記憶部８に記憶させる。また、演算制御部７は、補正後抵抗値Ｒｃｏを算出する都度、この補正後抵抗値Ｒｃｏと、記憶部８に記憶されている上限抵抗データＤ６および下限抵抗データＤ７とを比較して、補正後抵抗値Ｒｃｏが上限抵抗データＤ６および下限抵抗データＤ７で規定される抵抗範囲内にあるか、またはこの抵抗範囲を上回っている（オーバー状態）か、またはこの抵抗範囲を下回っている（アンダー状態）かを示す抵抗比較データＤ９を生成して記憶部８に記憶させる。さらに、演算制御部７は、操作部５の表示切替スイッチの設定状態に応じて、温度比較データＤ８または抵抗比較データＤ９の一方を記憶部８から読み出して表示部６に出力することにより、表示部６のオーバー表示６ｄ、範囲内表示６ｅおよびアンダー表示６ｆの内の対応する表示を点灯させる。
【００２６】
このように、この抵抗測定装置１では、抵抗測定部２が測定対象体９の現在温度Ｔａにおける抵抗値Ｒｔを測定し、放射温度センサ３が測定対象体９の現在温度Ｔａに応じてその電圧値がリアルタイムで変化する電圧信号Ｓ２を出力し、温度測定部４がこの電圧信号Ｓ２の電圧値を検出すると共に、この検出した電圧値、および放射温度センサ３に関する電圧信号Ｓ２の電圧値と温度との関係を示す特性データＤ３に基づいて測定対象体９の現在温度Ｔａを測定し、演算制御部７が、抵抗値Ｒｔ、現在温度Ｔａ、および温度係数データαに基づいて特定温度（２０℃）における測定対象体９の補正後抵抗値Ｒｃｏを算出することにより、測定対象体を温度測定室の中で一定時間放置してその測定対象体の温度を室内温度と同じ温度に設定する必要のある従来の測定装置の構成と比較して、測定対象体９の特定温度（２０℃）における補正後抵抗値Ｒｃｏを十分に短時間で測定することができる。また、放射温度センサ３によって非接触方式で測定することにより、接触方式で測定対象体９の温度を測定するのと比較して、測定対象体９の現在温度Ｔａを容易に測定することができる。
【００２７】
また、この抵抗測定装置１では、演算制御部７は、操作部５を介して装置外部から入力した特性データＤ３を記憶部８に記憶させると共に、記憶させたこの特性データＤ３を放射温度センサ３に関する特性データとして使用することにより、各種の放射温度センサを初めとして各種温度センサを使用することができる。すなわち、温度センサについての選択の自由度を高めることができる。したがって、測定対象体９に応じて温度センサを使い分けることができる結果、より多くの種類の測定対象体９についての補正後抵抗値Ｒｃｏを測定することができる。
【００２８】
また、この抵抗測定装置１では、演算制御部７が例えば放射温度センサ３の異なる２つの温度Ｔ１，Ｔ２における電圧信号Ｓ２の各電圧値Ｖ１，Ｖ２をその２つの温度Ｔ１，Ｔ２と共に特性データＤ３として使用することにより、少ないデータ数で測定対象体９の現在温度を算出（測定）することができる。また、特性データＤ３の入力に要する時間を十分に短縮することができる。
【００２９】
また、この抵抗測定装置１では、演算制御部７が、予め設定された上限温度データＤ４および下限温度データＤ５と現在温度Ｔａとを比較すると共に、その比較結果を表示部６に表示させることにより、放射温度センサ３が測定対象体９の温度を確実に測定しているか否かを確認することができるため、表示部６に表示された補正後抵抗値Ｒｃｏに誤りがあるか否かを確実かつ容易に判別することができる。また、放射温度センサ３が測定対象体９の温度を確実に測定していると考えられる状態において、測定対象体９の現在温度Ｔａが上限温度データＤ４を超えたときには、測定対象体９が通常状態から異常状態に移行したことを判別することができるため、その際には、測定を中止して測定対象体９の破損を未然に防止することもできる。
【００３０】
なお、本発明は、上記した実施の形態に限定されない。例えば、上述した抵抗測定装置１では、異なる２つの温度Ｔ１，Ｔ２において放射温度センサ３から出力される電圧信号Ｓ２の各電圧値Ｖ１，Ｖ２をその２つの温度Ｔ１，Ｔ２と共に特性データＤ３として使用する例について説明したが、３つ以上の温度において放射温度センサ３から出力される電圧信号Ｓ２の各電圧値をその温度と共に特性データとして使用することもできる。さらに、抵抗測定装置１では、上記したように、温度センサ３が抵抗測定装置１のセンサ用コネクタ１２を介して温度測定部４に交換可能に接続される構成であって、操作部５を介して温度センサ３の特性データＤ３を入力し得る構成のため、各種の温度センサを使用して測定対象体の特定温度における抵抗値を測定することができる。この場合、上記した放射温度センサ３のように、電圧と温度とが比例関係にある温度センサでは、放射温度センサ３と同様にして、異なる２つの温度において温度センサから出力される電圧信号の各電圧値をその２つの温度と共に特性データとして使用する。また、温度と抵抗値や電圧値との関係を示すデータテーブルを使用する構成を採用することもできる。このデータテーブルを使用する構成によれば、温度と電圧値との関係がリニア（直線性）の特性を示す放射温度センサのみならず、例えば図６に示されるように、温度と抵抗値との関係がノンリニア（非直線性）の特性を有する白金抵抗センサや、図７に示すように、温度と電圧値との関係がノンリニア（非直線性）の特性を有する熱電対Ｋセンサを採用することができる。なお、上記した各センサを含めて温度と電圧値（または抵抗値）との関係を所定の関係式で特定することが可能な温度センサであれば、この関係式を特性データとして記憶しておいて電圧（または抵抗値）から温度を算出する構成を採用することもできる。
【００３１】
また、上述した抵抗測定装置１では、測定対象体９の特定温度（２０℃）における補正後抵抗値Ｒｃｏを測定する例について説明したが、操作部５から特定温度を入力する構成を採用することによって、任意の特定温度における測定対象体９の補正後抵抗値Ｒｃｏを測定することもできる。また、上述した抵抗測定装置１では、予め設定された上限温度データＤ４および下限温度データＤ５と現在温度Ｔａとの比較結果を、表示部６のオーバー表示６ｄ、範囲内表示６ｅおよびアンダー表示６ｆのいずれかを点灯させることによって明確に表示する構成を採用したが、現在温度Ｔａが上限温度データＤ４および下限温度データＤ５で規定される温度範囲内にあるか否かを表示するだけで良い場合には、現在温度Ｔａが上限温度データＤ４および下限温度データＤ５で規定される温度範囲を外れたときに、表示部６の表示領域６ａに表示させている補正後抵抗値Ｒｃｏを点滅表示させてその旨を報知する構成を採用することもできる。同様にして、表示領域６ｂに上限温度データＤ４および下限温度データＤ５が表示されているときには、この各温度データＤ４，Ｄ５を点滅表示させてその旨を報知する構成を採用することもできる。また、上述した抵抗測定装置１では、抵抗測定部２が四端子法に従って測定対象体９の抵抗値Ｒｔを測定する例について説明したが、四端子法以外の方法に従って測定対象体９の抵抗値Ｒｔを測定する抵抗測定部２を採用することもできる。また、放射温度センサ３を複数個備えると共に、複数の測定対象体９に対する各データα，Ｄ３〜Ｄ７をそれぞれ入力可能な構成を採用することができる。この構成によれば、複数の測定対象体９についての補正後抵抗値Ｒｃｏを同時に測定することができる。
【００３２】
【発明の効果】
以上のように、請求項１記載の抵抗測定装置によれば、抵抗測定部が測定対象体の抵抗値を測定し、温度測定部が、例えば、放射温度センサによって検出された電気信号を入力すると共に、この電圧信号、およびこの電気信号と温度との関係を示す特性データに基づいて測定対象体の現在温度を算出して出力し、演算制御部が、抵抗値、現在温度および温度係数データに基づいて特定温度における測定対象体の抵抗値を算出することにより、測定対象体を温度測定室の中で一定時間放置してその測定対象体の温度を室内温度と同じ温度に設定する必要のある従来の測定装置の構成と比較して、測定対象体の特定温度における抵抗値を十分に短時間でしかも容易に測定することができる。
【００３３】
また、請求項２記載の抵抗測定装置によれば、演算制御部が特性データを装置外部から入力すると共に記憶部に記憶させることにより、この記憶部に記憶した特性データを用いることで、各種の温度センサを使用することができる。すなわち、電気信号を検出する温度センサについての選択の自由度を高めることができる。したがって、測定対象体に応じて温度センサを使い分けることができる結果、より多くの種類の測定対象体についての抵抗値を測定することができる。
【００３４】
また、請求項３記載の抵抗測定装置によれば、演算制御部が異なる２つの温度における電気信号とその２つの温度とを特性データとして用いることにより、少ないデータ数で測定対象体の現在温度を測定することができる。また、特性データの入力に要する時間を十分に短縮することができる。
【００３５】
また、請求項４記載の抵抗測定装置によれば、演算制御部が、予め設定された上限温度および下限温度と現在温度とを比較すると共に、その比較結果を表示部に表示させることにより、電気信号を検出する温度センサが測定対象体の温度を確実に測定しているか否かを確認することができるため、表示部に表示された抵抗値に誤りがあるか否かを確実かつ容易に判別することができる。また、その温度センサが測定対象体の温度を確実に測定していると考えられる状態において、測定対象体の現在温度が通常状態において想定される温度範囲を外れているときには、測定対象体が通常状態から異常状態に移行したと判断することができる結果、その際には、測定を中止して測定対象体の破損を未然に防止することもできる。
【００３６】
さらに、放射温度センサの出力信号を温度に対応する電気信号として用いることにより、放射温度センサが測定対象体の現在温度に応じてその電圧値がリアルタイムで変化する電圧信号を出力するため、測定対象体の特定温度における抵抗値を一層短時間で測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】抵抗測定装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】抵抗測定装置１のフロントパネル１ａを示す正面図である。
【図３】特性データＤ３を用いて、ディジタルデータＤｖから現在温度Ｔａを算出する方法を説明するための説明図である。
【図４】上限温度データＤ４および下限温度データＤ５を表示部６の表示領域６ｂに表示させ、その単位表示を表示部６の表示領域６ｃに表示させた際の表示画面図である。
【図５】上限抵抗データＤ６および下限抵抗データＤ７を表示部６の表示領域６ｂに表示させ、その単位表示を表示部６の表示領域６ｃに表示させた際の表示画面図である。
【図６】温度と白金抵抗センサの抵抗値との関係を示す特性図である。
【図７】温度と熱電対Ｋセンサの電圧値との関係を示す特性図である。
【符号の説明】
１抵抗測定装置
２抵抗測定部
３放射温度センサ
４温度測定部
５操作部
６表示部
７演算制御部
８記憶部
９測定対象体
Ｄ３特性データ
Ｒｃｏ補正後抵抗値
Ｒｔ抵抗値
Ｓ２電圧信号（電気信号）
Ｔａ現在温度
α 温度係数データ

Claims

測定対象体の抵抗値を測定する抵抗測定部と、
温度に対応する電気信号を入力すると共に、当該電気信号、および予め設定された当該電気信号と前記温度との関係を示す特性データに基づいて前記測定対象体の現在温度を測定する温度測定部と、
前記抵抗値、前記現在温度、および前記測定対象体の温度係数に基づいて特定温度における前記測定対象体の抵抗値を算出する演算制御部とを備えている抵抗測定装置。
前記演算制御部は、前記特性データを装置外部から入力すると共に記憶部に記憶させる請求項１記載の抵抗測定装置。
前記演算制御部は、異なる２つの温度における前記電気信号と当該２つの温度とを前記特性データとして用いる請求項１または２記載の抵抗測定装置。
前記演算制御部は、予め設定された上限温度および下限温度と前記現在温度とを比較すると共に、その比較結果を表示部に表示させる請求項１から３のいずれかに記載の抵抗測定装置。
前記温度に対応する電気信号は、放射温度センサの出力信号である請求項１から４のいずれかに記載の抵抗測定装置。