JP2005025652A - 装置管理用情報変換装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体製造装置のような対象装置の状態や工程を監視するために検出されたデータその他の情報を、ディジタル信号のような記号の形からそれらの情報が意味するところを認識しやすい表現形式に変換して、管理側へ供給する情報変換装置を提供する。
【解決手段】 対象装置2の状態に対応したデータを管理装置4で必要な情報に変換する装置管理用情報変換装置1は、前記データを受信する受信部11と、該受信部で受信したデータを対象装置の構成要素あるいは作動部の名称を含む情報に変換するデータ変換部12と、該データ変換部で変換された情報を送信する送信部13とを備える。データ変換部12は、対象装置から送られたデータを名称で表現されたデータに変換するための名称変換テーブル21と、名称で表現されたデータから制御単位毎の制御信号に変換するための制御単位構成テーブル22とに基づいて、データ変換を行う。
【選択図】 図2
【解決手段】 対象装置2の状態に対応したデータを管理装置4で必要な情報に変換する装置管理用情報変換装置1は、前記データを受信する受信部11と、該受信部で受信したデータを対象装置の構成要素あるいは作動部の名称を含む情報に変換するデータ変換部12と、該データ変換部で変換された情報を送信する送信部13とを備える。データ変換部12は、対象装置から送られたデータを名称で表現されたデータに変換するための名称変換テーブル21と、名称で表現されたデータから制御単位毎の制御信号に変換するための制御単位構成テーブル22とに基づいて、データ変換を行う。
【選択図】 図2
Description
本発明は、例えば、半導体製造装置のような装置の状態や工程の監視などをするために検出されたデータを、管理装置のような上位装置でオペレータ等の人間が認識し易い形式で表現された情報に変換する情報変換装置に関する。
例えば、下記の特許文献1には、管理対象の装置(以下「対象装置」という)が半導体製造装置である場合の装置管理システムが記載されている。
これは、図7に示すように、管理の対象となる半導体製造装置60の状態をオペレータに対して音声や画像で表示するための操作端末としてステーション・コントローラ(STC)61を備え、これには、半導体製造装置60のワーク搬送を行うためのやりとりをするパラレル信号入出力を行うPIO端子62がある。半導体製造装置60のデータは、ホスト・ネットワーク40を介して、主に生産の進捗管理等を行う工場システム90へ送られる。
これは、図7に示すように、管理の対象となる半導体製造装置60の状態をオペレータに対して音声や画像で表示するための操作端末としてステーション・コントローラ(STC)61を備え、これには、半導体製造装置60のワーク搬送を行うためのやりとりをするパラレル信号入出力を行うPIO端子62がある。半導体製造装置60のデータは、ホスト・ネットワーク40を介して、主に生産の進捗管理等を行う工場システム90へ送られる。
工場システム90は、製品製造に関わる情報や結果を蓄積するためのデータベースDB30、製品の生産進行を管理するマニュファクチュアリング・エクゼキューション・システム(MES)32、製品の配送指示を行うマテリアル・コントロール・システム(MCS)34、製品の生産条件を管理するアドバンスド・プロセス・コントロール(APC)36、及びキャリヤ・マネージメント・システム(CMS)38で構成されている。工場システム90には、半導体製造装置60を操作するためにオペレータ70によって操作されるオペレータ用端末71が設けられ、ホスト・ネットワーク40に接続されている。
また、半導体製造装置60には、管理者80によって操作される管理者用端末81が接続され、この管理者用端末81には、管理者80から電話またはFAX等により要求された装置の部品を供給する部品供給者(以下「サプライヤ」という)50が、専用回線82を介して接続されている。
このような装置管理システムでは、装置の管理(監視を含む)は、パソコン等の端末を含む管理装置を用いて行われている。そして、故障が発生したときは、管理者側で故障原因を同定し、同定された故障原因に基づいて修理等の対策をとり、とられた対策の結果を確認するという手順をたどるのが通常である。図7のシステムの場合、半導体製造装置60の故障原因の同定は、故障が発生した後に管理者等により人手で行われ、その後、管理者が対策に必要な指示を、ホスト・ネットワーク40を介してオペレータ70に伝え、或いは発注用の専用回線82を介して必要な部品をサプライヤ50に発注するようにしている。
上記のような従来の装置管理システムでは、管理対象の装置自体あるいは製造工程の状況をセンサ等で検知し、その検知データその他の情報を管理装置側へ送っている。
特開平2002−324109号公報
製造技術の進歩や製造工程の高度化に伴い、管理対象の装置側で検出すべきデータの種類や量は増大する一方であるが、それらのデータは一般にデジタル信号の形で管理装置側に送られるため、管理装置側では、それら多種多量のデータがデジタル信号のままでは、それらがどのような意味を持っているのか認識するのが非常に困難になってきている。
本発明の目的は、半導体製造装置のような対象装置の状態や工程を監視するために検出されたデータその他の情報を、ディジタル信号のような記号の形からそれらの情報が意味するところを認識しやすい表現形式に変換して、管理側へ供給する情報変換装置を提供することである。
本発明は、対象装置の状態に対応したデータを管理装置で必要な情報に変換する装置管理用情報変換装置であって、前記データを受信する受信部と、該受信部で受信したデータを前記対象装置の構成要素あるいは作動部の名称を含む情報に変換するデータ変換部と、該データ変換部で変換された情報を送信する送信部とを備えたことを特徴とする。
本発明の具体的態様では、前記データ変換部は、対象装置から送られたデータを名称で表現されたデータに変換するための名称変換テーブルと、名称で表現されたデータから制御単位毎の制御信号に変換するための制御単位構成テーブルとに基づいてデータ変換を行う。
本発明によれば、対象装置の状態に対応したデータを受信し、データ変換部で対象装置の構成要素あるいは作動部の名称を含む情報に変換して、管理装置側に送信するので、対象装置の状態や工程を監視するために検出されたデータがデジタル信号のような記号であっても、管理装置側では、それらのデータから変換した情報に含まれる、対象装置の構成要素あるいは作動部の名称から、データの意味するところを直ちに(直感的に)認識することができる。
本発明の具体的態様によれば、データ変換部では、上記の名称変換テーブルと制御単位構成テーブルとに基づいてデータ変換を行うので、それらのテーブルを対象装置の構成要素や作動部に応じて作成し、或いは対象装置の構成や機能の変更などに伴って容易に改変することができる等、対象装置に応じた柔軟な対応が可能となる。
図1は、本発明の情報変換装置を含むシステムの基本的構成を示す図である。ここで、情報変換装置(以下「コンバータ」という)1は、対象装置2及びその動作の状況等の状態を検知するためのセンサ3と上位の管理装置4との間で送受信される情報の変換を行う。
例えば、半導体の製造にこのシステムが適用される場合、対象装置2は、半導体製造工場に設置される1又は複数の半導体製造装置であり、上位装置4は、半導体製造装置の制御や状態の監視その他製造に関わる管理を行うために必要なデータを収集する(「データ収集クライアント」と称される)コンピュータから成る。装置2及びセンサ3から出力されるデータは、パラレル信号としてコンバータ1に入力される。
図2に示すように、コンバータ1は、装置2側(センサ3を含む)のコンピュータ2aからパラレルにディジタル形式(すなわち0と1の2進数或いはON/OFF)のデータとして送出された信号を受信するデータ受信部11と、受信したディジタル形式のデータを意味のわかる(名称で表現された)データに変換するデータ変換部12と、変換されたデータを上位装置(データ収集クライアント)4に送るデータ送信部13とを備えている。
装置2側のコンピュータ2aは、装置2の構成要素あるいは作動部の状態信号入力(PI)と、装置2の各部を制御する制御信号出力(PO)とを処理し、それぞれのデータをコンバータ1へ送る。ここで、入力PIはセンサからの検知信号、出力POはアクチュエータの制御信号(CTRL)である。
装置2側のコンピュータ2aは、装置2の構成要素あるいは作動部の状態信号入力(PI)と、装置2の各部を制御する制御信号出力(PO)とを処理し、それぞれのデータをコンバータ1へ送る。ここで、入力PIはセンサからの検知信号、出力POはアクチュエータの制御信号(CTRL)である。
データ変換部12は、装置2からのディジタル形のデータを名称で表現されたデータに変換するための名称変換テーブル21と、名称で表現されたデータから制御単位毎の制御信号に変換するための制御単位構成テーブル22とに基づいて、データ変換を行う。これらの変換テーブルは、例えば、次のように構成されている。
まず、データ変換部12へ入力されるデータは、複数本の信号線が接続された複数のポートの各々について“あり”又は“なし”で表わされる。すなわち、各ポート毎に入力があれば“1”、入力がなければ“0”と表現されるデータが、データ受信部11からデータ変換部12に入力される。
名称変換テーブル21は、上記のPIが入力される“PI”ポートに対しては、装置2側のアクチュエータの動作状態を表すセンサ信号の名称(センサON又はセンサOFF )を、上記の出力POが入力される“PO”ポートに対しては、制御対象であるアクチュエータの名称(アクチュエータ CTRL)を、それぞれ対応付けている。
図示例の場合、“PI”ポートは“001”から“099”まで99組あって、各組ごとに“B01”から“B16”まで16個のIOポートが割り当てられ、各ポートにアクチュエータの動作状態を表すセンサ信号の名称が対応付けられている。
具体的には、PIポートの“001−B01”にはアクチュエータの1つである“Isolation-Valve”が開であることを表わす“Isolation-Valve OPEN”、PI“001−B02”には“Isolation-Valve”が閉であることを表わす“Isolation-Valve CLOSE”が、それぞれ対応付けられている。また、PI“001−B03”にはアクチュエータの1つである“Heater-Pin”が上に移動したことを表わす“Heater-Pin UP”が対応付けられ、次のPI“001−B04”に“Heater-Pin”が下に移動したことを表わす“Heater-Pin DOWN”が対応付けられている。PI“001−B05”にはアクチュエータの1つである“Robot-Arm”が伸長していることを表わす“Robot-Arm Extend”、PI“001−B06”には“Robot-Arm”が収縮していることを表わす“Robot-Arm Shrink”が、それぞれ対応付けられている。更に、PI“001−B07”にはアクチュエータの1つである“Rotary-Pump”が作動していることを表わす“RP ON”、PI“001−B08”には“Rotary-Pump”が不作動であることを表わす“RP OFF”が、それぞれ対応付けられている。以下、同様に、使用中のアクチュエータの動作状態を表すセンサ信号の名称が、任意の(或いは空いている)ポートに対応付けられている
一方、“PO”ポートは、この例の場合“001”の1組だけで、“B01”から“B16”まで16個のIOポートが割り当てられ、各ポートに制御対象のアクチュエータに対する制御信号の名称が対応付けられている。具体的には、POポートの“001−B01”には“Isolation-Valve CTRL”、PO“001−B02”には“Heater-Pin CTRL”、PO“001−B03”には“Robot-Arm CTRL”、PO“001−B04”には“RP CTRL”が、それぞれ対応付けられている。
制御単位構成テーブル22は、上記のように“PI”ポートに入力される信号の名称(センサON又はセンサOFF)と、“PO”ポートから出力される信号の名称(アクチュエータ CTRL)に、制御単位の名称を対応させている。
例えば、センサ信号の名称“Isolation-Valve OPEN”及び“Isolation-Valve CLOSE”と対応する制御信号の名称“Isolation-Valve CTRL”には、制御単位の名称として“Iso-V”が対応付けられている。同様に、“Heater-Pin UP”及び“Heater-Pin DOWN”と対応する“Heater-Pin CTRL”には“Heat-Pin”、“Robot-Arm Extend”及び“Robot-Arm Shrink”と対応する“Robot-Arm CTRL”には“Rbt-Arm”、“RP ON”及び“RP OFF”と対応する“RP CTRL”には“RP”が、それぞれ対応付けられている。
図3は、本実施の形態の監視装置の処理動作を示すフローチャートである。
初めに、アクチュエータからの出力の有無をチェックする。すなわち、アクチュエータがON(出力あり)か否かをチェックし(ステップST1)、“No”であれば、そのままアクチュエータからの出力待ちの状態を続ける。
アクチュエータがONになると、設定した時間T1内にセンサがONとなるか否かを判定する。すなわち、設定時間T1の計時動作を開始し(ST2)、センサがONか否かをチェックする(ST3)。その結果“No”のとき、設定時間T1の経過を判定し(ST4)、“No”(設定時間T1経過前)であれば、ST3に戻ってセンサからの出力チェックを行うが、ST4の判定で“Yes”のとき、すなわち、図5に示すようにセンサがONしないで設定時間T1が経過したときは、アクチュエータ又はセンサが不具合或いは何らかの異常が発生したものとして、エラー表示を行い(ST5)、動作終了となる。
一方、ST3の判定で“Yes”、すなわちセンサがONのときは、図6に示すように別の設定時間T2の経過を待って「状態監視」を開始する。すなわち、設定時間T2の計時動作を開始し(ST6)、当該設定時間T2の経過を判断し(ST7)、“Yes”のとき、「状態監視」スタートとなる(ST8)。ここで状態監視とは、アクチュエータの制御信号(CTRL)とセンサからの状態信号とが一致していることを監視し続けることをいう。
次いで図4に示すように、アクチュエータがOFFになったか否かをチェックし(ST9)、“Yes”のとき、動作終了となる。一方、“No”(アクチュエータがON)であれば、次にセンサがOFFか否かをチェックし(ST10)、“No”(センサもON)であれば、ST9に戻ってアクチュエータOFFのチェックを行う。ST10の判定で“Yes”、すなわちセンサがOFFになると、図6に示すように別の設定時間T3の計時動作を開始し(ST11)、当該設定時間T3の経過を判断する(ST12)。その結果“Yes”のとき、すなわちアクチュエータがONであってもセンサがOFFになって設定時間T3が経過したときは、アクチュエータ又はセンサが不具合或いは何らかの異常が発生したものとしてエラー表示を行い(ST13)、動作終了となる。
上記ST12の判定で“No”、すなわち設定時間T3の経過前であれば、センサがON或いはアクチュエータがOFFになったかをチェックし(ST14)、“No”であれば、ST12に戻って設定時間T3の経過をチェックし、センサON或いはアクチュエータOFFのとき、ST9に戻ってアクチュエータOFFのチェックを行う。そして、アクチュエータOFFであれば動作終了、センサONであれば、設定時間T3が経過した時点でエラー表示を行い(ST13)、動作終了となる。
なお、図6に示すように、センサがONになったときから設定時間T2後にスタートした「状態監視」は、上記設定時間T3の経過前にアクチュエータがOFFになった時点で終了する。このとき、センサがOFFである限り、エラー表示はなく、アクチュエータがOFFになったとき、動作終了となる。
1…情報変換装置、2…対象装置、3…センサ、4…上位装置、11…データ受信部、12…データ変換部、13…データ送信部、21…名称変換テーブル、22…制御単位構成テーブル。
Claims (2)
- 対象装置の状態に対応したデータを管理装置で必要な情報に変換する装置管理用情報変換装置であって、前記データを受信する受信部と、該受信部で受信したデータを前記対象装置の構成要素あるいは作動部の名称を含む情報に変換するデータ変換部と、該データ変換部で変換された情報を送信する送信部とを備えたことを特徴とする装置管理用情報変換装置。
- 請求項1記載の装置管理用情報変換装置において、前記データ変換部は、前記対象装置から送られたデータを名称で表現されたデータに変換するための名称変換テーブルと、名称で表現されたデータから制御単位毎の制御信号に変換するための制御単位構成テーブルとに基づいて、データ変換を行うことを特徴とする装置管理用情報変換装置。
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JP2003270025A JP2005025652A (ja) | 2003-07-01 | 2003-07-01 | 装置管理用情報変換装置 |
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A977 | Report on retrieval |
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