JP2005026346A - 半導体チップの積層方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】低価格で、高速に半導体チップを積層して接続する方法およびそのシステムを提供する。
【解決手段】互いに電気的に接続すべき電極接合用部位を有する第1、第2の半導体チップを積層接合する方法であって、第1の基板81上に、正常に動作する複数の第1のチップ1a’を、第2のチップ1b’と接続しない面を第1の基板81に接して配列する第1の素子配列工程と、第2の基板82上に、正常に動作する複数の第2のチップ1b’を前記第1のチップ1a’の配列と関連して、第1のチップ1a’と接続しない面を第2の基板82に接して配列する第2の素子配列工程と、第1の基板81と第2の基板82を位置あわせして、第1のチップ1a’と第2のチップ1b’とを圧接する圧接工程と、所定の時間加熱して前記電極接合部を接合する接合工程と、接合された第1のチップ1a’と第2のチップ1b’の少なくとも一方を、前記基板から分離する分離工程を有する。
【選択図】 図8
【解決手段】互いに電気的に接続すべき電極接合用部位を有する第1、第2の半導体チップを積層接合する方法であって、第1の基板81上に、正常に動作する複数の第1のチップ1a’を、第2のチップ1b’と接続しない面を第1の基板81に接して配列する第1の素子配列工程と、第2の基板82上に、正常に動作する複数の第2のチップ1b’を前記第1のチップ1a’の配列と関連して、第1のチップ1a’と接続しない面を第2の基板82に接して配列する第2の素子配列工程と、第1の基板81と第2の基板82を位置あわせして、第1のチップ1a’と第2のチップ1b’とを圧接する圧接工程と、所定の時間加熱して前記電極接合部を接合する接合工程と、接合された第1のチップ1a’と第2のチップ1b’の少なくとも一方を、前記基板から分離する分離工程を有する。
【選択図】 図8
Description
本発明は、複数の半導体チップ(装置)を積層する方法に関するもので、特には半導体チップ(装置)を、高速度で積層して接続する方法に関するものである。
【0001】
【従来の技術】
現在の半導体デバイスの基本であるCMOS−FET(相補型MOS構造電界効果型トランジスタ)はリソグラフィを中心とした微細化によりLSIの処理能力の高速・高性能を実現してきた。同じく、MOSトランジスタから構成されるRAMにおいてもメモリの高密度化・高速応答性が達成されてきた。しかしながら、50nm以下のトランジスタゲート長を有する MOSトランジスタを用いたロジックLSIやRAMにおいては、LSI内部やメモリ素子での配線による信号遅延が顕在化してきている。この問題に対して、極力チップサイズを小さくすることで配線抵抗と浮遊容量の積であるRC遅延を低減する方策が採られている。
【0002】
一方では、携帯電話等が大きく普及し、LSI自体の多機能化・小型化も求められている。しかしながら、チップ自体を小さくすることによって配線遅延を低減し、またメモリの高密度化を図るには、リソグラフィの各工程で使用する装置価格が急上昇し、結果的にチップの単価を押し上げることになる。
【0003】
そこで、これらの問題を解決する手法として、2次元に回路パターンが展開されたLSIチップを縦に積層する3次元LSIが普及されつつあり、この3次元積層によるチップ形成には幾つかの方式が考えられている。
【0004】
第1の方式は、LSIチップを良品選別し、これを薄型のパッケージに搭載し、このパッケージ毎に積層する方式である。この方法は例えば、特開平10−233481号(出願人:三星電子)などに開示されている。
【0005】
第2の方式は、良品選別されたチップ毎を縦に直接接続する方式である。この方法は、例えば特開2002−100728号(出願人:シャープ)などに開示されている。
【0006】
第3の方法は、露光を終えたウェハ自体を積層し、その後にチップに分割する方式である。この方法は、例えば特開平11−261000号(出願人:科学技術振興事業団)などに開示されている。
【0007】
各方式には様々な長所・短所がある。第1の方式は良品選別されたチップを積層してゆくことでチップの不良に起因する歩留まりの低下を抑制できるものの、パッケージコストに加え、チップとパッケージ間の付加的な接続配線が存在し、やはりLSIの処理能力の高速化には限界がある。第3の方式はウェハ毎の積層であるため、そのハンドリングには比較的優れるものの、チップの前工程での歩留まりは100パーセントに至らず、三次元LSIのLSIの歩留まりとなるとウェハの総数Nのべき乗に比例して劣化するため、現在においては実際のLSI製造工程への適用は難しい。
【0008】
LSI製造において最もありえるチップ積層方式は第2の方式であり、少なくとの2つのチップにそれぞれバンプ等の接合部位を持たせ、それらを順次積層して接合して直接接続する方法である。
【0009】
【特許文献1】特開平10−233481号
【0010】
【特許文献2】特開2002−100728号
【0011】
【特許文献3】特開平11−261000号
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような第2の方式により接合すると、積層するチップ間のアライメント、チップ間の接続にそれぞれ時間を要し、全体としてのスル−プットを高く出来ない、という問題を有している。そのために、リソグラフィ工程の処理速度を考えると、このような接続方法を採った場合、接合するための装置が膨大な数になってしまう。必然的に装置価格の増加、設置面積の増加を伴って生産された、積層型半導体チップの単価を押し上げることになる。
【0013】
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、低価格で、高速に半導体チップを積層して接続する方法およびそのシステムを提供することを目的にしている。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では以下の手段を用いている。
本発明の第1の態様は、互いに電気的に接続すべき電極接合用部位を有する第1のチップ及び前記第2のチップを積層して接合する半導体チップの積層方法であって、第1の基板上に、正常に動作する複数の前記第1のチップを、前記第2のチップと接続しない面を前記第1の基板に接して配列する第1の素子配列工程と、第2の基板上に、正常に動作する複数の前記第2のチップを前記第1のチップの配列と関連して、前記第1のチップと接続しない面を前記第2の基板に接して配列する第2の素子配列工程と、複数の前記第1のチップが配列された前記第1の基板と複数の前記第2のチップが配列された前記第2の基板を位置あわせして、前記第1のチップと前記第2のチップとを圧接し、前記第1のチップの前記電極接合部位と、前記第1のチップの前記電極接合部位に対応する、前記第2のチップの前記電極接合部位とを接合する接合工程と、接合された第1のチップと第2のチップの少なくとも一方を、前記基板から分離する分離工程との工程を有する。
【0015】
本発明の第2の態様は、第1の態様の半導体チップの積層方法であって、前記接合工程は、ハンダを介して前記前記第1のチップと前記前記第2のチップを接合することとした。
【0016】
本発明の第3の態様は、第1の態様の半導体チップの積層方法であって、前記接合工程は、前記第1のチップと前記第2のチップの間に異方性導電樹脂を介して行う。
【0017】
本発明の第4の態様は、第1の態様の半導体チップの積層方法であって、前記接合工程は、前記第1のチップと前記第2のチップ間に非導電性樹脂を介して行う。
【0018】
本発明の第5の態様は、第1の態様から第4の態様のいずれかに記載された半導体チップの積層方法であって、前記素子配列工程は、前記第1の基板上に配列された前記第1のチップの配列順序と前記第2の基板上に配列された前記第2のチップの配列順序が互いに鏡像の関係になっている。
【0019】
本発明の第6の態様は、第1の態様乃至第5の態様の半導体チップの積層方法であって、前記第1の基板は、熱膨張係数が小さい剛性を有する材料からなり、前記第2の基板は、少なくとも前記第2の基板のチップ配列面に弾性部材を具備している。
【0020】
本発明の第7の態様は、第6の態様の半導体チップの積層方法であって、前記接合工程では、前記第1の基板に配列された前記第1のチップと前記第2の基板に配列された第2のチップが、略一様に圧接されるように、前記第2の基板における第2のチップ配列面とは反対側の面を、前記第1のチップと前記第2のチップの接合個所ごとに個別に加圧する。
【0021】
本発明の第8の態様は、第1の態様乃至第5の態様に記載された半導体チップの積層方法であって、
前記第1の基板は、前記第1の基板は、熱膨張係数が小さい剛性を有する材料からなり、前記第2の基板は、少なくともチップ配列面に弾性部材及び前記第2の基板に配置された第2のチップを個別に加圧する加圧部材を具備している。
【0022】
本発明の第9の態様は、第1の態様乃至第8の態様の半導体チップの積層方法であって、前記第1の素子配列工程及び前記第2の素子配列工程は、異なる前記第1のチップ間の前記接合電極部位の間隔と、異なる前記第2のチップ間における、前記第1のチップ間の接合電極部位に対応する、前記接合電極部位の間隔とが同一間隔になるように配列する。
【0023】
本発明の第10の態様は、第9の態様の半導体チップの積層方法であって、前記第1の素子配列工程及び前記第2の素子配列工程は、同時にウエハから個片化した複数の前記第1のチップと複数の前記第2のチップをそれぞれ、基準部位が形成されたアライメント基板上に配列させた後に、前記第1のチップを前記第1の基板に配列させ、かつ前記第2のチップを前記第2の基板に配列させる。
【0024】
【発明の実施の形態】
次に、上述に記載した本発明のかかる実施形態を説明する。
まずその前に、本発明の実施形態に関する要部の作用効果について、説明する。
【0025】
集積回路が形成されている半導体装置(以下、半導体チップという)を積層して、集積度を向上させるためには、各半導体チップの電極部同士が導通した状態で接続する必要がある。そのためには、半導体チップ同士の各電極が接続される電極に位置するように半導体チップ同士のアライメントをとるアライメント工程と、半導体チップ同士を機械的に接合する接合工程が必要である。
【0026】
半導体チップ同士を積層して接合する時間を短縮することを考える場合、個々の半導体チップの接合時間の短縮ということは言うまでもない。しかし、2つのシリアルにつながった工程を経て積層型半導体チップを製造する場合で、それらの工程に要する時間に差がある場合には時間的に長くかかる工程での加工処理を、複数個並列して行うことにより全体の加工時間が短縮される。
【0027】
例えば、アライメントに必要な時間がチップあたりt1とし、接合に必要な時間をt2とし、加工すべき個数をNとした時を考えてみる。個々のチップを順次積層して接合した場合に要する一個あたりの処理時間は(t1+t2)である。これをM台の積層・接続装置を用いて加工すると、加工に要する時間は(t1+t2)/Mとなって時間は短縮される。ただし、設備投資に係る装置コストはM倍掛かる。
【0028】
ここで、アライメントは一つづつ順次行い、半導体チップ同士の接合をN個まとめて行った場合を考えてみると、N個の加工に要する時間はt1×N+t2となり、一個あたりの処理時間は(t1+t2/N)となり、Nの値を大きく取ると一個あたりの処理時間はt1の値によって決まる。例えば、接合時間は物理現象であって簡単にそれ自体を短縮することは出来ない面があるが、一括積層数はシステム設計のパラメータであり、最適値の選択が可能である。
【0029】
本発明は、このような作用に着目してなされたものであり、かける費用や装置を配置する床面積を増加させないで、チップの積層・接合に掛かる時間を合理的なものにすることが出来るようになる。
【0030】
次に、図1に示す積層型半導体チップの製造方法に関するフローチャートに基づいて、説明する。
最初に、周知の半導体装置製造技術により、所望の素子及び回路パターンが形成されたウエハを製造するウエハの前処理工程が行われる(S1)。設計時に、半導体チップを積層することを考慮に入れ、設計を行い、設計された回路パターンに応じて、ウエハに回路パターンを形成する。次にウエハの前処理工程(S1)で製造されたウエハに形成された各半導体チップに、KGD選別工程を行う(S2)。この工程では、知りえたKGD(Known Good Die:パッケージ品と同等の品質保証をされたもの)の位置を予め記録しておくか、不良チップの上にインカーにより印をつけておく。このKGD等のテスト工程は製造者側に一任され、KTD(Known Test Die:パッケージと同じプロービングテストまでを実施。但し、保証対象外)、PD(Probed Die:一部の検査のみを規定したもので、保証対象外)といった異なるレベルの選別基準を採用することも可能である。
【0031】
その後、ウエハには、図1に示す初期洗浄工程(S3)が行われる。洗浄工程では既存のウエハ洗浄装置が使用可能であり、周知の方法で洗浄するので、ここでの詳細な説明を省略する。
【0032】
初期洗浄工程(S3)を終了したウエハは、次に、貫通ビア処理工程に入る(S4)。貫通ビア処理工程では、最初に周知のレジスト塗布装置によりレジストがウエハに塗布され、次にウエハ上に形成された各チップの設計情報を基に、フォトリソグラフィー法と反応性イオンエッチングを用いたエッチング処理とを行って、貫通ビアを形成する。なお、この貫通ビアはこの時点では、ウエハを貫くように形成されておらず、この後で述べる薄片化処理工程で薄片化される厚さより僅かに深くビアを形成しておく。
【0033】
また、この貫通ビアを形成する際、形成する貫通ビアパターンに対応したマスクが選定される。そして、選定されたマスクを用いて、貫通ビアパターンがウエハに投影露光される。その後、再び周知のレジスト現像装置によりレジストの現像が施される。
【0034】
次に、貫通ビアが形成されたウエハは側壁絶縁層形成処理工程(S5)に移される。このとき、プラズマCVD成膜法などにより貫通ビア内壁に酸化膜を形成する。
【0035】
次に、貫通ビアに酸化膜が形成されたウエハは、電極金属埋設処理工程(S6)に移される。このとき、絶縁膜が形成された貫通ビアに銅材料が充填される。この工程では最初にプラズマCVD法を用いて、貫通ビア内壁に銅の薄膜を形成する。ついで電鋳法により銅が成長し、貫通ビア内に銅材料の充填が完了となる。
【0036】
ところで、貫通ビア処理工程では、所定の深さ、所定の形状で貫通ビアが形成されているかを検査することが好ましく、また、電極金属埋設処理工程では、貫通ビア内に絶縁膜や銅材料が欠陥無く形成されているか検査することが好ましい。そのために、X線、赤外線の画像処理装置などにより、適宜ビア内の検査を行い、不良個所を検出することが好ましい。そして、不良個所が生じてしまったチップは、予めその位置を本実施の形態における製造工程を集中的に管理している制御システムに記憶させておいたり、インカーによりウエハに目印を付けておく。
【0037】
このようにして、貫通ビアに銅が充填されたウエハは、支持体形成処理工程(S7)に移される。ここではウエハにUV硬化型樹脂を塗布し、ウエハの回路パターンが形成された面(表面)に石英等の基板を貼り付け、UVキュアを行って接着がなされる。このようにして、接着後の側面が図2(a)に示す状態となる。
【0038】
なお、図2から図5までは、各チップのアライメントを取るまでの工程を図示したものである。また、図2(a)はステージ3上の支持体2に貼り付けられた貫通電極を有するウエハ1aの様子を示す。図1及び図2乃至図5のいずれかを用いて、各工程を説明する。
【0039】
支持体2が接着されたウエハ1aは薄片化処理工程(S8)に移される。この工程では、研削と研磨を行う方法又はエッチングによる方法により、ウエハ1aを厚さ50マイクロメートル程度以下まで薄片化する。研削後に研磨を行うことでウエハ1aの薄片化を行う場合は、CMP研磨装置4を用いることが好ましい。CMP研磨装置4を用いてウエハ1aの薄片化の様子を示したのが図2(b)である。なお、使用する研磨装置4は、研磨パッド4aがウエハ1aより小径のCMP研磨装置4を用いた。なお、研磨パッド4aは、研磨パッド4aに回転動力を伝達する回転軸4bに固定されている。そして、研磨パッド4aが回転軸4bによって動力が伝達され、ウエハ1aに対し、研磨パッド4aが相対的に運動することで、ウエハ1aは薄片化される。その薄片化されたときの側面形状は、図2(c)に示した。
【0040】
ところで、ウエハ1aを薄片化することで、貫通ビア形成工程(S4)から電極金属埋設処理工程(S6)までで形成された貫通ビアに埋め込まれた電極金属の他方側の端面も露出され、貫通電極が形成される。また、電極金属が露出された後も、ウエハの裏面を研磨することにより、露出した電極金属が周囲のウエハよりも突出するようになる。これは、シリコンと銅の加工速度の違いによるものである。
【0041】
ところで、シリコンと銅の加工速度の違いにより貫通電極をウエハから突出させ、他のチップと導通を得やすくすることをしているが、これだけに限られず、埋め込み電極が露出したら、そこにマイクロバンプを形成しても良い。
【0042】
このように、ここまでの工程は、ウエハごとに個別に処理される。そして、積層するチップを有するウエハに対して薄片化処理が為されたら、次に個片化処理工程(S9)に移される。
【0043】
この個片化処理(S9)では、積層される半導体チップ同士の外形が実質同じ形状になるように、予め積層時と同様な位置関係となるようにそれぞれのウエハを積み重ねて、一度に複数のウエハを個片化する。
【0044】
具体的に説明すると、ウエハ1aとウエハ1bの支持体2に貼り付けられた面とは反対側の面同士を、互いの電極が同じ位置に位置するように、位置決めをしてウエハ1a、ウエハ1b同士を貼り付ける。貼り付ける際には、蝋付けなどの再度チップを剥がしやすい材料で接着することが好ましい。このように張り合わせた状態を図2(d)に示す。そして、上側にある支持体2を剥離する。上側にある支持体2を剥離した状態は図3(e)に示す。次に図3(f)に示すように、半導体チップ間のスクラブラインに沿って、ダイシングソー5を走らせ、ウエハから半導体チップへの個片化を複数のウエハにわたって同時に切断する。このようにして、個片化された半導体チップ1a’、1b’の側面は図3(g)のようになる。
【0045】
このようにして切断された結果、ウエハから個片化された半導体チップ1a’、1b’は、張り合わせの関係にある半導体チップ1a’、1b’同士では、電極から半導体チップ1a’、1b’の外形までの距離が等しくなっている。
【0046】
なぜならば、半導体チップ1a’、1b’の回路パターンや電極をパターンニングする投影露光装置のアライメント誤差は非常に小さく、再現性も数百nmオーダである。そのため、どの半導体チップ1a’、1b’も電極の位置関係が同じである。そのような半導体チップについて、予め電極が同じ位置になるようにウエハを積層してから同時にダイシングソーでもって切断することで、切断位置から各電極の位置までの距離は等しくなる。したがって、各半導体チップ1a’、1b’のそれぞれは、半導体チップの外形に対し電極の位置が同じになる。
【0047】
ところで、半導体チップを積層するとき、半導体チップ同士を貼り付ける面が、薄片化処理工程(S8)で加工された面とは反対側の面である場合は、支持体2が貼り付けられた面を代えるために、支持体2を張り替える必要がある。この場合、先に支持体2が貼り付いていない面に新たな支持体2を貼り付け、次に先に貼り付いていた支持体2を剥がすことで支持体2の張替えが可能となる。
【0048】
次に、個片化された半導体チップ1a’、1b’は、互いに貼り付けられていた半導体チップ1a’、1b’の夫々が分離されて、図3(h)に示すチップライブラリー6のそれぞれの収納部6aに収められる。このとき、同じ位置に貼り付けられた半導体チップ1a’と1b’の組み合わせが把握できるように、同じ位置に位置決めされて切断された半導体チップ1a’、1b’同士のチップライブラー6の収容位置を決めて、半導体チップ1a’、1b’を収容した。また、このとき、KGD選別工程で発見された半導体チップ1a’、1b’は、予めチップライブラリー6から捨て去れている。
【0049】
このようして、チップライブラリー6に収容されたチップは、図4(i)に示すアライメント基板7に配置される。図4(i)の図面はアライメント基板7を上方から眺めた正面図である。アライメント基板7には、直交したL字型の凸部7aを複数有している。この凸部7aの内壁にそれぞれ半導体チップ1b’を押し当てて配列している。このようにすることで、アライメント基板7の凸部7aに対して、所定の位置に各々の半導体チップ1b’の電極が位置する。
【0050】
この状態で、図4(k)に示すように、アライメント基板7に配列されたチップ1b’を積層基板8に押し当て、チップ1b’を積層基板8に貼り付ける。
次に、半導体チップ1a’についても、半導体チップ1b’で用いたアライメント基板7を用いて、半導体チップ1a’を配列させる。このとき、個片化処理工程(S9)で、同じ位置に配置されて切断された半導体チップ1b’と同じ場所でアライメントが出来るように、半導体チップ1a’の場所を決めておく。
【0051】
その後、半導体チップ1b’と同様に図4(k)に示すように、積層基板8に半導体チップ1a’を接着剤で貼り付ける。なお、ここで使用する接着剤は、後に半導体チップから基板を剥がすことができる接着剤を用いる必要がある。一般に、接着剤部分を溶解することができる溶液が存在する接着剤を用いることが好ましい。
【0052】
このようにして、積層基板8に貼り付けられた半導体チップ1b‘は図4(l)のようになり、同じく半導体チップ1a’は図4(m)のような状態になる。
ちなみに、このとき、半導体チップ1b’の積層基板8又は半導体チップ1a’の積層基板8のどちらか一方は、石英やゼロデュアなどの熱膨張率が非常に小さく剛性のある基板を使用し、他方はポリアラミドなどの熱膨張率が比較的小さく、変形容易な基板を用いることが好ましい。その理由は後のチップ積層処理工程(12)で説明する。なお、本実施の形態では、石英やゼロデュアなどの熱膨張率が非常に小さく剛性のある基板を第1の基板81と称し、そこに貼り付けられている半導体チップを第1のチップ1a’と称す。また、ポリアラミドなどの変形容易な基板を第2の基板82と称し、変形容易な基板に貼り付けられている半導体チップを第2のチップ1b’と称すことにする。
【0053】
なお、第1及び第2のチップ1a’、1b’を第1の基板81、第2の基板82である積層基板8に貼り付けるときは、アライメント基板7に設けられたアライメントマーク7bと、第1の基板81であり第2の基板82でもある積層基板8に設けられたアライメントマーク8aとを互いに位置合わせて行う。このようにして、第1及び第2のチップ1a’、1b’の各々に形成されている電極は、第1の基板81又は第2の基板82のアライメントマーク8aに対して、同じ位置になっている。
【0054】
ところで、このままの状態では、KGD選別工程で不良とされたチップが本来位置する場所には、何も無い状態になってしまう。そこで、本発明の実施の形態では、他のウエハから取り出された同じ半導体チップ1a’、1b’をその個所に配置した。本来チップが存在する個所に他のウエハから得られた半導体チップ1a’を配置した第1の基板81の正面図を図5(n)に、また、他のウエハから得られた半導体チップ1b’を配置した第2の基板82の正面図を図5(o)に示した。
【0055】
なお、この各積層基板8上の空白個所に半導体チップ1a’、1b’を配置する際、隣接して既に積層基板8に接着されている半導体チップ1a’又は1b’の電極の位置を基準にして、本来チップが存在するべき個所に半導体チップ1a’、1b’の接着する。隣接する半導体チップ1a’、1b’の電極をアライメントマークの代わりとすることで、高分解能を有する光学機器を用いても、その狭い視野内にアライメントマークの代わりとなる隣接する半導体チップ1a’、1b’の電極が、これからあてがわれる半導体チップの配置場所と同一視野内に入る。したがって、その光学機器から得られる高分解能の画像を用いて、アライメントを取ることができるので、例え単独で、半導体チップ1a’、1b’に配置しても、高いアライメント精度を有する。
【0056】
このようにして、各々の積層基板8には、図5(n)、(o)に示されるように、ほぼ数百nmの精度で電極位置が配置された半導体チップ1a’、1b’が配置されるようになり、アライメント工程(S10)とチップ支持体形成工程(S11)が終了する。
【0057】
ところで、ここで使用されるアライメント基板7の説明をする。図4(i)、(j)に示すアライメント基板7は、熱膨張係数が小さい石英基板とその裏面に貼り付けられた多孔質のセラミック基板からなる。そして、凸部7aは、平滑な石英基板をフォトリソグラフィー法とICPエッチングなどの異方性エッチングとを用いて形成する。この凸部7aの高さは、30μm程度である。そして、石英基板には、半導体チップの配置場所の略中央部分に、貫通孔7cが設けられている。この貫通孔7cも凸部7aと同様な方法で製造できる。
【0058】
アライメント基板7を用いて、個々の半導体チップのアライメントを取るときは、アライメント基板7を凸部7aの屈曲部が一番下になるように、僅かに傾けて半導体チップを凸部7a近傍に一枚ずつ配置してゆく。また、このとき、アライメント基板7の裏面から僅かに空気を吹き付けておく。吹き付けられた空気は、アライメント基板7の裏面に貼り付けられた多孔質のセラミック基板を通過し、石英基板に設けられた貫通孔7cから極めて僅かな量の空気を噴出す。この噴出された空気により半導体チップは浮き上がり、半導体チップの自重により、凸部7aの側面に当接する。また、このとき、アライメント基板7を僅かに揺動させて、半導体チップが凸部7aに片当りすることを防ぐことも好適である。
【0059】
全ての半導体チップが凸部7aの側面に当接したら、次に、アライメント基板7の裏面を吸着する。そのときに、セラミック基板や貫通孔7cは負圧になるので、半導体チップがアライメント基板7に吸着される。このようにして、積層基板8の貼り付け工程が行われる。
【0060】
なお、アライメント基板7はこのような態様だけに限られず、例えば、図6に示すアライメント基板71を用いても構わない。このアライメント基板71は、柱71aを有している。この柱71aは半導体チップ11a’、11b’の側面の一部と当接可能となっている。また、アライメント基板7と同様に貫通孔72も設けられている。この柱71aや貫通孔72
そして、半導体チップ11a’、11b’の側面には予め微小な切り欠き部を、ウエハ前処理工程(S1)で形成しておく。具体的には、フォトリソ法とエッチングにより半導体チップ11a’、11b’の外周部に予め凹部を形成しておき、個片化処理工程(S9)で半導体チップ11a’、11b’の側面に切り欠き部が形成される。
【0061】
そして、半導体チップ11a’、11b’の切り欠き部と柱71aとが当接して、個々の半導体チップ11a’、11b’のアライメントを取る。
なお、半導体チップ11a’、11b’に形成する切り欠き部71aは、半導体チップ11a’、11b’の回路パターンに影響を与えない程度に切り欠きが形成されていれば良い。
【0062】
なお、図4(i)、(j)に示すアライメント基板7、は直列に半導体チップを配列しているが、これだけに限られず、図6に示すアライメント基板71のように2次元的に半導体チップを配列可能になるように、凸部7aが形成されているものでも良い。
【0063】
次いで、チップ積層処理工程(S12)が行われる。この工程では、先のアライメント工程(S10)及びチップ支持体形成工程(S11)で、半導体チップである第2のチップ1b’が配列された第2の基板82と、第1のチップ1a’が配列された第1の基板81とをアライメントして、第1のチップ1a’と第2のチップ1b’とを積層する。このチップ積層処理工程(S12)は、図8を用いて説明する。
【0064】
なお、チップ積層処理工程(S12)以降は、これまでの工程で説明したチップの個数よりも多くチップが配列された第1の基板81及び第2の基板82を用いて説明する。
【0065】
ところで、第2の基板82は厚さ1mmの耐熱性ゴム又は耐熱性樹脂(例えばポリアラミドフィルム)を用いた。そして、図8(b)のように、第2の基板82は、第2のチップ1b’を第1のチップ1a’に加圧する押圧基板20上に吸着・固定されている。
【0066】
第1のチップ1a’と第2のチップ1b’は別々に薄片化処理工程(S8)により加工されたものであり、また例え同一に近い条件下で加工されたものであってもその厚さにはばらつきがある。従って、第1の基板81上の第1のチップ1a’と第2の基板82上の第2のチップ1b’の厚さがチップ毎に異なっていて、同一の剛体で全てのチップに加圧を試みると、個々のチップに係る圧力が同じ圧力では圧接されない。この点を考慮して、本発明では押圧基板20はこの厚さのばらつきによる接合圧のばらつきをなくする機能を有するようになされている。さらに、押圧基板20と第2の基板82の間には加圧時にチップが破損しないように、弾性体を介しても良い。
【0067】
図7はこの押圧基板20の概略構成を示す。図7(a)は押圧基板20の全体側面図であり、図7(b)は押圧基板20の一部を拡大した側面図である。この押圧基板20は、石英等の熱膨張係数が小さい材質からなる基材部21と、個々のチップを搭載する位置に設けられた圧力センサ28と、圧力センサ28に設けられ、個々のチップに任意の加圧力を供給する積層型ピエゾ素子22が設けられている。そして、積層型ピエゾ素子22の端面には微小な開口が設けられており、その開口に接続し、圧力センサ28及び基材部21に連通する空気管25が設けられている。
【0068】
なお、積層型ピエゾ素子22及び圧力センサ28は、第2の基板82に貼り付けられた個々のチップの大きさと位置に対応して、基材部21上に設けられている。なお、積層型ピエゾ素子22や圧力センサ28の個々の面積は、積層される半導体チップよりも広めになっている。
【0069】
この押圧基板22は、空気管25の気圧を変えることで、第2の基板82を吸着したり、離脱させたりする。なお、本発明はこのような方法で第2の基板82を支持しなくともよく、チップに対する吸引力を発生させる代わりに、粘着材を積層型ピエゾ素子22の上に塗布することにより付与しても良い。
【0070】
また、積層型ピエゾ素子22は、複数の積層型ピエゾ素子22をそれぞれ独立に制御可能な図示されていない制御手段に取り付けられている。この制御手段は、圧力センサ28からの情報により個々の積層型ピエゾ素子22が所定の圧力になるように駆動制御される。
【0071】
また、押圧基板20には、図7(a)に示すように、図示されていないあるレール上に対して移動可能な状態にある支持柱24に回転軸23を介して固定されている。なお、この支持柱24は所定の力を発揮できる周知の機構を有し、かつ伸縮可能である。
【0072】
つぎに、図8に戻って、チップ積層処理工程(S12)を用いて説明する。
まず、第1のチップ1a’が設けられた第1の基板81を、6つの移動自由度を有し、高精度に移動可能であるステージ9上に固定する(図8(a)参照)。また、第2のチップ1b’が設けられた第2の基板82を押圧基板20上に取り付ける(図8(b)参照)。なお、図8では、便宜上、図7(a)で示した支持柱24は省略した。
【0073】
次に、第2の基板82(及び押圧基板20)を回転軸の周りに回転させる(図8(c)参照)。ついで、第1の基板81に固定された第1のチップ1a’と第2のチップ1b’とが対面するように押圧基板20を移動させ、保持する(図8(d)参照)。第1の基板81と第2の基板82とのそれぞれに設けられたアライメントマークを基に、図8(d)に示すようにステージ9と押圧基板20との位置をアライメントする。アライメントが終了したら、次に、第1の基板81に配列された第1のチップ1a’の上に非導電性の接合樹脂を流し込む。一般に、この接合樹脂は、NCPと言われる非導電性樹脂であり、熱硬化エポキシ樹脂が好ましい。また、異方性導電樹脂を用いても好ましく、対向電極間は導通しつつ、隣接電極間は絶縁され、チップ間同士の接着が可能となる。この異方性導電樹脂としては、東芝ケミカル製の異方性導電ペースト「XAPシリーズ」などが挙げられる。このようにして、第1の基板81上の第1のチップ1a’に非導電性樹脂や異方性導電樹脂を塗布したら、図8(e)に示すように、第1のチップ1a’と第2のチップ1b’を圧接するように、ステージ9に押圧基板20を接近させる。
【0074】
ステージ9に押圧基板20が十分に接近したら、積層型ピエゾ素子22を駆動して個々のチップに与える加圧力を調節し、図8(f)に示すようにヒータ91を駆動して加熱する。加熱条件は、150−200度で、加熱時間は15−20秒である。非導電性樹脂や異方性導電樹脂が硬化した後、押圧基板20の空気管25に空気を送り込んで、第1のチップ1a’に第2のチップ1b’が接合された第2の基板82を、押圧基板20から切り離す。
【0075】
次に、第2の基板82と第2のチップ1b’とを接着している接着剤を溶解して、第2のチップ1b’から第2の基板82を取り外す。
以上により、第1の基板81である石英基板上に第1のチップ1a‘と第2のチップが非導電性樹脂や異方性導電樹脂を介して積層された積層型半導体チップが得られ、積層チップ出力(S13)がなされる。
【0076】
ところで、本発明の実施形態で製造する積層型半導体チップは、2層のものを例示するが、本発明は、これだけに限られず、3層や4層に積層された積層型半導体チップを製造することも可能である。なお、このように幾層にも積層して用いる半導体チップは、スルーホールやビアなどが形成されており、半導体チップの両面に所定の配列の電極が形成されている。なお、互いの半導体チップ間で、電極同士が接合できるようにするために、接合する面に形成された電極の配列パターンは同じにする必要がある。なお、異なる半導体チップは、殆どの場合で、回路パターンが異なるため、電極の配置パターンや配列パターンも変わってしまう。そのような場合には、公知の再配線層形成技術により、電極の配置パターンや配列パターンを同じにするか、半導体チップと半導体チップの間にインターポーザー基板を配置して、各々の半導体チップにおける電極位置の整合を取るようにしても良い。
【0077】
また、互いのチップを積層する前は、それぞれ別々の基板に配置されているが、一方の基板と他方の基板とで配置されたチップ同士の配置関係や姿勢関係が、鏡像関係になればよい。
【0078】
例えば、第1の基板上にどのような姿勢で複数の第1のチップが配列されていても、もう一方の第2のチップが第2の基板上に配列する際に、各々のチップの配置関係や配置姿勢が第1の基板に配置された姿勢や配置関係に対し、左右反転の配置関係や姿勢を保つようにすれば、第1の基板に配置されたチップと第2の基板に配置されたチップとの積層時に各チップの電極の位置が合致する。なお、このとき、第1の基板に配置された第1のチップと第2の基板に配置された第2のチップを積層するときには、第2の基板又は第1の基板のどちらか一方を左右反転するように、表裏が逆転させれば(ひっくり返せば)よい。
【0079】
また、第2の基板上でのチップの配置関係や配置姿勢が、第1の基板に配置されたチップの配置関係や配置姿勢に対して、上下反転の関係を保っていれば、チップ積層時には、第2の基板又は第1の基板のどちらか一方を上下反転するように、表裏を逆転させれば(ひっくり返せば)よい。
【0080】
ところで、ウエハからチップを個片化し、第1の基板又は第2の基板に配置する方法として、上述の支持体形成処理工程(S7)からチップ支持体形成工程(S11)までの工程以外にも以下に述べる方法で行うことも可能となる。
【0081】
例えば、チップがパターンニングされたウエハを個片化する前に、ダイシングによりウエハをハーフカットし、ハーフカット面を切断シートに貼り付け、反対側を研磨することで個片化した上で、図9(a)に示す第1のチップをロボットアーム30によりピックアップして、積層基板に8に配置する方法を取っても良い。なお、図9は、第1の基板81へ第1のチップ1a’を配置する方法及び押圧基板20を第2の基板の代わりとして用い、第2のチップ1b’を押圧基板20へ配置する方法を示す側面図である。
【0082】
より具体的に説明すると、最初にウエハをダイシングソーによりハーフカットする。そして、ダイシングされた面を接着面として、切断シート31にそのウエハを貼り付ける。なお、切断シートは日東電工製の…・・が良い。(内藤さん記入お願いします)
次に、切断シート31が貼り付けられたウエハを研磨し、先にダイシングされた部位が露出するまで研磨を行うと、ウエハはチップ毎に分離する。
【0083】
個片化され、切断シートに貼り付けられた半導体チップのうち第1のチップ1a’については、図9(a)に示すように、半導体チップピックアップする機構を有したロボットアーム30のピックアップ位置に搬送し、このロボットアーム30により、第1の基板81に移し変えられる。
【0084】
また、ロボットアーム30の代わりに、図9(b)に示すように、レール41に敷設範囲内に、切断シート31に貼り付けられた第1のチップ1a’と第1の基板81とを配置し、レール41の敷設範囲内で移動可能に設けられたピックアップ機構40を駆動して、切断シート31に設けられた第1のチップ1a’を第1の基板81に移送するようにしても良い。
【0085】
これらのように、第1の基板81に第1のチップ1a’が移送されたら、図9(c)に示すように、第1の基板81の上に第1のチップ1a’が配置される。次に、第1の基板上におけるチップの配置姿勢を、画像取得手段で取得する。この画像取得手段としては、高解像度を有する顕微鏡を走査して、第1の基板81に固定された第1のチップ1a’の像を取り、第1のチップ1a’の配置姿勢を割り出すものでも良いし、画角の広い画像取得手段と、得られた画像信号を基に高解像な像を出力する既存の画像処理ソフトを用いて第1のチップ1a’の姿勢を割り出しても良い。
【0086】
これらの画像取得手段により得られた第1のチップ1a’の配置姿勢を基に、第2の基板に対するチップの配置関係を導き出し、第2の基板に配置していっても良い。なお、第2の基板に第2のチップを配置するときは、第1の基板に配置された第1のチップの配置姿勢に対して、鏡像関係になるように配置してゆく。
【0087】
一方、前述の例では、第2の基板82に複数の第2のチップ1b’が貼り付けられたものであったが、この第2の基板82の代わりに、押圧基板20を用いる方法を採用した。
【0088】
第2のチップ1b’においても第1のチップ1a’と同様に個片化し、図7に示す押圧基板と実質的に同じ押圧基板20に配置する。なお、押圧基板20の積層型ピエゾ素子22の上には、予め弾性に富み耐熱性を有するポリアラミド樹脂83を設けておいた方が好ましい。このポリアラミド樹脂83は、第1のチップ1a’と第2のチップ1b’を加圧接合する際に、積層型ピエゾ素子22に対して片当りしないようにするためである。このように押圧基板20の各積層型ピエゾ素子22上に、第1のチップ1a’を前述の搬送手段と同じ手段で搬送する。
【0089】
このように、押圧基板20上に、第1の基板に配置された第1のチップ1a’の配置姿勢とは、鏡像関係となるように配置しておく。
その後は、前述のチップ積層処理工程(S12)と同じように行うことで、積層された半導体チップが得られる。
【0090】
最後に、これらの工程を行う処理装置について、共通の搬送手段が取り付けられるようにし、かつ夫々の処理装置の制御部に共通のプロトコルで通信できるようにしたクラスター型の半導体チップ積層システムに本発明の工程を実施させると、より効率よく積層型半導体チップが製造できる。
【0091】
【発明の効果】
本発明によれば、低価格で、高速に半導体チップを積層して接続することが可能となり、積層された半導体チップの製造歩留まりを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】:本発明の実施の形態における積層型半導体チップの製造工程のフローチャートを示す。
【図2】:図1に示す積層型半導体チップの製造工程の一部の工程を示す概念図である。
【図3】:図1に示す積層型半導体チップの製造工程の一部の工程を示す概念図である。
【図4】:図1に示す積層型半導体チップの製造工程の一部の工程を示す概念図である。
【図5】:第1の基板に貼り付けられた第1のチップの配置の様子と、第2の基板に貼り付けられた第2のチップの配置の様子を示した図である。
【図6】:もう一つのアライメント基板を示した図である。
【図7】:押圧基板の概略図である。
【図8】:チップ積層工程を示した図である。
【図9】:第1の基板に第1のチップを配置する方法及び第2の基板である押圧基板に第2のチップを配置する方法を示した図である。
【符号の説明】
1a、1b…ウエハ、2…支持基板、3、9…ステージ、4…CMP装置、5…ダイシングソー、6…チップライブラリー、7、71…アライメント基板、8…積層基板、81…第1の基板、82…第2の基板、20…押圧基板、30…ロボットアーム、40…チップピックアップ、41…レール
【0001】
【従来の技術】
現在の半導体デバイスの基本であるCMOS−FET(相補型MOS構造電界効果型トランジスタ)はリソグラフィを中心とした微細化によりLSIの処理能力の高速・高性能を実現してきた。同じく、MOSトランジスタから構成されるRAMにおいてもメモリの高密度化・高速応答性が達成されてきた。しかしながら、50nm以下のトランジスタゲート長を有する MOSトランジスタを用いたロジックLSIやRAMにおいては、LSI内部やメモリ素子での配線による信号遅延が顕在化してきている。この問題に対して、極力チップサイズを小さくすることで配線抵抗と浮遊容量の積であるRC遅延を低減する方策が採られている。
【0002】
一方では、携帯電話等が大きく普及し、LSI自体の多機能化・小型化も求められている。しかしながら、チップ自体を小さくすることによって配線遅延を低減し、またメモリの高密度化を図るには、リソグラフィの各工程で使用する装置価格が急上昇し、結果的にチップの単価を押し上げることになる。
【0003】
そこで、これらの問題を解決する手法として、2次元に回路パターンが展開されたLSIチップを縦に積層する3次元LSIが普及されつつあり、この3次元積層によるチップ形成には幾つかの方式が考えられている。
【0004】
第1の方式は、LSIチップを良品選別し、これを薄型のパッケージに搭載し、このパッケージ毎に積層する方式である。この方法は例えば、特開平10−233481号(出願人:三星電子)などに開示されている。
【0005】
第2の方式は、良品選別されたチップ毎を縦に直接接続する方式である。この方法は、例えば特開2002−100728号(出願人:シャープ)などに開示されている。
【0006】
第3の方法は、露光を終えたウェハ自体を積層し、その後にチップに分割する方式である。この方法は、例えば特開平11−261000号(出願人:科学技術振興事業団)などに開示されている。
【0007】
各方式には様々な長所・短所がある。第1の方式は良品選別されたチップを積層してゆくことでチップの不良に起因する歩留まりの低下を抑制できるものの、パッケージコストに加え、チップとパッケージ間の付加的な接続配線が存在し、やはりLSIの処理能力の高速化には限界がある。第3の方式はウェハ毎の積層であるため、そのハンドリングには比較的優れるものの、チップの前工程での歩留まりは100パーセントに至らず、三次元LSIのLSIの歩留まりとなるとウェハの総数Nのべき乗に比例して劣化するため、現在においては実際のLSI製造工程への適用は難しい。
【0008】
LSI製造において最もありえるチップ積層方式は第2の方式であり、少なくとの2つのチップにそれぞれバンプ等の接合部位を持たせ、それらを順次積層して接合して直接接続する方法である。
【0009】
【特許文献1】特開平10−233481号
【0010】
【特許文献2】特開2002−100728号
【0011】
【特許文献3】特開平11−261000号
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような第2の方式により接合すると、積層するチップ間のアライメント、チップ間の接続にそれぞれ時間を要し、全体としてのスル−プットを高く出来ない、という問題を有している。そのために、リソグラフィ工程の処理速度を考えると、このような接続方法を採った場合、接合するための装置が膨大な数になってしまう。必然的に装置価格の増加、設置面積の増加を伴って生産された、積層型半導体チップの単価を押し上げることになる。
【0013】
本発明はこのような問題を解決するためになされたものであり、低価格で、高速に半導体チップを積層して接続する方法およびそのシステムを提供することを目的にしている。
【0014】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明では以下の手段を用いている。
本発明の第1の態様は、互いに電気的に接続すべき電極接合用部位を有する第1のチップ及び前記第2のチップを積層して接合する半導体チップの積層方法であって、第1の基板上に、正常に動作する複数の前記第1のチップを、前記第2のチップと接続しない面を前記第1の基板に接して配列する第1の素子配列工程と、第2の基板上に、正常に動作する複数の前記第2のチップを前記第1のチップの配列と関連して、前記第1のチップと接続しない面を前記第2の基板に接して配列する第2の素子配列工程と、複数の前記第1のチップが配列された前記第1の基板と複数の前記第2のチップが配列された前記第2の基板を位置あわせして、前記第1のチップと前記第2のチップとを圧接し、前記第1のチップの前記電極接合部位と、前記第1のチップの前記電極接合部位に対応する、前記第2のチップの前記電極接合部位とを接合する接合工程と、接合された第1のチップと第2のチップの少なくとも一方を、前記基板から分離する分離工程との工程を有する。
【0015】
本発明の第2の態様は、第1の態様の半導体チップの積層方法であって、前記接合工程は、ハンダを介して前記前記第1のチップと前記前記第2のチップを接合することとした。
【0016】
本発明の第3の態様は、第1の態様の半導体チップの積層方法であって、前記接合工程は、前記第1のチップと前記第2のチップの間に異方性導電樹脂を介して行う。
【0017】
本発明の第4の態様は、第1の態様の半導体チップの積層方法であって、前記接合工程は、前記第1のチップと前記第2のチップ間に非導電性樹脂を介して行う。
【0018】
本発明の第5の態様は、第1の態様から第4の態様のいずれかに記載された半導体チップの積層方法であって、前記素子配列工程は、前記第1の基板上に配列された前記第1のチップの配列順序と前記第2の基板上に配列された前記第2のチップの配列順序が互いに鏡像の関係になっている。
【0019】
本発明の第6の態様は、第1の態様乃至第5の態様の半導体チップの積層方法であって、前記第1の基板は、熱膨張係数が小さい剛性を有する材料からなり、前記第2の基板は、少なくとも前記第2の基板のチップ配列面に弾性部材を具備している。
【0020】
本発明の第7の態様は、第6の態様の半導体チップの積層方法であって、前記接合工程では、前記第1の基板に配列された前記第1のチップと前記第2の基板に配列された第2のチップが、略一様に圧接されるように、前記第2の基板における第2のチップ配列面とは反対側の面を、前記第1のチップと前記第2のチップの接合個所ごとに個別に加圧する。
【0021】
本発明の第8の態様は、第1の態様乃至第5の態様に記載された半導体チップの積層方法であって、
前記第1の基板は、前記第1の基板は、熱膨張係数が小さい剛性を有する材料からなり、前記第2の基板は、少なくともチップ配列面に弾性部材及び前記第2の基板に配置された第2のチップを個別に加圧する加圧部材を具備している。
【0022】
本発明の第9の態様は、第1の態様乃至第8の態様の半導体チップの積層方法であって、前記第1の素子配列工程及び前記第2の素子配列工程は、異なる前記第1のチップ間の前記接合電極部位の間隔と、異なる前記第2のチップ間における、前記第1のチップ間の接合電極部位に対応する、前記接合電極部位の間隔とが同一間隔になるように配列する。
【0023】
本発明の第10の態様は、第9の態様の半導体チップの積層方法であって、前記第1の素子配列工程及び前記第2の素子配列工程は、同時にウエハから個片化した複数の前記第1のチップと複数の前記第2のチップをそれぞれ、基準部位が形成されたアライメント基板上に配列させた後に、前記第1のチップを前記第1の基板に配列させ、かつ前記第2のチップを前記第2の基板に配列させる。
【0024】
【発明の実施の形態】
次に、上述に記載した本発明のかかる実施形態を説明する。
まずその前に、本発明の実施形態に関する要部の作用効果について、説明する。
【0025】
集積回路が形成されている半導体装置(以下、半導体チップという)を積層して、集積度を向上させるためには、各半導体チップの電極部同士が導通した状態で接続する必要がある。そのためには、半導体チップ同士の各電極が接続される電極に位置するように半導体チップ同士のアライメントをとるアライメント工程と、半導体チップ同士を機械的に接合する接合工程が必要である。
【0026】
半導体チップ同士を積層して接合する時間を短縮することを考える場合、個々の半導体チップの接合時間の短縮ということは言うまでもない。しかし、2つのシリアルにつながった工程を経て積層型半導体チップを製造する場合で、それらの工程に要する時間に差がある場合には時間的に長くかかる工程での加工処理を、複数個並列して行うことにより全体の加工時間が短縮される。
【0027】
例えば、アライメントに必要な時間がチップあたりt1とし、接合に必要な時間をt2とし、加工すべき個数をNとした時を考えてみる。個々のチップを順次積層して接合した場合に要する一個あたりの処理時間は(t1+t2)である。これをM台の積層・接続装置を用いて加工すると、加工に要する時間は(t1+t2)/Mとなって時間は短縮される。ただし、設備投資に係る装置コストはM倍掛かる。
【0028】
ここで、アライメントは一つづつ順次行い、半導体チップ同士の接合をN個まとめて行った場合を考えてみると、N個の加工に要する時間はt1×N+t2となり、一個あたりの処理時間は(t1+t2/N)となり、Nの値を大きく取ると一個あたりの処理時間はt1の値によって決まる。例えば、接合時間は物理現象であって簡単にそれ自体を短縮することは出来ない面があるが、一括積層数はシステム設計のパラメータであり、最適値の選択が可能である。
【0029】
本発明は、このような作用に着目してなされたものであり、かける費用や装置を配置する床面積を増加させないで、チップの積層・接合に掛かる時間を合理的なものにすることが出来るようになる。
【0030】
次に、図1に示す積層型半導体チップの製造方法に関するフローチャートに基づいて、説明する。
最初に、周知の半導体装置製造技術により、所望の素子及び回路パターンが形成されたウエハを製造するウエハの前処理工程が行われる(S1)。設計時に、半導体チップを積層することを考慮に入れ、設計を行い、設計された回路パターンに応じて、ウエハに回路パターンを形成する。次にウエハの前処理工程(S1)で製造されたウエハに形成された各半導体チップに、KGD選別工程を行う(S2)。この工程では、知りえたKGD(Known Good Die:パッケージ品と同等の品質保証をされたもの)の位置を予め記録しておくか、不良チップの上にインカーにより印をつけておく。このKGD等のテスト工程は製造者側に一任され、KTD(Known Test Die:パッケージと同じプロービングテストまでを実施。但し、保証対象外)、PD(Probed Die:一部の検査のみを規定したもので、保証対象外)といった異なるレベルの選別基準を採用することも可能である。
【0031】
その後、ウエハには、図1に示す初期洗浄工程(S3)が行われる。洗浄工程では既存のウエハ洗浄装置が使用可能であり、周知の方法で洗浄するので、ここでの詳細な説明を省略する。
【0032】
初期洗浄工程(S3)を終了したウエハは、次に、貫通ビア処理工程に入る(S4)。貫通ビア処理工程では、最初に周知のレジスト塗布装置によりレジストがウエハに塗布され、次にウエハ上に形成された各チップの設計情報を基に、フォトリソグラフィー法と反応性イオンエッチングを用いたエッチング処理とを行って、貫通ビアを形成する。なお、この貫通ビアはこの時点では、ウエハを貫くように形成されておらず、この後で述べる薄片化処理工程で薄片化される厚さより僅かに深くビアを形成しておく。
【0033】
また、この貫通ビアを形成する際、形成する貫通ビアパターンに対応したマスクが選定される。そして、選定されたマスクを用いて、貫通ビアパターンがウエハに投影露光される。その後、再び周知のレジスト現像装置によりレジストの現像が施される。
【0034】
次に、貫通ビアが形成されたウエハは側壁絶縁層形成処理工程(S5)に移される。このとき、プラズマCVD成膜法などにより貫通ビア内壁に酸化膜を形成する。
【0035】
次に、貫通ビアに酸化膜が形成されたウエハは、電極金属埋設処理工程(S6)に移される。このとき、絶縁膜が形成された貫通ビアに銅材料が充填される。この工程では最初にプラズマCVD法を用いて、貫通ビア内壁に銅の薄膜を形成する。ついで電鋳法により銅が成長し、貫通ビア内に銅材料の充填が完了となる。
【0036】
ところで、貫通ビア処理工程では、所定の深さ、所定の形状で貫通ビアが形成されているかを検査することが好ましく、また、電極金属埋設処理工程では、貫通ビア内に絶縁膜や銅材料が欠陥無く形成されているか検査することが好ましい。そのために、X線、赤外線の画像処理装置などにより、適宜ビア内の検査を行い、不良個所を検出することが好ましい。そして、不良個所が生じてしまったチップは、予めその位置を本実施の形態における製造工程を集中的に管理している制御システムに記憶させておいたり、インカーによりウエハに目印を付けておく。
【0037】
このようにして、貫通ビアに銅が充填されたウエハは、支持体形成処理工程(S7)に移される。ここではウエハにUV硬化型樹脂を塗布し、ウエハの回路パターンが形成された面(表面)に石英等の基板を貼り付け、UVキュアを行って接着がなされる。このようにして、接着後の側面が図2(a)に示す状態となる。
【0038】
なお、図2から図5までは、各チップのアライメントを取るまでの工程を図示したものである。また、図2(a)はステージ3上の支持体2に貼り付けられた貫通電極を有するウエハ1aの様子を示す。図1及び図2乃至図5のいずれかを用いて、各工程を説明する。
【0039】
支持体2が接着されたウエハ1aは薄片化処理工程(S8)に移される。この工程では、研削と研磨を行う方法又はエッチングによる方法により、ウエハ1aを厚さ50マイクロメートル程度以下まで薄片化する。研削後に研磨を行うことでウエハ1aの薄片化を行う場合は、CMP研磨装置4を用いることが好ましい。CMP研磨装置4を用いてウエハ1aの薄片化の様子を示したのが図2(b)である。なお、使用する研磨装置4は、研磨パッド4aがウエハ1aより小径のCMP研磨装置4を用いた。なお、研磨パッド4aは、研磨パッド4aに回転動力を伝達する回転軸4bに固定されている。そして、研磨パッド4aが回転軸4bによって動力が伝達され、ウエハ1aに対し、研磨パッド4aが相対的に運動することで、ウエハ1aは薄片化される。その薄片化されたときの側面形状は、図2(c)に示した。
【0040】
ところで、ウエハ1aを薄片化することで、貫通ビア形成工程(S4)から電極金属埋設処理工程(S6)までで形成された貫通ビアに埋め込まれた電極金属の他方側の端面も露出され、貫通電極が形成される。また、電極金属が露出された後も、ウエハの裏面を研磨することにより、露出した電極金属が周囲のウエハよりも突出するようになる。これは、シリコンと銅の加工速度の違いによるものである。
【0041】
ところで、シリコンと銅の加工速度の違いにより貫通電極をウエハから突出させ、他のチップと導通を得やすくすることをしているが、これだけに限られず、埋め込み電極が露出したら、そこにマイクロバンプを形成しても良い。
【0042】
このように、ここまでの工程は、ウエハごとに個別に処理される。そして、積層するチップを有するウエハに対して薄片化処理が為されたら、次に個片化処理工程(S9)に移される。
【0043】
この個片化処理(S9)では、積層される半導体チップ同士の外形が実質同じ形状になるように、予め積層時と同様な位置関係となるようにそれぞれのウエハを積み重ねて、一度に複数のウエハを個片化する。
【0044】
具体的に説明すると、ウエハ1aとウエハ1bの支持体2に貼り付けられた面とは反対側の面同士を、互いの電極が同じ位置に位置するように、位置決めをしてウエハ1a、ウエハ1b同士を貼り付ける。貼り付ける際には、蝋付けなどの再度チップを剥がしやすい材料で接着することが好ましい。このように張り合わせた状態を図2(d)に示す。そして、上側にある支持体2を剥離する。上側にある支持体2を剥離した状態は図3(e)に示す。次に図3(f)に示すように、半導体チップ間のスクラブラインに沿って、ダイシングソー5を走らせ、ウエハから半導体チップへの個片化を複数のウエハにわたって同時に切断する。このようにして、個片化された半導体チップ1a’、1b’の側面は図3(g)のようになる。
【0045】
このようにして切断された結果、ウエハから個片化された半導体チップ1a’、1b’は、張り合わせの関係にある半導体チップ1a’、1b’同士では、電極から半導体チップ1a’、1b’の外形までの距離が等しくなっている。
【0046】
なぜならば、半導体チップ1a’、1b’の回路パターンや電極をパターンニングする投影露光装置のアライメント誤差は非常に小さく、再現性も数百nmオーダである。そのため、どの半導体チップ1a’、1b’も電極の位置関係が同じである。そのような半導体チップについて、予め電極が同じ位置になるようにウエハを積層してから同時にダイシングソーでもって切断することで、切断位置から各電極の位置までの距離は等しくなる。したがって、各半導体チップ1a’、1b’のそれぞれは、半導体チップの外形に対し電極の位置が同じになる。
【0047】
ところで、半導体チップを積層するとき、半導体チップ同士を貼り付ける面が、薄片化処理工程(S8)で加工された面とは反対側の面である場合は、支持体2が貼り付けられた面を代えるために、支持体2を張り替える必要がある。この場合、先に支持体2が貼り付いていない面に新たな支持体2を貼り付け、次に先に貼り付いていた支持体2を剥がすことで支持体2の張替えが可能となる。
【0048】
次に、個片化された半導体チップ1a’、1b’は、互いに貼り付けられていた半導体チップ1a’、1b’の夫々が分離されて、図3(h)に示すチップライブラリー6のそれぞれの収納部6aに収められる。このとき、同じ位置に貼り付けられた半導体チップ1a’と1b’の組み合わせが把握できるように、同じ位置に位置決めされて切断された半導体チップ1a’、1b’同士のチップライブラー6の収容位置を決めて、半導体チップ1a’、1b’を収容した。また、このとき、KGD選別工程で発見された半導体チップ1a’、1b’は、予めチップライブラリー6から捨て去れている。
【0049】
このようして、チップライブラリー6に収容されたチップは、図4(i)に示すアライメント基板7に配置される。図4(i)の図面はアライメント基板7を上方から眺めた正面図である。アライメント基板7には、直交したL字型の凸部7aを複数有している。この凸部7aの内壁にそれぞれ半導体チップ1b’を押し当てて配列している。このようにすることで、アライメント基板7の凸部7aに対して、所定の位置に各々の半導体チップ1b’の電極が位置する。
【0050】
この状態で、図4(k)に示すように、アライメント基板7に配列されたチップ1b’を積層基板8に押し当て、チップ1b’を積層基板8に貼り付ける。
次に、半導体チップ1a’についても、半導体チップ1b’で用いたアライメント基板7を用いて、半導体チップ1a’を配列させる。このとき、個片化処理工程(S9)で、同じ位置に配置されて切断された半導体チップ1b’と同じ場所でアライメントが出来るように、半導体チップ1a’の場所を決めておく。
【0051】
その後、半導体チップ1b’と同様に図4(k)に示すように、積層基板8に半導体チップ1a’を接着剤で貼り付ける。なお、ここで使用する接着剤は、後に半導体チップから基板を剥がすことができる接着剤を用いる必要がある。一般に、接着剤部分を溶解することができる溶液が存在する接着剤を用いることが好ましい。
【0052】
このようにして、積層基板8に貼り付けられた半導体チップ1b‘は図4(l)のようになり、同じく半導体チップ1a’は図4(m)のような状態になる。
ちなみに、このとき、半導体チップ1b’の積層基板8又は半導体チップ1a’の積層基板8のどちらか一方は、石英やゼロデュアなどの熱膨張率が非常に小さく剛性のある基板を使用し、他方はポリアラミドなどの熱膨張率が比較的小さく、変形容易な基板を用いることが好ましい。その理由は後のチップ積層処理工程(12)で説明する。なお、本実施の形態では、石英やゼロデュアなどの熱膨張率が非常に小さく剛性のある基板を第1の基板81と称し、そこに貼り付けられている半導体チップを第1のチップ1a’と称す。また、ポリアラミドなどの変形容易な基板を第2の基板82と称し、変形容易な基板に貼り付けられている半導体チップを第2のチップ1b’と称すことにする。
【0053】
なお、第1及び第2のチップ1a’、1b’を第1の基板81、第2の基板82である積層基板8に貼り付けるときは、アライメント基板7に設けられたアライメントマーク7bと、第1の基板81であり第2の基板82でもある積層基板8に設けられたアライメントマーク8aとを互いに位置合わせて行う。このようにして、第1及び第2のチップ1a’、1b’の各々に形成されている電極は、第1の基板81又は第2の基板82のアライメントマーク8aに対して、同じ位置になっている。
【0054】
ところで、このままの状態では、KGD選別工程で不良とされたチップが本来位置する場所には、何も無い状態になってしまう。そこで、本発明の実施の形態では、他のウエハから取り出された同じ半導体チップ1a’、1b’をその個所に配置した。本来チップが存在する個所に他のウエハから得られた半導体チップ1a’を配置した第1の基板81の正面図を図5(n)に、また、他のウエハから得られた半導体チップ1b’を配置した第2の基板82の正面図を図5(o)に示した。
【0055】
なお、この各積層基板8上の空白個所に半導体チップ1a’、1b’を配置する際、隣接して既に積層基板8に接着されている半導体チップ1a’又は1b’の電極の位置を基準にして、本来チップが存在するべき個所に半導体チップ1a’、1b’の接着する。隣接する半導体チップ1a’、1b’の電極をアライメントマークの代わりとすることで、高分解能を有する光学機器を用いても、その狭い視野内にアライメントマークの代わりとなる隣接する半導体チップ1a’、1b’の電極が、これからあてがわれる半導体チップの配置場所と同一視野内に入る。したがって、その光学機器から得られる高分解能の画像を用いて、アライメントを取ることができるので、例え単独で、半導体チップ1a’、1b’に配置しても、高いアライメント精度を有する。
【0056】
このようにして、各々の積層基板8には、図5(n)、(o)に示されるように、ほぼ数百nmの精度で電極位置が配置された半導体チップ1a’、1b’が配置されるようになり、アライメント工程(S10)とチップ支持体形成工程(S11)が終了する。
【0057】
ところで、ここで使用されるアライメント基板7の説明をする。図4(i)、(j)に示すアライメント基板7は、熱膨張係数が小さい石英基板とその裏面に貼り付けられた多孔質のセラミック基板からなる。そして、凸部7aは、平滑な石英基板をフォトリソグラフィー法とICPエッチングなどの異方性エッチングとを用いて形成する。この凸部7aの高さは、30μm程度である。そして、石英基板には、半導体チップの配置場所の略中央部分に、貫通孔7cが設けられている。この貫通孔7cも凸部7aと同様な方法で製造できる。
【0058】
アライメント基板7を用いて、個々の半導体チップのアライメントを取るときは、アライメント基板7を凸部7aの屈曲部が一番下になるように、僅かに傾けて半導体チップを凸部7a近傍に一枚ずつ配置してゆく。また、このとき、アライメント基板7の裏面から僅かに空気を吹き付けておく。吹き付けられた空気は、アライメント基板7の裏面に貼り付けられた多孔質のセラミック基板を通過し、石英基板に設けられた貫通孔7cから極めて僅かな量の空気を噴出す。この噴出された空気により半導体チップは浮き上がり、半導体チップの自重により、凸部7aの側面に当接する。また、このとき、アライメント基板7を僅かに揺動させて、半導体チップが凸部7aに片当りすることを防ぐことも好適である。
【0059】
全ての半導体チップが凸部7aの側面に当接したら、次に、アライメント基板7の裏面を吸着する。そのときに、セラミック基板や貫通孔7cは負圧になるので、半導体チップがアライメント基板7に吸着される。このようにして、積層基板8の貼り付け工程が行われる。
【0060】
なお、アライメント基板7はこのような態様だけに限られず、例えば、図6に示すアライメント基板71を用いても構わない。このアライメント基板71は、柱71aを有している。この柱71aは半導体チップ11a’、11b’の側面の一部と当接可能となっている。また、アライメント基板7と同様に貫通孔72も設けられている。この柱71aや貫通孔72
そして、半導体チップ11a’、11b’の側面には予め微小な切り欠き部を、ウエハ前処理工程(S1)で形成しておく。具体的には、フォトリソ法とエッチングにより半導体チップ11a’、11b’の外周部に予め凹部を形成しておき、個片化処理工程(S9)で半導体チップ11a’、11b’の側面に切り欠き部が形成される。
【0061】
そして、半導体チップ11a’、11b’の切り欠き部と柱71aとが当接して、個々の半導体チップ11a’、11b’のアライメントを取る。
なお、半導体チップ11a’、11b’に形成する切り欠き部71aは、半導体チップ11a’、11b’の回路パターンに影響を与えない程度に切り欠きが形成されていれば良い。
【0062】
なお、図4(i)、(j)に示すアライメント基板7、は直列に半導体チップを配列しているが、これだけに限られず、図6に示すアライメント基板71のように2次元的に半導体チップを配列可能になるように、凸部7aが形成されているものでも良い。
【0063】
次いで、チップ積層処理工程(S12)が行われる。この工程では、先のアライメント工程(S10)及びチップ支持体形成工程(S11)で、半導体チップである第2のチップ1b’が配列された第2の基板82と、第1のチップ1a’が配列された第1の基板81とをアライメントして、第1のチップ1a’と第2のチップ1b’とを積層する。このチップ積層処理工程(S12)は、図8を用いて説明する。
【0064】
なお、チップ積層処理工程(S12)以降は、これまでの工程で説明したチップの個数よりも多くチップが配列された第1の基板81及び第2の基板82を用いて説明する。
【0065】
ところで、第2の基板82は厚さ1mmの耐熱性ゴム又は耐熱性樹脂(例えばポリアラミドフィルム)を用いた。そして、図8(b)のように、第2の基板82は、第2のチップ1b’を第1のチップ1a’に加圧する押圧基板20上に吸着・固定されている。
【0066】
第1のチップ1a’と第2のチップ1b’は別々に薄片化処理工程(S8)により加工されたものであり、また例え同一に近い条件下で加工されたものであってもその厚さにはばらつきがある。従って、第1の基板81上の第1のチップ1a’と第2の基板82上の第2のチップ1b’の厚さがチップ毎に異なっていて、同一の剛体で全てのチップに加圧を試みると、個々のチップに係る圧力が同じ圧力では圧接されない。この点を考慮して、本発明では押圧基板20はこの厚さのばらつきによる接合圧のばらつきをなくする機能を有するようになされている。さらに、押圧基板20と第2の基板82の間には加圧時にチップが破損しないように、弾性体を介しても良い。
【0067】
図7はこの押圧基板20の概略構成を示す。図7(a)は押圧基板20の全体側面図であり、図7(b)は押圧基板20の一部を拡大した側面図である。この押圧基板20は、石英等の熱膨張係数が小さい材質からなる基材部21と、個々のチップを搭載する位置に設けられた圧力センサ28と、圧力センサ28に設けられ、個々のチップに任意の加圧力を供給する積層型ピエゾ素子22が設けられている。そして、積層型ピエゾ素子22の端面には微小な開口が設けられており、その開口に接続し、圧力センサ28及び基材部21に連通する空気管25が設けられている。
【0068】
なお、積層型ピエゾ素子22及び圧力センサ28は、第2の基板82に貼り付けられた個々のチップの大きさと位置に対応して、基材部21上に設けられている。なお、積層型ピエゾ素子22や圧力センサ28の個々の面積は、積層される半導体チップよりも広めになっている。
【0069】
この押圧基板22は、空気管25の気圧を変えることで、第2の基板82を吸着したり、離脱させたりする。なお、本発明はこのような方法で第2の基板82を支持しなくともよく、チップに対する吸引力を発生させる代わりに、粘着材を積層型ピエゾ素子22の上に塗布することにより付与しても良い。
【0070】
また、積層型ピエゾ素子22は、複数の積層型ピエゾ素子22をそれぞれ独立に制御可能な図示されていない制御手段に取り付けられている。この制御手段は、圧力センサ28からの情報により個々の積層型ピエゾ素子22が所定の圧力になるように駆動制御される。
【0071】
また、押圧基板20には、図7(a)に示すように、図示されていないあるレール上に対して移動可能な状態にある支持柱24に回転軸23を介して固定されている。なお、この支持柱24は所定の力を発揮できる周知の機構を有し、かつ伸縮可能である。
【0072】
つぎに、図8に戻って、チップ積層処理工程(S12)を用いて説明する。
まず、第1のチップ1a’が設けられた第1の基板81を、6つの移動自由度を有し、高精度に移動可能であるステージ9上に固定する(図8(a)参照)。また、第2のチップ1b’が設けられた第2の基板82を押圧基板20上に取り付ける(図8(b)参照)。なお、図8では、便宜上、図7(a)で示した支持柱24は省略した。
【0073】
次に、第2の基板82(及び押圧基板20)を回転軸の周りに回転させる(図8(c)参照)。ついで、第1の基板81に固定された第1のチップ1a’と第2のチップ1b’とが対面するように押圧基板20を移動させ、保持する(図8(d)参照)。第1の基板81と第2の基板82とのそれぞれに設けられたアライメントマークを基に、図8(d)に示すようにステージ9と押圧基板20との位置をアライメントする。アライメントが終了したら、次に、第1の基板81に配列された第1のチップ1a’の上に非導電性の接合樹脂を流し込む。一般に、この接合樹脂は、NCPと言われる非導電性樹脂であり、熱硬化エポキシ樹脂が好ましい。また、異方性導電樹脂を用いても好ましく、対向電極間は導通しつつ、隣接電極間は絶縁され、チップ間同士の接着が可能となる。この異方性導電樹脂としては、東芝ケミカル製の異方性導電ペースト「XAPシリーズ」などが挙げられる。このようにして、第1の基板81上の第1のチップ1a’に非導電性樹脂や異方性導電樹脂を塗布したら、図8(e)に示すように、第1のチップ1a’と第2のチップ1b’を圧接するように、ステージ9に押圧基板20を接近させる。
【0074】
ステージ9に押圧基板20が十分に接近したら、積層型ピエゾ素子22を駆動して個々のチップに与える加圧力を調節し、図8(f)に示すようにヒータ91を駆動して加熱する。加熱条件は、150−200度で、加熱時間は15−20秒である。非導電性樹脂や異方性導電樹脂が硬化した後、押圧基板20の空気管25に空気を送り込んで、第1のチップ1a’に第2のチップ1b’が接合された第2の基板82を、押圧基板20から切り離す。
【0075】
次に、第2の基板82と第2のチップ1b’とを接着している接着剤を溶解して、第2のチップ1b’から第2の基板82を取り外す。
以上により、第1の基板81である石英基板上に第1のチップ1a‘と第2のチップが非導電性樹脂や異方性導電樹脂を介して積層された積層型半導体チップが得られ、積層チップ出力(S13)がなされる。
【0076】
ところで、本発明の実施形態で製造する積層型半導体チップは、2層のものを例示するが、本発明は、これだけに限られず、3層や4層に積層された積層型半導体チップを製造することも可能である。なお、このように幾層にも積層して用いる半導体チップは、スルーホールやビアなどが形成されており、半導体チップの両面に所定の配列の電極が形成されている。なお、互いの半導体チップ間で、電極同士が接合できるようにするために、接合する面に形成された電極の配列パターンは同じにする必要がある。なお、異なる半導体チップは、殆どの場合で、回路パターンが異なるため、電極の配置パターンや配列パターンも変わってしまう。そのような場合には、公知の再配線層形成技術により、電極の配置パターンや配列パターンを同じにするか、半導体チップと半導体チップの間にインターポーザー基板を配置して、各々の半導体チップにおける電極位置の整合を取るようにしても良い。
【0077】
また、互いのチップを積層する前は、それぞれ別々の基板に配置されているが、一方の基板と他方の基板とで配置されたチップ同士の配置関係や姿勢関係が、鏡像関係になればよい。
【0078】
例えば、第1の基板上にどのような姿勢で複数の第1のチップが配列されていても、もう一方の第2のチップが第2の基板上に配列する際に、各々のチップの配置関係や配置姿勢が第1の基板に配置された姿勢や配置関係に対し、左右反転の配置関係や姿勢を保つようにすれば、第1の基板に配置されたチップと第2の基板に配置されたチップとの積層時に各チップの電極の位置が合致する。なお、このとき、第1の基板に配置された第1のチップと第2の基板に配置された第2のチップを積層するときには、第2の基板又は第1の基板のどちらか一方を左右反転するように、表裏が逆転させれば(ひっくり返せば)よい。
【0079】
また、第2の基板上でのチップの配置関係や配置姿勢が、第1の基板に配置されたチップの配置関係や配置姿勢に対して、上下反転の関係を保っていれば、チップ積層時には、第2の基板又は第1の基板のどちらか一方を上下反転するように、表裏を逆転させれば(ひっくり返せば)よい。
【0080】
ところで、ウエハからチップを個片化し、第1の基板又は第2の基板に配置する方法として、上述の支持体形成処理工程(S7)からチップ支持体形成工程(S11)までの工程以外にも以下に述べる方法で行うことも可能となる。
【0081】
例えば、チップがパターンニングされたウエハを個片化する前に、ダイシングによりウエハをハーフカットし、ハーフカット面を切断シートに貼り付け、反対側を研磨することで個片化した上で、図9(a)に示す第1のチップをロボットアーム30によりピックアップして、積層基板に8に配置する方法を取っても良い。なお、図9は、第1の基板81へ第1のチップ1a’を配置する方法及び押圧基板20を第2の基板の代わりとして用い、第2のチップ1b’を押圧基板20へ配置する方法を示す側面図である。
【0082】
より具体的に説明すると、最初にウエハをダイシングソーによりハーフカットする。そして、ダイシングされた面を接着面として、切断シート31にそのウエハを貼り付ける。なお、切断シートは日東電工製の…・・が良い。(内藤さん記入お願いします)
次に、切断シート31が貼り付けられたウエハを研磨し、先にダイシングされた部位が露出するまで研磨を行うと、ウエハはチップ毎に分離する。
【0083】
個片化され、切断シートに貼り付けられた半導体チップのうち第1のチップ1a’については、図9(a)に示すように、半導体チップピックアップする機構を有したロボットアーム30のピックアップ位置に搬送し、このロボットアーム30により、第1の基板81に移し変えられる。
【0084】
また、ロボットアーム30の代わりに、図9(b)に示すように、レール41に敷設範囲内に、切断シート31に貼り付けられた第1のチップ1a’と第1の基板81とを配置し、レール41の敷設範囲内で移動可能に設けられたピックアップ機構40を駆動して、切断シート31に設けられた第1のチップ1a’を第1の基板81に移送するようにしても良い。
【0085】
これらのように、第1の基板81に第1のチップ1a’が移送されたら、図9(c)に示すように、第1の基板81の上に第1のチップ1a’が配置される。次に、第1の基板上におけるチップの配置姿勢を、画像取得手段で取得する。この画像取得手段としては、高解像度を有する顕微鏡を走査して、第1の基板81に固定された第1のチップ1a’の像を取り、第1のチップ1a’の配置姿勢を割り出すものでも良いし、画角の広い画像取得手段と、得られた画像信号を基に高解像な像を出力する既存の画像処理ソフトを用いて第1のチップ1a’の姿勢を割り出しても良い。
【0086】
これらの画像取得手段により得られた第1のチップ1a’の配置姿勢を基に、第2の基板に対するチップの配置関係を導き出し、第2の基板に配置していっても良い。なお、第2の基板に第2のチップを配置するときは、第1の基板に配置された第1のチップの配置姿勢に対して、鏡像関係になるように配置してゆく。
【0087】
一方、前述の例では、第2の基板82に複数の第2のチップ1b’が貼り付けられたものであったが、この第2の基板82の代わりに、押圧基板20を用いる方法を採用した。
【0088】
第2のチップ1b’においても第1のチップ1a’と同様に個片化し、図7に示す押圧基板と実質的に同じ押圧基板20に配置する。なお、押圧基板20の積層型ピエゾ素子22の上には、予め弾性に富み耐熱性を有するポリアラミド樹脂83を設けておいた方が好ましい。このポリアラミド樹脂83は、第1のチップ1a’と第2のチップ1b’を加圧接合する際に、積層型ピエゾ素子22に対して片当りしないようにするためである。このように押圧基板20の各積層型ピエゾ素子22上に、第1のチップ1a’を前述の搬送手段と同じ手段で搬送する。
【0089】
このように、押圧基板20上に、第1の基板に配置された第1のチップ1a’の配置姿勢とは、鏡像関係となるように配置しておく。
その後は、前述のチップ積層処理工程(S12)と同じように行うことで、積層された半導体チップが得られる。
【0090】
最後に、これらの工程を行う処理装置について、共通の搬送手段が取り付けられるようにし、かつ夫々の処理装置の制御部に共通のプロトコルで通信できるようにしたクラスター型の半導体チップ積層システムに本発明の工程を実施させると、より効率よく積層型半導体チップが製造できる。
【0091】
【発明の効果】
本発明によれば、低価格で、高速に半導体チップを積層して接続することが可能となり、積層された半導体チップの製造歩留まりを向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】:本発明の実施の形態における積層型半導体チップの製造工程のフローチャートを示す。
【図2】:図1に示す積層型半導体チップの製造工程の一部の工程を示す概念図である。
【図3】:図1に示す積層型半導体チップの製造工程の一部の工程を示す概念図である。
【図4】:図1に示す積層型半導体チップの製造工程の一部の工程を示す概念図である。
【図5】:第1の基板に貼り付けられた第1のチップの配置の様子と、第2の基板に貼り付けられた第2のチップの配置の様子を示した図である。
【図6】:もう一つのアライメント基板を示した図である。
【図7】:押圧基板の概略図である。
【図8】:チップ積層工程を示した図である。
【図9】:第1の基板に第1のチップを配置する方法及び第2の基板である押圧基板に第2のチップを配置する方法を示した図である。
【符号の説明】
1a、1b…ウエハ、2…支持基板、3、9…ステージ、4…CMP装置、5…ダイシングソー、6…チップライブラリー、7、71…アライメント基板、8…積層基板、81…第1の基板、82…第2の基板、20…押圧基板、30…ロボットアーム、40…チップピックアップ、41…レール
Claims (10)
- 互いに電気的に接続すべき電極接合用部位を有する少なくとも第1のチップ及び第2のチップを積層して接合する半導体チップの積層方法であって、
第1の基板上に、正常に動作する複数の前記第1のチップを、前記第2のチップと接続しない面を前記第1の基板に接して配列する第1の素子配列工程と、
第2の基板上に、正常に動作する複数の前記第2のチップを前記第1のチップの配列と関連して、前記第1のチップと接続しない面を前記第2の基板に接して配列する第2の素子配列工程と、
前記第1の基板と前記第2の基板を位置あわせして、前記第1のチップと前記第2のチップとを圧接し、前記第1のチップの前記電極接合用部位と、前記第1のチップの前記電極接合用部位に対応する前記第2のチップの前記電極接合部とを接合する接合工程と、
接合された前記第1のチップと前記第2のチップの少なくとも一方を、前記基板から分離する分離工程と、
を有することを特徴とする半導体チップの積層方法。 - 請求項1記載の半導体チップの積層方法であって、
前記接合工程は、ハンダを介して前記第1のチップと前記第2のチップを接合することを特徴とする半導体チップの積層方法。 - 請求項1記載の半導体チップの積層方法であって、
前記接合工程は、前記第1のチップと前記第2のチップの間に異方性導電樹脂を介して行うことを特徴とする半導体チップの積層方法。 - 請求項1記載の半導体チップの積層方法であって、
前記接合工程は、前記第1のチップと前記第2のチップ間に非導電性樹脂を介して行うことを特徴とする半導体チップの積層方法。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載された半導体チップの積層方法であって、
前記素子配列工程は、前記第1の基板上に配列された前記第1のチップの配列順序と前記第2の基板上に配列された前記第2のチップの配列順序が互いに鏡像の関係になっていることを特徴とする半導体チップの積層方法。 - 請求項1乃至5に記載された半導体チップの積層方法であって、
前記第1の基板は、熱膨張係数が小さい剛性を有する材料からなり、前記第2の基板は、少なくとも前記第2の基板のチップ配列面に弾性部材を具備していることを特徴とする半導体チップの積層方法。 - 請求項6に記載された半導体チップの積層方法であって、
前記接合工程では、前記第1の基板に配列された前記第1のチップと前記第2の基板に配列された前記第2のチップが、略一様に圧接されるように、前記第2の基板における第2のチップ配列面とは反対側の面を、前記第1のチップと前記第2のチップの接合個所ごとに個別に加圧することを特徴とする半導体チップの積層方法。 - 請求項1乃至5に記載された半導体チップの積層方法であって、
前記第1の基板は、前記第1の基板は、熱膨張係数が小さい剛性を有する材料からなり、前記第2の基板は、少なくともチップ配列面に弾性部材及び前記第2の基板に配置された第2のチップを個別に加圧する加圧部材を具備していることを特徴とする半導体チップの積層方法。 - 請求項1乃至8に記載された半導体チップの積層方法であって、
前記第1の素子配列工程及び前記第2の素子配列工程は、異なる前記第1のチップ間の前記接合電極部位の間隔と、異なる前記第2のチップ間における、前記第1のチップ間の接合電極部位に対応する、前記接合電極部位の間隔とが同一間隔になるように配列することを特徴とする半導体チップの積層方法。 - 請求項9に記載された半導体チップの積層方法であって、
前記第1の素子配列工程及び前記第2の素子配列工程は、同時にウェハから個片化した複数の前記第1のチップと複数の前記第2のチップをそれぞれ、基準部位が形成されたアライメント基板上に配列させた後に、前記第1のチップを前記第1の基板に配列させ、かつ前記第2のチップを前記第2の基板に配列させることを特徴とする半導体チップの積層方法。
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