JP2005017486A - 液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法 - Google Patents
液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005017486A JP2005017486A JP2003179611A JP2003179611A JP2005017486A JP 2005017486 A JP2005017486 A JP 2005017486A JP 2003179611 A JP2003179611 A JP 2003179611A JP 2003179611 A JP2003179611 A JP 2003179611A JP 2005017486 A JP2005017486 A JP 2005017486A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- liquid crystal
- color filter
- correcting
- black
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
【課題】透明導電膜を損傷させることなく柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の黒欠陥を修正することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法を提供すること。
【解決手段】1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する吸収層が薄膜状に積層された転写フィルムを用いて、黒欠陥10上に吸収層15を熱転写し、2)熱転写した吸収層にレーザ修正装置のレーザ光を照射し、黒欠陥を修正すること。1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する染料で黒欠陥を染色し、2)染色した黒欠陥10’にレーザ修正装置のレーザ光を照射し、黒欠陥を修正すること。
【選択図】図2
【解決手段】1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する吸収層が薄膜状に積層された転写フィルムを用いて、黒欠陥10上に吸収層15を熱転写し、2)熱転写した吸収層にレーザ修正装置のレーザ光を照射し、黒欠陥を修正すること。1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する染料で黒欠陥を染色し、2)染色した黒欠陥10’にレーザ修正装置のレーザ光を照射し、黒欠陥を修正すること。
【選択図】図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタに関するものであり、特に、柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成中に発生した黒欠陥を修正する際に、透明導電膜を損傷させずに黒欠陥を修正することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図5は、図4に示すカラーフィルタのX−X’線における断面図である。
図4、及び図5に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ(4)は、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成されたものである。
図4、及び図5はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素(42)は12個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角17インチの画面に数百μm程度の着色画素が多数個配列されている。
【0003】
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成してブラックマトリックス基板とし、次に、このブラックマトリックス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックス(41)は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素(42)は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜(43)は、透明な電極として設けられたものである。
【0004】
ブラックマトリックス(41)は、着色画素(42)間のマトリックス部(41A)と、着色画素(42)が形成された領域(表示部)の周辺部を囲む額縁部(41B)とで構成されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
【0005】
このブラックマトリックス基板の製造には、ガラス基板(40)上にブラックマトリックスの材料としてのクロム(Cr)、酸化クロム(CrOX )などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、例えば、ポジ型のフォトレジストを用いてエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分のエッチング及びエッチングレジストパターンの剥膜を行い、Cr、CrOX などの金属薄膜からなるブラックマトリックス(41)を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板(40)上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス(41)を形成するといった方法がとられている。
【0006】
また、着色画素(42)の形成は、このブラックマトリックス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜(43)の形成は、着色画素が形成されたブラックマトリックス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
【0007】
このカラーフィルタの製造中に発生するブラックマトリックス、及び着色画素の形状欠陥は、黒欠陥と白欠陥に大別される。黒欠陥は、異物などによって発生したもので、黒点状に見える余分に形成されてしまったものである。また、白欠陥は、フォトレジスト中の気泡などによって発生したもので、白点状に見える欠落部が形成されてしまったものである。
【0008】
例えば、上記ブラックマトリックス基板の製造において、フォトマスクに異物が付着していると、図3(a)に示すように、ブラックマトリックス部(41A)以外の部分にクロムの黒欠陥(30A)が発生する。
このクロムの黒欠陥(30A)に対しては、レーザ光を用いた蒸発加工による除去が知られており、レーザ修正装置により黒欠陥の修正が行われる(非特許文献1参照)。
【0009】
また、例えば、上記着色画素の形成において、フォトマスクに異物が付着していると、図3(b)に示すように、着色画素(42)内に白欠陥(30B)が発生する。この着色画素の白欠陥は、ガラス基板上におけるフォトレジストの弾き、フォトレジスト中の気泡などによっても発生する。
この着色画素の白欠陥(30B)に対しては、同色のフォトレジストを欠落部に滴下して硬化させる方法や、同色の薄膜フィルムを熱転写させる方法により白欠陥の修正が行われる(特許文献1参照)。
【0010】
このようにして製造された、前記図4、及び図5に示すカラーフィルタ(4)は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーTV、ノート型PCなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
液晶表示装置自体の改善や、多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して下記のような、種々な機能が付加されるようになった。
【0011】
1)スペーサー機能
従来の液晶表示装置に於いては、基板間にギャップを形成するために、スペーサー(ビーズ)を散布している。このスペーサーは透明な粒子であることから、基板間にスペーサーが存在することによって、スペーサー近傍の液晶分子の配列が乱され、この部分で光もれを生じ、コントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼす、などの問題を有していた。
【0012】
このような問題を解決する技術として、画素間のブラックマトリックスの位置にスペーサー機能を有する柱状スペーサー(突起部)を形成する方法が開発された。図6に示すように、このような液晶表示装置用カラーフィルタ(6)は、ブラックマトリックス(41)上方の透明導電膜(43)上にスペーサー機能を有する突起部としての柱状スペーサー(64)が形成されている。
【0013】
この液晶表示装置用カラーフィルタ(6)を用いた液晶表示装置には、柱状スペーサー(64)が画素内を避けた位置に形成されているので、上記コントラストの改善がみられる。
柱状スペーサー(64)の水平断面形状は、例えば、円形であり、その巾(直径)(W1)は12〜30μm程度、高さ(H1)は1〜6μm程度であり、透明なフォトレジストを用いて形成される。
【0014】
2)配向分割機能
従来の液晶表示装置に於いては、液晶分子を一様に配向させるために、液晶を挟持する両基板に設けられた透明導電膜上に、予めポリイミドを塗布し、その表面に一様なラビング処理をしておく。
しかし、多くの液晶表示装置に用いられているTN型液晶においては、原理的に広い視野角を得ることは困難であり、中間調表示状態では斜め視角において光がもれ、コントラストが低下し表示品質が悪化する。すなわち、コントラストの良好な視野角は狭いといった問題を有していた。
【0015】
このような問題を解決する一技術として、一画素内での液晶分子の配向方向が一方向でなく、複数の方向になるように制御し、複数の方向で均一な中間調表示をするようにした、すなわち視野角の広い、配向分割垂直配向型液晶表示装置(MVA、Multi−domain Vertical Alignment−LCD)が開発された。
【0016】
図7は、このMVA−LCDの原理を説明するものであり、電圧印加時の状態では、白太矢印で示すように、一画素内で配向制御用突起(22a)〜配向制御用突起(23)間の液晶分子は、図中左斜めに傾斜し、配向制御用突起(23)〜配向制御用突起(22b)間の液晶分子は、右斜めに傾斜する。すなわち、ラビング処理に代わり、突起を設けることにより液晶分子の配向を制御するものである。
図7に示す例では、一画素が2分割されたものとなり、一画素内で液晶分子の傾斜方向が2方向になり視野角特性の優れた液晶表示装置となる。
【0017】
図8(a)、(b)は、MVA−LCDに用いられるカラーフィルタの一例の一画素を拡大して示す平面図、及び断面図である。この例では、配向制御用突起(83)は、一画素内で90°屈曲させてある。
また、図9(a)、(b)は、別な例の一画素を拡大して示す平面図、及び断面図である。図9(a)、(b)に示すように、この別な例は、平面形状が円形の配向制御用突起(93)が形成されたカラーフィルタである。
このようなカラーフィルタを用いた液晶表示装置は、電圧印加時に液晶分子は、いわば無限の方向に傾斜する、すなわち、一画素が無限に分割されたものとなり、図9(c)に示すように、視野角特性の優れた液晶表示装置となる。
【0018】
上記平面形状がストライプ状の配向制御用突起(83)のA−A’線の断面形状は、例えば、三角形、かまぼこ状であり、その巾(W2)は6〜20μm程度、高さ(H2)は1.2〜1.4μm程度である。また、平面形状が円形の配向制御用突起(93)の巾(W3)、高さ(H3)は、ストライプ状の配向制御用突起(83)の各々と同程度である。これらは、透明なフォトレジストを用いて形成される。
【0019】
図4に示すカラーフィルタ(4)に追加される機能としては、上記1)スペーサー機能、2)配向分割機能の他に、高信頼性機能、透過・反射併用機能、分光特性調整機能などがあげられる。これら諸機能の内、そのカラーフィルタの用途、仕様にもとづき1機能或いは複数の機能が図4に示すカラーフィルタ(4)に追加される。
【0020】
しかし、上記柱状スペーサー(突起部)(64)、及び配向制御用突起(23)の形成において、黒欠陥が発生した際に、前記クロムの黒欠陥の修正に用いたレーザ修正装置で黒欠陥の修正を試みても、柱状スペーサー及び配向制御用突起における黒欠陥を修正することは困難である。
これは、これらの黒欠陥を構成している透明な樹脂のレーザ光吸収が、透明導電膜のレーザ光吸収より小さく、従って、これらの黒欠陥は、透明導電膜上に形成されているにもかかわらず、透明導電膜が先に損傷を受けてしまうからである。
【0021】
【非特許文献1】
工業調査会、「フォトマスク技術のはなし」第2章基本技術、72頁、第4章修正技術、177頁
【特許文献1】
特開平11−167018号公報
【0022】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、透明なフォトレジストを用いて柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起を形成する際に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置を用いて修正しても、透明導電膜を損傷させることなく柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の黒欠陥を修正することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法を提供することを課題とするものである。
【0023】
【課題を解決するための手段】
本発明は、透明基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起が順次に形成された液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法において、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、
1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する吸収層が薄膜状に積層された転写フィルムを用いて、黒欠陥上に吸収層を熱転写し、
2)熱転写した吸収層にレーザ修正装置のレーザ光を照射することにより、透明導電膜を損傷させることなく黒欠陥を修正することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法である。
【0024】
また、本発明は、透明基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起が順次に形成された液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法において、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、
1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する染料で黒欠陥を染色し、
2)染色した黒欠陥にレーザ修正装置のレーザ光を照射することにより、透明導電膜を損傷させることなく黒欠陥を修正することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法である。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1(a)は、透明なフォトレジストを用いて配向制御用突起を形成する際に透明導電膜上に発生した黒欠陥が修正される前の液晶表示装置用カラーフィルタの一例の平面図である。また、図1(b)は、(a)のX−X’線の断面図である。
図1(a)、(b)に示すように、この一例の液晶表示装置用カラーフィルタは、透明基板(14)上にブラックマトリックス(11)、着色画素(12)、透明導電膜(13)、配向制御用突起(19)が順次に形成されたものであり、透明導電膜上に黒欠陥(10)が発生している。
【0026】
本発明においては、透明な樹脂からなる配向制御用突起の黒欠陥(10)が、レーザ光による蒸発加工で修正が可能となるように、図2(a)に示すように、黒欠陥(10)上にレーザ光を吸収する吸収層(15)を熱転写によって設けた後に、この吸収層にレーザ光を照射し、吸収層の発熱によって透明導電膜を損傷させず黒欠陥を修正する方法である。
【0027】
吸収層に使用する材料としては、カーボンもしくは修正装置のレーザ光に光吸収をもつ色素を用いることが好ましい。顔料及び染料は、レーザ光の波長に合致する吸収を有するものを選択し易いので、YAGレーザやHe−Cdレーザなど任意の波長を持つレーザを使用することが可能となる。例えば、シアニン系色素の場合、適切な色素を選択することで、半導体レーザ、YAGレーザ(基本波、2〜4倍高調波)、Arレーザなど種々のレーザを使用することが可能になる。
吸収層が薄膜状に積層された転写フィルムを用いて、例えば、黒欠陥及びその周辺を所要形状とするパターンを熱転写させた後に、レーザ光を黒欠陥部のみに照射して黒欠陥をその部分の吸収層とともに蒸発させ、残留している周辺部の吸収層を除去するといった方法をとる。
【0028】
また、本発明においては、透明な樹脂からなる配向制御用突起の黒欠陥(10)が、レーザ光による蒸発加工で修正が可能となるように、図2(b)に示すように、黒欠陥をレーザ光を吸収する染料によって染色した後に、染色した黒欠陥(10’)のみにレーザ光を照射し、染色した黒欠陥(10’)を蒸発させ修正する方法である。
染色に用いる染料は、黒欠陥(10)を構成する透明な樹脂の種類によって染色可能な染料の種類が制約されるため、この場合のレーザは、使用する染料の吸収に合わせたレーザ光を選択することになる。
透明な樹脂の染色に適した染料を選択し、選択した染料を用いて染色液を調製する。例えば、この染色液を黒欠陥及びその周辺に滴下、乾燥させた後に、レーザ光を黒欠陥部のみに照射して黒欠陥を蒸発させ、残留している周辺部の染色液を除去するといった方法をとる。
【0029】
【発明の効果】
本発明は、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する吸収層が薄膜状に積層された転写フィルムを用いて、黒欠陥上に吸収層を熱転写し、2)熱転写した吸収層にレーザ修正装置のレーザ光を照射し、黒欠陥を修正するので、透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置を用いて修正しても、透明導電膜を損傷させることなく柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の黒欠陥を修正することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法となる。
【0030】
また、本発明は、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する染料で黒欠陥を染色し、2)染色した黒欠陥にレーザ修正装置のレーザ光を照射し、黒欠陥を修正するので、透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置を用いて修正しても、透明導電膜を損傷させることなく柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の黒欠陥を修正することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、透明導電膜上に発生した黒欠陥が修正される前の液晶表示装置用カラーフィルタの一例の平面図である。
(b)は、(a)のX−X’線の断面図である。
【図2】(a)、(b)は、本発明における黒欠陥の修正方法の説明図である。
【図3】(a)は、黒欠陥の説明図である。
(b)は、白欠陥の説明図である。
【図4】液晶表示装置用カラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図5】図4に示すカラーフィルタのX−X’線における断面図である。
【図6】柱状スペーサー付き液晶表示装置用カラーフィルタの一例の断面図である。
【図7】MVA−LCDの原理の説明図である。
【図8】(a)は、MVA−LCD用カラーフィルタの一例の平面図である。
(b)は、(a)におけるA−A’線の断面図である。
【図9】(a)は、MVA−LCD用カラーフィルタの別な例の平面図である。
(b)は、(a)におけるB−B’線の断面図である。
(c)は、(a)における視野角特性の説明図である。
【符号の説明】
4・・・・・カラーフィルタ
6・・・柱状スペーサーを設けた液晶表示装置用カラーフィルタ
8、9・・・配向制御用突起を設けた液晶表示装置用カラーフィルタ
10・・・配向制御用突起の黒欠陥
10’・・・配向制御用突起の染色した黒欠陥
11、41・・・ブラックマトリックス
12、42・・・着色画素
13、43・・・透明導電膜
14・・・透明基板
15・・・吸収層
19・・・配向制御用突起
20・・・TFT側基板
21・・・液晶分子
22a、22b、23・・・配向制御用突起
30A・・・クロムの黒欠陥
30B・・・着色画素の白欠陥
40・・・ガラス基板
41A・・・マトリックス部
64・・・柱状スペーサー
80・・・MVA−LCD
83・・・平面形状がストライプ状の配向制御用突起
93・・・平面形状が円形の配向制御用突起
H1・・・柱状スペーサーの高さ
H2、H3・・・配向制御用突起の高さ
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタに関するものであり、特に、柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成中に発生した黒欠陥を修正する際に、透明導電膜を損傷させずに黒欠陥を修正することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図4は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図5は、図4に示すカラーフィルタのX−X’線における断面図である。
図4、及び図5に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ(4)は、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成されたものである。
図4、及び図5はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素(42)は12個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角17インチの画面に数百μm程度の着色画素が多数個配列されている。
【0003】
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成してブラックマトリックス基板とし、次に、このブラックマトリックス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックス(41)は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素(42)は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜(43)は、透明な電極として設けられたものである。
【0004】
ブラックマトリックス(41)は、着色画素(42)間のマトリックス部(41A)と、着色画素(42)が形成された領域(表示部)の周辺部を囲む額縁部(41B)とで構成されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
【0005】
このブラックマトリックス基板の製造には、ガラス基板(40)上にブラックマトリックスの材料としてのクロム(Cr)、酸化クロム(CrOX )などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、例えば、ポジ型のフォトレジストを用いてエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分のエッチング及びエッチングレジストパターンの剥膜を行い、Cr、CrOX などの金属薄膜からなるブラックマトリックス(41)を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板(40)上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス(41)を形成するといった方法がとられている。
【0006】
また、着色画素(42)の形成は、このブラックマトリックス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜(43)の形成は、着色画素が形成されたブラックマトリックス基板上に、例えば、ITO(Indium Tin Oxide)を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
【0007】
このカラーフィルタの製造中に発生するブラックマトリックス、及び着色画素の形状欠陥は、黒欠陥と白欠陥に大別される。黒欠陥は、異物などによって発生したもので、黒点状に見える余分に形成されてしまったものである。また、白欠陥は、フォトレジスト中の気泡などによって発生したもので、白点状に見える欠落部が形成されてしまったものである。
【0008】
例えば、上記ブラックマトリックス基板の製造において、フォトマスクに異物が付着していると、図3(a)に示すように、ブラックマトリックス部(41A)以外の部分にクロムの黒欠陥(30A)が発生する。
このクロムの黒欠陥(30A)に対しては、レーザ光を用いた蒸発加工による除去が知られており、レーザ修正装置により黒欠陥の修正が行われる(非特許文献1参照)。
【0009】
また、例えば、上記着色画素の形成において、フォトマスクに異物が付着していると、図3(b)に示すように、着色画素(42)内に白欠陥(30B)が発生する。この着色画素の白欠陥は、ガラス基板上におけるフォトレジストの弾き、フォトレジスト中の気泡などによっても発生する。
この着色画素の白欠陥(30B)に対しては、同色のフォトレジストを欠落部に滴下して硬化させる方法や、同色の薄膜フィルムを熱転写させる方法により白欠陥の修正が行われる(特許文献1参照)。
【0010】
このようにして製造された、前記図4、及び図5に示すカラーフィルタ(4)は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーTV、ノート型PCなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
液晶表示装置自体の改善や、多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して下記のような、種々な機能が付加されるようになった。
【0011】
1)スペーサー機能
従来の液晶表示装置に於いては、基板間にギャップを形成するために、スペーサー(ビーズ)を散布している。このスペーサーは透明な粒子であることから、基板間にスペーサーが存在することによって、スペーサー近傍の液晶分子の配列が乱され、この部分で光もれを生じ、コントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼす、などの問題を有していた。
【0012】
このような問題を解決する技術として、画素間のブラックマトリックスの位置にスペーサー機能を有する柱状スペーサー(突起部)を形成する方法が開発された。図6に示すように、このような液晶表示装置用カラーフィルタ(6)は、ブラックマトリックス(41)上方の透明導電膜(43)上にスペーサー機能を有する突起部としての柱状スペーサー(64)が形成されている。
【0013】
この液晶表示装置用カラーフィルタ(6)を用いた液晶表示装置には、柱状スペーサー(64)が画素内を避けた位置に形成されているので、上記コントラストの改善がみられる。
柱状スペーサー(64)の水平断面形状は、例えば、円形であり、その巾(直径)(W1)は12〜30μm程度、高さ(H1)は1〜6μm程度であり、透明なフォトレジストを用いて形成される。
【0014】
2)配向分割機能
従来の液晶表示装置に於いては、液晶分子を一様に配向させるために、液晶を挟持する両基板に設けられた透明導電膜上に、予めポリイミドを塗布し、その表面に一様なラビング処理をしておく。
しかし、多くの液晶表示装置に用いられているTN型液晶においては、原理的に広い視野角を得ることは困難であり、中間調表示状態では斜め視角において光がもれ、コントラストが低下し表示品質が悪化する。すなわち、コントラストの良好な視野角は狭いといった問題を有していた。
【0015】
このような問題を解決する一技術として、一画素内での液晶分子の配向方向が一方向でなく、複数の方向になるように制御し、複数の方向で均一な中間調表示をするようにした、すなわち視野角の広い、配向分割垂直配向型液晶表示装置(MVA、Multi−domain Vertical Alignment−LCD)が開発された。
【0016】
図7は、このMVA−LCDの原理を説明するものであり、電圧印加時の状態では、白太矢印で示すように、一画素内で配向制御用突起(22a)〜配向制御用突起(23)間の液晶分子は、図中左斜めに傾斜し、配向制御用突起(23)〜配向制御用突起(22b)間の液晶分子は、右斜めに傾斜する。すなわち、ラビング処理に代わり、突起を設けることにより液晶分子の配向を制御するものである。
図7に示す例では、一画素が2分割されたものとなり、一画素内で液晶分子の傾斜方向が2方向になり視野角特性の優れた液晶表示装置となる。
【0017】
図8(a)、(b)は、MVA−LCDに用いられるカラーフィルタの一例の一画素を拡大して示す平面図、及び断面図である。この例では、配向制御用突起(83)は、一画素内で90°屈曲させてある。
また、図9(a)、(b)は、別な例の一画素を拡大して示す平面図、及び断面図である。図9(a)、(b)に示すように、この別な例は、平面形状が円形の配向制御用突起(93)が形成されたカラーフィルタである。
このようなカラーフィルタを用いた液晶表示装置は、電圧印加時に液晶分子は、いわば無限の方向に傾斜する、すなわち、一画素が無限に分割されたものとなり、図9(c)に示すように、視野角特性の優れた液晶表示装置となる。
【0018】
上記平面形状がストライプ状の配向制御用突起(83)のA−A’線の断面形状は、例えば、三角形、かまぼこ状であり、その巾(W2)は6〜20μm程度、高さ(H2)は1.2〜1.4μm程度である。また、平面形状が円形の配向制御用突起(93)の巾(W3)、高さ(H3)は、ストライプ状の配向制御用突起(83)の各々と同程度である。これらは、透明なフォトレジストを用いて形成される。
【0019】
図4に示すカラーフィルタ(4)に追加される機能としては、上記1)スペーサー機能、2)配向分割機能の他に、高信頼性機能、透過・反射併用機能、分光特性調整機能などがあげられる。これら諸機能の内、そのカラーフィルタの用途、仕様にもとづき1機能或いは複数の機能が図4に示すカラーフィルタ(4)に追加される。
【0020】
しかし、上記柱状スペーサー(突起部)(64)、及び配向制御用突起(23)の形成において、黒欠陥が発生した際に、前記クロムの黒欠陥の修正に用いたレーザ修正装置で黒欠陥の修正を試みても、柱状スペーサー及び配向制御用突起における黒欠陥を修正することは困難である。
これは、これらの黒欠陥を構成している透明な樹脂のレーザ光吸収が、透明導電膜のレーザ光吸収より小さく、従って、これらの黒欠陥は、透明導電膜上に形成されているにもかかわらず、透明導電膜が先に損傷を受けてしまうからである。
【0021】
【非特許文献1】
工業調査会、「フォトマスク技術のはなし」第2章基本技術、72頁、第4章修正技術、177頁
【特許文献1】
特開平11−167018号公報
【0022】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、透明なフォトレジストを用いて柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起を形成する際に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置を用いて修正しても、透明導電膜を損傷させることなく柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の黒欠陥を修正することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法を提供することを課題とするものである。
【0023】
【課題を解決するための手段】
本発明は、透明基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起が順次に形成された液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法において、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、
1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する吸収層が薄膜状に積層された転写フィルムを用いて、黒欠陥上に吸収層を熱転写し、
2)熱転写した吸収層にレーザ修正装置のレーザ光を照射することにより、透明導電膜を損傷させることなく黒欠陥を修正することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法である。
【0024】
また、本発明は、透明基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起が順次に形成された液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法において、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、
1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する染料で黒欠陥を染色し、
2)染色した黒欠陥にレーザ修正装置のレーザ光を照射することにより、透明導電膜を損傷させることなく黒欠陥を修正することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法である。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1(a)は、透明なフォトレジストを用いて配向制御用突起を形成する際に透明導電膜上に発生した黒欠陥が修正される前の液晶表示装置用カラーフィルタの一例の平面図である。また、図1(b)は、(a)のX−X’線の断面図である。
図1(a)、(b)に示すように、この一例の液晶表示装置用カラーフィルタは、透明基板(14)上にブラックマトリックス(11)、着色画素(12)、透明導電膜(13)、配向制御用突起(19)が順次に形成されたものであり、透明導電膜上に黒欠陥(10)が発生している。
【0026】
本発明においては、透明な樹脂からなる配向制御用突起の黒欠陥(10)が、レーザ光による蒸発加工で修正が可能となるように、図2(a)に示すように、黒欠陥(10)上にレーザ光を吸収する吸収層(15)を熱転写によって設けた後に、この吸収層にレーザ光を照射し、吸収層の発熱によって透明導電膜を損傷させず黒欠陥を修正する方法である。
【0027】
吸収層に使用する材料としては、カーボンもしくは修正装置のレーザ光に光吸収をもつ色素を用いることが好ましい。顔料及び染料は、レーザ光の波長に合致する吸収を有するものを選択し易いので、YAGレーザやHe−Cdレーザなど任意の波長を持つレーザを使用することが可能となる。例えば、シアニン系色素の場合、適切な色素を選択することで、半導体レーザ、YAGレーザ(基本波、2〜4倍高調波)、Arレーザなど種々のレーザを使用することが可能になる。
吸収層が薄膜状に積層された転写フィルムを用いて、例えば、黒欠陥及びその周辺を所要形状とするパターンを熱転写させた後に、レーザ光を黒欠陥部のみに照射して黒欠陥をその部分の吸収層とともに蒸発させ、残留している周辺部の吸収層を除去するといった方法をとる。
【0028】
また、本発明においては、透明な樹脂からなる配向制御用突起の黒欠陥(10)が、レーザ光による蒸発加工で修正が可能となるように、図2(b)に示すように、黒欠陥をレーザ光を吸収する染料によって染色した後に、染色した黒欠陥(10’)のみにレーザ光を照射し、染色した黒欠陥(10’)を蒸発させ修正する方法である。
染色に用いる染料は、黒欠陥(10)を構成する透明な樹脂の種類によって染色可能な染料の種類が制約されるため、この場合のレーザは、使用する染料の吸収に合わせたレーザ光を選択することになる。
透明な樹脂の染色に適した染料を選択し、選択した染料を用いて染色液を調製する。例えば、この染色液を黒欠陥及びその周辺に滴下、乾燥させた後に、レーザ光を黒欠陥部のみに照射して黒欠陥を蒸発させ、残留している周辺部の染色液を除去するといった方法をとる。
【0029】
【発明の効果】
本発明は、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する吸収層が薄膜状に積層された転写フィルムを用いて、黒欠陥上に吸収層を熱転写し、2)熱転写した吸収層にレーザ修正装置のレーザ光を照射し、黒欠陥を修正するので、透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置を用いて修正しても、透明導電膜を損傷させることなく柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の黒欠陥を修正することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法となる。
【0030】
また、本発明は、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する染料で黒欠陥を染色し、2)染色した黒欠陥にレーザ修正装置のレーザ光を照射し、黒欠陥を修正するので、透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置を用いて修正しても、透明導電膜を損傷させることなく柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の黒欠陥を修正することのできる液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、透明導電膜上に発生した黒欠陥が修正される前の液晶表示装置用カラーフィルタの一例の平面図である。
(b)は、(a)のX−X’線の断面図である。
【図2】(a)、(b)は、本発明における黒欠陥の修正方法の説明図である。
【図3】(a)は、黒欠陥の説明図である。
(b)は、白欠陥の説明図である。
【図4】液晶表示装置用カラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図5】図4に示すカラーフィルタのX−X’線における断面図である。
【図6】柱状スペーサー付き液晶表示装置用カラーフィルタの一例の断面図である。
【図7】MVA−LCDの原理の説明図である。
【図8】(a)は、MVA−LCD用カラーフィルタの一例の平面図である。
(b)は、(a)におけるA−A’線の断面図である。
【図9】(a)は、MVA−LCD用カラーフィルタの別な例の平面図である。
(b)は、(a)におけるB−B’線の断面図である。
(c)は、(a)における視野角特性の説明図である。
【符号の説明】
4・・・・・カラーフィルタ
6・・・柱状スペーサーを設けた液晶表示装置用カラーフィルタ
8、9・・・配向制御用突起を設けた液晶表示装置用カラーフィルタ
10・・・配向制御用突起の黒欠陥
10’・・・配向制御用突起の染色した黒欠陥
11、41・・・ブラックマトリックス
12、42・・・着色画素
13、43・・・透明導電膜
14・・・透明基板
15・・・吸収層
19・・・配向制御用突起
20・・・TFT側基板
21・・・液晶分子
22a、22b、23・・・配向制御用突起
30A・・・クロムの黒欠陥
30B・・・着色画素の白欠陥
40・・・ガラス基板
41A・・・マトリックス部
64・・・柱状スペーサー
80・・・MVA−LCD
83・・・平面形状がストライプ状の配向制御用突起
93・・・平面形状が円形の配向制御用突起
H1・・・柱状スペーサーの高さ
H2、H3・・・配向制御用突起の高さ
Claims (2)
- 透明基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起が順次に形成された液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法において、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、
1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する吸収層が薄膜状に積層された転写フィルムを用いて、黒欠陥上に吸収層を熱転写し、
2)熱転写した吸収層にレーザ修正装置のレーザ光を照射することにより、透明導電膜を損傷させることなく黒欠陥を修正することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法。 - 透明基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起が順次に形成された液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法において、透明なフォトレジストを用いた柱状スペーサー及び/又は配向制御用突起の形成時に透明導電膜上に発生した黒欠陥をレーザ修正装置によって修正する際に、
1)レーザ修正装置のレーザ光の波長を吸収する染料で黒欠陥を染色し、
2)染色した黒欠陥にレーザ修正装置のレーザ光を照射することにより、透明導電膜を損傷させることなく黒欠陥を修正することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003179611A JP2005017486A (ja) | 2003-06-24 | 2003-06-24 | 液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003179611A JP2005017486A (ja) | 2003-06-24 | 2003-06-24 | 液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005017486A true JP2005017486A (ja) | 2005-01-20 |
Family
ID=34180892
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003179611A Pending JP2005017486A (ja) | 2003-06-24 | 2003-06-24 | 液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005017486A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006126405A1 (ja) * | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液晶表示装置用基板、液晶表示装置用基板の製造方法、液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法 |
WO2007018038A1 (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Cyber Laser Inc. | 突起部除去工程を含む基板の製造方法並びにカラーフィルタ突起修正方法及び装置 |
JP2007334122A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Dainippon Printing Co Ltd | Ito膜の欠損修正方法 |
JP2008009213A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Dainippon Printing Co Ltd | レーザ光による欠陥修正方法 |
JP2009009013A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Toppan Printing Co Ltd | 欠陥修正方法及びそれを用いたlcd用カラーフィルタの製造方法並びにlcd用カラーフィルタ |
JP2011128268A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法及びカラーフィルタ |
JP2012150323A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法及びカラーフィルタ基板 |
CN104777541A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-07-15 | 东莞市微科光电科技有限公司 | 一种利用上下移方式查找红外截止膜制作偏差原因的方法 |
KR101753276B1 (ko) | 2015-12-30 | 2017-07-05 | 주식회사 에스에프에이 | 레이저 리페어 장치 및 레이저 리페어 방법 |
-
2003
- 2003-06-24 JP JP2003179611A patent/JP2005017486A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006126405A1 (ja) * | 2005-05-25 | 2006-11-30 | Sharp Kabushiki Kaisha | 液晶表示装置用基板、液晶表示装置用基板の製造方法、液晶表示装置および液晶表示装置の製造方法 |
US7924382B2 (en) | 2005-05-25 | 2011-04-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device substrate, method of manufacturing liquid crystal display device substrate, liquid crystal display device and method of manufacturing liquid crystal display device |
US8124000B2 (en) | 2005-08-05 | 2012-02-28 | Cyber Laser Inc. | Substrate manufacturing method including protrusion removing step |
WO2007018038A1 (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Cyber Laser Inc. | 突起部除去工程を含む基板の製造方法並びにカラーフィルタ突起修正方法及び装置 |
KR101250965B1 (ko) * | 2005-08-05 | 2013-04-04 | 사이버 레이저 가부시끼가이샤 | 돌기부 제거공정을 포함하는 기판의 제조방법과 컬러필터돌기수정방법 및 장치 |
JP5020820B2 (ja) * | 2005-08-05 | 2012-09-05 | サイバーレーザー株式会社 | カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタ突起修正装置 |
JP2007334122A (ja) * | 2006-06-16 | 2007-12-27 | Dainippon Printing Co Ltd | Ito膜の欠損修正方法 |
JP2008009213A (ja) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Dainippon Printing Co Ltd | レーザ光による欠陥修正方法 |
JP2009009013A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Toppan Printing Co Ltd | 欠陥修正方法及びそれを用いたlcd用カラーフィルタの製造方法並びにlcd用カラーフィルタ |
JP2011128268A (ja) * | 2009-12-16 | 2011-06-30 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法及びカラーフィルタ |
JP2012150323A (ja) * | 2011-01-20 | 2012-08-09 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの欠陥修正方法及びカラーフィルタ基板 |
CN104777541A (zh) * | 2015-04-24 | 2015-07-15 | 东莞市微科光电科技有限公司 | 一种利用上下移方式查找红外截止膜制作偏差原因的方法 |
KR101753276B1 (ko) | 2015-12-30 | 2017-07-05 | 주식회사 에스에프에이 | 레이저 리페어 장치 및 레이저 리페어 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4606510B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法及び液晶表示装置 | |
JP3335578B2 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
JP5400176B2 (ja) | 露光装置及び液晶表示装置の製造方法 | |
US8908128B2 (en) | Color filter substrate and LCD device using it | |
TW200422725A (en) | Substrate for electro-optical device, method of manufacturing substrate for electro-optical device, electro-optical device and electronic apparatus | |
JPH095763A (ja) | カラー液晶表示装置 | |
WO2007125758A1 (ja) | 液晶表示装置の製造方法及び露光装置 | |
JP2008281919A (ja) | カラーフィルタ形成基板の作製方法およびカラーフィルタ形成基板 | |
JP2005017486A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの修正方法 | |
JP5011973B2 (ja) | フォトマスク | |
US7532299B2 (en) | Method of fabricating a liquid crystal display device having column spacers and overcoat layer formed by double exposure | |
JP2009151071A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタの製造方法、及びカラーフィルタ | |
JP4899414B2 (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 | |
JP2007240711A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ | |
JP2008292626A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置用カラーフィルタ | |
JPH09258017A (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JPH0572528A (ja) | カラーフイルターの修正方法 | |
JPH0980221A (ja) | 液晶表示素子用カラーフィルタ基板とその製造方法 | |
JP2011113008A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタ、およびそれを用いたカラー液晶表示装置 | |
JP4593214B2 (ja) | 液晶表示装置用基板のパターンニング方法と液晶表示装置用基板、および液晶表示装置 | |
US20170329177A1 (en) | Liquid Crystal Display Panel, Liquid Crystal Display Apparatus, and Method of Manufacturing Liquid Crystal Display Panel | |
JP2007003758A (ja) | 半透過型液晶表示装置用カラーフィルタ及びその製造方法 | |
JP4887958B2 (ja) | フォトマスク | |
JP2016194624A (ja) | 液晶パネル、液晶表示装置及び、その輝点欠陥修正方法 | |
JP2006221015A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ |