JP2005061647A - 空調システム - Google Patents

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Abstract

【課題】本発明は、半導体工場,液晶工場等のクリーンルームに好適する空調システムに関し、建設コストおよび運転コストを従来より大幅に低減することを目的とする。
【解決手段】予熱コイル,第1の水加湿器および温度調節装置を備えた外気調和機で空調された外気を建屋内に供給し、供給された空調空気を建屋内に循環させ、循環する空調空気を空調空気の循環路に配置される冷却装置および第2の水加湿器により冷却および加湿する空調システムにおいて、冷却装置への冷水が循環される蒸発器を備えた冷凍機と、冷凍機の凝縮器に冷却水を循環させる循環通路を備えた冷却塔と、循環通路における凝縮器から冷却塔に向けて冷却水を流す還り側通路からバイパスされ凝縮器で熱交換した冷却水を予熱コイルに循環させるバイパス通路とを有することを特徴とする。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、空調システムに係わり、特に、半導体工場,液晶工場等のクリーンルームに好適する空調システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、我が国においては、冬季や中間季は空気の温度や絶対湿度が低いため、この季節にクリーンルーム内に換気のために導入する外気は、外気調和機によって加熱加湿処理を行ない、また高温多湿の夏期は、外気を外気調和機で冷却除湿している。
【0003】
例えば、特開平9−79611号公報に開示される装置では、外気調和機内部の上流側に水噴霧器、下流側に蒸気噴出器が配置され、水噴霧器の前後に冬季に高温の媒体を通すコイルが配置されている。そして、外気が低温低湿の季節には、コイルによって外気を加熱し、さらに、水噴霧および蒸気噴出によって加湿をしている。
【0004】
【特許文献1】
特開平9−79611号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来の外気調和機では、加熱コイルによって水噴霧加湿が可能なように外気を加熱し、さらに、蒸気噴出によって加湿をしているため、ボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が必要になり、建設コストおよび運転コストが増大するという問題があった。
【0006】
本発明は、かかる従来の問題を解決するためになされたもので、建設コストおよび運転コストを従来より大幅に低減することができる空調システムを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
請求項1の空調システムは、予熱コイル,第1の水加湿器および温度調節装置を備えた外気調和機で空調された外気を建屋内に供給し、供給された空調空気を前記建屋内に循環させ、循環する前記空調空気を前記空調空気の循環路に配置される冷却装置および第2の水加湿器により冷却および加湿する空調システムにおいて、前記冷却装置への冷水が循環される蒸発器を備えた冷凍機と、前記冷凍機の凝縮器に冷却水を循環させる循環通路を備えた冷却塔と、前記循環通路における前記凝縮器から前記冷却塔に向けて前記冷却水を流す還り側通路からバイパスされ前記凝縮器で熱交換した冷却水を前記予熱コイルに循環させるバイパス通路とを有することを特徴とする。
【0008】
請求項2の空調システムは、請求項1記載の空調システムにおいて、前記循環通路の前記還り側通路における前記バイパス通路の往き側の分岐部と戻り側の分岐部との間に、前記循環通路の前記還り側通路における前記バイパス通路の戻り側の分岐部の下流側の冷却水の流量を一定にするための流量調整弁を設けてなることを特徴とする。
【0009】
請求項3の空調システムは、予熱コイル,第1の水加湿器および温度調節装置を備えた外気調和機で空調された外気を建屋内に供給し、供給された空調空気を前記建屋内に循環させ、循環する前記空調空気を前記空調空気の循環路に配置される冷却装置および第2の水加湿器により冷却および加湿する空調システムにおいて、前記冷却装置への冷水が循環される蒸発器を備えた冷凍機と、各種装置への往き側冷却水が貯留される低温側貯留槽と前記各種装置からの還り側冷却水が貯留される高温側貯留槽を備えた冷却水設備と、前記高温側貯留槽内の冷却水と前記冷却装置への前記冷水と熱交換させ前記低温側貯留槽に戻すための第1の熱交換器と、前記高温側貯留槽内の冷却水により前記予熱コイルを加熱し還り側の冷却水を前記低温側貯留槽または前記高温側貯留槽に戻す予熱コイル加熱手段とを有することを特徴とする。
【0010】
請求項4の空調システムは、請求項3記載の空調システムにおいて、前記予熱コイル加熱手段は、第2の熱交換器を介して前記予熱コイルを加熱することを特徴とする。
請求項5の空調システムは、請求項1ないし請求項4のいずれか1項記載の空調システムにおいて、前記第1の水加湿器が、空気に水を噴霧して水を回収するエアワッシャからなることを特徴とする。
【0011】
請求項6の空調システムは、請求項1ないし請求項5のいずれか1項記載の空調システムにおいて、前記温度調節装置に、再熱コイルが含まれ、前記再熱コイルが前記予熱コイルを加熱する冷却水を用いて加熱されることを特徴とする。
請求項7の空調システムは、請求項1ないし請求項6のいずれか1項記載の空調システムにおいて、前記第2の水加湿器が、空気に水を噴霧して水を回収するエアワッシャからなることを特徴とする。
【0012】
(作用)
請求項1の空調システムでは、外気が、外気調和機の第1の水加湿器により加湿され、また、建屋内を循環する空調空気が、第2の水加湿器により加湿される。
従って、外気調和機の第1の水加湿器による加湿負担が軽減され、室内の装置発熱を利用した循環空気の加湿を行うことで、外気調和機の予熱コイルによる加熱負担が軽減される。
【0013】
そこで、予熱コイルの温水源として、冷凍機の凝縮器で熱交換した比較的低温の冷却水を利用することが可能になる。
請求項2の空調システムでは、循環通路の還り側通路におけるバイパス通路の往き側の分岐部と戻り側の分岐部との間に、循環通路の還り側通路におけるバイパス通路の戻り側の分岐部の下流側の冷却水の流量を一定にするための流量調整弁が設けられ、凝縮器を通過する冷却水の流量が所定の値に維持される。そして、これにより冷凍機側の冷却サイクルを安定して維持することが可能になる。
【0014】
請求項3の空調システムでは、外気が、外気調和機の第1の水加湿器により加湿され、また、建屋内を循環する空調空気が、第2の水加湿器により加湿される。
従って、外気調和機の第1の水加湿器による加湿負担が低減され、室内の装置発熱を利用した循環空気の加湿を行うことで、これに伴って、外気調和機の予熱コイルによる加熱負担が軽減される。
【0015】
そこで、予熱コイルの温水源として、各種装置への冷却水設備の高温側貯留槽内の冷却水を利用することが可能になる。
請求項4の空調システムでは、第2の熱交換器により、予熱コイル側と冷却水設備側との冷却水が分断され、これにより冷却水設備の冷却水汚染が回避される。
請求項5の空調システムでは、第1の水加湿器が、空気に水を噴霧して水を回収するエアワッシャからなり、エアワッシャにより、外気から製品に悪影響のあるガス状の汚染物質が除去される。
【0016】
請求項6の空調システムでは、温度調節装置の再熱コイルが、予熱コイルを加熱する冷却水を用いて加熱される。
請求項7の空調システムでは、第2の水加湿器が、空気に水を噴霧して水を回収するエアワッシャからなり、エアワッシャにより、空調空気から製品に悪影響のあるガス状の汚染物質が除去される。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
(第1の実施形態)
図1は、本発明の空調システムの第1の実施形態を示している。
この実施形態の空調システムは、外気調和機11,クリーンルーム13,冷凍機15を有している。
【0018】
外気調和機11には、上流側から順に、予熱コイル17,第1の水加湿器19,冷却コイル21,再熱コイル23,送風機25およびHEPAフィルタ27が配置されている。
予熱コイル17は、例えば、冬季において外気を加熱し、例えば、コイル出口の空気温度を15℃程度の温度にする。
【0019】
第1の水加湿器19は、エアワッシャからなり、空気に水を噴霧してその水の一部を回収する。
すなわち、この第1の水加湿器19は、水を貯留する貯留槽29を備えており、貯留槽29の下流側に配管31が立設されている。配管31には、上下左右方向に間隔を置いてノズル33が配置されており、ポンプ35により貯留槽29内の水をノズル33から噴出することにより、空気に水が噴霧され、噴霧された水のうち空気中に加湿蒸気として入れなかった水が貯留槽29に回収される。そして、この回収水中には、水と空気が直接接触することで水中に溶解した空気中のガスのイオン等が吸収されている。従って、外気の加湿と同時に、外気中の汚染物質を確実に除去することができる。
【0020】
この第1の水加湿器19は、断熱加湿となるため、第1の水加湿器19の出口の空気温度を、例えば、5℃とすると、入口の空気温度は、冬外気温が0℃,45%の場合、例えば、14.5℃程度の比較的低温で良いことになる。
冷却コイル21と再熱コイル23により、温度調節装置が構成されており、この温度調節装置により、第1の水加湿器19を通過した空気の温度が、例えば、13℃程度の温度に維持される。
【0021】
すなわち、夏期等には、冷却コイル21による冷却が行われ、冬季等には、再熱コイル23による加熱が行われる。
冷却コイル21および再熱コイル23を通過した空気は、送風機25およびHEPAフィルタ27を通り、ダクト37により建屋のクリーンルーム13の床下空間39に、例えば、13℃の温度で供給される。
【0022】
すなわち、クリーンルーム13は、通気性のあるグレーチング床からなる床面41の下側に床下空間39を有しており、この床下空間39にダクト37からの空気が供給される。
クリーンルーム13の天井面43の上側には、天井空間45が形成されている。天井面43には、間隔を置いて開口部47が形成されており、この開口部47に、ファンフィルタユニット(FFU)49が配置されている。ファンフィルタユニット49は、ファン51とHEPAフィルタ等からなるフィルタ53を有している。
【0023】
クリーンルーム13の側方には、床下空間39と天井空間45を連通する風道55が形成されている。
この風道55には、冷却装置57および第2の水加湿器59が配置されている。
この実施形態では、冷却装置57は、冷却コイル61と流量調整弁75からなり、水の流量を調整してクリーンルーム13内の空調空気を冷却する。また、第2の水加湿器59は、水噴霧ノズルからなりノズル63から純水を噴霧することにより空調空気を加湿する。ノズル63は、配管65の先端に配管され、配管65には流量制御弁67が配置されている。
【0024】
そして、クリーンルーム13の床面41から床下空間39に流入した空調空気には、床下空間39でダクト37からの外部空気が混合される。外部空気が混合された、空調空気は、風道55を通る間に、冷却装置57により冷却され、第2の水噴霧ノズルにより加湿された後、天井空間45を通りファンフィルタユニット49からクリーンルーム13内に循環される。各種装置からの排気と室の隙間から外への漏れ空気量との合計が、外部空気の量と同じ量となる。
【0025】
冷却装置57の冷却コイル61には、冷凍機15の蒸発器15Aからの冷水を循環する循環通路69が接続されている。
すなわち、冷凍機15は、蒸発器15A,凝縮器15Bおよび圧縮器15Cを備えており、蒸発器15Aで冷却された、例えば、7℃程度の冷水が冷却コイル61に循環されている。
【0026】
冷却コイル61への往き側通路69aには、上流側から順に、冷水ポンプ71,冷水ヘッダ73および流量調整弁75が配置されている。また、冷却コイル61からの還り側通路69bには、冷水ヘッダ77が配置されている。
この実施形態では、外気調和機11の温度調節装置の冷却コイル21にも、冷凍機15の蒸発器15Aからの冷水を循環する循環通路77が配置されている。
【0027】
すなわち、温度調節装置の冷却コイル21には、冷凍機15の蒸発器15Aの往き側通路69aの冷水ヘッダ73を介して往き側通路77aが接続され、この往き側通路77aに流量調整弁79が配置されている。また、冷却コイル21の還り側通路77bが、冷凍機15の蒸発器15Aの還り側通路69bの冷水ヘッダ77に接続されている。
【0028】
冷凍機15の凝縮器15Bには、冷却塔81からの冷却水を循環する循環通路83が配置されている。
すなわち、凝縮器15Bには、冷却塔81からの往き側通路83aが接続され、この往き側通路83aには、冷却水ポンプ85が配置されている。また、冷却塔81への還り側通路83bには、流量調整弁87が配置されている。なお、この還り側通路83bの冷却水の温度は、例えば、冬季においては20℃程度であり、夏期においては、35℃程度である。さらに、往き側通路83aと還り側通路83bとが、冷却塔81の近傍において通路89により接続され、この通路89に流量調整弁91が配置されている。
【0029】
そして、この実施形態では、凝縮器15Bから冷却塔81への還り側通路83bからバイパスして、凝縮器15Bで熱交換した冷却水を予熱コイル17に循環させるバイパス通路93が配置されている。
バイパス通路の往き側通路93aは、流量調整弁87の上流側から分岐され、流量制御弁95を介して予熱コイル17に接続されている。バイパス通路93の還り側通路93bは、凝縮器15Bから冷却塔81への還り側通路83bに配置される流量調整弁87の下流側に接続されている。
【0030】
そして、この実施形態では、温度調節装置の再熱コイル23が、予熱コイル17を加熱する冷却水を用いて加熱されている。
すなわち、再熱コイル23には、バイパス通路93の往き側通路93aの流量制御弁95の上流から分岐する往き側通路97aが流量制御弁90を介して接続されている。また、再熱コイル23の還り側通路97bが、バイパス通路93の還り側通路93bに接続されている。
【0031】
上述した空調システムでは、外気が、外気調和機11の第1の水加湿器19により加湿され、また、クリーンルーム13内を循環する空調空気が、第2の水加湿器59により加湿される。これは、クリーンルーム13内の装置発熱が多く水加湿による蒸発潜熱による冷却熱量がかなりかせげるために可能になる。
【0032】
従って、外気調和機11の第1の水加湿器19による加湿負担が軽減され、これに伴い、外気調和機11の予熱コイル17による加熱負担が軽減される。
そこで、予熱コイル17の温水源として、冷凍機15の凝縮器15Bで熱交換した比較的低温の冷却水を利用することが可能になり、これによりボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が不要になり、運転コストを従来より大幅に低減することができる。
【0033】
また、上述した空調システムでは、冷却塔81への循環通路83の還り側通路83bに、還り側通路83bにおけるバイパス通路93の下流側の冷却水の流量を一定にするための流量調整弁87を設けたので、凝縮器15Bを通過する冷却水の流量を所定の値に維持することが可能になり、凝縮器15Bの熱交換効率を確実に維持することができる。
【0034】
そして、上述した空調システムでは、第1の水加湿器19にエアワッシャを用いたので、外気から汚染物質を確実に除去することができる。
また、上述した空調システムでは、温度調節装置の再熱コイル23を、予熱コイル17を加熱する冷却水を用いて加熱するようにしたので、運転コストをより低減することができる。
【0035】
また、加熱,加湿に蒸気を使用しないので、蒸気を発生させるボイラー設備を不要にすることができ、建設コストを低減することができる。
(第2の実施形態)
図2は、本発明の空調システムの第2の実施形態の要部の構造を示している。
なお、この実施形態において第1の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
【0036】
この実施形態の空調システムでは、クリーンルーム13の風道55に、室内側ワッシャ装置101が配置されている。
この室内側ワッシャ装置101は、装置本体103の上端の出口部にファン105を配置し、装置本体103の上部に冷却コイル107を、装置本体103の下部に第2の水加湿器であるエアワッシャ109を配置して構成されている。
【0037】
エアワッシャ109は、空気に水を噴霧して水を回収する。
このエアワッシャ109は、純水を貯留する貯留槽111を備えており、貯留槽111に配管113が立設されている。配管113には、上下左右方向に間隔を置いてノズル115が配置されており、循環水ポンプ117により貯留槽111内の水をノズル115から噴出することにより、空気に水が噴霧され、噴霧された水が貯留槽111に回収される。水と空気が直接接触することで水中に溶解した空気中のガスのイオン等が吸収されている。従って、空調空気の加湿と同時に、空調空気中の汚染物質を確実に除去することができる。
【0038】
冷却コイル107には、第1の実施形態と同様に、冷凍機15の蒸発器15Aからの冷水を循環する循環通路69が接続されている。
この実施形態においても第1の実施形態と同様の効果を得ることができるが、この実施形態では、第2の水加湿器にエアワッシャ109を用いたので、空調空気から汚染物質を確実に除去することができる。
【0039】
(第3の実施形態)
図3は、本発明の空調システムの第3の実施形態を示している。
なお、この実施形態において第1の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この実施形態の空調システムでは、設備内の各種装置に冷却水を供給するための冷却水設備121が、外気調和機11の予熱コイル17の加熱に使用される。
【0040】
すなわち、通常、このような冷却水設備121は、低温側貯留槽123と高温側貯留槽125とを備えている。
低温側貯留槽123内の冷却水は、例えば、23℃程度の温度とされ、ポンプ127の配置される往き側通路129aからヘッダ131を介して、各種装置に供給される。一方、高温側貯留槽125の冷却水は、例えば、28℃程度の温度とされ、各種装置からの冷却水が、ヘッダ133を介して、還り側通路129bから戻される。
【0041】
ヘッダ131とヘッダ133は、連通路135により連通され、連通路135には、圧力調整弁137が配置されている。
この実施形態では、高温側貯留槽125内の冷却水が第1の熱交換器139を介して冷却され、低温側貯留槽123に戻される。
すなわち、冷凍機15の蒸発器15Aで冷却された冷水の往き側通路69aおよび還り側通路69bに配置されるヘッダ73,77から第2の往き側通路141aおよび第2の還り側通路141bが形成され、第2の往き側通路141aおよび第2の還り側通路141bが第1の熱交換器139の一次側に接続されている。
【0042】
一方、第1の熱交換器139の二次側に、高温側貯留槽125内に開口する往き側通路143aが接続され、また、低温側貯留槽123内に開口する還り側通路143bが接続されている。還り側通路143bには、ポンプ145が配置されている。
そして、予熱コイル17を加熱する予熱コイル加熱手段147が配置されている。
【0043】
すなわち、予熱コイル17の入口側に、高温側貯留槽125内に開口する往き側通路149aが接続され、また、出口側に低温側貯留槽123内に開口する還り側通路149bが接続されている。往き側通路149aには、送水ポンプ151および流量制御弁153が配置されている。
この実施形態の空調システムでは、第1の実施形態と同様に、外気が、外気調和機11の第1の水加湿器19により加湿され、また、クリーンルーム13内を循環する空調空気が、第2の水加湿器21により加湿される。
【0044】
従って、外気調和機11の第1の水加湿器19による加湿負担が軽減され、これに伴い、外気調和機11の予熱コイル17による加熱負担が軽減される。
そこで、予熱コイル17の温水源として、冷却水設備121の高温側貯留槽125内の冷却水を利用することが可能になり、これによりボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が不要になり、運転コストを従来より大幅に低減することができる。
【0045】
また、加熱,加湿に蒸気を使用しないので、蒸気を発生させるボイラー設備を不要にすることができ、建設コストを低減することができる。
なお、この実施形態では、予熱コイル17の出口側を低温側貯留槽123に開口した例について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、例えば、予熱コイル17の出口側を高温側貯留槽125に開口してもよい。
【0046】
(第4の実施形態)
図4は、本発明の空調システムの第4の実施形態の要部の構造を示している。なお、この実施形態において第3の実施形態と同一の部材には、同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
この実施形態の空調システムでは、第3の実施形態と同様に、設備内の各種装置に冷却水を供給するための冷却水設備121が、外気調和機11の予熱コイル17の加熱に使用される。
【0047】
そして、この実施形態では、予熱コイル17を加熱する予熱コイル加熱手段155が、第2の熱交換器157を介して予熱コイル17を加熱するように構成されている。
すなわち、高温側貯留槽125内に開口する往き側通路159aと、低温側貯留槽123内に開口する還り側通路159bが第2の熱交換器157の一次側に接続されている。また、第2の熱交換器157の二次側には、予熱コイル17の入口側および出口側に接続される往き側通路161aおよび還り側通路161bが接続されている。往き側通路161aには、送水二次ポンプ163および流量制御弁153が配置されている。
【0048】
この実施形態の空調システムにおいても第3の実施形態と同様な効果を得ることができるが、この実施形態では、第2の熱交換器157により、予熱コイル17側と冷却水設備121側との冷却水が分断されるため、冷却水設備の冷却水の水質の劣化を確実に防止することができる。
なお、この実施形態では、第2の熱交換器157の一次側の還り側通路159bの出口側を低温側貯留槽123に開口した例について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、例えば、高温側貯留槽125に開口してもよい。
【0049】
【発明の効果】
以上述べたように、請求項1の空調システムでは、予熱コイルの温水源として、冷凍機の凝縮器で熱交換した比較的低温の冷却水を利用することが可能になるため、ボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が不要になり、建設コストおよび運転コストを従来より大幅に低減することができる。
【0050】
請求項2の空調システムでは、循環通路の還り側通路に、還り側通路におけるバイパス通路の下流側の冷却水の流量を一定にするための流量調整弁を設けたので、凝縮器を通過する冷却水の流量を所定の値に維持することが可能になり、凝縮器の熱交換効率を確実に維持することができる。
請求項3の空調システムでは、予熱コイルの温水源として、冷却水設備の高温側貯留槽内の冷却水を利用することが可能になるため、ボイラー等の加熱および加湿を行うための設備が不要になり、建設コストおよび運転コストを従来より大幅に低減することができる。
【0051】
請求項4の空調システムでは、第2の熱交換器により、予熱コイル側と冷却水設備側との冷却水が分断されるため、冷却水設備の冷却水の水質の劣化を確実に防止することができる。
請求項5の空調システムでは、第1の水加湿器にエアワッシャを用いたので、外気から汚染物質を確実に除去することができる。
【0052】
請求項6の空調システムでは、温度調節装置の再熱コイルを、予熱コイルを加熱する冷却水を用いて加熱するようにしたので、運転コストをより低減することができる。
請求項7の空調システムでは、第2の水加湿器にエアワッシャを用いたので、空調空気から汚染物質を確実に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の空調システムの第1の実施形態を示す配管系統図である。
【図2】本発明の空調システムの第2の実施形態の要部を示す配管系統図である。
【図3】本発明の空調システムの第3の実施形態を示す配管系統図である。
【図4】本発明の空調システムの第4の実施形態の要部を示す配管系統図である。
【符号の説明】
11 外気調和機
13 クリーンルーム
15 冷凍機
15A 蒸発器
15B 凝縮器
17 予熱コイル
19 第1の水加湿器
21 冷却コイル
23 再熱コイル
57 冷却装置
59 第2の水加湿器
81 冷却塔
123 低温側貯留槽
125 高温側貯留槽
139 第1の熱交換器
157 第2の熱交換器

Claims (7)

  1. 予熱コイル,第1の水加湿器および温度調節装置を備えた外気調和機で空調された外気を建屋内に供給し、供給された空調空気を前記建屋内に循環させ、循環する前記空調空気を前記空調空気の循環路に配置される冷却装置および第2の水加湿器により冷却および加湿する空調システムにおいて、
    前記冷却装置への冷水が循環される蒸発器を備えた冷凍機と、
    前記冷凍機の凝縮器に冷却水を循環させる循環通路を備えた冷却塔と、
    前記循環通路における前記凝縮器から前記冷却塔に向けて前記冷却水を流す還り側通路からバイパスされ前記凝縮器で熱交換した冷却水を前記予熱コイルに循環させるバイパス通路と、を有することを特徴とする空調システム。
  2. 請求項1記載の空調システムにおいて、
    前記循環通路の前記還り側通路における前記バイパス通路の往き側の分岐部と戻り側の分岐部との間に、前記循環通路の前記還り側通路における前記バイパス通路の戻り側の分岐部の下流側の冷却水の流量を一定にするための流量調整弁を設けてなることを特徴とする空調システム。
  3. 予熱コイル,第1の水加湿器および温度調節装置を備えた外気調和機で空調された外気を建屋内に供給し、供給された空調空気を前記建屋内に循環させ、循環する前記空調空気を前記空調空気の循環路に配置される冷却装置および第2の水加湿器により冷却および加湿する空調システムにおいて、
    前記冷却装置への冷水が循環される蒸発器を備えた冷凍機と、
    各種装置への往き側冷却水が貯留される低温側貯留槽と前記各種装置からの還り側冷却水が貯留される高温側貯留槽を備えた冷却水設備と、
    前記高温側貯留槽内の冷却水と前記冷却装置への前記冷水と熱交換させ前記低温側貯留槽に戻すための第1の熱交換器と、
    前記高温側貯留槽内の冷却水により前記予熱コイルを加熱し還り側の冷却水を前記低温側貯留槽または前記高温側貯留槽に戻す予熱コイル加熱手段と、を有することを特徴とする空調システム。
  4. 請求項3記載の空調システムにおいて、
    前記予熱コイル加熱手段は、第2の熱交換器を介して前記予熱コイルを加熱することを特徴とする空調システム。
  5. 請求項1ないし請求項4のいずれか1項記載の空調システムにおいて、
    前記第1の水加湿器が、空気に水を噴霧して空気中に含まれる汚染物質除去を行うエアワッシャからなることを特徴とする空調システム。
  6. 請求項1ないし請求項5のいずれか1項記載の空調システムにおいて、
    前記温度調節装置に、再熱コイルが含まれ、前記再熱コイルが前記予熱コイルを加熱する冷却水を用いて加熱されることを特徴とする空調システム。
  7. 請求項1ないし請求項6のいずれか1項記載の空調システムにおいて、
    前記第2の水加湿器が、空気に水を噴霧して水を回収するエアワッシャからなることを特徴とする空調システム。
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