JP2011128268A - カラーフィルタの欠陥修正方法及びカラーフィルタ - Google Patents

Abstract

【課題】フォトスペーサーや配向制御用突起などの突起物が欠落した場合に、欠落した突起物を補修し、また、形状不良となった場合に、突起物を補修するカラーフィルタの欠陥修正方法、カラーフィルタを提供する。
【解決手段】突起物の欠落した部位に、予め形成した補修用突起物Ｐｓ２を設置して部位を補修する。形状不良となった突起物を除去し、その部位に、予め形成した補修用突起物Ｍｖ３を設置して突起物を補修する。突起物がフォトリソグラフィ法にて形成されると同時に、補修用突起物を形成しておく。補修用突起物の下に接着剤４４を設ける。補修用突起物の取り外しは、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロナイフＮで行う。移動及び設置は、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロ吸引部材Ｋで行う。
【選択図】図３

Description

本発明は、カラーフィルタの欠陥修正方法に関するものであり、特に、フォトスペーサーや配向制御用突起などの突起物が欠落した場合に突起物を補修し、或いは、形状不良となった場合に突起物を補修する欠陥修正方法、及び該欠陥修正方法で修正されたカラーフィルタに関する。

液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成し、次に、ブラックマトリックスが形成されたガラス基板上のブラックマトリックスの開口部に位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を形成するといった方法が広く用いられている。

ブラックマトリックスは遮光性を有し、ブラックマトリックスの開口部でカラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとしている。また、ブラックマトリックスは表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。このブラックマトリックスの形成は、例えば、黒色フォトレジストを用いて形成するといったフォトリソグラフィ法がとられている。

また、着色画素は、例えば、赤色、緑色、青色の色再現フィルタ機能を有するものであり、このブラックマトリックスが形成されたガラス基板上に、顔料などの色素を分散させた着色フォトレジストの塗布膜を設け、この塗布膜へのパターン露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜の形成は、ブラックマトリックス及び着色画素が形成されたガラス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。

上記方法により製造されたカラーフィルタは、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。多様な液晶表示装置の実用に伴い、例えば、１）スペーサー機能を有するフォトスペーサー（突起部）、２）液晶の配向を制御する配向制御用突起、３）光路差調整層、４）光散乱層、などの種々な機能がカラーフィルタの用途、仕様にもとづき付加されるようになった。

図１は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、透明導電膜（４３）が順次に形成され、該透明導電膜（４３）上にフォトスペーサー及び配向制御用突起が形成されたカラーフィルタの一例の画素を拡大し模式的に示した平面図である。また、図２は、図１におけるＡ−Ａ線での断面を更に拡大して示した断面図である。

図１及び図２に示すように、この一例に示すカラーフィルタは、図１中、Ｘ軸及びＹ軸方向に設けられたブラックマトリックス（４１）の交点の上方に平面視で円形のフォトスペーサー（Ｐｓ）が設けられている。また、配向制御用突起（Ｍｖ）として、平面視で円形の配向制御用突起が着色画素（４２）の上方に設けられている例である。
液晶表示装置を構成する基板間の間隔を設定するフォトスペーサー（Ｐｓ）の高さ（Ｈ１）は２〜４μｍ程度、幅（Ｄ１）は１２μｍ程度であり、また、液晶の配向を制御する配向制御用突起（Ｍｖ）の高さ（Ｈ２）は０．８〜１．５μｍ程度、幅（Ｄ２）は１０μｍ程度のものである。フォトスペーサー（Ｐｓ）、配向制御用突起（Ｍｖ）の形成にあたっても、透明フォトレジストの塗布、パターン露光、現像というフォトリソグラフィ法を用いることが多い。

このような構成のカラーフィルタを製造する際の中間工程、例えば、着色画素を形成する工程では欠陥が生じることがある。欠陥は、主として画素の一部が欠損した白欠陥と異物の付着などによる黒欠陥に分類される。
白欠陥は、例えば、ガラス基板表面のフォトレジストの弾き、フォトレジスト中の気泡、画素上の異物の脱落に伴う膜剥がれなどにより生じる画素の欠落部、或いは、画素の厚みが薄くなっている部分、すなわち、ピンホールである。ピンホールのあるカラーフィルタが液晶表示装置に組み込まれると、白欠陥部が白点として光って観視されるので表示品質を損ねる。

また、黒欠陥は、工程中で発生するパーティクル、浮遊する塵埃などの異物が付着したものであり画素上の異物は暗く観視される。この黒欠陥は、画素上で突起となることが多く、例えば、この突起の高さが液晶表示装置を構成するカラーフィルタ基板と対向する対向基板に接触するような高さであると、黒欠陥部で電気的な短絡を起こし表示品質を損ねる。従って、白欠陥や黒欠陥などに対しては修正が施される。

黒欠陥を修正する方法は、例えば、レーザー光の照射により当該部分を蒸発揮散させ、黒欠陥及びその下方と周辺の着色画素を除去し、ガラス基板を露出させた修正口を設ける。この修正口に修正液を塗布し、硬化を行うといった修正方法である。この修正方法は着色画素が形成された直後に行われる方法であり広く行なわれている。

例えば、特許文献１に提案されている方法は、レーザー照射器から照射されるレーザー光は可変スリットによって所定の形状に整形された後に欠陥に照射され、不定型な形状の欠陥を所定の形状にトリミングする。このトリミングにより欠陥が黒欠陥の場合は、黒欠陥を含む所定の範囲をレーザー光で除去して、所定形状の白欠陥状態に変え、また、欠陥が白欠陥の場合は、その形状を所定形状に整形する。

次に、ディスペンサーを作動させてディスペンサーのノズルの先端をトリミングされた欠陥の上方に移動させた後、ノズルの先端から修正液を吐出する。ディスペンサーのノズルには、予め修正液、例えば、顔料と分散剤と紫外線開始剤と紫外線硬化性樹脂からなる修正液が充填されている。
次に、ディスペンサーのノズルを修正面から所定の距離を離間させた後、紫外線を照射して修正液を硬化させ修正を完了するといった方法である。

また、例えば、特許文献２に提案されている方法は、先ず、着色層に生じた白欠陥領域を全て除去するようにＹＡＧレーザーを照射して欠陥部とその周辺を除去する。この除去する領域は、ブラックマトリックスの辺縁と平行な辺を有する四角形形状であり、この容積はインクジェットにより吐出される液滴などにより適宜に決定する。
次に、ＹＡＧレーザー照射により除去した領域に欠陥部位周辺と同色の着色材料をインクジェットにより吐出し、吐出された着色材料の乾燥を赤外線ランプにより行うといった方法である。

また、例えば、特許文献３に提案されている方法は、針部材の先端部に微細な欠陥の修正に適した極微量の修正液を付着させ、修正液の付着した針部材の先端部と欠陥の位置とを精度高く位置決めし、欠陥に針部材の先端部を接触させ、極微量の修正液を塗布して欠陥を修正するといった方法である。

また、他の修正方法としては、例えば、最上層まで形成した後に、多層構成の最上層か
ら最下層までをレーザー光の照射により一括除去し、修正液で各層の修正を行うといった修正方法が挙げられる。

例えば、特許文献４に提案されている方法は、多層構造の膜のいずれかの層の各種欠陥部を含む領域にレーザー光を照射し、この領域の多層構造の膜の最上層から最下層までを除去して、全層に跨がる白欠陥部を形成する。
次に、形成された白欠陥部に、最下層から順に最上層まで、各々、各層の白欠陥部を修正するための修正用液を塗布し、膜形成した後に、修正用液塗布領域に平坦面を押しつけて平坦化するといった方法である。

上記、カラーフィルタを製造する際の中間工程、例えば、着色画素を形成する工程で発生した欠陥を着色画素が形成された直後に行う修正方法、及び多層構成の最上層まで形成した後に、当該部分の全層を除去しての修正方法は、層上の欠陥及び周辺部を除去し、その部分に修正液を塗布して補修する、つまり、欠陥部分を元の膜状の層として補修し、復元する技法といえる。

一方、図１、２に示すフォトスペーサー（Ｐｓ）や配向制御用突起（Ｍｖ）のような突起物を形成する際に発生した欠陥、例えば、透明導電膜（４３）上の黒欠陥の修正にはレーザー光の照射により除去する技法が提案されている。

例えば、特許文献５に提案されている方法は、レーザー光として波長３０８ｎｍ以下のレーザー光を用い、カラーフィルタ上の突起状の黒欠陥に照射して黒欠陥を除去するといった方法である。
しかし、この技法は、黒欠陥を除去するものであり、例えば、フォトスペーサーや配向制御用突起のような突起物が欠落した際に、欠落した突起物を補修し、復元するものではない。

特開２００６−１４５７８６号公報 特開２００６−０３０２８３号公報 特許第３３８１９１１号 特開２００８−１５１８７２号公報 特開２００７−３３３９７２号公報

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、ガラス基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜、フォトスペーサー、配向制御用突起が順次に形成されたカラーフィルタの欠陥修正方法であって、フォトスペーサーや配向制御用突起などの突起物が、例えば、密着力不足で剥がれて欠落した場合に欠落した突起物を補修し、或いは、部分的に欠損し形状不良となった場合に形状不良の突起物を補修することのできるカラーフィルタの欠陥修正方法を提供することを課題とするものである。
また、上記カラーフィルタの欠陥修正方法を用い修正されたカラーフィルタを提供することを課題とする。

本発明は、ガラス基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜を形成した後、突起物を形成したカラーフィルタの欠陥修正方法において、
前記突起物の欠落した部位に、予め形成した補修用突起物を設置して、突起物の欠落した部位を補修することを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。

また、本発明は、ガラス基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜を形成した後、突起物を形成したカラーフィルタの欠陥修正方法において、
部分的に欠損し形状不良となった突起物を除去し、該除去した部位に、予め形成した補修用突起物を設置して、形状不良となった突起物を補修することを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。

また、本発明は、請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法であって、突起物がフォトリソグラフィ法にて形成されており、補修用突起物を突起物の形成と同時に、予めガラス基板上に形成しておくことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。

また、本発明は、請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法であって、補修用突起物を設置する際に、該補修用突起物の下に接着剤を設けることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。

また、本発明は、請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法であって、ガラス基板上の補修用突起物の取り外しは、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロナイフで行うことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。

また、本発明は、請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法であって、ガラス基板上から取り外した補修用突起物の設置する部位への移動及び設置は、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロ吸引部材で行うことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法である。

また、本発明は、請求項１〜請求項６にいずれか１項に記載するカラーフィルタの欠陥修正方法を用い修正したことを特徴とするカラーフィルタである。

本発明は、突起物の欠落した部位に、予め形成した補修用突起物を設置して、突起物の欠落した部位を補修するので、フォトスペーサーや配向制御用突起などの突起物が、例えば、密着力不足で剥がれて欠落した場合に、欠落した突起物を補修することのできるカラーフィルタの欠陥修正方法となる。

また、本発明は、部分的に欠損し形状不良となった突起物を除去し、該除去した部位に、予め形成した補修用突起物を設置して、形状不良となった突起物を補修するので、フォトスペーサーや配向制御用突起などの突起物が、部分的に欠損し形状不良となった場合に、形状不良の突起物を補修することのできるカラーフィルタの欠陥修正方法となる。

また、本発明は、補修用突起物を突起物の形成と同時に、例えば、カラーフィルタ基板の不要部にフォトリソグラフィ法にて作っておくため、突起物と同一形状の補修用突起物を容易に得ることが可能となる。
また、本発明は、ガラス基板上の補修用突起物の取り外しは、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロナイフで行い、また、取り外した補修用突起物の設置する部位への移動及び設置は、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロ吸引部材で行うので、フォトスペーサーや配向制御用突起などの微小な突起物を良好に補修することのできるカラーフィルタの欠陥修正方法となる。

また、本発明は、上記カラーフィルタの欠陥修正方法を用いるので、フォトスペーサーや配向制御用突起などの微小な突起物を良好に補修し復元したカラーフィルタとなる。

透明導電膜上にフォトスペーサー及び配向制御用突起が形成されたカラーフィルタの一例の画素を拡大し模式的に示した平面図である。 図１におけるＡ−Ａ線での断面を更に拡大して示した断面図である。 （ａ）〜（ｆ）は、本発明によるカラーフィルタの欠陥修正方法の一例を示す断面図である。 （ａ）〜（ｆ）は、本発明によるカラーフィルタの欠陥修正方法の多の例を示す断面図である。

以下に、本発明によるカラーフィルタの欠陥修正方法及びカラーフィルタを実施の形態に基づいて説明する。
図３（ａ）〜（ｆ）は、本発明によるカラーフィルタの欠陥修正方法の一例を示す断面図である。図３（ａ）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、透明導電膜（４３）が形成された後に、フォトスペーサー（Ｐｓ）、配向制御用突起（Ｍｖ）といった突起物が形成されたカラーフィルタの部分を拡大したものである。この部分は、前記図１におけるＡ−Ａ線での断面に相当する部分である。

図３（ａ）に示すように、ブラックマトリックス（４１）の上方に形成されたフォトスペーサー（Ｐｓ）は、例えば、密着力不足で剥がれて欠落した状態である。
このカラーフィルタは、修正装置のステージ（１）上に載置された状態であり、修正装置には、検査機によって検出された、フォトスペーサー（Ｐｓ）が欠落した部位の位置座標が既に転送されている。

図３（ｂ）に示すように、先ず、修正を施す部位の透明導電膜（４３）上に接着剤（４４）を塗布する。この接着剤（４４）の塗布は、設置する補修用フォトスペーサーと下地層とを良好に接着させるために施されるものである。
この接着剤の塗布方法には、塗布針を用いる方法、マイクロディスペンサによる方法、インクジェットによる方法、マイクロマニピュレーターを用いて金属プローブを使用よる方法などが挙げられる。いずれの方法を採用してもよい。

接着剤（４４）を塗布する面積は、補修用フォトスペーサーの底面積の８０〜１２０％程度が望ましい。また、フォトスペーサーがブラックマトリックス（４１）の上方でなく、着色画素（４２）の上方に設けられていた場合には、接着剤は無色透明であることが望ましい。

次に、図３（ｃ）に示すように、ガラス基板（４０）上から補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）を取り外す。この補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）は、フォトリソグラフィ法
にて形成されたフォトスペーサーと同時に、同一ガラス基板上に予め形成されたものである。フォトスペーサーは画面内のブラックマトリックス（４１）の上方に形成されているが、補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）は、例えば、画面周囲部などのカラーフィルタとしては不要となる部位に形成される。

補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）の取り外しには、対象となる補修用フォトスペーサーの幅は１２μｍ程度といった微小なものであるので、マイクロマニピュレーターを用い、マイクロナイフ（Ｎ）で行う。
補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）の底辺部にマイクロナイフ（Ｎ）を当てて、補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）の中心部に向かいマイクロナイフ（Ｎ）を移動させ、補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）をガラス基板（４０）上から取り外す。

この際のマイクロナイフ（Ｎ）の移動量（図３（ｃ）中、左方への矢印）は、補修用フォトスペーサーの直径の５０％程の距離が望ましい。また、この取り外しには、マイクロナイフ（Ｎ）の他に、マイクロマニピュレーターを用いて金属プローブを使用してもよい。

次に、図３（ｄ）に示すように、補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）をフォトスペーサーが欠落した部位である、上記接着剤（４４）の上方へ移動する。
この移動には、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロ吸引部材（Ｋ）で行う。取り外した補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）にマイクロ吸引部材（Ｋ）の先端を付着させ吸引する。マイクロ吸引部材（Ｋ）は管状のものであり、図示せぬ吸引機構に接続しており、管状の先端で補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）を吸引し、補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）をマイクロ吸引部材（Ｋ）の先端部に保持させる。

この際の吸引圧力は、０．１ＭＰａ〜０．３ＭＰａ程度であることが望ましい。吸引を継続した状態で、補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）をフォトスペーサーが欠落した部位である、上記接着剤（４４）上へ移動し設置する（図３（ｅ））。
この移動、設置には、マイクロ吸引部材（Ｋ）の他に、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロナイフ（Ｎ）、或いは金属プローブで行ってもよい。

次に、図３（ｆ）に示すように、補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）が設置された接着剤（４４）の硬化を行う。図３（ｆ）に示すカラーフィルタが補修され修正が完了したカラーフィルタである。熱硬化は、例えば、ＩＲスポットヒーター（Ｓ）を用いた際には電圧４．５Ｖで１２０秒間程度の照射で行うことができる。
接着剤の硬化は、接着剤の組成によりＩＲスポットヒーター、ハロゲンスポットヒーター、温風ヒーター、ＵＶ照射などを適宜に選択する。

ＵＶ光で硬化する接着剤の組成を以下に例示する。
多官能モノマー３０〜５０ｗ％、単官能モノマー２０〜４０ｗ％、溶媒１０〜３０ｗ％、分散安定剤１〜５ｗ％、重合開始剤０〜５ｗ％。

上述のように、本発明によれば、突起物であるフォトスペーサーが、例えば、密着力不足で剥がれて欠落した場合に、欠落した部位を補修用フォトスペーサー（Ｐｓ２）にて補修したカラーフィルタとすることができる。

また、図４（ａ）〜（ｆ）は、本発明によるカラーフィルタの欠陥修正方法の他の例を示す断面図である。図４（ａ）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、透明導電膜（４３）が形成された後に、フォトスペーサー（Ｐｓ）、配向制御用突起といった突起物が形成されたカラーフィルタの部分を拡大したものである。この部分は、前記図１におけるＡ−Ａ線での断面に相当する部分である。

図４（ａ）に示すように、着色画素（４２）の上方に形成された配向制御用突起（Ｍｖ２）は、部分的に欠損し形状不良となったものである。
このカラーフィルタは、修正装置のステージ（１）上に載置された状態であり、修正装置には、検査機によって検出された、形状不良の配向制御用突起（Ｍｖ２）の部位の位置座標が既に転送されている。

図４（ｂ）に示すように、形状不良の配向制御用突起（Ｍｖ２）を黒欠陥として扱い、先ず、レーザー光（Ｌ）の照射により、透明導電膜（４３）を損傷させずに除去する。この形状不良の配向制御用突起（Ｍｖ２）の除去は、レーザー光（Ｌ）の照射による方法に限らず、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロナイフで行ってもよい。

次に、図４（ｃ）に示すように、形状不良の配向制御用突起（Ｍｖ２）を除去した部位の透明導電膜（４３）上に接着剤（４４）を塗布する。この接着剤（４４）の塗布は、設置する補修用配向制御用突起と下地層とを良好に接着させるために施されるものである。この接着剤の塗布方法には、塗布針を用いる方法、マイクロディスペンサによる方法、インクジェットによる方法、マイクロマニピュレーターを用いて金属プローブを使用よる方法などが挙げられる。いずれの方法を採用してもよい。

接着剤（４４）を塗布する面積は、補修用配向制御用突起の底面積の８０〜１２０％程度が望ましい。また、配向制御用突起はブラックマトリックス（４１）の上方でなく、着色画素（４２）の上方に設けられているので、接着剤は無色透明であることが望ましい。

次に、図４（ｄ）に示すように、ガラス基板（４０）上から補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）を取り外す。この補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）は、フォトリソグラフィ法にて形成された配向制御用突起と同時に、同一ガラス基板上に予め形成されたものである。配向制御用突起は画面内の着色画素（４２）の上方に形成されているが、補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）は、例えば、画面周囲部などに形成される。

補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）の取り外しには、対象となる補修用配向制御用突起の幅は１０μｍ程度といった微小なものであるので、マイクロマニピュレーターを用い、マイクロナイフ（Ｎ）で行う。
補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）の底辺部にマイクロナイフ（Ｎ）を当てて、補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）の中心部に向かいマイクロナイフ（Ｎ）を移動させ、補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）をガラス基板（４０）上から取り外す。

この際のマイクロナイフ（Ｎ）の移動量（図４（ｄ）中、左方への矢印）は、補修用配向制御用突起の直径の５０％程の距離が望ましい。また、この取り外しには、マイクロナイフ（Ｎ）の他に、マイクロマニピュレーターを用いて金属プローブを使用してもよい。

次に、図４（ｅ）に示すように、補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）を、形状不良の配向制御用突起（Ｍｖ２）を除去した部位である、上記接着剤（４４）の上方へ移動する。
この移動には、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロ吸引部材（Ｋ）で行う。取り外した補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）にマイクロ吸引部材（Ｋ）の先端を付着させ吸引する。マイクロ吸引部材（Ｋ）は管状のものであり、図示せぬ吸引機構に接続しており、管状の先端で補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）を吸引する。

この際の吸引圧力は、０．１ＭＰａ〜０．３ＭＰａ程度であることが望ましい。吸引を継続した状態で、補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）を、形状不良の配向制御用突起（Ｍｖ
２）を除去した部位である、上記接着剤（４４）上へ移動し設置する。
この移動、設置には、マイクロ吸引部材（Ｋ）の他に、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロナイフ（Ｎ）、或いは金属プローブで行ってもよい。

次に、補修用配向制御用突起（Ｍｖ３）が設置された接着剤（４４）の硬化を行う（図４（ｆ））。例えば、熱硬化はＩＲスポットヒーター（Ｓ）を用いた際には電圧４．５Ｖで１２０秒間程度の照射で行うことができる。
接着剤の硬化は、接着剤の組成によりＩＲスポットヒーター、ハロゲンスポットヒーター、温風ヒーター、ＵＶ照射などを適宜に選択する。

上述のように、本発明によれば、突起物である配向制御用突起が、部分的に欠損し形状不良となった場合に、その形状不良となった配向制御用突起部位を補修したカラーフィルタとすることができる。

１・・・修正装置のステージ
４０・・・ガラス基板
４１・・・ブラックマトリックス
４２・・・着色画素
４３・・・透明導電膜
４４・・・接着剤
Ｋ・・・マイクロ吸引部材
Ｌ・・・レーザー光
Ｍｖ、Ｍｖ２・・・配向制御用突起
Ｍｖ３・・・補修用配向制御用突起
Ｎ・・・マイクロナイフ
Ｐｓ・・・フォトスペーサー
Ｐｓ２・・・補修用フォトスペーサー
Ｓ・・・ＩＲスポットヒーター

Claims (7)

1. ガラス基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜を形成した後、突起物を形成したカラーフィルタの欠陥修正方法において、
   前記突起物の欠落した部位に、予め形成した補修用突起物を設置して、突起物の欠落した部位を補修することを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
2. ガラス基板上にブラックマトリックス、着色画素、透明導電膜を形成した後、突起物を形成したカラーフィルタの欠陥修正方法において、
   部分的に欠損し形状不良となった突起物を除去し、該除去した部位に、予め形成した補修用突起物を設置して、形状不良となった突起物を補修することを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
3. 請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法であって、突起物がフォトリソグラフィ法にて形成されており、補修用突起物を突起物の形成と同時に、予めガラス基板上に形成しておくことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
4. 請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法であって、補修用突起物を設置する際に、該補修用突起物の下に接着剤を設けることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
5. 請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法であって、ガラス基板上の補修用突起物の取り外しは、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロナイフで行うことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
6. 請求項１又は請求項２に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法であって、ガラス基板上から取り外した補修用突起物の設置する部位への移動及び設置は、マイクロマニピュレーターを用いてマイクロ吸引部材で行うことを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
7. 請求項１〜請求項６にいずれか１項に記載するカラーフィルタの欠陥修正方法を用い修正したことを特徴とするカラーフィルタ。

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