JP2005055681A - レジストの現像装置及び現像方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 レジストの現像のパターニング精度を向上させ、信頼性の高い現像装置及び現像方法を提供する。
【解決手段】 レジストの現像装置は、現像液12の液面へ向けてテープ10を中心16aの回りにガイドする第1のガイド16と、液面から排出されたテープ10をガイドする第2のガイド20と、現像液12中で、テープ10を第2のガイド20へ向けてガイドし、液面の下降に応じて下降する第3のガイド18と、テープ10の側方から現像液12を吐出する吐出部22と、吐出部22を支持し第1のガイド16の中心16aを支点に回転移動可能な吐出部サポート30とを有する。テープ10は、第3のガイド18の下降に従って液面への進入角度が変化し、第3のガイド18の下降と吐出部サポート30の回転移動とが、吐出部22とテープ10との距離が一定になるように連動する。
【選択図】 図1
【解決手段】 レジストの現像装置は、現像液12の液面へ向けてテープ10を中心16aの回りにガイドする第1のガイド16と、液面から排出されたテープ10をガイドする第2のガイド20と、現像液12中で、テープ10を第2のガイド20へ向けてガイドし、液面の下降に応じて下降する第3のガイド18と、テープ10の側方から現像液12を吐出する吐出部22と、吐出部22を支持し第1のガイド16の中心16aを支点に回転移動可能な吐出部サポート30とを有する。テープ10は、第3のガイド18の下降に従って液面への進入角度が変化し、第3のガイド18の下降と吐出部サポート30の回転移動とが、吐出部22とテープ10との距離が一定になるように連動する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、レジストの現像装置及び現像方法に関する。
半導体の実装技術としてTCP(Tape Carrier Package)技術が開発されている。TCPは、半導体パッケージの多ピン化、リードピッチの縮小化、薄型、小型実装化の要求に応えるものとして多用されている。
TCPは多くの工程を経て製造される。すなわち、フレキシブルフィルムに銅などの金属箔を貼り付ける工程、フォトレジストを塗布する工程、回路パターンを露光する工程、回路パターンを現像する工程、回路パターンが残るようにエッチングする工程、フォトレジストを除去する工程、メッキする工程などを経て、TCPは製造される。
これらの工程のうち、回路パターンを現像する工程(現像工程)は、レジストの現像装置を用いて行われる方法が知られていた(例えば、特許文献1参照)。
従来の現像工程では、テープ(現像対象物、例えば、フレキシブルフィルム)が現像液中に入るとき、現像液の液面周辺の空気を巻き込み、テープの面に気泡が付着する可能性があった。テープに気泡が付着した状態で現像されると、現像の程度にバラツキが生じる。特に、回路パターンのピッチが細密な場合には、後のエッチング工程で、そのバラツキが原因で回路パターンの断線やショートが発生する。
国際公開第WO98/02786パンフレット
本発明の課題は、リソグラフィにおけるレジストの現像のパターニング精度を向上させ、信頼性の高い現像装置及び現像方法を提供することにある。
(1)本発明に係るレジストの現像装置は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像装置であって、
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第1のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第2のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第3のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第3のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第3のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とが、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動する。本発明によれば、現像液の液面の高さが下降すると、テープの現像液への浸漬時間を確保するように第3のガイドが下降する。第3のガイドが下降しテープの液面への進入角度が変化しても、吐出部とテープとの距離を一定に保つように、吐出部サポートが連動して移動する。つまり、現像液の液面の高さが如何に変化しようとも、吐出部とテープとの距離を一定にすることができる。そのため、吐出部の吐出孔より吐出された現像液が、確実にテープの気泡付着面の近傍を液流となって流れることができる。これにより、テープが第1のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
(2)本発明に係るレジストの現像装置は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像装置であって、
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第1のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第2のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第3のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第3のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有する。本発明によれば、吐出部サポートに設けられた位置決め部材を用い、吐出部サポートを位置決めすることによって、吐出部サポートに設けられた吐出部とテープとの距離を一定に調整することができる。これにより、テープが第1のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を、手動による距離調整が可能な簡単な構造で、確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
(3)このレジストの現像装置において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられていてもよい。
(4)このレジストの現像装置において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して露光されてなるフレキシブルフィルムであってもよい。
(5)本発明に係るレジストの現像方法は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第1のガイドによって、前記テープを前記現像液の液面へ向けて前記第1のガイドの中心点の回りにガイドすることと、
第2のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第3のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第3のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部サポートを、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることと、
を含み、
前記テープは、前記第3のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第3のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とを、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動させる。本発明によれば、現像液の液面の高さが下降すると、テープの現像液への浸漬時間を確保するように、第3のガイドを下降させる。第3のガイドが下降し、テープの液面への進入角度が変化しても、吐出部とテープとの距離を一定に保つよう、吐出部サポートを連動させて移動させる。つまり、現像液の液面の高さが如何に変化しようとも、吐出部とテープとの距離を一定にすることができる。そのため、吐出部の吐出孔より吐出された現像液が、確実にテープの気泡付着面の近傍を液流となって流れることができる。これにより、テープが第1のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像方法を提供することができる。
(6)本発明に係るレジストの現像方法は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第1のガイドによって、前記テープを、前記現像液の液面へ向けて前記第1のガイド中心点の回りにガイドすることと、
第2のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第3のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第3のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部の前記テープに対する位置を調整することと
を含み、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有し、
前記吐出部の調整は、前記位置決め部材を使用しながら、前記吐出部サポートを、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることで行う。本発明によれば、吐出部サポートに設けられた位置決め部材を用い、吐出部サポートを位置決めすることによって、吐出部サポートに設けられた吐出部とテープとの距離を一定に調整することができる。これにより、テープが第1のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を、手動による距離調整が可能な簡単な構造で、確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
(7)このレジストの現像方法において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられていてもよい。
(8)このレジストの現像方法において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して照射されてなるフレキシブルフィルムであってもよい。
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第1のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第2のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第3のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第3のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第3のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とが、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動する。本発明によれば、現像液の液面の高さが下降すると、テープの現像液への浸漬時間を確保するように第3のガイドが下降する。第3のガイドが下降しテープの液面への進入角度が変化しても、吐出部とテープとの距離を一定に保つように、吐出部サポートが連動して移動する。つまり、現像液の液面の高さが如何に変化しようとも、吐出部とテープとの距離を一定にすることができる。そのため、吐出部の吐出孔より吐出された現像液が、確実にテープの気泡付着面の近傍を液流となって流れることができる。これにより、テープが第1のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
(2)本発明に係るレジストの現像装置は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像装置であって、
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第1のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第2のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第3のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第3のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有する。本発明によれば、吐出部サポートに設けられた位置決め部材を用い、吐出部サポートを位置決めすることによって、吐出部サポートに設けられた吐出部とテープとの距離を一定に調整することができる。これにより、テープが第1のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を、手動による距離調整が可能な簡単な構造で、確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
(3)このレジストの現像装置において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられていてもよい。
(4)このレジストの現像装置において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して露光されてなるフレキシブルフィルムであってもよい。
(5)本発明に係るレジストの現像方法は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第1のガイドによって、前記テープを前記現像液の液面へ向けて前記第1のガイドの中心点の回りにガイドすることと、
第2のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第3のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第3のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部サポートを、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることと、
を含み、
前記テープは、前記第3のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第3のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とを、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動させる。本発明によれば、現像液の液面の高さが下降すると、テープの現像液への浸漬時間を確保するように、第3のガイドを下降させる。第3のガイドが下降し、テープの液面への進入角度が変化しても、吐出部とテープとの距離を一定に保つよう、吐出部サポートを連動させて移動させる。つまり、現像液の液面の高さが如何に変化しようとも、吐出部とテープとの距離を一定にすることができる。そのため、吐出部の吐出孔より吐出された現像液が、確実にテープの気泡付着面の近傍を液流となって流れることができる。これにより、テープが第1のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像方法を提供することができる。
(6)本発明に係るレジストの現像方法は、エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第1のガイドによって、前記テープを、前記現像液の液面へ向けて前記第1のガイド中心点の回りにガイドすることと、
第2のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第3のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第3のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部の前記テープに対する位置を調整することと
を含み、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有し、
前記吐出部の調整は、前記位置決め部材を使用しながら、前記吐出部サポートを、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることで行う。本発明によれば、吐出部サポートに設けられた位置決め部材を用い、吐出部サポートを位置決めすることによって、吐出部サポートに設けられた吐出部とテープとの距離を一定に調整することができる。これにより、テープが第1のガイドを経由して現像液の液面に入るときに、テープに付着した気泡を、手動による距離調整が可能な簡単な構造で、確実に除去することができる。つまり、気泡の影響のない安定した現像をすることができ、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
(7)このレジストの現像方法において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられていてもよい。
(8)このレジストの現像方法において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して照射されてなるフレキシブルフィルムであってもよい。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るレジストの現像装置を示す概略図である。図2は図1のA矢視図である。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係るレジストの現像装置を示す概略図である。図2は図1のA矢視図である。
現像装置は、テープ10(現像対象物)を現像液12に浸し、所望の回路パターンを現像する。現像装置は、現像液12を溜めた容器14を有してもよい。ここで、テープ10は、例えば、金属箔及びレジストが設けられ、所望の回路パターンに対応して照射されてなるフレキシブルフィルムであってもよい。テープ10は、TAB(Tape Automated Bonding)テープであってもよい。テープ10の基材は、一般に、ポリイミド系基材が使用されるが、ポリエステル系基材であってもよい。必要な回路パターンに応じてのエネルギーの照射は、紫外線露光若しくは電子ビーム照射であってもよい。
現像装置は、テープ10を搬送するための複数のガイドを有する。第1のガイド16は、現像液12の液面へ向けて、テープ10を第1のガイド16の中心点16aの回りにガイドする。第2のガイド20は、現像され、現像液12の液面から排出されるテープ10をガイドする。第3のガイド18は、現像液12中にて、テープ10を第2のガイド20へ向けてガイドする。ここで、ガイドは、例えば、丸棒であってもよいし、自在に回転するローラであってもよい。
テープ10は、供給方向から第1のガイド16を経て搬入され、連続的に現像液12中に入り、現像液12中の第3のガイド18を経て、第2のガイド20を経由して搬出される。テープ10が現像液12中に浸され連続的に搬送されるときに、現像処理が行われる。
現像装置は、容器14の現像液12中で、テープ10に対し側方から現像液12を吐出する吐出部22を有する。吐出部22は、現像液12を吐出する吐出孔24を有する。ここで、現像液12は、容器14の壁に設けられた取入口(図示しない)からポンプ(図示しない)を経由し加圧され、屈曲自在なホース32を経由して、吐出部22の吐出孔24から吐出される。吐出された現像液12は、テープ10の現像される面の近傍を加圧された液流となって流れる(図2参照)。
テープ10が連続的に現像液12内に搬入されるとき、液面に対し鋭角に進入する側のテープの面26に気泡が付着しやすい。本実施の形態では、図1及び図2で示すように、現像液12の液面に対し鋭角に進入するテープ10の面26側で、テープ10の搬送方向に対し略直角の方向に、テープ10の面26に沿って、現像液12が吐出される。このように、現像液12がテープ10に対し側方から吐出されると、現像液12は加圧された液流となってテープ10に付着した気泡を除去することができる。
現像液12の液流は、テープ10が現像液12に入る時に、テープ10の面に付着した気泡を除去する役割を担う。また、現像液12を撹拌させ、現像液12の濃度の安定及びテープ10に新鮮な現像液12を常に供給する役割をも担う。
本実施の形態では、上述の様に現像液12を吐出しているが、テープ10の鋭角に進入する面26と該面26の反対に位置する面28の双方に係るように、現像液12を吐出してもよい。又、テープ10の鋭角に進入する面26に直接若しくは斜めに当たるように、現像液12を吐出してもよい。気泡の付着状態によっては、ポンプ(図示しない)を操作し吐出部22の加圧レベルを調整してもよい。
吐出部22は、吐出部サポート30で支持されている。吐出部サポート30は、第1のガイド16の中心点16aを支点として、回転移動可能に設けられており、吐出部22の吐出孔24の位置をテープ10に対し最適な位置(距離)に設定することができる。
本実施の形態は、上述のように構成されており、以下にその作用について図3(A)〜図3(B)を用い説明する。図3(A)〜図3(B)は、本実施の形態であるレジストの現像装置の概略図である。
図3(A)で示されるように、テープ10は、第1のガイド16の中心点16aの回りでガイドされ、液面から現像液12中に搬入される。テープ10は、現像液中12に設けられている第3のガイド18で、第2のガイド20に向けてガイドされ、現像液12中を搬送される。その後、第2のガイド20を経て、排出される。テープ10が現像液12の液面に進入する時に、空気を巻き込み、気泡が付着しやすい。付着した気泡は、前述のように、吐出部22の吐出孔24から吐出される現像液12の加圧された液流で除去され、安定した現像処理が施される。又、排出されたテープ10は乾燥機(図示しない)によって乾燥される。
現像作業がさらに進むと、現像液12は、テープ10に付着して容器14外に運び出され、若しくは蒸発等により減少する。そのため、現像液12の液面の高さは低くなる。現像液12の液面の高さが低くなると、テープ10が現像液12に浸っている時間及び距離が短くなり、現像の程度が不十分となり現像不良が起こる恐れがある。それを防止するため、現像液12の液面検出部(図示しない)を容器14に設け、液面の高さの下降を検出すると、第3のガイド18は、容器14の深さ方向に下降するように設けられている。それにより、テープ10が現像液12に浸っている時間及び距離を、常に一定にすることができ、安定した現像を提供できる。
但し、この時、テープ10と吐出部22の吐出孔24との距離は変化してしまう。テープ10と吐出部22の吐出孔24との距離を一定に保つため、吐出部サポート30は、第3のガイド18の移動に連動し移動するように設けられている。
例えば、第3のガイド18及び吐出部サポート30とも、第1のガイド16の中心点16aを支点として、回転移動可能に設けられていてもよい。現像液12の液面検出部(図示しない)が液面の高さの下降を検出すると、第3のガイド18の駆動モータ(図示しない)が駆動し、第3のガイド18を、第1のガイド16の中心点16aを支点として、矢印B方向に所定の角度だけ回転させる。第3のガイド18の動きと連動し、吐出部サポート30も矢印Cに所定の角度だけ回転させる。吐出部サポート30の回転移動は、独立した吐出部サポート30の駆動モータ(図示しない)を用いてもよいし、第1のガイド16の中心点16a周辺に歯車列を設け、第3のガイド18の回転移動を吐出部サポート30に伝達してもよい。また、第3のガイド18と吐出部サポート30を一体に設け、同一の駆動モータを用い回転移動させてもよい。
第3のガイド18は、現像液12の液面の高さの変動に応じて、上下に移動してもよい。この時、前述と同様に、テープ10と吐出部22の吐出孔24との距離の変化を防止するため、吐出部サポート30は、第3のガイド18の移動に連動し回転移動するように設けられていてもよい。
具体的には、第3のガイド18は、現像液12の液面検出部(図示しない)が液面の下降を検出すると、第3のガイド18の駆動モータ(図示しない)が駆動し、第3のガイド18を、所定の距離だけ下方向に移動させる。第3のガイド18の直線移動を、例えば、ピニオンラック機構を用いて、吐出部サポート30の回転移動に変換してもよい。また、リンク機構を用いてもよい。その他、周知の直線移動から回転移動への変換技術を用いてもよい。吐出部サポート30の回転運動は、独立した吐出部サポート30の駆動モータ(図示しない)を用いてもよい。
上記の説明では、現像液12の減少について説明したが、現像液12の補充による液面の上昇に関しても、液面の下降と同様な作用、効果をもたらすことができる。
上述のように、如何に現像液12の液面の高さが変化しようとも、現像液12を吐出する吐出部22(吐出孔24)とテープ10との距離を一定に保ち、テープ10に付着した気泡を吐出部22から吐出する現像液12の液流で安定的に除去することができる。つまり、現像のバラツキを防止し、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
また、上述のレジストの現像装置を用いることによって、同様の作用、効果を奏するレジストの現像方法を提供することができる。
(第2の実施の形態)
図4(A)〜図4(C)は、本発明の第2の実施の形態に係るレジストの現像装置を示す概略図である。図4(A)〜図4(C)に示す現像装置は、吐出部サポート50の構成及び動作以外については、第1の実施の形態に係るレジストの現像装置と同様であるので、同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図4(A)〜図4(C)は、本発明の第2の実施の形態に係るレジストの現像装置を示す概略図である。図4(A)〜図4(C)に示す現像装置は、吐出部サポート50の構成及び動作以外については、第1の実施の形態に係るレジストの現像装置と同様であるので、同一の符号を付して重複する説明は省略する。
吐出部サポート50は、吐出部22のテープ10に対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材52を有する。位置決め部材52は、折りたたみ可能に設けられている。位置決め部材52は、吐出部サポート50に設けられている吐出部22とテープ10との距離を、一定に保つように調整する役割を担う。位置決め部材52は、吐出部サポート50の現像液12中の部分に設けられてもよいが、吐出部サポート50の現像液12の外に露出した部分に設けられている方が望ましい。これにより、オペレーターは、保護具を付け現像液12中に手を入れて調整する必要はなく、現像液12外で、吐出部22とテープ10との距離の調整を簡単に行うことができる。
図4(A)は、第1の実施の形態で示したのと同様な通常の現像作業時を示す。この時は、位置決め部材52は、吐出部サポート50の現像液12の外に露出した部分に、折りたたまれて収納されている。
現像作業が進むと、前述の理由で、現像液12が減少する。液面検出部(図示しない)が、現像液12面の下降を検出すると、第3のガイド18は、それに対応して、深さ方向に移動する。このままでは、吐出部22の吐出孔24の位置がテープ10の気泡の付着した面26からずれてしまう。
そこで、現像液12面が下降していることを検知したオペレーターは、吐出部サポート50に設けられた位置決め部材52を、図4(B)で示すように立てる。その後、手動で第1のガイド16の中心点16aを支点として、吐出部サポート50を回転移動させ、図4(C)で示すように位置決め部材52をテープ10の位置に合せて、吐出部サポート50を固定部材(図示しない)で固定する。吐出部サポート50の調整固定後は、位置決め部材52を、吐出部サポート50に図4(A)と同様に折りたたんで収納してもよい。
上述のように、如何に現像液12の液面の高さが変化しようとも、現像液12を吐出する吐出部22(吐出孔24)とテープ10との距離を一定に保ち、テープ10に付着した気泡を、吐出部22から吐出する現像液12の液流で安定的に除去することができる。つまり、現像のバラツキを防止し、回路パターンの断線やショートが発生しにくい信頼性の高い現像装置を提供することができる。
本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び結果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
10…テープ 12…現像液 14…容器 16…第1のガイド 18…第3のガイド 20…第2のガイド 22…吐出部 24…吐出孔 30…吐出部サポート 32…ホース 50…吐出部サポート 52…位置決め部材
Claims (8)
- エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像装置であって、
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第1のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第2のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第3のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第3のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第3のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とが、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動するレジストの現像装置。 - エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像装置であって、
前記現像液の液面へ向けて前記テープを、中心点の回りにガイドする第1のガイドと、
前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドする第2のガイドと、
前記現像液中で、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドし、かつ、前記現像液の液面の下降に応じて下降する第3のガイドと、
前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出する吐出部と、
前記吐出部を支持し、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動可能な吐出部サポートと、
を有し、
前記テープは、前記第3のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有するレジストの現像装置。 - 請求項2に記載のレジストの現像装置において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられているレジストの現像装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のレジストの現像装置において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して露光されてなるフレキシブルフィルムであるレジストの現像装置。 - エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第1のガイドによって、前記テープを、前記現像液の液面へ向けて前記第1のガイドの中心点の回りにガイドすることと、
第2のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第3のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第3のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部サポートを、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることと、
を含み、
前記テープは、前記第3のガイドの下降に従って前記液面への進入角度が変化し、
前記第3のガイドの下降と前記吐出部サポートの回転移動とを、前記吐出部と前記テープとの距離が一定になるように連動させるレジストの現像方法。 - エネルギーを照射したレジストが形成されたテープを、現像液の液面から前記現像液中に入れ、前記現像液中を通過させ、外部に排出するレジストの現像方法であって、
第1のガイドによって、前記テープを、前記現像液の液面へ向けて前記第1のガイド中心点の回りにガイドすることと、
第2のガイドによって、前記現像液の液面から排出された前記テープをガイドすることと、
第3のガイドによって、前記現像液中にて、前記テープを前記第2のガイドへ向けてガイドすることと、
吐出部サポートにより支持された吐出部によって、前記テープに対し、前記テープの側方から前記現像液を吐出することと、
前記第3のガイドを、前記現像液の液面の下降に応じて下降させることと、
前記吐出部の前記テープに対する位置を、調整することと、
を含み、
前記吐出部サポートは、前記吐出部の前記テープに対する位置を調整するときの基準となる位置決め部材を有し、
前記吐出部の調整は、前記位置決め部材を使用しながら、前記吐出部サポートを、前記第1のガイドの前記中心点を支点として回転移動させることで行うレジストの現像方法。 - 請求項6に記載のレジストの現像方法において、
前記位置決め部材は、前記吐出部サポートに折りたたみ可能に設けられているレジストの現像方法。 - 請求項5から請求項7のいずれかに記載のレジストの現像方法において、
前記テープは、金属箔及びレジストが設けられ、回路パターンに対応して照射されてなるフレキシブルフィルムであるレジストの現像方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003286563A JP2005055681A (ja) | 2003-08-05 | 2003-08-05 | レジストの現像装置及び現像方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008071884A (ja) * | 2006-09-13 | 2008-03-27 | Seiko Epson Corp | 配線基板の製造方法及び製造装置 |
-
2003
- 2003-08-05 JP JP2003286563A patent/JP2005055681A/ja not_active Withdrawn
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