JP2005019324A - ディスプレイパネル基板製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】熱処理工程時に、搬送用治具からディスプレイパネル基板に異物が付着して、この異物によって基板の製品不良が発生するのを防止する。
【解決手段】熱処理が行われるディスプレイパネル基板を載せたセッタ・ガラスSが焼成炉2内に搬入され、焼成炉2内を通過後、基板が降ろされたセッタ・ガラスSが、リターンコンベア11によって焼成炉2の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、焼成炉2内に搬入されるディスプレイパネル基板製造装置において、リターンコンベア11と焼成炉2の入口側との間に、リターンコンベア11によって搬送されてきたセッタ・ガラスSの洗浄を行う湿式洗浄部12が設けられている。
【選択図】図2
【解決手段】熱処理が行われるディスプレイパネル基板を載せたセッタ・ガラスSが焼成炉2内に搬入され、焼成炉2内を通過後、基板が降ろされたセッタ・ガラスSが、リターンコンベア11によって焼成炉2の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、焼成炉2内に搬入されるディスプレイパネル基板製造装置において、リターンコンベア11と焼成炉2の入口側との間に、リターンコンベア11によって搬送されてきたセッタ・ガラスSの洗浄を行う湿式洗浄部12が設けられている。
【選択図】図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ディスプレイパネルの基板を製造する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、プラズマディスプレイパネル(PDP)やフィールドエミッションディスプレイ(FED)等のフラットディスプレイパネルは、二枚のガラス基板が互いに対向するように配置され、この二枚の基板の間に、画像形成のための構造物が形成された構造を備えている。
【0003】
図1は、このような構造物が形成されたディスプレイパネル基板の焼成を行うための従来のディスプレイパネル基板製造装置を示している。
【0004】
このようなディスプレイパネル基板製造装置においては、PDP等の基板は、焼成炉内での高温処理に伴って軟化や変形が発生するのを防止するために、基板よりも耐熱性が高い耐熱ガラスによって構成されるセッタと呼ばれる搬送用治具に載せられて、焼成炉内を搬送される。
【0005】
このセッタ・ガラスに載せられた基板は、図1において、搬入部1から焼成炉2内に搬入されて、この焼成炉2内をコンベアによって搬送されながら加熱されることにより、基板上に形成されている構造物の焼成が行われる。
【0006】
そして、焼成炉2内から搬出部3に基板を載せたセッタ・ガラスが搬出されてくると、セッタ・ガラスから基板が降ろされて次工程に送られ、基板が降ろされたセッタ・ガラスは、リターンコンベア4によって搬入部1に返送される。
【0007】
この搬入部1に戻されたセッタ・ガラスには、新しい基板が搭載されて、再度、焼成炉2に搬入される。
このようにして、セッタ・ガラスが循環されながら、基板の焼成工程が連続して行われる(例えば、特許文献1参照)。
【0008】
【特許文献1】
特開2003−65678号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような基板の焼成工程に使用される従来のディスプレイパネル基板製造装置において、循環されて繰り返し使用されるセッタ・ガラスには、コンベア等の搬送機構に付着している異物や基板との接触によって発生する研磨粉,セッタ・ガラス自体の摩耗による研磨粉,基板の割れや欠け等が発生した際に残ったガラス小片等が付着して、そのセッタ・ガラスの使用回数が増加するにしたがって蓄積されてゆく。
【0010】
このため、このセッタ・ガラスが繰り返し使用される際に、セッタ・ガラスに付着している異物がセッタ・ガラスから新たに搭載される基板に付着されることによって、この異物による基板の製品不良を発生させてしまうという問題が発生する。
【0011】
このような問題は、搬送用治具として金属製のキャリア・カート等を使用する場合などにも、高温による錆等が発生するために、同様に生じる。
【0012】
この発明は、上記のような従来のディスプレイパネル基板製造装置において発生する問題点を解決することを、その解決課題の一つとしているものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
第1の発明によるディスプレイパネル基板製造装置は、上記目的を達成するために、熱処理が行われるディスプレイパネル基板を保持した搬送用治具が熱処理工程が行われる第1搬送路に沿って搬送され、基板の保持を解除された搬送用治具が第2搬送路に沿って第1搬送路の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、第1搬送路に沿って搬送されるディスプレイパネル基板製造装置において、前記第2搬送路に、この第2搬送路に沿って搬送される搬送用治具の洗浄を行う洗浄部が設けられていることを特徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の最も好適と思われる実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明を行う。
【0015】
図2は、この発明によるディスプレイパネル基板製造装置の実施形態における一例を示す平面図である。
【0016】
この図2において、ディスプレイパネル基板製造装置10は、焼成を行う基板をセッタ・ガラス上に搭載させる搬入部1と、この搬入部1に隣接して配置された焼成炉2と、この焼成炉2の搬送方向の下流側に配置された搬出部3とを備えている。
【0017】
以上の構成は、図1の従来のディスプレイパネル基板製造装置と同様である。
【0018】
このディスプレイパネル基板製造装置10には、搬出部3から焼成炉2に沿って搬入部1の方向に平行に延びるリターンコンベア11が配置されている。
【0019】
このリターンコンベア11の先端部は、搬入部1に対して所定の間隔を開けた手前位置に位置されており、このリターンコンベア11の先端部と搬入部1との間に、湿式洗浄部12が配置されている。
【0020】
図3は、この湿式洗浄部12の内部の構造を示す側断面図である。
この図3において、湿式洗浄部12のケーシング12Aの内部には、水平方向に複数のローラコンベア12Bが配置されており、この複数のローラコンベア12Bによって、リターンコンベア11の搬送面mと同一高さにおいて直線状に延びる搬送面nが形成されていて、ローラコンベア12Bの駆動によって、セッタ・ガラスSが、この搬送面n上を矢印fの方向に搬送されるようになっている。
【0021】
そして、このケーシング12A内には、入口側(図3において右側)に、搬送面nに沿ってその上方と下方位置に、それぞれ複数個(図示の例では、それぞれ3個)ずつの洗浄用シャワ・ノズル12Cが搬送面nと平行に配列されるように取り付けられていて、この各洗浄用シャワ・ノズル12Cに接続されている図示しない洗浄液循環ポンプの駆動によって、後述するように、洗浄用シャワ・ノズル12Cから、搬送面n上を搬送されてくるセッタ・ガラスSの上面と下面に向かって洗浄液が吹き付けられるようになっている。
【0022】
この第1洗浄用シャワ・ノズル12Cが配列されている区間の途中の搬送面nを挟んだ上下位置に、互いに対向されて対になっている洗浄用ブラシ・ローラ12Dが取り付けられている。
【0023】
この上下一対の洗浄用ブラシ・ローラ12Dは、互いに搬送面nにおいて接しているかセッタ・ガラスSの厚さ以下の間隔で対向されていて、搬送面n上を搬送されてきたセッタ・ガラスSがこの上下の洗浄用ブラシ・ローラ12D間を通過する際に、セッタ・ガラスSの上面と下面にそれぞれ押接されるようになっている。
【0024】
そして、この洗浄用ブラシ・ローラ12Dは、それぞれ、搬送面nと直交する方向に延びる水平向きの回転軸12Daを中心に回転自在になっていて、図示しない駆動モータによって回転されるようになっている。
【0025】
洗浄用シャワ・ノズル12Cの取付位置の下流側には、搬送面nの上方と下方位置に、それぞれ仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eが(図示の例では、一個ずつ)取り付けられていて、この各仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eに接続されている図示しない洗浄液供給ポンプの駆動によって、後述するように、搬送面n上を搬送されてくるセッタ・ガラスSの上面と下面に向かって仕上げ用洗浄液が吹き付けられるようになっている。
【0026】
さらに、この仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eの取付位置の下流側には、搬送面nの上下において対になっている(この図示の例では二対の)水切り用スポンジ・ローラ12Fが、取り付けられている。
【0027】
この水切り用スポンジ・ローラ12Fは、上下のスポンジ・ローラが、各対毎に、搬送面nの位置で互いに接するか、または、セッタ・ガラスSの厚さよりも小さい間隔を開けた状態で配置されていて、搬送面n上を搬送されてきたセッタ・ガラスSがこの水切り用スポンジ・ローラ12Eの上下のスポンジ・ローラ間を通過する際に、各スポンジ・ローラがセッタ・ガラスSの上面と下面にそれぞれ押接されるようになっている。
【0028】
この水切り用スポンジ・ローラ12Fの下流側には、さらに、搬送面nを挟んで上方と下方の位置に、セッタ・ガラスSの厚さ以上の間隔を開けて互いに対向される一対の水切り用エアナイフ12Gが配置されていて、この水切り用エアナイフ12Gに接続された図示しないコンプレッサの駆動によって、搬送面nに沿って搬送されてきたセッタ・ガラスSの上面と下面に、水切り用の圧縮空気を吹き付けるようになっている。
【0029】
次に、上記ディスプレイパネル基板製造装置10の作動について説明を行う。
【0030】
図2において、焼成処理を行う基板は、前工程の処理が終わった後に矢印aの方向から搬入部1に搬入されて、セッタ・ガラス上に載せられる。
【0031】
この後、基板は、このセッタ・ガラスに載せられた状態で焼成炉2内に搬入され、この焼成炉2内を矢印bの方向に搬送されながら高温で加熱されることによって、基板上に形成された構成物の焼成処理が行われる。
【0032】
そして、焼成炉2内を通過して、搬出部3上に搬出されてきた基板は、この搬出部3においてセッタ・ガラス上から降ろされて、次の工程に向けて矢印cの方向に送られる。
【0033】
一方、セッタ・ガラスは、基板が降ろされた後、矢印dの方向に反転されてリターンコンベア11上に載せられ、このリターンコンベア11によって、湿式洗浄部12に向けて焼成炉2における搬送方向bとは逆の矢印eの方向に搬送される。
【0034】
次いで、図3に示されるように、湿式洗浄部12の搬入口までリターンコンベア11によって搬送されてきたセッタ・ガラスSは、ローラコンベア12Bによって搬送されて、ケーシング12A内を搬送面nに沿って矢印fの方向に搬送されてゆく。
【0035】
そして、先ず、セッタ・ガラスSに、搬送面nの上方と下方に配置されている洗浄用シャワ・ノズル12Cから洗浄液が吹き付けられ、さらに、上下に対になって回転されている洗浄用ブラシ・ローラ12Dの間を通過することによって、このセッタ・ガラスSの上面と下面の一次洗浄が行われて、セッタ・ガラスSに付着している研磨粉などの異物が除去される。
【0036】
この一次洗浄が行われたセッタ・ガラスSは、次に、搬送面nを挟んで上下に配置されている一対の仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eの間を通過して、この仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eからセッタ・ガラスSの上面と下面に仕上げ用の洗浄液が吹き付けられることにより、一次洗浄に使用された洗浄液が洗い流される。
【0037】
この仕上げ洗浄が行われたセッタ・ガラスSは、次に、水切り用スポンジ・ローラ12Fの間を通過して、この水切り用スポンジ・ローラ12Fによってセッタ・ガラスSの上面と下面に付着している仕上げ用洗浄液が吸収される。
【0038】
そして、この水切り用スポンジ・ローラ12Fによる水切りが行われたセッタ・ガラスSは、最後に、搬送面nの上方と下方に配置されて対になっている水切り用エアナイフ12G間を通過して、この一対の水切り用エアナイフ12Gから圧縮空気が吹き付けられることにより、セッタ・ガラスSの上面と下面が乾燥される。
【0039】
以上のようにして、湿式洗浄部12内を通過して、その上面と下面の洗浄が行われたセッタ・ガラスSは、図2に示されるように、湿式洗浄部12から搬入部1上に搬出され、この搬入部1上で矢印gの方向に反転されて、再度、焼成炉2の搬入口に位置されるとともに、矢印aの方向から搬入されてきた新しい基板が搭載される。
【0040】
そして、この新しい基板が搭載されたセッタ・ガラスSは、再び焼成炉2内に搬入されることによって、上述したような焼成工程および洗浄工程が繰り返される。
【0041】
以上のように、上記ディスプレイパネル基板製造装置10によれば、湿式洗浄部12において、繰り返し使用されるセッタ・ガラスSの上面と下面が、その使用の都度に洗浄液と洗浄用ブラシによってほぼ完全に洗浄されるので、セッタ・ガラスSに研磨粉などの異物が蓄積してそれが基板に付着することより基板の製品不良が発生するのを、有効に防止することが出来るようになる。
【0042】
なお、上記の例においては、搬送用治具として耐熱ガラスによるセッタ・ガラスを用いた場合について説明を行ったが、金属製のキャリア・カートを搬送用治具として使用する場合も同様に洗浄を行うことによって、基板への異物の付着を防止することが出来るようになる。
【0043】
なお、上記においては、この発明をディスプレイパネルの焼成炉に適用した例について説明を行ったが、この発明は、上記に限らず、他の熱処理装置、例えば、乾燥炉や封着炉,ベーク炉などについても適用が可能である。
【0044】
上記例のディスプレイパネル基板製造装置は、熱処理が行われるディスプレイパネル基板を保持した搬送用治具が熱処理工程が行われる第1搬送路に沿って搬送され、基板の保持を解除された搬送用治具が第2搬送路に沿って第1搬送路の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、第1搬送路に沿って搬送されるディスプレイパネル基板製造装置において、前記第2搬送路に、この第2搬送路に沿って搬送される搬送用治具の洗浄を行う洗浄部が設けられている実施形態のディスプレイパネル基板製造装置を、その上位概念の実施形態としているものである。
【0045】
この上位概念を構成する実施形態のディスプレイパネル基板製造装置は、構造物の焼成処理等を行う基板が、前工程の処理が終わった後に搬送用治具に保持されて、この搬送用治具とともに第1搬送路上を搬送されてゆく。
【0046】
そして、この第1搬送路上を搬送されてゆく間に、焼成炉等を通過して、基板に対して焼成等の熱処理が行われる。
【0047】
この後、熱処理が終了した基板は、搬送用治具による保持状態から開放されて次工程に送られ、搬送用治具は、第2搬送路上を、第1搬送路の入口側に返送される。
このとき、この基板が降ろされた搬送用治具は、第2搬送路に設けられた洗浄部において洗浄されて、付着している異物等が除去される。
【0048】
そして、この洗浄されて付着している異物等が除去された搬送用治具は、第1搬送路の入口側において、他の新たな基板を保持した後、再び第1搬送路上を搬送されることによって、基板の熱処理が行われる。
【0049】
以上のように、上記実施形態のディスプレイパネル基板製造装置によれば、洗浄部において、搬送用治具が再使用のために第2搬送路に沿って返送される都度に洗浄されるので、搬送用治具に異物が蓄積してそれが基板に付着することより基板の製品不良が発生するのを、有効に防止することが出来るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のディスプレイパネル基板製造装置を示す概略平面図である。
【図2】この発明によるディスプレイパネル基板製造装置の一例を示す概略平面図である。
【図3】同例における湿式洗浄部の構成を示す側断面図である。
【符号の説明】
1 …搬入部
2 …焼成炉(第1搬送路)
3 …搬出部
11 …リターンコンベア(第2搬送路)
12 …湿式洗浄部(洗浄部)
12A …ケーシング
12B …ローラコンベア
12C …洗浄用シャワ・ノズル(洗浄用ノズル部材)
12D …洗浄用ブラシ・ローラ(洗浄用ブラシ)
12E …仕上げ洗浄用シャワ・ノズル(仕上げ洗浄用ノズル部材)
12F …水切り用スポンジ・ローラ(水切り用吸水部材)
12G …水切り用エアナイフ(水切り用エア噴射部材)
n …搬送面(第2搬送路)
【発明の属する技術分野】
この発明は、ディスプレイパネルの基板を製造する装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、プラズマディスプレイパネル(PDP)やフィールドエミッションディスプレイ(FED)等のフラットディスプレイパネルは、二枚のガラス基板が互いに対向するように配置され、この二枚の基板の間に、画像形成のための構造物が形成された構造を備えている。
【0003】
図1は、このような構造物が形成されたディスプレイパネル基板の焼成を行うための従来のディスプレイパネル基板製造装置を示している。
【0004】
このようなディスプレイパネル基板製造装置においては、PDP等の基板は、焼成炉内での高温処理に伴って軟化や変形が発生するのを防止するために、基板よりも耐熱性が高い耐熱ガラスによって構成されるセッタと呼ばれる搬送用治具に載せられて、焼成炉内を搬送される。
【0005】
このセッタ・ガラスに載せられた基板は、図1において、搬入部1から焼成炉2内に搬入されて、この焼成炉2内をコンベアによって搬送されながら加熱されることにより、基板上に形成されている構造物の焼成が行われる。
【0006】
そして、焼成炉2内から搬出部3に基板を載せたセッタ・ガラスが搬出されてくると、セッタ・ガラスから基板が降ろされて次工程に送られ、基板が降ろされたセッタ・ガラスは、リターンコンベア4によって搬入部1に返送される。
【0007】
この搬入部1に戻されたセッタ・ガラスには、新しい基板が搭載されて、再度、焼成炉2に搬入される。
このようにして、セッタ・ガラスが循環されながら、基板の焼成工程が連続して行われる(例えば、特許文献1参照)。
【0008】
【特許文献1】
特開2003−65678号公報
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような基板の焼成工程に使用される従来のディスプレイパネル基板製造装置において、循環されて繰り返し使用されるセッタ・ガラスには、コンベア等の搬送機構に付着している異物や基板との接触によって発生する研磨粉,セッタ・ガラス自体の摩耗による研磨粉,基板の割れや欠け等が発生した際に残ったガラス小片等が付着して、そのセッタ・ガラスの使用回数が増加するにしたがって蓄積されてゆく。
【0010】
このため、このセッタ・ガラスが繰り返し使用される際に、セッタ・ガラスに付着している異物がセッタ・ガラスから新たに搭載される基板に付着されることによって、この異物による基板の製品不良を発生させてしまうという問題が発生する。
【0011】
このような問題は、搬送用治具として金属製のキャリア・カート等を使用する場合などにも、高温による錆等が発生するために、同様に生じる。
【0012】
この発明は、上記のような従来のディスプレイパネル基板製造装置において発生する問題点を解決することを、その解決課題の一つとしているものである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
第1の発明によるディスプレイパネル基板製造装置は、上記目的を達成するために、熱処理が行われるディスプレイパネル基板を保持した搬送用治具が熱処理工程が行われる第1搬送路に沿って搬送され、基板の保持を解除された搬送用治具が第2搬送路に沿って第1搬送路の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、第1搬送路に沿って搬送されるディスプレイパネル基板製造装置において、前記第2搬送路に、この第2搬送路に沿って搬送される搬送用治具の洗浄を行う洗浄部が設けられていることを特徴としている。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の最も好適と思われる実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明を行う。
【0015】
図2は、この発明によるディスプレイパネル基板製造装置の実施形態における一例を示す平面図である。
【0016】
この図2において、ディスプレイパネル基板製造装置10は、焼成を行う基板をセッタ・ガラス上に搭載させる搬入部1と、この搬入部1に隣接して配置された焼成炉2と、この焼成炉2の搬送方向の下流側に配置された搬出部3とを備えている。
【0017】
以上の構成は、図1の従来のディスプレイパネル基板製造装置と同様である。
【0018】
このディスプレイパネル基板製造装置10には、搬出部3から焼成炉2に沿って搬入部1の方向に平行に延びるリターンコンベア11が配置されている。
【0019】
このリターンコンベア11の先端部は、搬入部1に対して所定の間隔を開けた手前位置に位置されており、このリターンコンベア11の先端部と搬入部1との間に、湿式洗浄部12が配置されている。
【0020】
図3は、この湿式洗浄部12の内部の構造を示す側断面図である。
この図3において、湿式洗浄部12のケーシング12Aの内部には、水平方向に複数のローラコンベア12Bが配置されており、この複数のローラコンベア12Bによって、リターンコンベア11の搬送面mと同一高さにおいて直線状に延びる搬送面nが形成されていて、ローラコンベア12Bの駆動によって、セッタ・ガラスSが、この搬送面n上を矢印fの方向に搬送されるようになっている。
【0021】
そして、このケーシング12A内には、入口側(図3において右側)に、搬送面nに沿ってその上方と下方位置に、それぞれ複数個(図示の例では、それぞれ3個)ずつの洗浄用シャワ・ノズル12Cが搬送面nと平行に配列されるように取り付けられていて、この各洗浄用シャワ・ノズル12Cに接続されている図示しない洗浄液循環ポンプの駆動によって、後述するように、洗浄用シャワ・ノズル12Cから、搬送面n上を搬送されてくるセッタ・ガラスSの上面と下面に向かって洗浄液が吹き付けられるようになっている。
【0022】
この第1洗浄用シャワ・ノズル12Cが配列されている区間の途中の搬送面nを挟んだ上下位置に、互いに対向されて対になっている洗浄用ブラシ・ローラ12Dが取り付けられている。
【0023】
この上下一対の洗浄用ブラシ・ローラ12Dは、互いに搬送面nにおいて接しているかセッタ・ガラスSの厚さ以下の間隔で対向されていて、搬送面n上を搬送されてきたセッタ・ガラスSがこの上下の洗浄用ブラシ・ローラ12D間を通過する際に、セッタ・ガラスSの上面と下面にそれぞれ押接されるようになっている。
【0024】
そして、この洗浄用ブラシ・ローラ12Dは、それぞれ、搬送面nと直交する方向に延びる水平向きの回転軸12Daを中心に回転自在になっていて、図示しない駆動モータによって回転されるようになっている。
【0025】
洗浄用シャワ・ノズル12Cの取付位置の下流側には、搬送面nの上方と下方位置に、それぞれ仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eが(図示の例では、一個ずつ)取り付けられていて、この各仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eに接続されている図示しない洗浄液供給ポンプの駆動によって、後述するように、搬送面n上を搬送されてくるセッタ・ガラスSの上面と下面に向かって仕上げ用洗浄液が吹き付けられるようになっている。
【0026】
さらに、この仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eの取付位置の下流側には、搬送面nの上下において対になっている(この図示の例では二対の)水切り用スポンジ・ローラ12Fが、取り付けられている。
【0027】
この水切り用スポンジ・ローラ12Fは、上下のスポンジ・ローラが、各対毎に、搬送面nの位置で互いに接するか、または、セッタ・ガラスSの厚さよりも小さい間隔を開けた状態で配置されていて、搬送面n上を搬送されてきたセッタ・ガラスSがこの水切り用スポンジ・ローラ12Eの上下のスポンジ・ローラ間を通過する際に、各スポンジ・ローラがセッタ・ガラスSの上面と下面にそれぞれ押接されるようになっている。
【0028】
この水切り用スポンジ・ローラ12Fの下流側には、さらに、搬送面nを挟んで上方と下方の位置に、セッタ・ガラスSの厚さ以上の間隔を開けて互いに対向される一対の水切り用エアナイフ12Gが配置されていて、この水切り用エアナイフ12Gに接続された図示しないコンプレッサの駆動によって、搬送面nに沿って搬送されてきたセッタ・ガラスSの上面と下面に、水切り用の圧縮空気を吹き付けるようになっている。
【0029】
次に、上記ディスプレイパネル基板製造装置10の作動について説明を行う。
【0030】
図2において、焼成処理を行う基板は、前工程の処理が終わった後に矢印aの方向から搬入部1に搬入されて、セッタ・ガラス上に載せられる。
【0031】
この後、基板は、このセッタ・ガラスに載せられた状態で焼成炉2内に搬入され、この焼成炉2内を矢印bの方向に搬送されながら高温で加熱されることによって、基板上に形成された構成物の焼成処理が行われる。
【0032】
そして、焼成炉2内を通過して、搬出部3上に搬出されてきた基板は、この搬出部3においてセッタ・ガラス上から降ろされて、次の工程に向けて矢印cの方向に送られる。
【0033】
一方、セッタ・ガラスは、基板が降ろされた後、矢印dの方向に反転されてリターンコンベア11上に載せられ、このリターンコンベア11によって、湿式洗浄部12に向けて焼成炉2における搬送方向bとは逆の矢印eの方向に搬送される。
【0034】
次いで、図3に示されるように、湿式洗浄部12の搬入口までリターンコンベア11によって搬送されてきたセッタ・ガラスSは、ローラコンベア12Bによって搬送されて、ケーシング12A内を搬送面nに沿って矢印fの方向に搬送されてゆく。
【0035】
そして、先ず、セッタ・ガラスSに、搬送面nの上方と下方に配置されている洗浄用シャワ・ノズル12Cから洗浄液が吹き付けられ、さらに、上下に対になって回転されている洗浄用ブラシ・ローラ12Dの間を通過することによって、このセッタ・ガラスSの上面と下面の一次洗浄が行われて、セッタ・ガラスSに付着している研磨粉などの異物が除去される。
【0036】
この一次洗浄が行われたセッタ・ガラスSは、次に、搬送面nを挟んで上下に配置されている一対の仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eの間を通過して、この仕上げ洗浄用シャワ・ノズル12Eからセッタ・ガラスSの上面と下面に仕上げ用の洗浄液が吹き付けられることにより、一次洗浄に使用された洗浄液が洗い流される。
【0037】
この仕上げ洗浄が行われたセッタ・ガラスSは、次に、水切り用スポンジ・ローラ12Fの間を通過して、この水切り用スポンジ・ローラ12Fによってセッタ・ガラスSの上面と下面に付着している仕上げ用洗浄液が吸収される。
【0038】
そして、この水切り用スポンジ・ローラ12Fによる水切りが行われたセッタ・ガラスSは、最後に、搬送面nの上方と下方に配置されて対になっている水切り用エアナイフ12G間を通過して、この一対の水切り用エアナイフ12Gから圧縮空気が吹き付けられることにより、セッタ・ガラスSの上面と下面が乾燥される。
【0039】
以上のようにして、湿式洗浄部12内を通過して、その上面と下面の洗浄が行われたセッタ・ガラスSは、図2に示されるように、湿式洗浄部12から搬入部1上に搬出され、この搬入部1上で矢印gの方向に反転されて、再度、焼成炉2の搬入口に位置されるとともに、矢印aの方向から搬入されてきた新しい基板が搭載される。
【0040】
そして、この新しい基板が搭載されたセッタ・ガラスSは、再び焼成炉2内に搬入されることによって、上述したような焼成工程および洗浄工程が繰り返される。
【0041】
以上のように、上記ディスプレイパネル基板製造装置10によれば、湿式洗浄部12において、繰り返し使用されるセッタ・ガラスSの上面と下面が、その使用の都度に洗浄液と洗浄用ブラシによってほぼ完全に洗浄されるので、セッタ・ガラスSに研磨粉などの異物が蓄積してそれが基板に付着することより基板の製品不良が発生するのを、有効に防止することが出来るようになる。
【0042】
なお、上記の例においては、搬送用治具として耐熱ガラスによるセッタ・ガラスを用いた場合について説明を行ったが、金属製のキャリア・カートを搬送用治具として使用する場合も同様に洗浄を行うことによって、基板への異物の付着を防止することが出来るようになる。
【0043】
なお、上記においては、この発明をディスプレイパネルの焼成炉に適用した例について説明を行ったが、この発明は、上記に限らず、他の熱処理装置、例えば、乾燥炉や封着炉,ベーク炉などについても適用が可能である。
【0044】
上記例のディスプレイパネル基板製造装置は、熱処理が行われるディスプレイパネル基板を保持した搬送用治具が熱処理工程が行われる第1搬送路に沿って搬送され、基板の保持を解除された搬送用治具が第2搬送路に沿って第1搬送路の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、第1搬送路に沿って搬送されるディスプレイパネル基板製造装置において、前記第2搬送路に、この第2搬送路に沿って搬送される搬送用治具の洗浄を行う洗浄部が設けられている実施形態のディスプレイパネル基板製造装置を、その上位概念の実施形態としているものである。
【0045】
この上位概念を構成する実施形態のディスプレイパネル基板製造装置は、構造物の焼成処理等を行う基板が、前工程の処理が終わった後に搬送用治具に保持されて、この搬送用治具とともに第1搬送路上を搬送されてゆく。
【0046】
そして、この第1搬送路上を搬送されてゆく間に、焼成炉等を通過して、基板に対して焼成等の熱処理が行われる。
【0047】
この後、熱処理が終了した基板は、搬送用治具による保持状態から開放されて次工程に送られ、搬送用治具は、第2搬送路上を、第1搬送路の入口側に返送される。
このとき、この基板が降ろされた搬送用治具は、第2搬送路に設けられた洗浄部において洗浄されて、付着している異物等が除去される。
【0048】
そして、この洗浄されて付着している異物等が除去された搬送用治具は、第1搬送路の入口側において、他の新たな基板を保持した後、再び第1搬送路上を搬送されることによって、基板の熱処理が行われる。
【0049】
以上のように、上記実施形態のディスプレイパネル基板製造装置によれば、洗浄部において、搬送用治具が再使用のために第2搬送路に沿って返送される都度に洗浄されるので、搬送用治具に異物が蓄積してそれが基板に付着することより基板の製品不良が発生するのを、有効に防止することが出来るようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のディスプレイパネル基板製造装置を示す概略平面図である。
【図2】この発明によるディスプレイパネル基板製造装置の一例を示す概略平面図である。
【図3】同例における湿式洗浄部の構成を示す側断面図である。
【符号の説明】
1 …搬入部
2 …焼成炉(第1搬送路)
3 …搬出部
11 …リターンコンベア(第2搬送路)
12 …湿式洗浄部(洗浄部)
12A …ケーシング
12B …ローラコンベア
12C …洗浄用シャワ・ノズル(洗浄用ノズル部材)
12D …洗浄用ブラシ・ローラ(洗浄用ブラシ)
12E …仕上げ洗浄用シャワ・ノズル(仕上げ洗浄用ノズル部材)
12F …水切り用スポンジ・ローラ(水切り用吸水部材)
12G …水切り用エアナイフ(水切り用エア噴射部材)
n …搬送面(第2搬送路)
Claims (14)
- 熱処理が行われるディスプレイパネル基板を保持した搬送用治具が熱処理工程が行われる第1搬送路に沿って搬送され、基板の保持を解除された搬送用治具が第2搬送路に沿って第1搬送路の入口側に返送されて、他の基板を保持した後に再度、第1搬送路に沿って搬送されるディスプレイパネル基板製造装置において、
前記第2搬送路に、この第2搬送路に沿って搬送される搬送用治具の洗浄を行う洗浄部が設けられていることを特徴とするディスプレイパネル基板製造装置。 - 前記洗浄部が湿式洗浄部である請求項1に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記洗浄部が、第2搬送路上の搬送用治具に向かって洗浄液を噴射する洗浄用ノズル部材を備えている請求項2に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記洗浄用ノズル部材が、第2搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第2搬送路上の搬送用治具に向かって上方と下方から洗浄液が噴射される請求項3に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記洗浄用ノズル部材の設置位置の搬送路に沿って下流側位置に、第2搬送路上の搬送用治具に向かって仕上げ用洗浄液を噴射する仕上げ洗浄用ノズル部材が配置されている請求項3に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記仕上げ洗浄用ノズル部材が、第2搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第2搬送路上の搬送用治具に向かって上方と下方から仕上げ用洗浄液が噴射される請求項5に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記洗浄部が、第2搬送路上の搬送用治具に接触される洗浄用ブラシを備えている請求項2に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記洗浄用ブラシが、第2搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第2搬送路上の搬送用治具に上方と下方から接触される請求項7に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記洗浄部が、第2搬送路上の搬送用治具に向かって洗浄液を噴射する洗浄用ノズル部材と、第2搬送路上の搬送用治具に接触される洗浄用ブラシとを備えていて、洗浄用ブラシが、第2搬送路の洗浄用ノズル部材から洗浄液が噴射される区間内に配置されている請求項2に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記洗浄部が、第2搬送路上の搬送用治具に接触される水切り用吸水部材を備えている請求項2に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記水切り用吸水部材が、第2搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第2搬送路上の搬送用治具に上方と下方から接触される請求項10に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記洗浄部が、第2搬送路上の搬送用治具に向かって圧縮空気を噴射する水切り用エア噴射部材を備えている請求項2に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記水切り用エア噴射部材が、第2搬送路の上方位置と下方位置にそれぞれ配置されて、第2搬送路上の搬送用治具に上方と下方から圧縮空気を噴射する請求項12に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
- 前記搬送用治具が耐熱ガラス板である請求項1に記載のディスプレイパネル基板製造装置。
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