JP2002296007A - 直角度測定装置、直角度測定方法、直角度測定プログラムおよびそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の直角をなす頂角部を持ったアレイ状被
検物において、その頂角の直角度を高精度に測定するこ
と。 【解決手段】 レーザー光源１１により発生したレーザ
ー光は顕微鏡対物レンズ１２を透過後、コリメータレン
ズ１４で平行光に変換される。その平行光は、透過型参
照平面板１７で反射された参照光と、被検物２０への照
射光とに分岐される。さらに被検物２０に照射した後に
表面で反射された反射光は、参照平面板１７を透過して
同光路を戻る。参照平面板１７で反射された参照光と被
検物２０から反射してきた物体光はコリメータレンズ１
４で収束光となり、光路分岐手段１３で直交方向に分岐
して干渉縞検出手段１５に入射する。検出された干渉縞
は演算処理手段１６で解析されて平面の形状測定結果を
得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、直角面を持つア
レイ状光学素子の頂角の角度測定する直角度測定装置、
直角度測定方法、直角度測定プログラムおよびそのプロ
グラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、たとえば、特開平６−１６７３２
５号公報に記載されている発明では、回転機構により回
転させた角度をオートコリメータによる測定量で補正す
る手法を用いて被検面の頂角を測定しており、角度測定
の基本的な手法ということができる。

【０００３】また、たとえば、特開平１１−１８３１４
８号公報に記載されている発明では、任意角度面を持つ
被検物の設置誤差を除去する目的で干渉光学系を用いて
おり、実際の頂角の角度測定は対向して置かれたオート
コリメータによりおこなっている。

【０００４】被検物の頂角を形成する２つの面のうちの
一つの面を基準面、他の面を測定面として、回転機構に
より回転させた角度をオートコリメータによる測定量で
補正する手法を用いている。

【０００５】また、干渉計を用いての角度測定として、
従来よりＶ溝形状の直角度（内側角）誤差測定がおこな
われている。その手法は、平行光を入射し、内側角の各
側面で都合２回反射した光により得られた干渉縞を解析
するものである。

【０００６】上記任意角度を直角（９０°）に限定した
場合には、外側角においても頂角測定として干渉計やオ
ートコリメータを用いた手法が広く知られている。

【０００７】しかし、いずれも反対面（プリズムを想定
した場合の底面）での反射もしくは透過を利用してお
り、たとえばその面がレンズ面を持つような複雑な光学
素子には利用できない。対処方法としては、マッチング
液を用いて反対面の影響をキャンセルする特開平１１−
１７３８２５号公報に記載がある。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来技術にあっては、効率よくかつ高精度に直角を測定
することができなかった。

【０００９】この発明は、上記課題を解決するためにな
されたものであり、複数の直角をなす頂角部を持ったア
レイ状被検物において、その頂角の直角度を高精度に測
定する直角度測定装置、直角度測定方法、直角度測定プ
ログラムおよびそのプログラムを記録したコンピュータ
読み取り可能な記録媒体を提供することを目的としてい
る。

【００１０】また、前記アレイ状光学素子等を測定対象
物として測定用駆動機構の姿勢変化にともなう測定誤差
を除去して高精度な測定評価をおこなう直角度測定装
置、直角度測定方法、直角度測定プログラムおよびその
プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録
媒体を提供することを特徴とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１に記載の発明にかかる直角度測定装置は、
参照平面板を有した干渉光学系と、直角をなす頂角部を
複数有するアレイ状被検物の保持手段と、被検物の姿勢
調整機構と、前記被検物のアレイ配列方向と前記干渉光
学系の測定光軸が、直交する位置関係および４５度の角
度をなす位置関係に設置する手段と、前記干渉光学系と
相対した前記被検物の側面およびＶ溝部の干渉縞解析を
おこなう手段と、前記干渉縞解析の結果に基づいて前記
被検物の頂角の直角度誤差を算出する手段と、を備えた
ことを特徴とする。

【００１２】また、請求項２に記載の発明にかかる直角
度測定装置は、干渉光学系による測定光軸および被検物
のアレイ配列方向と直交する回転軸をもって、前記被検
物および前記保持手段を回転する機構を備え、前記機構
によって、前記被検物のアレイ配列方向と前記干渉光学
系の測定光軸が、直交する位置関係および４５度の角度
をなす位置関係に配置することを特徴とする。

【００１３】また、請求項３に記載の発明にかかる直角
度測定装置は、干渉光学系による測定光軸および被検物
のアレイ配列方向と直交する回転軸をもって、干渉光学
系を回転する機構を備え、前記機構によって、前記被検
物のアレイ配列方向と前記干渉光学系の測定光軸が、直
交する位置関係および４５度の角度をなす位置関係に配
置することを特徴とする。

【００１４】また、請求項４に記載の発明にかかる直角
度測定装置は、前記干渉光学系の測定光軸と直交する方
向への前記被検物および前記保持手段を移動する移動機
構と、同一視野内で検出された重複面を利用して、前記
移動機構の姿勢変化にともなう測定誤差を補正する処理
手段と、を備えたことを特徴とする。

【００１５】また、請求項５に記載の発明にかかる直角
度測定装置は、前記干渉光学系の測定光軸と直交する方
向へ干渉光学系を移動する移動機構と、同一視野内で検
出された重複面を利用して、前記移動機構の姿勢変化に
ともなう測定誤差を補正する処理手段と、を備えたこと
を特徴とする特徴とする。

【００１６】また、請求項６に記載の発明にかかる直角
度測定方法は、直角をなす頂角部を複数有するアレイ状
素子を被検物とし、前記被検物のアレイ配列方向に対し
て、測定光軸が直交するように配置した干渉光学系に
て、前記被検物のＶ溝部の直角度を得られた干渉縞の解
析にて測定し、前記被検物のアレイ配列方向に対して、
測定光軸が４５度の角度をなすように配置した干渉光学
系にて、前記被検物の頂角の側面のうち任意側の側面
を、同一視野内で検出した複数面の干渉縞を解析するこ
とにより被検物側面の相対的倒れ角度を取得し、得られ
た被検物の任意片側面の傾斜角度とＶ溝部の直角度か
ら、被検物頂角の直角度誤差を算出することを特徴とす
る。

【００１７】また、請求項７に記載の発明にかかる直角
度測定方法は、前記干渉光学系の測定光軸と直交する方
向に、前記被検物と干渉光学系との相対位置関係を変動
させ、その際に、同一視野内で検出する被検物の複数側
面のうちの一つ以上の側面を重複するようにし、その重
複面を利用して測定結果を繋ぎ合わせて、アレイ状被検
物の全面にわたる頂角測定を、前記移動による姿勢変化
にともなう測定誤差を生じずに検出することを特徴とす
る。

【００１８】また、請求項８に記載の発明にかかる直角
度測定プログラムは、直角をなす頂角部を複数有するア
レイ状素子を被検物とし、前記被検物のアレイ配列方向
に対して、測定光軸が直交するように配置した干渉光学
系にて、前記被検物のＶ溝部の直角度を得られた干渉縞
の解析にて測定し、前記被検物のアレイ配列方向に対し
て、測定光軸が４５度の角度をなすように配置した干渉
光学系にて、前記被検物の頂角の側面のうち任意側の側
面を、同一視野内で検出した複数面の干渉縞を解析する
ことにより被検物側面の相対的倒れ角度を取得し、得ら
れた被検物の任意片側面の傾斜角度とＶ溝部の直角度か
ら、被検物頂角の直角度誤差を算出することを特徴とす
る。

【００１９】また、請求項９に記載の発明にかかる直角
度測定プログラムは、前記干渉光学系の測定光軸と直交
する方向に、前記被検物と干渉光学系との相対位置関係
を変動させ、その際に、同一視野内で検出する被検物の
複数側面のうちの一つ以上の側面を重複するようにし、
その重複面を利用して測定結果を繋ぎ合わせて、アレイ
状被検物の全面にわたる頂角測定を、前記移動による姿
勢変化にともなう測定誤差を生じずに検出することを特
徴とする。

【００２０】また、請求項１０に記載の発明にかかるコ
ンピュータ読み取り可能な記録媒体は、前記請求項８ま
たは９に記載されたプログラムを記録したことを特徴と
する。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照して、この
発明にかかる直角度測定装置、直角度測定方法、直角度
測定プログラムおよびそのプログラムを記録したコンピ
ュータ読み取り可能な記録媒体の好適な実施の形態につ
いて詳細に説明する。

【００２２】まず、干渉計の基本構成を図１を用いて説
明する。レーザー光源１１により発生したレーザー光は
顕微鏡対物レンズ１２を透過後、コリメータレンズ１４
で平行光に変換される。

【００２３】その平行光は、透過型参照平面板１７で反
射された参照光と、被検物２０への照射光とに分岐され
る。さらに被検物２０に照射した後に表面で反射された
反射光は、参照平面板１７を透過して同光路を戻る。

【００２４】参照平面板１７で反射された参照光と被検
物２０から反射してきた物体光はコリメータレンズ１４
で収束光となり、光路分岐手段１３で直交方向に分岐し
て干渉縞検出手段１５に入射する。検出された干渉縞は
演算処理手段１６で解析されて平面の形状測定結果を得
る。以上がフィゾー型干渉計１０の基本構成である。

【００２５】実施の形態１の原理概要を図２〜図４で説
明する。本発明で対象としている被検物は、図１にある
ようなＡ面とＢ面からなる頂角部（α≒９０度）とＢ面
とＣ面からなるＶ溝部（β≒９０度）が、各々一個所以
上持つアレイ状被検物である。

【００２６】本実施の形態は、干渉計測によりその頂角
部の直角度を測定する手法に関するものである。以下、
図３を用いて、その測定手順を説明する。前記被検物を
測定光軸に対して４５度傾けた状態で頂角部の側面であ
るＡ面、Ｃ面の干渉縞検出および解析をおこなう（図
３、左図）。

【００２７】その解析結果から、Ａ面とＣ面それぞれの
測定光軸からの傾斜角度が容易に得られ、すなわち、Ｃ
面に対するＡ面の倒れ（傾斜）角度を求めることができ
る。

【００２８】つぎに、前記被検物を測定光軸と直交する
ように配置し、Ｂ面とＣ面からなるＶ溝部の干渉縞検出
および解析をおこなう（図３、右図）。

【００２９】このときの干渉縞解析では、図４に示すよ
うに直角度誤差ηの４倍の角度誤差として結果出力され
る。このＶ溝部直角度誤差から、Ｃ面に対するＢ面の直
角度が得られる（９０＋直角度誤差η＝β）。

【００３０】以上の２つの干渉測定手順から、Ｃ面を基
準として、Ａ面とＢ面の直角度αが算出可能である。

【００３１】Ｃ面に対するＡ面の倒れ角（ε） ＋ Ｃ
面に対するＢ面の直角度（９０＋η） ＝ Ａ面とＢ面
の直角度α

【００３２】つぎに、実施の形態２の基本構成および動
作を図５、図６に示す。前記干渉計の構成（図１）にお
いて、被検物２０は被検物保持手段３０に保持されてお
り、その設置位置は（Ａ）のように一点鎖線の測定光軸
に対して４５度傾けた場合と、（Ｂ）のように測定光軸
と直交させた場合の２通り可能である。

【００３３】まず、（Ａ）の状態に被検物が設置されて
いる場合、干渉光学系にて観察される視野は図６の視野
であり、Ａ１〜Ａ３までの各側面の倒れ角に応じた干
渉縞が検出される。

【００３４】その干渉縞を縞走査（フリンジスキャン）
して解析された結果が、その下図のようにそれぞれ傾斜
角度εa1、εa2、εa3 として得られる。

【００３５】つぎに、（Ｂ）の状態に被検物が設置され
ている場合、干渉光学系にて観察される視野は図６の視
野であり、Ｂ１とＡ２面、Ｂ２とＡ３面によるＶ溝部
の直角度誤差に応じた干渉縞が検出される。

【００３６】その干渉縞を縞走査（フリンジスキャン）
して解析された結果が、その下図のようにそれぞれ直角
度誤差ηb1a2、ηb2a3 として得られる。

【００３７】以上の手順により、実施の形態１で説明し
た原理から、Ａ１面とＢ１面による頂角部の直角度（９
０＋ηa1b1）は、Ａ２面に対するＡ１面の傾斜角度（ε
a1−εa2）とＡ２面に対するＢ１面の直角度（９０＋η
b1a2）との加算で求めることができる。

【００３８】Ａ２面とＢ２面による頂角部の直角度も同
様にして得られる。また、実施の形態３は、被検物２０
および被検物保持手段３０を、一点鎖線の測定光軸およ
び被検物２０の配列方向（頂角部とＶ溝部が並んでいる
方向）との両方に直交する回転軸（紙面垂直方向）を持
つ回転機構３１で回転させて設置状態（Ａ）および
（Ｂ）の状態にする構成を持つものである。

【００３９】また、実施の形態４は、前記回転軸にて干
渉光学系を回転させて、相対的に設置状態（Ａ）および
（Ｂ）の状態を作り上げる構成を持つものである。

【００４０】実施の形態５の構成・動作を図７、図８に
示す。本実施の形態は、図７に示すような複数の頂角部
を持った被検物２０を測定対象とし、その被検物の保持
手段３０と、それらを被検物２０の配列方向への移動機
構３２と、移動機構３２まで一体として回転させる回転
機構３１とから構成されている。

【００４１】その回転軸は前記請求項と同一の軸であ
る。図に示すような複数の頂角部をもつ被検物２０にお
いて、各頂角の隣接比較評価をおこなうためには、移動
機構３２により被検物２０の送りをおこなう際の運動誤
差（真直度）が測定精度に大きく影響する。

【００４２】本実施の形態はその影響を低減するための
ものであり、図８にその原理を示す。 移動機構３２に
より被検物２０を視野から視野に送ったとき、視野
は視野に対して移動機構３２の運動誤差が含まれて
おり、干渉縞の解析結果にも当然その影響が現れる。

【００４３】ただし、図８に示すように、複数の側面Ａ
の内の１面（図ではＡ３面）を重複するように被検物２
０の送りをおこなうことで、前記運動誤差量を把握する
ことができ、したがってその補正をおこなってその影響
を低減することが可能である。

【００４４】すなわち、図８中段の模式図において、側
面Ａ３の傾斜角度εａ3とεａ3'の差異は移動機構３２
の運動誤差に起因するため、その差異を除去するよう視
野における解析結果εa4'とεａ5'を補正する。その
補正によって、下段にあるようなεa1からεa5までの測
定結果を得られる。

【００４５】以上の作業をおこなうことで、側面側の測
定結果から移動機構３２による運動誤差を除去できるた
め、結果的に各頂角部の直角度測定値へ前記運動誤差の
影響を排除できる。

【００４６】そして、上記のように被検物２０を回転さ
せて、図５にある（Ａ）（Ｂ）の被検物設置状態を作る
ものであり、また、干渉光学系の方を回転させてその相
対的に状態を作るものである。

【００４７】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、光学結像素子成形用金型におけるレンズ鏡面駒およ
びルーフプリズム鏡面駒それぞれの位置関係を、精度よ
く、所定の状態にすることが可能な光学結像素子成形用
金型の組立装置を提供できる。

【００４８】また、直角度測定方法は、あらかじめ用意
されたコンピュータ読み取り可能なプログラムであって
もよく、またそのプログラムをパーソナルコンピュータ
やワークステーションなどのコンピュータで実行するこ
とによって実現される。このプログラムは、ＨＤ（ハー
ドディスク）、ＦＤ（フロッピー（登録商標）ディス
ク）、ＣＤ−ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤなどのコンピュータ
で読み取り可能な記録媒体に記録され、コンピュータに
よって記録媒体から読み出されることによって実行され
る。また、このプログラムは、インターネットなどのネ
ットワークを介して配布することが可能な伝送媒体であ
ってもよい。

【００４９】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１に記載の
発明によれば、参照平面板を有した干渉光学系と、直角
をなす頂角部を複数有するアレイ状被検物の保持手段
と、被検物の姿勢調整機構と、前記被検物のアレイ配列
方向と前記干渉光学系の測定光軸が、直交する位置関係
および４５度の角度をなす位置関係に設置する手段と、
前記干渉光学系と相対した前記被検物の側面およびＶ溝
部の干渉縞解析をおこなう手段と、前記干渉縞解析の結
果に基づいて前記被検物の頂角の直角度誤差を算出する
手段と、を備えたため、複数の直角をなす頂角部を持っ
たアレイ状被検物において、各頂角の直角度を高精度に
測定することが可能な直角度測定装置が得られるという
効果を奏する。

【００５０】また、請求項２に記載の発明によれば、干
渉光学系による測定光軸および被検物のアレイ配列方向
と直交する回転軸をもって、前記被検物および前記保持
手段を回転する機構を備え、前記機構によって、前記被
検物のアレイ配列方向と前記干渉光学系の測定光軸が、
直交する位置関係および４５度の角度をなす位置関係に
配置するため、複数の直角をなす頂角部を持ったアレイ
状被検物において、各頂角の直角度を高精度に測定する
ことが可能な直角度測定装置が得られるという効果を奏
する。

【００５１】また、請求項３に記載の発明によれば、干
渉光学系による測定光軸および被検物のアレイ配列方向
と直交する回転軸をもって、干渉光学系を回転する機構
を備え、前記機構によって、前記被検物のアレイ配列方
向と前記干渉光学系の測定光軸が、直交する位置関係お
よび４５度の角度をなす位置関係に配置するため、複数
の直角をなす頂角部を持ったアレイ状被検物において、
各頂角の直角度を高精度に測定することが可能な直角度
測定装置が得られるという効果を奏する。

【００５２】また、請求項４に記載の発明によれば、前
記干渉光学系の測定光軸と直交する方向への前記被検物
および前記保持手段を移動する移動機構と、同一視野内
で検出された重複面を利用して、前記移動機構の姿勢変
化にともなう測定誤差を補正する処理手段と、を備えた
ため、複数の直角をなす頂角部を持ったアレイ状被検物
において、各頂角の直角度を高精度に測定することが可
能であるとともに各頂角の直角度を送り駆動系の誤差を
補正して高精度に測定することが可能な直角度測定装置
が得られるという効果を奏する。

【００５３】また、請求項５に記載の発明によれば、前
記干渉光学系の測定光軸と直交する方向へ干渉光学系を
移動する移動機構と、同一視野内で検出された重複面を
利用して、前記移動機構の姿勢変化にともなう測定誤差
を補正する処理手段と、を備えたため、複数の直角をな
す頂角部を持ったアレイ状被検物において、各頂角の直
角度を高精度に測定することが可能であるとともに各頂
角の直角度を送り駆動系の誤差を補正して高精度に測定
することが可能な直角度測定装置が得られるという効果
を奏する。

【００５４】また、請求項６に記載の発明によれば、直
角をなす頂角部を複数有するアレイ状素子を被検物と
し、前記被検物のアレイ配列方向に対して、測定光軸が
直交するように配置した干渉光学系にて、前記被検物の
Ｖ溝部の直角度を得られた干渉縞の解析にて測定し、前
記被検物のアレイ配列方向に対して、測定光軸が４５度
の角度をなすように配置した干渉光学系にて、前記被検
物の頂角の側面のうち任意側の側面を、同一視野内で検
出した複数面の干渉縞を解析することにより被検物側面
の相対的倒れ角度を取得し、得られた被検物の任意片側
面の傾斜角度とＶ溝部の直角度から、被検物頂角の直角
度誤差を算出するため、複数の直角をなす頂角部を持っ
たアレイ状被検物において、各頂角の直角度を高精度に
測定することが可能な直角度測定方法が得られるという
効果を奏する。

【００５５】また、請求項７に記載の発明によれば、前
記干渉光学系の測定光軸と直交する方向に、前記被検物
と干渉光学系との相対位置関係を変動させ、その際に、
同一視野内で検出する被検物の複数側面のうちの一つ以
上の側面を重複するようにし、その重複面を利用して測
定結果を繋ぎ合わせて、アレイ状被検物の全面にわたる
頂角測定を、前記移動による姿勢変化にともなう測定誤
差を生じずに検出するため、複数の直角をなす頂角部を
持ったアレイ状被検物において、各頂角の直角度を高精
度に測定することが可能であるとともに各頂角の直角度
を送り駆動系の誤差を補正して高精度に測定することが
可能な直角度測定方法が得られるという効果を奏する。

【００５６】また、請求項８に記載の発明によれば、直
角をなす頂角部を複数有するアレイ状素子を被検物と
し、前記被検物のアレイ配列方向に対して、測定光軸が
直交するように配置した干渉光学系にて、前記被検物の
Ｖ溝部の直角度を得られた干渉縞の解析にて測定し、前
記被検物のアレイ配列方向に対して、測定光軸が４５度
の角度をなすように配置した干渉光学系にて、前記被検
物の頂角の側面のうち任意側の側面を、同一視野内で検
出した複数面の干渉縞を解析することにより被検物側面
の相対的倒れ角度を取得し、得られた被検物の任意片側
面の傾斜角度とＶ溝部の直角度から、被検物頂角の直角
度誤差を算出するため、複数の直角をなす頂角部を持っ
たアレイ状被検物において、各頂角の直角度を高精度に
測定することが可能であるとともに各頂角の直角度を送
り駆動系の誤差を補正して高精度に測定することが可能
な直角度測定プログラムが得られるという効果を奏す
る。

【００５７】また、請求項９に記載の発明によれば、前
記干渉光学系の測定光軸と直交する方向に、前記被検物
と干渉光学系との相対位置関係を変動させ、その際に、
同一視野内で検出する被検物の複数側面のうちの一つ以
上の側面を重複するようにし、その重複面を利用して測
定結果を繋ぎ合わせて、アレイ状被検物の全面にわたる
頂角測定を、前記移動による姿勢変化にともなう測定誤
差を生じずに検出するため、複数の直角をなす頂角部を
持ったアレイ状被検物において、各頂角の直角度を高精
度に測定することが可能であるとともに各頂角の直角度
を送り駆動系の誤差を補正して高精度に測定することが
可能な直角度測定プログラムが得られるという効果を奏
する。

【００５８】また、請求項１０に記載の発明によれば、
請求項８または９に記載されたプログラムをコンピュー
タに実行させるプログラムを記録したことで、そのプロ
グラムをコンピュータ読み取り可能となり、これによっ
て、請求項８または９の動作をコンピュータによって実
現することが可能な記録媒体が得られるという効果を奏
する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態にかかる直角度測定装置
における干渉計の基本的構成を示す説明図である。

【図２】この発明の実施の形態１にかかる直角度測定装
置の原理概要を示す説明図である。

【図３】この発明の実施の形態１にかかる直角度測定装
置の別の原理概要を示す説明図である。

【図４】この発明の実施の形態１にかかる直角度測定装
置の別の原理概要を示す説明図である。

【図５】この発明の実施の形態２かかる直角度測定装置
の基本構成および動作を示す説明図である。

【図６】この発明の実施の形態２かかる直角度測定装置
の基本構成および動作を示す説明図である。

【図７】この発明の実施の形態５かかる直角度測定装置
の基本構成および動作を示す説明図である。

【図８】この発明の実施の形態５かかる直角度測定装置
の基本構成および動作を示す説明図である。

【符号の説明】

１０ 干渉計本体 １１ 光源 １２ 顕微鏡対物レンズ １３ 光路分岐手段 １４ コリメートレンズ １５ 干渉縞検出手段 １６ 検算処理手段 １７ 参照平面板 ２０ 被検物保持部 ３０ 被検物保持部 ３１ 回転機構 ３２ 被検物移動体

フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F064 AA06 BB03 EE05 FF01 GG18 GG22 JJ01 2F065 AA33 BB05 BB18 EE00 FF52 FF61 GG04 LL00 LL04 LL05 PP05 PP13 QQ00 QQ25 QQ27 TT02

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 参照平面板を有した干渉光学系と、 直角をなす頂角部を複数有するアレイ状被検物の保持手
   段と、 被検物の姿勢調整機構と、 前記被検物のアレイ配列方向と前記干渉光学系の測定光
   軸が、直交する位置関係および４５度の角度をなす位置
   関係に設置する手段と、 前記干渉光学系と相対した前記被検物の側面およびＶ溝
   部の干渉縞解析をおこなう手段と、 前記干渉縞解析の結果に基づいて前記被検物の頂角の直
   角度誤差を算出する手段と、 を備えたことを特徴とする直角度測定装置。
2. 【請求項２】 干渉光学系による測定光軸および被検物
   のアレイ配列方向と直交する回転軸をもって、前記被検
   物および前記保持手段を回転する機構を備え、 前記機構によって、前記被検物のアレイ配列方向と前記
   干渉光学系の測定光軸が、直交する位置関係および４５
   度の角度をなす位置関係に配置することを特徴とする請
   求項１に記載の直角度測定装置。
3. 【請求項３】 干渉光学系による測定光軸および被検物
   のアレイ配列方向と直交する回転軸をもって、干渉光学
   系を回転する機構を備え、 前記機構によって、前記被検物のアレイ配列方向と前記
   干渉光学系の測定光軸が、直交する位置関係および４５
   度の角度をなす位置関係に配置することを特徴とする請
   求項１に記載の直角度測定装置。
4. 【請求項４】 前記干渉光学系の測定光軸と直交する方
   向への前記被検物および前記保持手段を移動する移動機
   構と、 同一視野内で検出された重複面を利用して、前記移動機
   構の姿勢変化にともなう測定誤差を補正する処理手段
   と、 を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つ
   に記載の直角度測定装置。
5. 【請求項５】 前記干渉光学系の測定光軸と直交する方
   向へ干渉光学系を移動する移動機構と、 同一視野内で検出された重複面を利用して、前記移動機
   構の姿勢変化にともなう測定誤差を補正する処理手段
   と、 を備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つ
   に記載の直角度測定装置。
6. 【請求項６】 直角をなす頂角部を複数有するアレイ状
   素子を被検物とし、 前記被検物のアレイ配列方向に対して、測定光軸が直交
   するように配置した干渉光学系にて、前記被検物のＶ溝
   部の直角度を得られた干渉縞の解析にて測定し、 前記被検物のアレイ配列方向に対して、測定光軸が４５
   度の角度をなすように配置した干渉光学系にて、前記被
   検物の頂角の側面のうち任意側の側面を、同一視野内で
   検出した複数面の干渉縞を解析することにより被検物側
   面の相対的倒れ角度を取得し、 得られた被検物の任意片側面の傾斜角度とＶ溝部の直角
   度から、被検物頂角の直角度誤差を算出することを特徴
   とする直角度測定方法。
7. 【請求項７】 前記干渉光学系の測定光軸と直交する方
   向に、前記被検物と干渉光学系との相対位置関係を変動
   させ、 その際に、同一視野内で検出する被検物の複数側面のう
   ちの一つ以上の側面を重複するようにし、 その重複面を利用して測定結果を繋ぎ合わせて、アレイ
   状被検物の全面にわたる頂角測定を、前記移動による姿
   勢変化にともなう測定誤差を生じずに検出することを特
   徴とする請求項６に記載の直角度測定方法。
8. 【請求項８】 直角をなす頂角部を複数有するアレイ状
   素子を被検物とし、 前記被検物のアレイ配列方向に対して、測定光軸が直交
   するように配置した干渉光学系にて、前記被検物のＶ溝
   部の直角度を得られた干渉縞の解析にて測定し、 前記被検物のアレイ配列方向に対して、測定光軸が４５
   度の角度をなすように配置した干渉光学系にて、前記被
   検物の頂角の側面のうち任意側の側面を、同一視野内で
   検出した複数面の干渉縞を解析することにより被検物側
   面の相対的倒れ角度を取得し、 得られた被検物の任意片側面の傾斜角度とＶ溝部の直角
   度から、被検物頂角の直角度誤差を算出することを特徴
   とするコンピュータに実行させる直角度測定プログラ
   ム。
9. 【請求項９】 前記干渉光学系の測定光軸と直交する方
   向に、前記被検物と干渉光学系との相対位置関係を変動
   させ、 その際に、同一視野内で検出する被検物の複数側面のう
   ちの一つ以上の側面を重複するようにし、 その重複面を利用して測定結果を繋ぎ合わせて、アレイ
   状被検物の全面にわたる頂角測定を、前記移動による姿
   勢変化にともなう測定誤差を生じずに検出することを特
   徴とする請求項６に記載のコンピュータに実行させる直
   角度測定プログラム。
10. 【請求項１０】 前記請求項８または９に記載されたプ
    ログラムを記録したことを特徴とするコンピュータ読み
    取り可能な記録媒体。