JP2005032700A - 板状電極を有する気体励起装置及び気体励起方法 - Google Patents

Abstract

【課題】従来の気体励起効率を少なくとも維持して、製造コスト及びメンテナンスコストを低減した気体励起装置及び気体励起方法を提供する。
【解決手段】気体励起装置１０は、被処理気体流入用開口部１２と気体排出用開口部１３を有するハウジング１１内に、複数の円筒／円柱状電極からなる第１電極群及び第２電極群を備え、第１電極群−第２電極群間に交流電位を印加可能であり、
（１）第１電極群電極１６Ａが、内部棒状電極１６Ｘと円筒状絶縁性外被体１６Ｙとからなり、その外被体表面が被処理気体と接触する保護電極であり、
（２）第２電極群電極が、
（ａ）同様の保護電極であるか又は
（ｂ）電極表面が露出して被処理気体と接触する露出電極である
前記装置において、
第１電極群又は第２電極群の複数電極を、１つの板状電極１４Ｂに置き換えたことを特徴とする。気体励起方法は、前記装置を用いて実施する。
【選択図】図１１

Description

本発明は、板状電極を有する気体励起装置及び気体励起方法に関する。本発明によれば、従来の気体励起装置及び気体励起方法における気体励起効率を少なくとも維持したままで、製造コスト及びメンテナンスコストの低減化を実現することができる。

交流高圧放電条件下に気体を誘導して気体分子を励起し、低温プラズマを発生させる気体励起装置としては種々の装置が知られており、例えば、特開平９−１９９２６１号公報（特許文献１）や米国特許第５，４８３，１１７号明細書（特許文献２）にも、気体励起装置が記載されている。こうした従来公知の気体励起装置の代表的な態様を図１６に示す。図１６は、気体励起装置Ｐのハウジング１の側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図である。前記気体励起装置Ｐは、被処理気体Ｇの流入用開口部２と処理済み気体Ｃの排出用開口部３とを備えた大略直方体状のハウジング１を有し、前記ハウジング１の内部には、多数の保護電極６を備えている。前記の保護電極６は、図１７の模式的断面図に示すとおり、棒状電極６ｘと、その棒状電極６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体６ｙとを含み、前記の円筒状鞘体６ｙは、絶縁体材料からなる。更に、前記の保護電極６は、２系列の電極群６Ａ，６Ｂに分かれており、それぞれ電線９Ａ，９Ｂに接続し、電線９Ａ，９Ｂは交流電源９と接続している。また、一方の系列の電極群６Ｂに接続する電線９Ｂは、接地（アース）されている。なお、図１７に示すとおり、ハウジング１内部において最も外側に配置され、ハウジング１の内壁と対向する各保護電極６Ｂは、それぞれ、ハウジング１の内壁との間で放電が発生しないように、アースされる電線９Ｂに接続するのが好ましい。原理的にはハウジング１それ自体をアースする必要はないが、安全上の観点からハウジング１それ自体をアースするのが好ましい。

図１６及び図１７は、従来の気体励起装置の代表的な態様における電極配置構造などを示す目的のために、構成を単純化し、例えば、電極群の数も極端に減少して図示している。実際には、気体励起装置内に大量の電極群を配設する必要があるため、例えば、図１９に示すように、ある程度の個数の電極群をまとめて含む電極群ブロック体Ｑの形態とし、それらのブロック体Ｑの複数個を気体励起装置内に配設する。なお、図１９に示す電極群ブロック体Ｑは、保護電極６、左側板８Ａ、右側板８Ｂ、中央支持板８Ｃ、及びリード線９Ａ，９Ｂを含み、各保護電極６は、前記左側板８Ａと前記右側板８Ｂとの中間に配置される中央支持板８Ｃに設けた貫通孔を貫通することによって保持されていると共に、前記左側板８Ａの内側及び前記右側板８Ｂの内側の各表面にそれぞれ設けた非貫通孔内部に端部を装入されることによって保持されている。

前記の気体励起装置によって発生する低温非平衡プラズマを利用する脱臭装置や空気浄化装置も知られている。例えば、特開２００１−２９３０７９号公報（特許文献３）には、低温プラズマを発生する高圧放電部と、その下流に配置され、酸化促進触媒が充填されている触媒部とを有する低温プラズマ脱臭装置が記載されている。前記高圧放電部では、被処理気体に対して高圧放電により解離エネルギーを与えることによりラジカルを発生させる。すなわち、放電により気体中に放出された電子が、臭気ガス中の気体分子に射突し、分子を活性化させる。その活性分子の一部は解離してラジカルとなり、臭気ガス中の悪臭物質を酸化分解したり、あるいは、オゾンを生成させるものと考えられる。ラジカルにより生成された前記オゾンも、悪臭物質を酸化させ、悪臭物質の処理に貢献するものと考えられる。また、放電そのものの有するエネルギーによっても、悪臭物質の酸化分解が行われる。

特開平９−１９９２６１号公報 米国特許第５，４８３，１１７号明細書 特開２００１−２９３０７９号公報

図１６及び図１７に示すタイプの気体励起装置は、一般に多数の円筒状電極をハウジング１内に設けて製造される。これらの各円筒状電極を１本ずつハウジングに固定する作業は極めて煩雑であり、製造コストを上昇させる原因となっていた。また、前記図１９に示すように、ある程度の個数の円筒状電極をブロック化して含む電極群ブロック体の形状でハウジングに設置する方法も利用されているが、その電極群ブロック体を製造する作業自体は、各円筒状電極を１本ずつ側板などに固定する作業であり、コスト減の効果も限られている。

また、図１６及び図１７に示すタイプの気体励起装置で円筒状電極が故障（例えば、損傷）した場合、その故障電極を交換しないで気体励起装置の運転を継続すると、その周囲の正常な電極までも損傷させることになるので、故障電極の交換は、気体励起装置のメンテナンス上で重要な作業である。しかしながら、多数の円筒状電極の中から、１本ないし小数の故障電極を交換する作業は非常に煩雑な作業であり、メンテナンスコストを上昇させる原因となっていた。

更に、図１６及び図１７に示すタイプの気体励起装置を、汚染空気などの処理に使用して各円筒状電極の表面が汚れた場合、汚れたままで気体励起装置の運転を続けると気体の励起能力が著しく低下するので、定期的な洗浄が必要になる。しかしながら、多数の円筒状電極を配設した前記の気体励起装置の洗浄工程も非常に煩雑な作業であり、メンテナンスコストを上昇させる原因となっていた。

更にまた、図１６及び図１７に示すタイプの気体励起装置については、装置全体としての励起能を向上させる手段も求められていた。
従って、本発明の課題は、製造コスト及びメンテナンスコストを低減化させた気体励起装置及び気体励起方法を提供することにある。また、気体励起能が向上した気体励起装置及び気体励起方法を提供することにある。

本発明は、
被処理気体の流入用開口部と処理済み気体の排出用開口部とを有するハウジング内に、複数の円筒状又は円柱状電極から構成される第１電極群と複数の円筒状又は円柱状電極から構成される第２電極群とを備え、第１電極群に属する円筒状又は円柱状電極と第２電極群に属する円筒状又は円柱状電極との間に交流電位を印加することができる気体励起装置であって、
（１）第１電極群に属する円筒状又は円柱状電極が、内部棒状電極と、その内部棒状電極の周囲を包囲する円筒状絶縁性外被体とからなり、その絶縁性外被体の外側表面が被処理気体と接触する保護電極であり、
（２）第２電極群に属する円筒状又は円柱状電極が、
（ａ）前記と同様の保護電極であるか、あるいは
（ｂ）電極表面が露出して、被処理気体と直接に接触する円筒状又は円柱状の露出電極である
前記の気体励起装置において、
前記第１電極群に属する複数の円筒状又は円柱状電極あるいは第２電極群に属する複数の円筒状又は円柱状電極を、１つの板状電極に置き換えたことを特徴とする、気体の励起装置に関する。

本発明装置の好ましい態様においては、板状電極が、内部板状電極と、その内部板状電極の周囲を包囲する直方体状絶縁性外被体とからなる板状保護電極である。
本発明装置の別の好ましい態様においては、板状電極が、板状露出電極である。
本発明装置の更に別の好ましい態様においては、内部板状電極又は板状露出電極が、平滑表面を有する平滑板状電極、表面に凹凸構造物を有する凹凸板状電極、又は貫通孔を有する貫通孔板状電極である。
本発明装置の更に別の好ましい態様においては、第１電極群及び第２電極群がそれぞれ複数の電極列からなり、それらの電極列がそれぞれ平行に交互に配置されている。

本発明装置の更に別の好ましい態様においては、ハウジングと対向して接する位置に第１電極群に属する電極列を配置させると共に、第１電極群を接地させ、第２電極群を接地させない。
本発明装置の更に別の好ましい態様においては、ハウジングが接地されている。
本発明装置の更に別の好ましい態様においては、第１電極群に属する複数の電極列の少なくとも１列の全体が１つの板状電極に置き換えられており、更に好ましい態様においては、第１電極群に属する複数の電極列の全列がそれぞれ板状電極に置き換えられている。
本発明装置の更に別の好ましい態様においては、第２電極群に属する複数の電極列の少なくとも１列の全体が１つの板状電極に置き換えられており、更に好ましい態様においては、第２電極群に属する複数の電極列の全列がそれぞれ板状電極に置き換えられている。

本発明装置の更に別の好ましい態様においては、流入用開口部から排出用開口部への被処理気体の流れ方向に対して平行に板状電極を配置する。
本発明装置の更に別の好ましい態様においては、流入用開口部から排出用開口部への被処理気体の流れ方向に対して垂直方向に貫通孔板状露出電極を配置する。

また、本発明は、
被処理気体の流入用開口部と処理済み気体の排出用開口部とを有すると共に、複数の円筒状又は円柱状電極から構成される第１電極群と複数の円筒状又は円柱状電極から構成される第２電極群とを備えたハウジング内に被処理気体を通過させ、第１電極群に属する円筒状又は円柱状電極と第２電極群に属する円筒状又は円柱状電極との間に交流電位を印加することにより、被処理気体を励起する方法であって、
（１）第１電極群に属する円筒状又は円柱状電極が、内部棒状電極と、その内部電極の周囲を包囲する円筒状電極外被体とからなり、その絶縁性外被体の外側表面が被処理気体と接触する保護電極であり、
（２）第２電極群に属する円筒状又は円柱状電極が、
（ａ）前記と同様の保護電極であるか、あるいは
（ｂ）電極表面が露出して、被処理気体と直接に接触する円筒状又は円柱状の露出電極である
前記の気体励起方法において、
前記第１電極群に属する複数の円筒状又は円柱状電極あるいは第２電極群に属する複数の円筒状又は円柱状電極を、１つの板状電極に置き換えたことを特徴とする、気体の励起方法にも関する。

本発明によれば、２つ又はそれ以上の保護電極を一体化した１つの板状保護電極に置き換えるか、あるいは、２つ又はそれ以上の露出電極を一体化した１つの板状露出電極に置き換えることにより、製造コスト及びメンテナンスコストを低減化させることができる。特に、多数の保護電極群を一体化した１つの板状保護電極に置き換えるか、あるいは、多数の露出電極群を一体化した１つの板状露出電極に置き換えることにより、製造コスト及びメンテナンスコストを低減化させることができる。
なお、従来法において用いられていた円筒状電極に変えて板状電極を用いても、気体の励起効率は、従来法と少なくとも同レベルであるか、若干向上する。
また、交流電位を印加して放電（無声放電）を発生させる保護電極と保護電極との組合せの内の一方の電極として、露出電極（すなわち、板状露出電極、あるいは円筒状又は円柱状の露出電極）を用いることにより、気体の励起効率を従来型装置よりも増加させることができるので、プラズマ発生量も増加し、従って、同じ印加電圧でより多くの気体を処理するか、あるいは同量の気体を低い印加電圧で処理することができる。

本発明においては、相互間で放電（無声放電）を発生させる第１電極群と第２電極群の内の一方の電極群をアース（接地）する必要はなく、更にハウジングをアース（接地）する必要もない。しかしながら、前記図１６に示すタイプの従来型の気体励起装置と同様に、安全性を高めるために、第１電極群と第２電極群の内の一方の電極群及びハウジングをアースさせることが好ましい。そこで、最初に、一方の電極群とハウジングをアースさせる態様を説明し、その後で、アースを必要としない基本的な態様について説明する。

アースさせる態様の本発明装置は、前記図１６に示すタイプの従来型の気体励起装置を改良した気体励起装置である。また、アースさせる態様の本発明装置には、
（１）非接地側電極が保護電極であり、接地側電極も保護電極である態様と、
（２）非接地側電極が保護電極であるのに対し、接地側電極が露出電極である態様と
がある。以下、本明細書では、前者（１）の態様を、保護・保護電極型装置と称し、後者（２）の態様を、保護・露出電極型装置と称することがある。

最初に、本発明による保護・保護電極型装置（１）と前記の従来型装置との基本構造の差異を図１及び図１０（本発明装置）並びに図１６〜１８（従来型装置）に沿って説明する。
図１８は、前記図１６及び図１７に示す従来型装置の基本的構造を示す模式的断面図である。従来型装置Ｐは、被処理気体Ｇの流入用開口部２と処理済み気体Ｃの排出用開口部３とを備えたハウジング１を有し、前記ハウジング１の内部には、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えている。前記の円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂは、それぞれ内部棒状電極６ｘと、その内部棒状電極６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体６ｙとを含む。前記円筒状保護電極６Ａは電線９Ａに接続し、前記円筒状保護電極６Ｂ，６Ｂは、それぞれ電線９Ｂに接続し、電線９Ａ，９Ｂは交流電源９と接続している。また、電極６Ｂ，６Ｂは、ハウジング１内の外側に配置され、ハウジング１の内壁と対向して接するので、それらと接続する電線９Ｂは、アースされている。

従来型装置Ｐでは、図１７に示すとおり、円筒状保護電極６Ａ側は接地させずに、非接地側電極群６Ｈを形成し、一方、円筒状保護電極６Ｂ側は接地させて、接地側電極群６Ｌを形成する。また、それらの非接地側電極群６Ｈ及び接地側電極群６Ｌは、それぞれ、ハウジング１内で列状に１グループを構成し、各グループ（各列）が被処理気体Ｇの流れ方向に対して平行方向に配置されている。すなわち、ハウジング１の内壁に対向して接している位置（電極群の一方の端部）には、接地側電極群６Ｌの第１グループ（列）が、被処理気体Ｇの流れ方向に対して平行方向に配置される（従って、ハウジング１の内壁に対して平行方向に配置される）。続いて、接地側電極群６Ｌの第１グループ（列）と平行に、非接地側電極群６Ｈの第１グループ（列）が平行方向に配置され、以下、同様に、接地側電極群６Ｌの第２グループ（列）以下のグループ（列）と非接地側電極群６Ｈの第２グループ（列）以下のグループ（列）が交互に平行に配置され、ハウジング１のもう一方の内壁に対向して接している位置（電極群のもう一方の端部）には、接地側電極群６Ｌのグループ（列）が配置される。

図１は、本発明装置の基本的構造を示す模式的断面図である。本発明装置１０は、被処理気体Ｇの流入用開口部１２と処理済み気体Ｃの排出用開口部１３とを備えたハウジング１１を有し、前記ハウジング１１の内部には、円筒状保護電極１６Ａと、板状保護電極１４Ｂ，１４Ｂとを備えている。従来型装置Ｐは、前記のとおり、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えているのに対し、本発明装置１０は、円筒状保護電極６Ｂの代わりに、板状保護電極１４Ｂを備えている点で異なる（なお、実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極６Ｂの代わりに、１つの板状保護電極１４Ｂを備えている）。
前記の円筒状保護電極１６Ａは、従来型装置Ｐと同様に、内部棒状電極１６ｘと、その内部棒状電極１６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体１６ｙとを含み、前記板状保護電極１４Ｂは、内部板状電極１４ｘと、その内部板状電極１４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体１４ｙとを含む。また、円筒状保護電極１６Ａは電線１９Ａと接続し、板状保護電極１４Ｂ，１４Ｂは、それぞれ電線１９Ｂに接続し、電線１９Ａ，１９Ｂは交流電源１９と接続している。また、板状保護電極１４Ｂ，１４Ｂに接続する電線１９Ｂは、好ましくはアースされている。

図１０は、図１に示す基本構造を有する本発明装置１０のハウジング１１の側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図であり、図１１は、その模式的断面図である。図１０及び図１１から明らかなように、本発明装置１０においては、図１６及び図１７に示す従来型装置Ｐにおいて、複数の円筒状保護電極から構成される接地側電極群６Ｌの各列が、それぞれ１つの板状保護電極１４Ｂに置き換わった構造を有している。すなわち、ハウジング１１の内壁に対向して接している位置（電極群の一方の端部）には、第１の板状保護電極１４Ｂが、被処理気体Ｇの流れ方向に対して平行方向に配置される（従って、ハウジング１１の内壁に対して平行方向に配置される）。続いて、円筒状保護電極１６Ａが列状に１グループを構成した非接地側電極群の第１列が、前記の第１板状保護電極１４Ｂと平行方向に配置され、以下、同様に、第２以下の板状保護電極１４Ｂと第２列以下の非接地側電極群が交互に平行に配置され、ハウジング１１のもう一方の内壁に対向して接している位置（電極群のもう一方の端部）には、板状保護電極１４Ｂが配置される。なお、円筒状保護電極１６Ａは、それぞれ電線１９Ａに接続して、板状保護電極１４Ｂは、それぞれ電線１９Ｂに接続して、そして電線１９Ａ，１９Ｂは交流電源１９と接続しており、円筒状保護電極１６Ａと板状保護電極１４Ｂ，１４Ｂとの間に高電圧が印加される。また、電線１９Ｂは、ハウジング１１と共にアースされている。更に、各電極の両端部は、それぞれハウジング１１の支持壁１１Ａ，１１Ｂで支持されている。
なお、板状保護電極１４Ｂは、図１０に示すように、被処理気体Ｇの流れ方向に沿って、ハウジング１１における流入用開口部１２の端部付近から排出用開口部１３の端部付近に至るまで連続する１枚の板状保護電極で構成することができる。あるいは、前記の連続する１枚の板状保護電極を被処理気体Ｇの流れ方向に沿って、複数枚に分割した形態、すなわち、２枚以上の複数個の板状保護電極を、被処理気体Ｇの流れ方向に沿って列状に並べて構成することもできる。この場合、個々の板状保護電極のそれぞれは、従来の複数個の円筒状保護電極に相当する機能を有するものである。

図１６及び図１７に示す従来型装置Ｐにおいては、接地側電極群６Ｌの列状グループが、それぞれ多数の円筒状保護電極６Ｂを含んで構成されていたので、製造コストやメンテナンスコストが高くなる原因となっていた。これに対して、本発明装置１０では、図１０から明らかなように、多数の円筒状保護電極を１つの板状保護電極１４Ｂの形態で含むので、製造コスト及びメンテナンスコストが大幅に低減される。

前記の保護電極１６Ａは、従来型装置Ｐと同様に、内部棒状電極１６ｘと、その内部棒状電極１６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体１６ｙとを含み、前記の円筒状鞘体１６ｙは、絶縁体材料からなる。内部棒状電極１６ｘと円筒状鞘体１６ｙの内側表面とは、完全な非接触状態でも、完全な接触状態でも、あるいは一部接触及び一部非接触の状態でもよい。内部棒状電極１６ｘと円筒状鞘体１６ｙの内側表面とが、少なくとも１部分で非接触状態である場合は、その空隙部には空気又は適当な保護ガスを充填するか、あるいは液体(例えば、油又は水)を充填して、被処理汚染大気との接触を防止するのが好ましい。

前記の板状保護電極１４Ｂは、板状の内部電極１４ｘと、その内部板状電極１４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体１４ｙとを含み、前記の直方体状鞘体１４ｙは、絶縁体材料からなる。内部板状電極１４ｘと直方体状鞘体１４ｙの内側表面とは、完全な非接触状態でも、完全な接触状態でも、あるいは一部接触及び一部非接触の状態でもよい。内部板状電極１４ｘと直方体状鞘体１４ｙの内側表面とが、少なくとも１部分で非接触状態である場合は、その空隙部には空気又は適当な保護ガスを充填するか、あるいは液体(例えば、油又は水)を充填して、被処理汚染大気との接触を防止するのが好ましい。

前記の内部棒状電極１６ｘ及び内部板状電極１４ｘは、任意の導電性材料から構成することができ、例えば、アルミニウム若しくはその合金、銅、炭素質材料、鉄若しくはその合金、あるいはタングステンを挙げることができる。前記の内部棒状電極１６ｘの形状は、特に限定されるものではないが、棒状体（例えば、筒状体若しくは柱状体、特には、円筒状体若しくは円柱状体）、あるいは、導線それ自体若しくは導線を撚って製造した撚り線型電極であることもできる。

前記の内部板状電極１４ｘの形状は、安定な放電が可能な板状である限り、特に限定されない。具体的には、例えば、平滑表面を有する平滑板状電極、表面に凹凸構造物を有する凹凸板状電極、又は貫通孔を有する貫通孔板状電極であることができる。平滑板状電極としては、例えば、図３１に示すように、平滑平面３１０ａを有する平板状電極３１０、あるいは図３２に示すように、平滑曲面３２０ａを有する平板状電極３２０を挙げることができる。なお、平滑曲面としては、図３２に示すような平滑凸状曲面だけではなく、平滑凹状曲面も含まれる。

また、表面に凹凸構造物を有する凹凸板状電極としては、例えば、図３３に示すように、平面３３０ａ上に多数の円錐状突起３３１をドット状に分散させて配置した凹凸板状電極３３０を挙げることができる。前記の突起の形状は、円錐状に限定されず、半球状や立方体状であることもできる。また、図３４に示すように、平面３４０ａ上に多数の立方体状凹部３４１をドット状に有する凹凸板状電極３４０を挙げることができる。前記の凹部の形状は、立方体状に限定されず、円錐状や半球状であることもできる。

更に、前記凹凸板状電極として、例えば、図３５に示すように、平行に設けた多数の帯状溝３５０ａと帯状突起３５０ｂとを有する凹凸板状電極を挙げることができる。前記の帯状溝及び帯状突起は、直線上のみでなく、平行に設けた多数の曲線状であることもできる。また、前記凹凸板状電極としては、例えば、図３６に示すように、断面が略半円状の帯状溝３６０ａと断面が略半円状の帯状突起３６０ｂとによって、表面に波形を形成する凹凸板状電極を挙げることができる。

前記の内部板状電極は、一方の表面が平滑板状であり、もう一方の表面が凹凸板状であることもできる。あるいは、前記の内部板状電極は、両面が平滑板状又は凹凸板状であることもできる。この場合、各面の平滑板状の形状及び凹凸板状の形状は、それぞれ、同じであっても異なっていてもよい。

貫通孔板状電極としては、例えば、図３７に示すように、導電性材料製の板に多数の孔部３７０ａを打ち抜いて形成した多孔板状電極３７０を挙げることができる。また、後述するように、貫通孔板状電極は、例えば、細い導電性材料繊維から構成される網状電極であることもできる。

本発明による保護・保護電極型装置の別の態様を図２に沿って説明する。
図２は、前記図１と同様に本発明装置の基本的構造を示す模式的断面図である。図２に示す態様の本発明装置２０は、被処理気体Ｇの流入用開口部２２と処理済み気体Ｃの排出用開口部２３とを備えたハウジング２１を有し、前記ハウジング２１の内部には、板状保護電極２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｂを備えている。前記の板状保護電極２４Ａ及び２４Ｂは、内部板状電極２４ｘと、その内部板状電極２４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体２４ｙとを含む。また、板状保護電極２４Ａは電線２９Ａと接続し、板状保護電極２４Ｂ，２４Ｂは、それぞれ電線２９Ｂに接続し、そして電線２９Ａ，２９Ｂは交流電源２９と接続しており、板状保護電極２４Ａと板状保護電極２４Ｂ，２４Ｂとの間に高電圧が印加される。また、板状保護電極２４Ｂ，２４Ｂに接続する電線２９Ｂは、ハウジング２１と共に好ましくはアースされている。

図１２は、図２に示す基本構造を有する本発明装置２０のハウジング２１の側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図であり、図１３は、その模式的断面図である。従来型装置Ｐは、前記のとおり、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えているのに対し、図２、図１２、及び図１３に示す態様の本発明装置２０は、円筒状保護電極６Ａの代わりに、板状保護電極２４Ａを備え、円筒状保護電極６Ｂの代わりに、板状保護電極２４Ｂを備えている点で異なる（なお、実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極６Ａ，６Ｂの代わりに、１つずつの板状保護電極２４Ａ，２４Ｂを備えている）。また、前記図１に示した態様では、従来型装置Ｐの接地側電極群６Ｌの各列を、それぞれ板状保護電極１４Ｂに置き換えた構造を有しているのに対し、図２、図１２、及び図１３に示す態様では、更に、従来型装置Ｐの非接地側電極群６Ｈの各列も、それぞれ板状保護電極１４Ｂに置き換えた構造を有しており、全電極群を板状保護電極とした態様である。従って、図２、図１２、及び図１３に示す態様では、製造コスト及びメンテナンスコストが更に大幅に低減される。なお、板状保護電極２４Ａ，２４Ｂは、図１２に示すように、被処理気体Ｇの流れ方向に沿って、ハウジング２１における流入用開口部２２の端部付近から排出用開口部２３の端部付近に至るまで連続する１枚の板状保護電極で構成することができる。あるいは、２枚以上の複数個の板状保護電極で構成することもできる。

本発明による保護・保護電極型装置の更に別の態様を図３に沿って説明する。
図３も、前記図１と同様に本発明装置の基本的構造を示す模式的断面図である。
図３に示す態様の本発明装置３０は、被処理気体Ｇの流入用開口部３２と処理済み気体Ｃの排出用開口部３３とを備えたハウジング３１を有し、前記ハウジング３１の内部には、板状保護電極３４Ａと、円筒状保護電極３６Ｂ，３６Ｂとを備えている。前記の円筒状保護電極３６Ｂは、従来型装置Ｐと同様に、内部棒状電極３６ｘと、その内部棒状電極３６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体３６ｙとを含み。前記の板状保護電極３４Ａは、内部板状電極３４ｘと、その内部板状電極３４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体３４ｙとを含む。また、板状保護電極３４Ａは電線３９Ａと接続し、円筒状保護電極３６Ｂ，３６Ｂは、それぞれ電線３９Ｂに接続し、そして電線３９Ａ，３９Ｂは交流電源３９と接続しており、板状保護電極３４Ａと円筒状保護電極３６Ｂ，３６Ｂとの間に高電圧が印加される。また、円筒状保護電極３６Ｂ，３６Ｂに接続する電線３９Ｂは、ハウジング３１と共に好ましくはアースされている。

従来型装置Ｐは、前記のとおり、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えているのに対し、図３に示す態様の本発明装置３０は、円筒状保護電極６Ａの代わりに、板状保護電極３４Ａを備えている点で異なる（なお、実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極６Ａの代わりに、１つの板状保護電極３４Ａを備えている）。また、前記図１に示した態様では、従来型装置Ｐの接地側電極群６Ｌの各列を、それぞれ板状保護電極１４Ｂに置き換えた構造を有しているのに対し、図３に示す態様では、逆に、従来型装置Ｐの非接地側電極群６Ｈの各列を、それぞれ板状保護電極３４Ａに置き換えた構造を有しており、従って、図３に示す態様も、前記と同様に、製造コスト及びメンテナンスコストが大幅に低減される。

本発明による保護・保護電極型装置では、前記の図１〜図３に示すように、非接地側電極群及び／又は接地側電極群に属する各列を、それぞれ一括して板状保護電極に置き換えることもできるが、非接地側電極群及び／又は接地側電極群に属する全体の列の一部の列のみを板状保護電極に置き換えることもできる。例えば、図１０に示す態様において、ハウジング１１の両側の内壁に対向して接している位置（電極群の両端部）に設ける電極群の列のみを板状保護電極に置き換え、それ以外の電極群の列を全て円筒状保護電極とすることもできる。あるいは、１列の円筒状保護電極群グループの一部のみを板状保護電極に置き換えることもできる。

次に、本発明による保護・露出電極型装置、すなわち、非接地側電極が保護電極であるのに対し、接地側電極が露出電極である態様の本発明による装置について、図４〜図６に沿って説明する。
図４は、前記図１と同様に本発明装置の基本的構造を示す模式的断面図である。
図４に示す態様の本発明装置４０は、被処理気体Ｇの流入用開口部４２と処理済み気体Ｃの排出用開口部４３とを備えたハウジング４１を有し、前記ハウジング４１の内部には、円筒状保護電極４６Ａと、板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂとを備えている。前記の円筒状保護電極４６Ａは、従来型装置Ｐと同様に、内部棒状電極４６ｘと、その内部棒状電極４６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体４６ｙとを含む。また、円筒状保護電極４６Ａは電線４９Ａと接続し、板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂは、それぞれ電線４９Ｂに接続し、そして電線４９Ａ，４９Ｂは交流電源４９と接続しており、円筒状保護電極４６Ａと板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂとの間に高電圧が印加される。また、板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂに接続する電線４９Ｂは、ハウジング４１と同様に好ましくはアースされている。

前記の板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂは、前記の保護・保護電極型装置に用いる板状保護電極における直方体状鞘体を取り払い、内部板状電極をそのまま露出した形態に相当し、安定な放電が可能な板状である限り、特に限定されない。具体的には、前記と同様に、平滑表面を有する平滑板状電極、表面に凹凸構造物を有する凹凸板状電極、又は貫通孔を有する貫通孔板状電極であることができる。
板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂは、任意の導電性材料から構成することができ、例えば、アルミニウム若しくはその合金、銅、炭素質材料、鉄若しくはその合金、あるいはタングステンを挙げることができる。なお、前記の露出電極は、被処理気体と直接に接触するので、耐蝕性を有し、清浄操作や取替え操作などのメンテナンスが容易な金属、例えば、ステンレススチール（例えば、ＳＵＳ）を用いるのが好ましい。

図１８に示す従来型装置Ｐでは、非接地側円筒状保護電極６Ａ内の内部棒状電極６ｘと両側の各接地側円筒状保護電極６Ｂ内の内部棒状電極６ｘとの間で放電が発生する。この従来型の放電では、１対の内部棒状電極６ｘ，６ｘの間に、２つの円筒状鞘体６ｙの絶縁体層の２層が介在する。一方、図４に示す本発明装置４０では、円筒状保護電極４６Ａ内の内部棒状電極４６ｘと両側の各板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂとの間で放電が起こる。この放電では、１つの内部棒状電極４６ｘと各板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂとの間には、１つの円筒状鞘体４６ｙの絶縁体層の１層のみが介在するだけであり、励起能力が向上するので、オゾン発生量が著しく増大する。なお、図４に示す本発明装置４０では、ハウジング４１と板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂとがアースされているので安全性が高く、例えば、ハウジング４１と板状露出電極４５Ｂ，４５Ｂとの間で放電が発生しない。

また、従来型装置Ｐは、前記のとおり、列状の多数の円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えているのに対し、図４に示す態様の本発明装置４０は、列状の多数の円筒状保護電極６Ｂの代わりに、１つ又は小数の板状露出電極４５Ｂを備えている点で異なり、従って、図４に示す態様においても、前記と同様に、製造コスト及びメンテナンスコストが大幅に低減される。

本発明による保護・露出電極型装置の別の態様を図５に沿って説明する。
図５は、前記図１及び図４と同様に本発明装置の基本的構造を示す模式的断面図である。図５に示す態様の本発明装置５０は、被処理気体Ｇの流入用開口部５２と処理済み気体Ｃの排出用開口部５３とを備えたハウジング５１を有し、前記ハウジング５１の内部には、板状保護電極５４Ａと、板状露出電極５５Ｂ，５５Ｂを備えている。前記の板状保護電極５４Ａは、内部板状電極５４ｘと、その内部板状電極５４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体５４ｙとを含む。また、板状保護電極５４Ａは電線５９Ａと接続し、板状露出電極５５Ｂ，５５Ｂは、それぞれ電線５９Ｂに接続し、そして電線５９Ａ，５９Ｂは交流電源５９と接続しており、板状保護電極５４Ａと板状露出電極５５Ｂ，５５Ｂとの間に高電圧が印加される。また、板状露出電極５５Ｂ，５５Ｂに接続する電線５９Ｂは、ハウジング５１と共に好ましくはアースされている。

図５に示す本発明装置５０では、板状保護電極５４Ａ内の内部板状電極５４ｘと両側の板状露出電極５５Ｂ，５５Ｂとの間で放電が起こる。この放電では、１つの内部板状電極５４ｘと各板状露出電極５５Ｂ，５５Ｂとの間には、１つの直方体状鞘体５４ｙの絶縁体層の１層のみが介在するだけであり、励起能力が向上するので、オゾン発生量が著しく増大する。また、従来型装置Ｐは、前記のとおり、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えているのに対し、図５に示す態様の本発明装置５０は、円筒状保護電極６Ａ（実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極）の代わりに、１つ又は少数の板状保護電極５４Ａを備え、円筒状保護電極６Ｂ（実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極）の代わりに、１つ又は少数の板状露出電極５５Ｂを備えている点で異なり、従って、図５に示す態様も、前記と同様に、製造コスト及びメンテナンスコストが大幅に低減される。

本発明による保護・露出電極型装置の更に別の態様を図６に沿って説明する。
図６は、前記図１及び図４と同様に本発明装置の基本的構造を示す模式的断面図である。図６に示す態様の本発明装置６０は、被処理気体Ｇの流入用開口部６２と処理済み気体Ｃの排出用開口部６３とを備えたハウジング６１を有し、前記ハウジング６１の内部には、板状保護電極６４Ａと、円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂ，６７Ｂを備えている。前記の板状保護電極６４Ａは、内部板状電極６４ｘと、その内部板状電極６４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体６４ｙとを含む。また、板状保護電極６４Ａは電線６９Ａと接続し、円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂ，６７Ｂは、それぞれ電線６９Ｂに接続し、そして電線６９Ａ，６９Ｂは交流電源６９と接続しており、板状保護電極６４Ａと円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂ，６７Ｂとの間に高電圧が印加される。また、円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂ，６７Ｂに接続する電線６９Ｂは、ハウジング６１と共に好ましくはアースされている。

前記の円筒状又は円柱状露出電極は、前記の円筒状保護電極における円筒状鞘体を取り払い、内部棒状電極をそのまま露出した形態に相当する。すなわち、前記の円筒状又は円柱状露出電極は、任意の導電性材料から構成することができ、例えば、アルミニウム若しくはその合金、銅、炭素質材料、鉄若しくはその合金、あるいはタングステンを挙げることができる。また、前記の円筒状又は円柱状露出電極も、被処理気体と直接に接触するので、耐蝕性を有し、清浄操作や取替え操作などのメンテナンスが容易な金属、例えば、ステンレススチール（例えば、ＳＵＳ）を用いるのが好ましい。更に、前記の円筒状又は円柱状露出電極の形状も特に限定されるものではないが、棒状体（例えば、筒状体若しくは柱状体、特には、円筒状体若しくは円柱状体）、あるいは、導線それ自体若しくは導線を撚って製造した撚り線型電極であることもできる。

図６に示す本発明装置６０では、板状保護電極６４Ａ内の内部板状電極６４ｘと両側の円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂ，６７Ｂとの間で放電が起こる。この放電では、１つの内部板状電極６４ｘと各円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂ，６７Ｂとの間には、１つの直方体状鞘体６４ｙの絶縁体層の１層のみが介在するだけであり、励起能力が向上するので、オゾン発生量が著しく増大する。また、従来型装置Ｐは、前記のとおり、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えているのに対し、図６に示す態様の本発明装置６０は、円筒状保護電極６Ａ（実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極）の代わりに、１つ又は少数の板状保護電極６４Ａを備えている点で異なり、従って、図６に示す態様も、前記と同様に、製造コスト及びメンテナンスコストが大幅に低減される。

次に、本発明による保護・露出電極型装置、すなわち、非接地側電極が露出電極であるのに対し、接地側電極が保護電極である態様の本発明による装置について、図７〜図９に沿って説明する。
本発明による保護・露出電極型装置の態様を図７に沿って説明する。
図７は、前記図１及び図４と同様に本発明装置の基本的構造を示す模式的断面図である。図７に示す態様の本発明装置７０は、被処理気体Ｇの流入用開口部７２と処理済み気体Ｃの排出用開口部７３とを備えたハウジング７１を有し、前記ハウジング７１の内部には、板状露出電極７５Ａと、円筒状保護電極７６Ｂ，７６Ｂとを備えている。前記の円筒状保護電極７６Ｂ，７６Ｂは、従来型装置Ｐと同様に、内部棒状電極７６ｘと、その内部棒状電極７６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体７６ｙとを含む。また、板状露出電極７５Ａは電線７９Ａに接続し、円筒状保護電極７６Ｂ，７６Ｂは、それぞれ電線７９Ｂと接続し、そして電線７９Ａ，７９Ｂは交流電源７９と接続しており、板状露出電極７５Ａと円筒状保護電極７６Ｂ，７６Ｂとの間に高電圧が印加される。また、板状露出電極７５Ａに接続する電線７９Ａは、ハウジング７１と同様に好ましくはアースされている。

図７に示す本発明装置７０では、板状露出電極７５Ａと両側の各円筒状保護電極７６Ｂ，７６Ｂ内の内部棒状電極７６ｘとの間で放電が起こる。この放電では、各板状露出電極７５Ａと１つの内部棒状電極７６ｘとの間には、１つの円筒状鞘体７６ｙの絶縁体層の１層のみが介在するだけであり、励起能力が向上するので、オゾン発生量が著しく増大する。なお、図７に示す本発明装置７０では、ハウジング７１と板状露出電極７５Ａとが接地（アース）されているので安全性が高く、ハウジング７１と板状露出電極７５Ａとの間で放電が発生しない。また、従来型装置Ｐは、前記のとおり、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えているのに対し、図７に示す態様の本発明装置７０は、円筒状保護電極６Ａ（実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極）の代わりに、１つ又は少数の板状露出電極７５Ａを備えている点で異なり、従って、図７に示す態様も、前記と同様に、製造コスト及びメンテナンスコストが大幅に低減される。

本発明による保護・露出電極型装置の別の態様を図８に沿って説明する。
図８は、前記図１及び図４と同様に本発明装置の基本的構造を示す模式的断面図である。図８に示す態様の本発明装置８０は、被処理気体Ｇの流入用開口部８２と処理済み気体Ｃの排出用開口部８３とを備えたハウジング８１を有し、前記ハウジング８１の内部には、板状露出電極８５Ａと、板状保護電極８４Ｂ，８４Ｂとを備えている。前記の板状保護電極８４Ｂ，８４Ｂは、内部板状電極８４ｘと、その内部板状電極８４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体８４ｙとを含む。また、板状露出電極８５Ａは、それぞれ電線８９Ａに接続し、板状保護電極８４Ｂ，８４Ｂは電線８９Ｂと接続し、そして電線８９Ａ，８９Ｂは交流電源８９と接続しており、板状露出電極８５Ａと板状保護電極８４Ｂ，８４Ｂとの間に高電圧が印加される。また、板状露出電極８５Ａに接続する電線８９Ａは、ハウジング８１と共に好ましくはアースされていることが好ましい。

図８に示す本発明装置８０では、板状露出電極８５Ａと両側の板状保護電極８４Ｂ，８４Ｂ内の内部板状電極８４ｘとの間で放電が起こる。この放電では、各板状露出電極８５Ａと１つの内部板状電極８４ｘとの間には、１つの直方体状鞘体８４ｙの絶縁体層の１層のみが介在するだけであり、励起能力が向上するので、オゾン発生量が著しく増大する。また、従来型装置Ｐは、前記のとおり、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えているのに対し、図８に示す態様の本発明装置８０は、円筒状保護電極６Ａ（実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極）の代わりに、１つ又は少数の板状露出電極８５Ａを備え、円筒状保護電極６Ｂ，６Ｂ（実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極）の代わりに、１つ又は少数の板状保護電極８４Ｂ，８４Ｂを備えている点で異なり、従って、図８に示す態様も、前記と同様に、製造コスト及びメンテナンスコストが大幅に低減される。

本発明による保護・露出電極型装置の更に別の態様を図９に沿って説明する。
図９は、前記図１及び図４と同様に本発明装置の基本的構造を示す模式的断面図である。図９に示す態様の本発明装置９０は、被処理気体Ｇの流入用開口部９２と処理済み気体Ｃの排出用開口部９３とを備えたハウジング９１を有し、前記ハウジング９１の内部には、円筒状又は円柱状露出電極９７Ａと、板状保護電極９４Ｂ，９４Ｂとを備えている。前記の板状保護電極９４Ｂ，９４Ｂは、内部板状電極９４ｘと、その内部板状電極９４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体９４ｙとを含む。また、円筒状又は円柱状露出電極９７Ａは電線９９Ａに接続し、板状保護電極９４Ｂ，９４Ｂは、それぞれ電線９９Ｂと接続し、そして電線９９Ａ，９９Ｂは交流電源９９と接続しており、円筒状又は円柱状露出電極９７Ａと板状保護電極９４Ｂ，９４Ｂとの間に高電圧が印加される。また、円筒状又は円柱状露出電極９７Ａに接続する電線９９Ａは、ハウジング９１と共に好ましくはアースされている。

図９に示す本発明装置９０では、円筒状又は円柱状露出電極９７Ａと両側の板状保護電極９４Ｂ，９４Ｂ内の内部板状電極９４ｘとの間で放電が起こる。この放電では、露出電極９７Ａと各内部板状電極９４ｘとの間には、１つの直方体状鞘体９４ｙの絶縁体層の１層のみが介在するだけであり、励起能力が向上するので、オゾン発生量が著しく増大する。また、従来型装置Ｐは、前記のとおり、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂ，６Ｂを備えているのに対し、図９に示す態様の本発明装置９０は、円筒状保護電極６Ｂ，６Ｂ（実際には、列状に配置された複数の円筒状保護電極）の代わりに、１つ又は少数の板状保護電極９４Ｂ，９４Ｂを備えている点で異なり、従って、図９に示す態様も、前記と同様に、製造コスト及びメンテナンスコストが大幅に低減される。

本発明による保護・露出電極型装置では、前記の図４〜図９に示すように、非接地側電極群及び／又は接地側電極群の各列を、それぞれ一括して板状保護電極及び／又は板状露出電極に置き換えることもできるが、非接地側電極群及び／又は接地側電極群の全列の一部の列のみを板状保護電極及び／又は板状露出電極に置き換えることもできる。あるいは、１列の円筒状保護電極群の一部のみを板状保護電極及び／又は板状露出電極に置き換えることができる。

本発明においては、前記の通り、前記図１６に示すタイプの従来型の気体励起装置と同様に、安全性を高めるために、第１電極群と第２電極群の内の一方の電極群及びハウジングをアース（接地）させることが好ましい。しかしながら、本発明では、前記図１６に示すタイプの従来型の気体励起装置と同様に、原理的には、第１電極群と第２電極群の内の一方の電極群アースさせる必要はなく、更に、ハウジングをアースさせる必要もない。このように、第１電極群と第２電極群の内の一方の電極群をアースさせず、更に、ハウジングもアースさせない態様について、その原理を以下に説明する。

図２０は、従来型装置Ｐの電極の基本的構成を示す模式的断面図であり、前記図１８に示す態様（第１電極群と第２電極群の内の一方の電極群及びハウジングをアースさせる態様）の基本的構成に相当する。図２０に示す従来型装置Ｐは、被処理気体Ｇの流入用開口部２と処理済み気体Ｃの排出用開口部３とを備えたハウジング１を有し、前記ハウジング１の内部には、円筒状保護電極６Ａ，６Ｂを備えている。前記の円筒状保護電極６Ａ，６Ｂは、それぞれ内部棒状電極６ｘと、その内部棒状電極６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体６ｙとを含む。前記円筒状保護電極６Ａは電線９Ａに接続し、前記円筒状保護電極６Ｂは、それぞれ電線９Ｂに接続し、電線９Ａ，９Ｂは交流電源９と接続している。また、電線及びハウジングは、共にアースされている必要はないが、アースされていてもよい。

これに対し、前記図１に示す本発明の保護・保護電極型装置の態様（第１電極群と第２電極群の内の一方の電極群及びハウジングをアースさせる態様）の基本的構成に相当する態様（アースを必須としない態様）を図２１に示す。図２１に示す本発明装置１０は、被処理気体Ｇの流入用開口部１２と処理済み気体Ｃの排出用開口部１３とを備えたハウジング１１を有し、前記ハウジング１１の内部には、円筒状保護電極１６Ａと、板状保護電極１４Ｂとを備えている。図２０で示した従来型装置Ｐは、前記のとおり、多数の列状の円筒状保護電極６Ａ，６Ｂを備えているのに対し、本発明装置１０は、円筒状保護電極６Ｂの代わりに、１つないし小数の板状保護電極１４Ｂを備えている点で異なる。前記の円筒状保護電極１６Ａは、従来型装置Ｐと同様に、内部棒状電極１６ｘと、その内部棒状電極１６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体１６ｙとを含み、前記板状保護電極１４Ｂは、内部板状電極１４ｘと、その内部板状電極１４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体１４ｙとを含む。また、円筒状保護電極１６Ａは電線１９Ａと接続し、板状保護電極１４Ｂは、それぞれ電線１９Ｂに接続し、電線１９Ａ，１９Ｂは交流電源１９と接続している。また、電線及びハウジングは、共にアースされていても、されていなくてもよい。

ところで、図２１に示す態様のように、前記ハウジング１１と対向して接する位置に円筒状保護電極１６Ａ及び板状保護電極１４Ｂを配置すると、前記両電極１６Ａ，１４Ｂ間において発生する目的とする放電の他に、ハウジング１１と電極１６Ａ，１４Ｂのどちらか一方又は両方との間でも放電が発生するおそれがある。ハウジング１１との間の放電が発生すると、ハウジング１１を構成する材料によっては、放電によって劣化が起きる。ハウジング１１は、本来、電極を固定したり、気体励起装置において他の電極群ブロック体Ｑを保持する機能を有しており、前記のような劣化は、望ましくない。従って、安全上においても、ハウジング１１と前記両電極１６Ａ，１４Ｂとの放電を防止することが望ましい。

ハウジング１１とハウジング内壁に対向して接している位置に配置する電極群（外側電極）とをアース（接地）する目的は、前記ハウジング１１と、円筒状保護電極１６Ａ又は板状保護電極１４Ｂ電極との間で発生する放電を防止するためである。前記の放電を防止する別の手段としては、例えば、放電が発生しない程度にハウジング内壁と外側電極との間隔を設ける方法、又は外側電極とハウジング内壁との間で放電が生じない程度に、電極に印加する電圧を調節する方法等がある。

前記図２に示す本発明の保護・保護電極型装置の態様（アースさせる態様）の基本的構成に相当する態様（アースを必須としない態様）を図２２に示す。図２２に示す本発明装置２０は、被処理気体Ｇの流入用開口部２２と処理済み気体Ｃの排出用開口部２３とを備えたハウジング２１を有し、前記ハウジング２１の内部には、板状保護電極２４Ａ，２４Ｂを備えている。前記の板状保護電極２４Ａ及び２４Ｂは、内部板状電極２４ｘと、その内部板状電極２４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体２４ｙとを含む。また、板状保護電極２４Ａは電線２９Ａと接続し、板状保護電極２４Ｂは、それぞれ電線２９Ｂに接続し、そして電線２９Ａ，２９Ｂは交流電源２９と接続しており、板状保護電極２４Ａと板状保護電極２４Ｂとの間に高電圧が印加される。また、電線及びハウジングは、共にアースされていても、されていなくてもよい。図２２に示す本発明装置２０において、ハウジング２１と板状保護電極２４Ａ，２４Ｂとの放電は、前記と同じ方法で防止することができる。

前記図４に示す本発明の保護・露出電極型装置の態様（アースさせる態様）の基本的構成に相当する態様（アースを必須としない態様）を図２３に示す。図２３に示す本発明装置４０は、被処理気体Ｇの流入用開口部４２と処理済み気体Ｃの排出用開口部４３とを備えたハウジング４１を有し、前記ハウジング４１の内部には、円筒状保護電極４６Ａと、板状露出電極４５Ｂとを備えている。前記の円筒状保護電極４６Ａは、従来型装置Ｐと同様に、内部棒状電極４６ｘと、その内部棒状電極４６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体４６ｙとを含む。また、円筒状保護電極４６Ａは電線４９Ａと接続し、板状露出電極４５Ｂは、それぞれ電線４９Ｂに接続し、そして電線４９Ａ，４９Ｂは交流電源４９と接続しており、円筒状保護電極４６Ａと板状露出電極４５Ｂとの間に高電圧が印加される。また、電線及びハウジングは、共にアースされていても、されていなくてもよい。

図２３に示す本発明装置４０において、ハウジング４１と円筒状保護電極４６Ａ及び/又は板状露出電極４５Ｂとの放電は、前記と同じ方法で防止することができる。なお、板状露出電極４５Ｂの両端部は、円筒状保護電極４６Ａの両端部と同様に、一般に、それぞれハウジング４１の同じ壁面で保持されているので、板状露出電極４５Ｂと円筒状保護電極４６Ａとの間隔が狭い場合には、ハウジング４１の保持壁面において沿面放電が発生する可能性がある。このような沿面放電を防止する手段としては、例えば、図２７に示すように、板状露出電極５の両端部に、絶縁性材料からなる鞘体６ｚを設け、その鞘体６ｚを介して板状露出電極５をハウジング（図示せず）に固定し、板状露出電極５の露出端部５Ａと、隣接する円筒状保護電極との沿面放電可能な距離を実質的に延長させる方法を挙げることができる。

次に、前記図５に示す本発明の保護・露出電極型装置の態様（アースさせる態様）の基本的構成に相当する態様（アースを必須としない態様）を図２４に示す。図２４に示す本発明装置５０は、被処理気体Ｇの流入用開口部５２と処理済み気体Ｃの排出用開口部５３とを備えたハウジング５１を有し、前記ハウジング５１の内部には、板状保護電極５４Ａと、板状露出電極５５Ｂを備えている。前記の板状保護電極５４Ａは、内部板状電極５４ｘと、その内部板状電極５４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体５４ｙとを含む。また、板状保護電極５４Ａは電線５９Ａと接続し、板状露出電極５５Ｂは電線５９Ｂと接続し、そして電線５９Ａ，５９Ｂは交流電源５９と接続しており、板状保護電極５４Ａと板状露出電極５５Ｂとの間に高電圧が印加される。また、電線及びハウジングは、共にアースされていても、されていなくてもよい。

図２４に示す本発明装置５０において、ハウジング５１と板状保護電極５４Ａ及び/又は板状露出電極５５Ｂとの放電は、前記と同じ方法で防止することができ、ハウジング５１の保持壁面における沿面放電も、前記と同様の方法で防止することができる。

更に、前記図６に示す本発明の保護・露出電極型装置の態様（アースさせる態様）の基本的構成に相当する態様（アースを必須としない態様）を図２５に示す。図２５に示す本発明装置６０は、被処理気体Ｇの流入用開口部６２と処理済み気体Ｃの排出用開口部６３とを備えたハウジング６１を有し、前記ハウジング６１の内部には、板状保護電極６４Ａと、円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂとを備えている。前記の板状保護電極６４Ａは、内部板状電極６４ｘと、その内部板状電極６４ｘの周囲を包囲する直方体状鞘体６４ｙとを含む。また、板状保護電極６４Ａは電線６９Ａと接続し、円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂは、それぞれ電線６９Ｂに接続し、そして電線６９Ａ，６９Ｂは交流電源６９と接続しており、板状保護電極６４Ａと円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂとの間に高電圧が印加される。また、電線及びハウジングは、共にアースされていても、されていなくてもよい。図２５に示す本発明装置６０において、ハウジング６１と板状保護電極６４Ａ及び/又は円筒状又は円柱状露出電極６７Ｂとの放電は、前記と同じ方法で防止することができ、ハウジング６１の保持壁面における沿面放電も、前記と同様の方法で防止することができる。具体的には、例えば、図２８に示すように、円筒状又は円柱状露出電極７の両端部に、絶縁性材料からなる鞘体６ｚを設け、その鞘体６ｚを介して円筒状又は円柱状露出電極７をハウジング１に固定し、板状露出電極７の露出端部７Ａと、隣接する円筒状保護電極との沿面放電可能な距離を実質的に延長させることを挙げることができる。

図１〜図１０に示すように、本発明の気体励起装置は、従来型装置Ｐと同様に、大略直方体状のハウジングの上面に相当する部分に被処理気体Ｇの流入用開口部を備え、前記ハウジング１の底面に相当する部分に処理済み気体Ｃの排出用開口部を備えている。また、高圧放電処理（励起処理）が実施される前記ハウジングの内部には、複数の各種電極が、それぞれ相互に間隔を隔てて放電可能な距離を開けて設けられ、しかも被処理気体の流れを妨害しない方向に配置されており、それら各電極の両端部は、それぞれハウジングの支持壁で支持されている。なお、前記ハウジングの内部での電極群の配置は、ハウジング内部で放電がほぼ均等に発生し、各電極間を通過する被処理気体がほぼ均等に処理されるように配置されているのが好ましい。

こうした本発明による気体処理装置の流入用開口部から被処理気体Ｇを流入すると、被処理気体Ｇは、円筒状保護電極と板状保護電極との間、又は板状保護電極と板状保護電極との間、あるいは、円筒状保護電極と板状露出電極との間、板状保護電極と板状露出電極との間、又は板状保護電極と円筒状又は円柱状露出電極との間を通過して、最終的に排出用開口部から排出される。また、その間に、非接地側電極群と接地側電極群とに電圧を印加すると、それらの電極間で放電が起こり、気体分子が励起状態となってラジカルが発生する。これらのラジカルにより、被処理気体中の悪臭物質が酸化分解されたり、あるいは、オゾンを生成させるので、被処理気体は酸化処理される。また、こうして発生したラジカル及びオゾンと共に被処理気体を排出用開口部から排出し、酸化促進触媒が充填されている触媒部（図示せず）に送付して、ラジカル及びオゾンと被処理気体との反応を更に進行させ、気体の処理を続行することができる。

本発明による保護・露出電極型装置において、板状露出電極として貫通孔板状電極を用いる場合には、例えば、図１４及び図１５に示すように、第１電極群（例えば、接地側板状露出電極）及び第２電極群（例えば、非接地側円筒状保護電極群）を、それぞれ、被処理気体Ｇの流れ方向に対して垂直方向になるように配置することができる。
図１４は、こうした態様においてアースしている場合の本発明装置７０のハウジング７１の側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図であり、図１５は、その模式的断面図である。図１４及び図１５に示す態様の本発明装置７０は、被処理気体Ｇの流入用開口部７２と処理済み気体Ｃの排出用開口部７３とを備えたハウジング７１を有し、前記ハウジング７１の内部には、非接地側電極群に属する円筒状保護電極７６Ａと、接地側電極として用いる板状露出電極７５Ｂを備えている。前記の円筒状保護電極７６Ａは、内部棒状電極７６ｘと、その内部棒状電極７６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体７６ｙとを含む。また、円筒状保護電極７６Ａは、それぞれ電線（図示せず）と接続し、板状露出電極７５Ｂは、それぞれ電線（図示せず）に接続し、そして各電線は交流電源（図示せず）と接続している。また、板状露出電極７５Ｂに接続する電線（図示せず）は、ハウジング７１と共に好ましくはアースされている。

図１４及び図１５に示す本発明による気体処理装置７０の流入用開口部７２から被処理気体Ｇを流入すると、被処理気体Ｇは、各々の板状露出電極７５Ｂにおける開口部を通過し、更に各々の円筒状保護電極７６Ａの間を通過して、最終的に排出用開口部７３から排出される。また、その間に、円筒状保護電極７６Ａと板状露出電極７５Ｂとに電圧を印加すると、円筒状保護電極７６Ａと板状露出電極７５Ｂとの間で放電が起こり、気体分子が励起状態となってラジカルが発生する。これらのラジカルにより、被処理気体中の悪臭物質が酸化分解されたり、あるいは、オゾンを生成させるので、被処理気体は酸化処理される。また、こうして発生したラジカル及びオゾンと共に被処理気体を排出用開口部７３から排出し、酸化促進触媒が充填されている触媒部（図示せず）に送付して、ラジカル及びオゾンと被処理気体との反応を更に進行させ、気体の処理を続行することができる。

前記図１４及び図１５に示す本発明の保護・露出電極型装置の態様（アースさせる態様）の基本的構成に相当する態様（アースを必須としない態様）を図２６に示す。図２６に示す本発明装置１００は、被処理気体Ｇの流入用開口部１０２と処理済み気体Ｃの排出用開口部１０３とを備えたハウジング１０１を有し、前記ハウジング１０１の内部には、円筒状保護電極１０６Ａと板状露出電極１０５Ｂを備えている。前記の円筒状保護電極１０６Ａは、内部棒状電極１０６ｘと、その内部棒状電極１０６ｘの周囲を包囲する円筒状鞘体１０６ｙとを含む。また、円筒状保護電極１０６Ａは、それぞれ電線（図示せず）と接続し、板状露出電極１０５Ｂは、それぞれ電線（図示せず）に接続し、そして各電線は交流電源（図示せず）と接続している。また、電線及びハウジングは、共にアースされていても、されていなくてもよい。

前記ハウジング１０１が円筒状保護電極１０６Ａを保持している壁面における沿面放電を防止するには、例えば、図２９に示すように、板状露出電極１０５Ｂの周囲に、それを包囲する絶縁性材料製鞘体６ｚを設け、その鞘体６ｚを介して板状露出電極１０５Ｂをハウジング（図示せず）に固定し、板状露出電極１０５Ｂの露出端部１０５Ｃと、隣接する円筒状保護電極１０６Ａとの沿面放電可能な距離を実質的に延長させる方法を挙げることができる。

本発明の気体励起装置においては、前記の板状保護電極、板状露出電極、及び円筒状又は円柱状露出電極以外は、従来公知の気体励起装置（例えば、前記の特開平９−１９９２６１号公報又は米国特許第５，４８３，１１７号明細書に記載の装置）において使用されている各部品をそのまま使用することができる。

以下、実施例によって本発明を更に具体的に説明するが、これらは本発明の範囲を限定するものではない。

《実施例１》
図２、図１２、及び図１３に示す本発明の気体励起装置２０と同様の装置を用いて実施した。板状保護電極として、メッシュ板状のＳＵＳ電極（縦＝１６ｃｍ；横＝２ｃｍ；厚さ＝１ｍｍ）と、その周囲を包囲する直方体状ガラス製鞘体（ガラス層厚＝１．２ｍｍ）とからなり、直方体状ガラス製鞘体内部に空気を充填した板状保護電極を用い、その電極２５枚を、図１２及び図１３に示すように設置した。ハウジングとしては、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）製直方体（縦＝１６ｃｍ；横＝１６ｃｍ；奥行き＝１１ｃｍ）を用いた。また、交流電源としては１５ＫＶの電源を用い、非接地側電極群２４Ａに含まれる板状保護電極を一括して接続した電線と、接地側電極群２４Ｂに含まれる板状保護電極を一括して接続した電線とを電源に接続し、接地側電極２４Ｂに含まれる板状保護電極を一括して接続した電線は、ハウジングと共にアースした。この装置に、被処理気体としての空気（常温）を、０．２４ｍ／秒の速度で通過させながら、印加交流電圧を０〜約８ｋＶまで上昇させた。排出用開口部に設けた紫外線吸収方式測定器によってオゾン生成量を測定した。得られた結果を図３０の曲線ａに示す。

《実施例２》
前記実施例１で用いた気体励起装置において、接地側電極群２４Ｂに属する板状保護電極の代わりに、板状露出電極を設置した本発明の気体励起装置（図５参照）を用いて、前記実施例１と同様の実験を行った。なお、板状露出電極としては、前記実施例１で用いたメッシュ板状のＳＵＳ電極をそのまま使用した。結果を図３０の曲線ｂに示す。

《比較例１》
図１６及び図１７に示す従来型の気体励起装置を用いて、前記実施例１と同様の条件で実験を行った。すなわち、円筒状保護電極として、棒状アルミニウム内部電極（外径＝１．５ｍｍ）と、円筒状ガラス製鞘体（外径＝４ｍｍ）とからなり、ガラス製鞘体内部に空気を充填した保護電極を用い、接地側電極群（合計１１４個）と非接地側電極群（合計９０個）を、図１６及び図１７に示すように設置した。ハウジングとしては、ポリフェニレンサルファイド製直方体（縦＝４８ｃｍ；横＝４８ｃｍ；奥行き＝１１ｃｍ）を用いた。また、交流電源としては１５ＫＶの電源を用い、接地側円筒状保護電極群を一括して接続した電線と、非接地側円筒状保護電極群を一括して接続した電線とに接続した。また、接地側円筒状保護電極群を一括して接続した電線と、ハウジングとを共にアースした。この装置に、被処理気体としての空気（常温）を、０．２４ｍ／秒の速度で通過させながら、印加交流電圧を０〜約１４ｋＶまで上昇させた。排出用開口部に設けた紫外線吸収方式測定器によってオゾン生成量を測定した。得られた結果を図３０の曲線ｃに示す。

本発明によれば、製造コスト及びメンテナンスコストが低減した気体励起装置及び気体励起方法が提供される。

本発明による保護・保護電極型装置の一態様の基本的構造を示す模式的断面図である。 本発明による保護・保護電極型装置の別の態様の基本的構造を示す模式的断面図である。 本発明による保護・保護電極型装置の更に別の態様の基本的構造を示す模式的断面図である。 本発明による保護・露出電極型装置の一態様の基本的構造を示す模式的断面図である。 本発明による保護・露出電極型装置の別の態様の基本的構造を示す模式的断面図である。 本発明による保護・露出電極型装置の更に別の態様の基本的構造を示す模式的断面図である。 本発明による保護・露出電極型装置の一態様の基本的構造を示す模式的断面図である。 本発明による保護・露出電極型装置の別の態様の基本的構造を示す模式的断面図である。 本発明による保護・露出電極型装置の更に別の態様の基本的構造を示す模式的断面図である。 図１に示す本発明装置のハウジングの側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図である。 図１０に示す本発明装置の模式的断面図である。 図２に示す本発明装置のハウジングの側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図である。 図１２に示す本発明装置の模式的断面図である。 板状露出電極を用いる本発明装置のハウジングの側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図である。 図１４に示す本発明装置の模式的断面図である。 従来の気体処理装置のハウジングの側壁の一部を切り欠いて示す模式的斜視図である。 図１６に示す従来の気体処理装置の模式的断面図である。 図１６に示す従来の気体処理装置の基本的構造を示す模式的断面図である。 従来の気体処理装置において使用されている電極群ブロック体の模式的斜視図である。 図１６に示す従来の気体処理装置の電極の基本的構成を示す模式的断面図である。 図１に示す本発明装置の電極の基本的構成を示す模式的断面図である。 図２に示す本発明装置の電極の基本的構成を示す模式的断面図である。 図４に示す本発明装置の電極の基本的構成を示す模式的断面図である。 図５に示す本発明装置の電極の基本的構成を示す模式的断面図である。 図６に示す本発明装置の電極の基本的構成を示す模式的断面図である。 図１４に示す本発明装置の電極の基本的構成を示す模式的断面図である。 沿面放電を防止するための直方体状沿面放電防止用鞘体を有する露出電極の模式的斜視図である。 沿面放電を防止するための円筒状沿面放電防止用鞘体を有する露出電極の基本的構造を示す模式的断面図である。 沿面放電を防止するための沿面放電防止用鞘体を周縁に有する板状露出電極の模式的斜視図である。 実施例１〜２及び比較例１で実施した実験結果を示すグラフである。 本発明で用いることのできる平板状電極の斜視図である。 本発明で用いることのできる別の平板状電極の斜視図である。 本発明で用いることのできる凹凸板状電極の斜視図である。 本発明で用いることのできる別の凹凸板状電極の斜視図である。 本発明で用いることのできる更に別の凹凸板状電極の斜視図である。 本発明で用いることのできる更に別の凹凸板状電極の斜視図である。 本発明で用いることのできる貫通孔板状電極の斜視図である。

符号の説明

１，１１，２１，３１，４１，５１，６１，７１，８１，９１，１０１・・・ハウジング；
１Ａ，１Ｂ，１１Ａ，１１Ｂ，２１Ａ，２１Ｂ，１０１Ａ，１０１Ｂ・・・支持壁；
２，１２，２２，３２，４２，５２，６２，７２，８２，９２，１０２・・・流入用開口部；
３，１３，２３，３３，４３，５３，６３，７３，８３，９３，１０３・・・排出用開口部；
１４Ｂ，２４Ａ，２４Ｂ，３４Ａ，５４Ａ，６４Ａ，８４Ｂ，９４Ｂ・・・板状保護電極；
１４ｘ，２４ｘ，３４ｘ，５４ｘ，６４ｘ，８４ｘ，９４ｘ・・・内部板状電極；
１４ｙ，２４ｙ，３４ｙ，５４ｙ，６４ｙ，８４ｙ，９４ｙ・・・直方体状鞘体；
５，４５Ｂ，５５Ｂ，７５Ａ，８５Ａ，１０５Ｂ・・・板状露出電極；
６Ａ，６Ｂ，１６Ａ，３６Ｂ，４６Ａ，７６Ｂ，１０６Ａ・・・円筒状保護電極；
６ｘ，１６ｘ，３６ｘ，４６ｘ，７６ｘ，１０６ｘ・・・内部棒状電極；
６ｙ，１６ｙ，３６ｙ，４６ｙ，７６ｙ，７６ｙ・・・円筒状鞘体；
６ｚ・・・沿面放電防止用鞘体
６Ｈ・・・非接地側電極群；６Ｌ・・・接地側電極群；
７，６７Ｂ，９７Ａ・・・円筒状露出電極；
８Ａ・・・左側板；８Ｂ・・・右側板；８Ｃ・・・中央支持板；
９，１９，２９，３９，４９，５９，６９，７９，８９，９９・・・交流電源；
９Ａ，１９Ａ，２９Ａ，３９Ａ，４９Ａ，５９Ａ，６９Ａ，７９Ａ，８９Ａ，９９Ａ・・・非接地側電線；
９Ｂ，１９Ｂ，２９Ｂ，３９Ｂ，４９Ｂ，５９Ｂ，６９Ｂ，７９Ｂ，８９Ｂ，９９Ｂ・・・接地側電線；
Ｐ，１０，２０，３０，４０，５０，６０，７０，８０，９０，１００・・・気体励起装置；
３１０，３２０・・・平板状電極；３１０ａ・・・平滑平面；３２０ａ・・・平滑曲面；
３３０，３４０，３５０，３６０・・・凹凸板状電極；３３０ａ，３４０ａ・・・平面；
３３１・・・円錐状突起；３４１・・・立方体状凹部；３５０ａ・・・帯状溝；
３５０ｂ・・・帯状突起；３６０ａ・・・波形帯状溝；３６０ｂ・・・波形帯状突起；
３７０・・・多孔板状電極；３７０ａ・・・孔部；
Ｑ・・・電極群ブロック体；Ｇ・・・被処理気体；Ｃ・・・処理済み気体。

Claims (14)

1. 被処理気体の流入用開口部と処理済み気体の排出用開口部とを有するハウジング内に、複数の円筒状又は円柱状電極から構成される第１電極群と複数の円筒状又は円柱状電極から構成される第２電極群とを備え、第１電極群に属する円筒状又は円柱状電極と第２電極群に属する円筒状又は円柱状電極との間に交流電位を印加することができる気体励起装置であって、
   （１）第１電極群に属する円筒状又は円柱状電極が、内部棒状電極と、その内部棒状電極の周囲を包囲する円筒状絶縁性外被体とからなり、その絶縁性外被体の外側表面が被処理気体と接触する保護電極であり、
   （２）第２電極群に属する円筒状又は円柱状電極が、
   （ａ）前記と同様の保護電極であるか、あるいは
   （ｂ）電極表面が露出して、被処理気体と直接に接触する円筒状又は円柱状の露出電極である
   前記の気体励起装置において、
   前記第１電極群に属する複数の円筒状又は円柱状電極あるいは第２電極群に属する複数の円筒状又は円柱状電極を、１つの板状電極に置き換えたことを特徴とする、気体の励起装置。
2. 板状電極が、内部板状電極と、その内部板状電極の周囲を包囲する直方体状絶縁性外被体とからなる板状保護電極である、請求項１に記載の気体の励起装置。
3. 板状電極が、板状露出電極である、請求項１に記載の気体の励起装置。
4. 内部板状電極又は板状露出電極が、平滑表面を有する平滑板状電極、表面に凹凸構造物を有する凹凸板状電極、又は貫通孔を有する貫通孔板状電極である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の気体の励起装置。
5. 第１電極群及び第２電極群がそれぞれ複数の電極列からなり、それらの電極列がそれぞれ平行に交互に配置されている、請求項１〜４のいずれか一項に記載の気体の励起装置。
6. ハウジングと対向して接する位置に第１電極群に属する電極列を配置させると共に、第１電極群を接地させ、第２電極群を接地させない、請求項１〜５のいずれか一項に記載の気体の励起装置。
7. ハウジングが接地されている、請求項１〜６のいずれか一項に記載の気体の励起装置。
8. 第１電極群に属する複数の電極列の少なくとも１列の全体を１つの板状電極に置き換えた請求項１〜７のいずれか一項に記載の気体の励起装置。
9. 第１電極群に属する複数の電極列の全列をそれぞれ板状電極に置き換えた請求項８に記載の気体の励起装置。
10. 第２電極群に属する複数の電極列の少なくとも１列の全体を１つの板状電極に置き換えた請求項１〜９のいずれか一項に記載の気体の励起装置。
11. 第２電極群に属する複数の電極列の全列をそれぞれ板状電極に置き換えた請求項１０に記載の気体の励起装置。
12. 流入用開口部から排出用開口部への被処理気体の流れ方向に対して平行に板状電極を配置する、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の気体の励起装置。
13. 流入用開口部から排出用開口部への被処理気体の流れ方向に対して垂直方向に貫通孔板状露出電極を配置する、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の気体の励起装置。
14. 被処理気体の流入用開口部と処理済み気体の排出用開口部とを有すると共に、複数の円筒状又は円柱状電極から構成される第１電極群と複数の円筒状又は円柱状電極から構成される第２電極群とを備えたハウジング内に被処理気体を通過させ、第１電極群に属する円筒状又は円柱状電極と第２電極群に属する円筒状又は円柱状電極との間に交流電位を印加することにより、被処理気体を励起する方法であって、
    （１）第１電極群に属する円筒状又は円柱状電極が、内部棒状電極と、その内部電極の周囲を包囲する円筒状電極外被体とからなり、その絶縁性外被体の外側表面が被処理気体と接触する保護電極であり、
    （２）第２電極群に属する円筒状又は円柱状電極が、
    （ａ）前記と同様の保護電極であるか、あるいは
    （ｂ）電極表面が露出して、被処理気体と直接に接触する円筒状又は円柱状の露出電極である
    前記の気体励起方法において、
    前記第１電極群に属する複数の円筒状又は円柱状電極あるいは第２電極群に属する複数の円筒状又は円柱状電極を、１つの板状電極に置き換えたことを特徴とする、気体の励起方法。

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