JP2005026565A

JP2005026565A - 基板位置決め装置

Info

Publication number: JP2005026565A
Application number: JP2003192142A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Okahira; 裕幸岡平
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2003-07-04
Filing date: 2003-07-04
Publication date: 2005-01-27

Abstract

【課題】ガラス基板の反りや撓みを矯正できて基準位置に位置決めすること。
【解決手段】側面６の全周に亘って位置矯正用のＶ字形状の溝７を形成したローラ５をガラス基板２の端面に押し付ける。
【選択図】図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）などのフラットパネルディスプレイに用いられるガラス基板の反りや撓みを矯正して基準位置に位置決めする基板位置決め装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ガラス基板を位置決めする技術としては、例えば特許文献１がある。この特許文献１は、ガラス基板の位置決め時に、ガラス基板の端面を基準ローラの外枠を押し付けて位置決めした状態でガラス基板をホルダに吸着保持する際に、ガラス基板の下降と共に基準ローラを軸方向に変位させている。
【０００３】
【特許文献１】
特開平５−１１４６４４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ＬＣＤ製造工程のガラス基板は、その基板面上に回路パータン等が形成されることにより反りや撓みが生じる。これら反りや撓みの量は、ガラス基板の端面部程大きくなる。
【０００５】
特許文献１では、反りや撓みの生じたガラス基板の端面を基準ローラを押し付け基準位置決めするため、ガラス基板の反りや撓みを矯正することはできず、基準位置決め精度が低下する。
【０００６】
そこで本発明は、ガラス基板の反りや撓みを矯正できて高精度に位置決めできる基板位置決め装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、基板の端面と対向する面に内部に入る程狭まる位置矯正用の溝が形成された位置決め部材と、位置決め部材を基板の端面に対して押し付ける押し付け機構とを具備した基板位置決め装置である。
【０００８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。
【０００９】
図１は基板位置決め装置の一部断面構成図である。押し付け機構１は、ＬＣＤのガラス基板２の端面の方向（押し付け方向Ｐ）に移動可能である。この押し付け機構１の先端部には、回転支持用の軸３がねじ込みにより垂直方向に取り付けられている。この軸３には、位置決め部材としてボールベアリング４を介して耐摩耗性樹脂からなるローラ５が回転可能に取り付けられている。
【００１０】
このローラ５は、側面６の全周に亘って位置矯正用の溝７が形成されている。この位置矯正用の溝７は、内部に入る程狭まる形状で、例えばＶ字形状に形成されている。すなわち、位置矯正用の溝７は、テーパ状の各傾斜面７ａ、７ｂを有し、これら傾斜面７ａ、７ｂの開口角θを例えば３０°〜８０°の範囲で、好ましくは５０°〜７０°に形成している。又、位置矯正用の溝７の開口の幅Ｗは、ガラス基板２に生じる反りや撓み量よりも大きくなっている。ガラス基板の最大反り量が５ｍｍの場合には、開口の幅Ｗを１１〜１２ｍｍとする。そして、溝７のＶ字底部がガラス基板３の端面を基準の高さに規制する位置決め部位になる。すなわち、傾斜面７ａと７ｂの交点がガラス基板７の中心に一致し、この交点むよりガラス基板３の厚さｔの２分の１の高さがガラス基板７の表面の基準高さとなるようにローラ５の高さを調整する。このローラ５は、例えばエンジニアリングプラスチック等の耐摩耗性樹脂からなる。
【００１１】
このような基板位置決め装置を用いてガラス基板２を基準位置に位置決めする方法について説明する。
【００１２】
図２に示すようにガラス基板２の各コーナ部にそれぞれローラ（位置決め部材）５を２個つづ、計８個設ける。これらローラ５は、図１に示すようにそれぞれガラス基板２の端面に対して押し付け方向Ｐに押し付け力を加えるように各押し付け機構１を設けて位置決め装置として構成される。これにより、各ローラ５は、ガラス基板２の全方向（Ｘ方向、Ｙ方向）から各押し付け機構１により押し付けられる。
【００１３】
これらローラ５は、各押し付け機構１によりガラス基板２の端面に向けて移動して押し付け力が加えられると、図１に示すように各ローラ５の溝７内部にガラス基板２の端部が入る。
【００１４】
このとき、ガラス基板２の端部に反りや撓みが生じていると、ガラス基板２の端面は、ローラ５の溝７の傾斜面７ａ又は７ｂに当接して列方向とは逆方向に力が作用し、溝７の傾斜面７ａ又は７ｂを滑りながら溝７のＶ字底部の位置決め部位に導かれる。この場合、各傾斜面７ａ、７ｂの開口角θを例えば７０°以下に形成することにより、ガラス基板２の端面には、常に反り方向と逆方向に力が作用し、ガラス基板２の端面は、溝７の傾斜面７ａ又は７ｂに沿って溝７のＶ字底部へと移動する。
【００１５】
又、ローラ５は、軸３に対して回転可能であるので、ガラス基板２がアライメントされ、θ方向に回転する際に、ローラ５がガラス基板２の端面上を転動し、ガラス基板２との擦れがなくなる。
【００１６】
このようにして位置矯正用の溝７にガラス基板２の端面が入り込むことにより、ガラス基板２反りや撓みが矯正される。溝７のＶ字底部の高さ位置に対してガラス基板２の表面高さが基準位置に設定されるようにローラ５の高さを調整すれば、ガラス基板２を載置保持する基板ホルダ（ステージ）やガラス基板２をエアーで一定の高さに浮上させる検査ステージに対してガラス基板２の全面を水平に位置決めすることができる。
【００１７】
このように上記一実施の形態によれば、側面６の全周に亘って位置矯正用のＶ字形状の溝７を形成したローラ５をガラス基板２の端面に押し付ける基板位置決め装置を用いるので、ガラス基板２に生じている反りや撓みを水平方向に矯正して反りのあるガラス基板２でも高精度に位置決めできる。
【００１８】
又、ガラス基板２に対して全方向（Ｘ方向、Ｙ方向）から各ローラ５を押し付けるので、ガラス基板２の端面全周に生じる反りや撓みを矯正できる。
【００１９】
このような基板位置決め装置を用いてのガラス基板２の基準位置に対する位置決めは、ガラス基板２をエアーや静電等により浮上させて搬送する浮上基盤搬送装置や、ガラス基板２を一定の高さに浮上させて検査する検査ステージなどに適用できる。
【００２０】
又、ガラス基板２をホルダ上に載置してガラス基板２を検査するときに、ガラス基板２を水平に保持するときにも適用できる。
【００２１】
基板位置決め装置は、ガラス基板２の対向する搬送方向と平行な２つの側面に沿って複数配置してもよい。
【００２２】
なお、この発明は、上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。
【００２３】
例えば、上記各実施の形態では、位置決め部材としてローラ５を用いた基板整列ピンに適用したが、矩形状のブロックに位置矯正用の溝を設けてもよい。又、位置矯正用の溝７は、図３に示すようにＵ字形状の曲面１１に形成してもよい。このようなＵ字形状の曲面１１であっても、ガラス基板２の端面は、溝７の曲面１１に当接し、押し付け機構１による押し付けにより曲面１１を滑りながらＵ字底部の位置決め部位１２に導かれる。これにより、ガラス基板２に生じている反りや撓みが水平方向に矯正されて基準位置に位置決めされる。
【００２４】
又、位置決め部材は、図４に示すように一対のローラ２２、２３をガラス基板２の基準面に対して略平行に上下に配置してもよい。
【００２５】
このような位置決め部材あれば、押し付け機構１により各ローラ２２、２３がガラス基板２の端面に対して略垂直方向に押し付け力が加えられると、反りや撓みの生じたガラス基板２の端面がローラ２２又は２３に当接する。
【００２６】
このときガラス基板２の端面が当接したローラ２２又は２３は、回転しながらガラス基板２の端面を各ローラ２２、２３の間に導く。
【００２７】
これによって、ガラス基板２の反りや撓みが平面状に矯正され、ガラス基板２は、基準位置上に対して水平に位置決めされる。
【００２８】
又、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施形態に亘る構成要素を適宜組み合せてもよい。
【００２９】
【発明の効果】
以上詳記したように本発明によれば、ガラス基板の反りや撓みを矯正できて基準位置に位置決めできる基板位置決め装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係わる基板位置決め装置の一実施の形態を示す構成図。
【図２】本発明に係わる基板位置決め装置を用いた基板整列方法を示す図。
【図３】同基板位置決め装置におけるローラの位置矯正用の溝の変形例を示す図。
【図４】本発明に係わる基板位置決め装置の他の実施の形態を示す構成図。
【符号の説明】
１：押し付け機構、２：ガラス基板、３：軸、４：ボールベアリング、５：ローラ、６：側面、７：位置矯正用の溝、７ａ，７ｂ：傾斜面、１１：Ｕ字形状の曲面、１２：Ｕ字底部の位置決め部位、２０：位置決め部位、２１：溝、２２，２３：ローラ。

Claims

基板の端面と対向する面に内部に入る程狭まる位置矯正用の溝が形成された位置決め部材と、
前記位置決め部材を前記基板の端面に対して押し付ける押し付け機構と、
を具備したことを特徴とする基板位置決め装置。
前記位置決め部材は、耐摩耗性樹脂で形成されたローラをボールベアリングを介して回転可能に設け、前記ローラの側面全周に亘って前記位置矯正用の溝を形成したことを特徴とする請求項１記載の基板位置決め装置。
前記位置決め部材は、矩形状のブロックに形成され、前記基板の端面と対向する前記ブロックの一平面に前記位置矯正用の溝を形成したことを特徴とする請求項１記載の基板位置決め装置。
前記位置矯正用の溝は、前記基板の端面に当接することにより前記基板の端面を滑りながら位置決め部位に導くテーパ状の傾斜面を有することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項記載の基板位置決め装置。
前記位置矯正用の溝は、前記基板の端面に支持することにより前記基板の端面を滑りながら位置決め部位に導く曲面状の傾斜面を有することを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項記載の基板位置決め装置。
前記位置決め部材は、一対のローラを前記ガラス基板の基準平面に対して上下に平行に配置したことを特徴とする請求項１記載の基板位置決め装置。