JP2005042160A - 膜厚制御方法および膜厚制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 同一の真空チャンバー3の内部でRFスパッタリングにより薄膜を成膜する工程と、ドライエッチングにより前記成膜された薄膜を除去する工程と、前記成膜された薄膜の膜厚をモニターして成膜するRFスパッタリングまたは成膜された薄膜を除去するドライエッチングのいずれかを制御し、所定の膜厚とする膜厚制御方法であり、差分の膜厚をエッチングまたは成膜により所定の膜厚に制御できる。
【選択図】 図1
Description
2 RFマッチング回路
3 真空チャンバー
4 ターゲット
5 基板
6 膜厚測定用光ファイバー
7 基準光量発生源および分光器
8 電子
9 プラスイオン
10 シース電位
11 マイナスイオン
12 シース電位
13 演算手段
14 膜厚制御手段
15 アルゴンガス
16 酸素ガス
Claims (7)
- 同一の真空チャンバー内でRFスパッタリングにより薄膜を成膜する工程と、ドライエッチングにより前記成膜された薄膜を除去する工程と、前記成膜された薄膜の膜厚をモニターして成膜するRFスパッタリングまたは成膜された薄膜を除去するドライエッチングのいずれかを制御し、所定の膜厚とする膜厚制御方法。
- 膜厚をモニターしてドライエッチングあるいはRFスパッタリングを少なくとも1回以上繰り返して所定の膜厚に制御する請求項1に記載の膜厚制御方法。
- ドライエッチング工程を真空チャンバー内のマイナスイオンによりエッチングするようにした請求項1に記載の膜厚制御方法。
- マイナスイオンの発生源を酸素とした請求項3に記載の膜厚制御方法。
- 真空チャンバー内のRFスパッタリングはアルゴンガスの流量が酸素ガスの流量より多く、ドライエッチングは酸素ガスの流量がアルゴンガスの流量より多くなるようにした請求項1に記載の膜厚制御方法。
- 同一の真空チャンバー内に薄膜を成膜するRFスパッタリング手段と、この成膜された薄膜を除去するドライエッチング手段とを設けるとともに、前記成膜された薄膜の膜厚をモニターする膜厚制御手段とからなり、前記成膜するRFスパッタリング手段または成膜された薄膜を除去するドライエッチング手段のいずれかを制御するように構成した膜厚制御装置。
- 成膜された薄膜の膜厚をモニターする膜厚制御手段によりドライエッチング手段あるいはRFスパッタリング手段を少なくとも1回以上繰り返し動作させて所定の膜厚に制御するように構成した請求項6に記載の膜厚制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003277399A JP2005042160A (ja) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | 膜厚制御方法および膜厚制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2003277399A JP2005042160A (ja) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | 膜厚制御方法および膜厚制御装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005042160A true JP2005042160A (ja) | 2005-02-17 |
Family
ID=34264135
Family Applications (1)
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JP2003277399A Pending JP2005042160A (ja) | 2003-07-22 | 2003-07-22 | 膜厚制御方法および膜厚制御装置 |
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JP (1) | JP2005042160A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010103914A1 (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-16 | セントラル硝子株式会社 | 酸化タンタル薄膜及び薄膜積層体 |
CN112501578A (zh) * | 2019-12-13 | 2021-03-16 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 渐变色镀膜机的镀膜质量控制方法 |
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2003
- 2003-07-22 JP JP2003277399A patent/JP2005042160A/ja active Pending
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WO2010103914A1 (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-16 | セントラル硝子株式会社 | 酸化タンタル薄膜及び薄膜積層体 |
CN112501578A (zh) * | 2019-12-13 | 2021-03-16 | 湘潭宏大真空技术股份有限公司 | 渐变色镀膜机的镀膜质量控制方法 |
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