JP2005043203A - 回転軸の回転精度測定装置 - Google Patents
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Abstract
光学式回転精度測定において、測定感度を容易にあげることができ、かつ、測定基準の反射面の傷や反射率のむら等の影響を除去した測定が可能な測定装置を提供する
【解決手段】
回転軸12に固定された測定基準21と、測定基準21に光を照射する光照射装置と、第一と第二の二つの4分割受光装置と、光結像した光点が基準位置から変位したときの変位量から測定基準21のラジアルモーションを演算する演算装置とを備え、第一の受光装置17と第二の受光装置18は相対回転角度αだけ回転して配置されており、第一及び第二の受光装置の測定基準の性状成分を含む出力成分から性状成分を検出して区別し、第一の受光装置17の変位出力信号を性状成分について補正することによって測定基準21のラジアルモーションを求め、回転軸12の回転精度を測定する
【選択図】図1
Description
この際に高精度鋼球の形状誤差が問題となるような、超精密回転軸の評価には3点法のアルゴリズムにより測定基準の形状誤差を補正する手法が用いられている。
しかしマイクロ工作機械やHDD、各種光ディスクドライブ装置のスピンドルのように、シャフトが細く、高速回転する軸の評価には、このような大きな鋼球を軸端に取り付けることは不可能であり、また、使用する鋼球の直径を小さくすると静電容量型変位計での測定に支障が生じることになり、マイクロスピンドルの回転精度評価は困難な課題となっている。
光学式回転精度測定技術は非接触測定技術で、光源から光を回転軸端の測定基準に照明し、測定基準からの反射光を分割ダイオード等の受光素子の受光領域上に結像させ、光点の変位を計測して測定基準すなわち回転軸の回転精度を測定するものである。
この発明は上記の如き事情に鑑みてなされたものであって、光学式回転精度測定において、測定感度を容易にあげることができ、かつ、測定基準の反射面の傷や反射率のむら等の影響を除去した測定が可能な測定装置を提供することを目的とするものである。
本測定法において測定基準として使用するのは直径数mm以下のボールレンズ等であり、小型・軽量であることから微小なスピンドルの軸端に取り付けて高速回転しても、測定対象に与える影響は小さい。このため、微細な回転軸の回転精度評価に適している。しかし、ボールレンズの表面の形状誤差、微小な傷、部分的な反射率の差違による影響が生じるが、4分割フォトダイオードを2個使用する光学系を導入することにより、純粋に軸の回転誤差成分のみを評価することが可能である。また、従来の測定法で使用する静電容量型変位計は高価であるが、本測定装置は光源と簡単な光学系により構成することが可能であり、安価な測定系を構成することが可能である。
図1において11は回転精度測定装置である。回転精度測定装置11は測定対象である回転軸22の端面に測定基準21が取り付けられている。回転軸22と同芯状にレーザー光源13と第一のビームスプリッタ14と対物レンズ15が配置され、第一のビームスプリッタ14の反射側に第二のビームスプリッタ16が配置され、第二のビームスプリッタ16の透過側に第一の受光素子17が配置されまた反射側に第二の受光素子18が配置されている。
これらの受光素子17、18は4分割フォトダイオードやCCDで構成することができる。CCDを使用する場合は分割受光領域22や集合受光領域23の領域はソフトウェアによって設定される。
第一の受光素子17と第二の受光素子18とは同じ構造のハードウェアで構成してもよいし、異なった構造のハードウェアで構成してもよい。この実施例では第一の受光素子17も第二の受光素子18も共に4分割フォトダイオードで構成している。
但し第一の受光素子17と第二の受光素子18とは図6a、bに示すようにそれぞれの集合受光領域は仮想の同一面内において同心状に位置していて中心(全分割受光領域の境界)Oの周りに相対回転角度αだけ回転しているのと等価の反射光との相対関係を持つように設定されている。
このように構成された回転精度測定装置11において回転軸22の回転精度の測定は次のようにしてなされる。
レーザ光源13からの光は、第一のビームスプリッタ14を透過し、対物レンズ15を介して回転軸22端に取り付けられたボールレンズ21で反射される。反射光は再び対物レンズ15を通過し、第一のビームスプリッタ14により反射され4分割フォトダイオードで構成される第1の受光素子17上に光点24を結像する。
図3のグラフにおいて線形範囲は約±3μmであり、これを出力Vxと変位εの変換に 利用することにより回転誤差を求めることが可能となる。ここで、線形範囲における傾きの絶対値を測定感度と呼ぶことにする。
測定感度に影響を及ぼす光学系の主なパラメータとしては以下のものを挙げることができる。単位はmmとする。
(1)対物レンズの焦点距離f
(2)ボールレンズの半径Rm
(3)対物レンズとボールレンズ中心間の距離Zt
(4)第一の受光素子17と対物レンズ間の距離a
図5は測定装置を簡略化して描いたものである。ここで座標系のY軸は紙面表から裏方向に向かう方向を正方向に設定している。
測定感度、反射光の対物レンズ上での半径re、ボールレンズの半径Rmと上記パラメータとの関係について図4に示す。ここで、対物レンズ焦点がボールレンズ内に入り第一の受光素子17上で光結像するパターンを球内焦点、焦点が外にあり光結像するパターンを球外焦点と呼ぶことにする。以下の計算は入射光の半径が1.5mm、第一の受光素子17上における光点半径が0.1mmであるときの計算結果である。左列はf=8mm、右列はf=10mmにおけるグラフである。
球内焦点において、Rmを小さくするにつれて測定感度は増加し、re、x1は減少す る。球外焦点においては、Rmを小さくするにつれて測定感度はわずかに増加するが、reも増加することから反射光が対物レンズに戻らない可能性がある。また、fが増加すると球内焦点では先程述べたメリットが増大し、球外焦点ではデメリットが増大する。よって、微小ボールレンズを用いた球内焦点による計測は、マイクロ工作機械用の高速回転スピンドルの評価に有効であると考えられる。
図5に示す構成において、対物レンズを出てボールレンズに向かう光の方向余弦(α、γ)は、
x1=α・q,z1=γ・q+a+f
ただし、
α´=α−2λcosθ,γ´=γ−2νcosθ
ただし、
cosθ=α・λ+γ・ν
従って、ボールレンズからの反射光とz軸との交点と対物レンズとの距離Zrは、
4分割フォトダイオード上に結像する光点の外周部分とx軸との交点をxu、xdとすると、光点の強度分布を一様と考えると、4分割フォトダイオードの各受光素子(1〜4)の出力は各素子に対応する光スポットの面積に比例することになる。
4分割フォトダイオードの素子1及び4上の光点の面積の和(S1+S4)は次のようになる。
従って、ボールレンズの横移動によって生ずる光スポットの移動を以下の式により評価することができる。
また、ボールレンズのy方向変位に対しても全く同じ関係が成立することになり、次式によりy方向の信号出力が求められる。
既に述べたように、図6(a)に示す4分割フォトダイオードで、各素子からの出力信号をS1、S2、S3、S4とすると
ここで、回転軸端面に取り付けるボールレンズ、鋼球、凹面鏡等の、形状誤差、表面の微細な傷、反射膜のむらによる場所による光の反射率の差異の影響をr(θ)として、フーリエ級数で表す。
(数21)
asinα+bcosα=0、1+acosα−bsinα - - - - - - - -(21)
を満足するようにa、b、αを選択すれば式(20)はx(θ)、y(θ)と無関係になるから式(20)は次のようになる。
12 回転軸
13 レーザー光源
14 ビームスプリッタ
15 対物レンズ
16 ビームスプリッタ
17 第一の受光素子
18 第二の受光素子
21 測定基準
22 分割受光領域
23 集合受光領域
Claims (4)
- 被測定対象の回転軸に固定された測定基準と、
前記測定基準に光を照射する光照射装置と、
複数の分割受光領域を所定の分布に配置して構成した集合受光領域が前記測定基準からの反射光を受光する受光素子を有する第一と第二の二つの受光装置と、
前記集合受光領域上の前記反射光の光結像した光点の変位量を前記複数の分割受光領域からの出力信号に基づいて演算し、前記変位量から前記測定基準のラジアルモーションを演算する演算装置とを備え
前記第一の受光装置と第二の受光装置のそれぞれの集合受光領域は仮想の同一面内において同心状に位置していて中心の周りに相対回転角度αだけ回転して配置されているのと等価の前記反射光との相対関係を持つように設定されており、
前記第一及び第二の受光装置の測定基準の性状成分を含む出力成分から前記性状成分を検出して区別し、前記第一の受光装置の変位出力信号を前記性状成分について補正することによって前記測定基準のラジアルモーションを求め、回転軸の回転精度を測定することを特徴とする回転軸の回転精度測定装置 - 前記測定基準はボールレンズ、鋼球、凹面鏡、凸面鏡、凹レンズ、凸レンズであることを特徴とする請求項1記載の回転軸の回転精度測定装置
- 対物レンズの焦点が前記測定基準内に入りかつ反射光が前記集合受光領域上で光結像するように構成したことを特徴とする請求項1記載の回転軸の回転精度測定装置
- 対物レンズの焦点がボールレンズ内に入りかつ反射光が前記集合受光領域上で光結像するように構成したことを特徴とする請求項3記載の回転軸の回転精度測定装置
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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JP2005043203A true JP2005043203A (ja) | 2005-02-17 |
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A621 | Written request for application examination |
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