JP4893286B2 - カラーフィルタの再修正方法 - Google Patents
カラーフィルタの再修正方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4893286B2 JP4893286B2 JP2006334250A JP2006334250A JP4893286B2 JP 4893286 B2 JP4893286 B2 JP 4893286B2 JP 2006334250 A JP2006334250 A JP 2006334250A JP 2006334250 A JP2006334250 A JP 2006334250A JP 4893286 B2 JP4893286 B2 JP 4893286B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- correction
- laser cut
- cut frame
- coating film
- application
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、カラーフィルタは画素として形成されて使用される。この表示装置に用いるカラーフィルタの画素を形成する方法としては、フォトリソグラフィ法が広く用いられている。
図5、及び図6に示すように、液晶表示装置に用いるカラーフィルタは、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)、及び透明導電膜(43)が順次に形成されたものである。
図5、及び図6はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素(42)は12個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角17インチの画面に数百μm程度の着色画素が多数個配列されている。
ブラックマトリックス(41)は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素(42)は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜(43)は、透明な電極として設けられたものである。
タ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
すなわち、一例として示す液晶表示装置に用いるカラーフィルタにおいては、透明導電膜を除きフォトリソグラフィ法によって画素(パターン)として形成されている。
白欠陥は、例えば、ガラス基板表面のフォトレジストの弾き、フォトレジスト中の気泡、画素上の異物の脱落に伴う膜剥がれなどにより生じる画素の欠落部、すなわち、ピンホールである。ピンホールのあるカラーフィルタが液晶表示装置に組み込まれると、白点として光って観視されるので表示品質を損ねる。
従って、ブラックマトリックス(41)或いは着色画素(42)を形成する際に発生した白欠陥や黒欠陥などの画素(パターン)欠陥に対しては修正が施される。
ピンホールのように、着色画素の一部が欠落した欠陥に対しては、塗布針の先端部に修正インキを付着させて、その修正インキをピンホールに押しつけて修正する方法、ディスペンサーによって修正インキを必要量滴下する方法、インクジェットにより修正インキを吐出させる方法、ピンホールにフィルムを転写させる方法などが提案されている。
この際、修正インキの硬化には、修正インキの組成に準じ、例えば、UV照射によるUV硬化、或いは加熱処理による熱硬化が用いられる。熱硬化としては、これまでにIR(赤外)スポットヒータ、CO2 レーザー、半導体レーザー、熱風ヒータ、ホットプレート、オーブンなど、様々な熱硬化の方法が実施されていた。
図1及び図2に示す修正装置は、上記レーザーカット枠(修正口)内に修正インキを塗布し、塗布した修正インキを硬化させて修正インキ被膜を形成する修正装置である。
この修正装置は、修正インキとして熱硬化型の修正インキを用い、熱源としてIR(赤外)スポットヒータを用いた例である。
このX軸方向及びY軸方向への自在な移動によって、Y軸トロッコ(14)上に設けられた顕微鏡(15)、塗布機構(16)、及びIR(赤外)スポットヒータ(19)の各々を、定盤(10)上の任意のXY座標位置へ移動させることが出来るようになっている。
続いて、この塗布、充填した修正インキにIR(赤外)スポットヒータ(19)を用いてIR(赤外)照射を行い、修正インキを硬化させ、修正インキ被膜を形成するといった手順となる。
図3(a)は、ガラス基板(40)上にブラックマトリックス(41)、着色画素(42)が順次に形成された段階で、着色画素(42)にピンホール(P)が発生し、そのピンホール(P)の部分にレーザーカット枠(修正口)(C1)が形成された段階を表したものである。
塗布されるように塗布するのであるが、レーザーカット枠(修正口)(C1)の中心に修正インキが塗布されるとは限らず、レーザーカット枠(修正口)(C1)の中心と、第1回塗布膜(S1)の中心に位置ズレが生じることがある。
レーザーカット枠(修正口)(C1)の中心と、第1回塗布膜(S1)の中心との位置ズレを、この第1回塗布によって測定し、第2回以降の塗布においては位置ズレが発生しないように位置ズレの補正を行う。
モニター画面上にて、この位置ズレ(ΔX、ΔY)の補正を指示することにより、第2回以降の塗布膜は位置ズレすることなく任意の位置に形成することが出来ることになる。この補正量は10μm以下のものである。
この具体例における修正インキの塗布は、1個のレーザーカット枠(修正口)(C1)に対して合計5回の塗布が行われ、レーザーカット枠(修正口)(C1)内に修正インキが充填される。
第2回塗布〜第5回塗布においては、前記位置ズレ(ΔX、ΔY)の補正は行われているので、第2回塗布膜(S2)〜第5回塗布膜(S5)の中心(O2 〜O5 )は、レーザーカット枠(修正口)(C1)の中心(O0 )からX方向a/4、Y方向b/4離れた、狙った位置に各々が形成される。
これにより、レーザーカット枠(修正口)(C1)内の全域に修正インキが充填され、熱硬化した修正インキ被膜が設けらる。また、第2回塗布膜(S2)〜第5回塗布膜(S5)は、その一部分が第1回塗布膜(S1)の一部分上に重なる状態で設けられているが、着色画素(42)面からの高さは規格値、例えば、2.4μmのものが得られ、欠陥部の修正は良好に終了する。
しかし、第5回塗布膜(S5’)は、その中心(O5 )は、レーザーカット枠(修正口)(C1)の中心(O0 )からX方向a/4、Y方向b/4離れた、狙った位置に形成されているが、第5回塗布膜(S5’)の径には小さな部分があり、レーザーカット枠(修正口)(C1)の一隅が修正インキによって充填されず、ガラス基板(40)が露出したままのピンホール(P1)として残されている。
このような現象が発生した場合に、再修正の手法として、このピンホール(P1)部分に第6回塗布膜を形成することが考えられる。しかし、第6回塗布膜を形成すると、この部分の高さは規格値を超えたものとなり、この再修正の手法で救済することは困難である。
しかし、第4回塗布膜(S4’)は、その中心(O4 )は、レーザーカット枠(修正口)(C1)の中心(O0 )からX方向a/4、Y方向b/4離れた、狙った位置に形成されているが、第4回塗布膜(S4’)の径は80μm以上の大きな径となっている。
このように、第4回塗布膜(S4’)の一部分の高さが異常に高く、規格値、例えば、2.4μmを超えてしまう現象は、何らかの原因による塗布量の増加と推量されている。すなわち、修正インキの塗布、充填過剰による高さ超過(H1)であり、修正作業にて発生させた、言わば2次欠陥部である。
1)前記2次欠陥部に前記レーザーカット枠(修正口)より小さな面積の第2レーザーカット枠(修正口)を設け、
2)該第2レーザーカット枠(修正口)に前記塗布針より小さな先端径の第2塗布針を用いて修正インキを塗布することを特徴とするカラーフィルタの再修正方法である。
図9〜図11は、本発明によるカラーフィルタの再修正方法の一実施例の説明図である。一実施例として、修正作業にて発生させた2次欠陥部が、修正インキの塗布、充填過剰によって引き起こされた塗布膜の部分的な高さ超過(H1)の場合をもとに説明を行う。
このため、第1回塗布膜(S1)の一部分上に重なった第4回塗布膜(S4’)の一部分(H1)においては、着色画素(42)面からの高さが異常に高い部分が発生している。
次に、図11に示すように、この第2レーザーカット枠(修正口)(C2)に、前記第1回塗布〜第5回塗布における塗布針より小さな先端径の第2塗布針を用い、修正インキを
塗布し、再修正塗布膜(S6)を設ける。再修正塗布膜(S6)の径は、前記第1回塗布膜(S1)〜第5回塗布膜(S5)の径より小さいものとなる。
具体的には、前記レーザーカット枠(修正口)(C1)の面積が100μm×100μmの際に、第2レーザーカット枠(修正口)(C2)の面積を30μm×30μm程度のものとし、また、前記第1回塗布〜第5回塗布における塗布針の先端径が50μmφの際に、第2塗布針の先端径が30μmφ程度のものとすることにより好ましい結果が得られる。
また、第2塗布針として、前記第1回塗布〜第5回塗布にて用いた先端径が50μmφの塗布針を用いると、第2レーザーカット枠(修正口)(C2)のエッジ部に塗布針の先端部が接触し、修正インキの塗布量が過多になり塗布膜の高さが超過したものとなる。
第2塗布針の先端径を30μmφ程度にすると、支障なく高さの低い塗布膜が得られる。
これにより、修正作業と再修正作業を連続して行うことが容易になり、また、色変更時における塗布針の洗浄時間の影響を少なくし易い。
次に、図14に示すように、この第3レーザーカット枠(修正口)(C3)に、前記第1回塗布〜第5回塗布における塗布針より小さな先端径の第2塗布針を用い、修正インキを
塗布し、再修正塗布膜(S7)を設ける。再修正塗布膜(S7)の径は、前記第1回塗布膜(S1)〜第5回塗布膜(S5)の径より小さいものとなる。
具体的には、前記レーザーカット枠(修正口)(C1)の面積が100μm×100μmの際に、第3レーザーカット枠(修正口)(C3)の面積を30μm×30μm程度のものとし、また、前記第1回塗布〜第5回塗布における塗布針の先端径が50μmφの際に、第2塗布針の先端径が30μmφ程度のものとすることにより好ましい結果が得られる。
11・・・X軸レール
12・・・X軸トロッコ
13・・・ガントリ(構台)
14・・・Y軸トロッコ
15・・・顕微鏡
16・・・塗布機構
17・・・修正インキ壺部
18・・・塗布針部
19・・・IR(赤外)スポットヒータ
40・・・ガラス基板
41・・・ブラックマトリックス
42・・・着色画素
43・・・透明導電膜
C1・・・レーザーカット枠(修正口)
C2・・・第2レーザーカット枠(修正口)
C3・・・第3レーザーカット枠(修正口)
H1・・・高さ超過
O1 〜O5 ・・・第1回塗布膜〜第5回塗布膜の中心
P、P1・・・ピンホール
S1〜S5・・・第1回塗布膜〜第5回塗布膜
S4’・・・失敗した第4回塗布膜
S5’・・・失敗した第5回塗布膜
S6、S7・・・再修正塗布膜
Claims (2)
- カラーフィルタの欠陥部にレーザーカット枠(修正口)を設け、該レーザーカット枠(修正口)に塗布針を用いて修正インキを塗布する修正作業にて発生させた2次欠陥部を再修正する際に、
1)前記2次欠陥部に前記レーザーカット枠(修正口)より小さな面積の第2レーザーカット枠(修正口)を設け、
2)該第2レーザーカット枠(修正口)に前記塗布針より小さな先端径の第2塗布針を用いて修正インキを塗布することを特徴とするカラーフィルタの再修正方法。 - 前記レーザーカット枠(修正口)の面積が100μm×100μm、前記塗布針の先端径が50μmφの際に、前記第2レーザーカット枠(修正口)の面積が30μm×30μm、前記第2塗布針の先端径が30μmφであることを特徴とする請求項1記載のカラーフィルタの再修正方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006334250A JP4893286B2 (ja) | 2006-12-12 | 2006-12-12 | カラーフィルタの再修正方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006334250A JP4893286B2 (ja) | 2006-12-12 | 2006-12-12 | カラーフィルタの再修正方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008145828A JP2008145828A (ja) | 2008-06-26 |
JP4893286B2 true JP4893286B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=39606065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006334250A Expired - Fee Related JP4893286B2 (ja) | 2006-12-12 | 2006-12-12 | カラーフィルタの再修正方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4893286B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4924118B2 (ja) * | 2007-03-12 | 2012-04-25 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの再修正方法 |
JP5077887B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2012-11-21 | Ntn株式会社 | カラーフィルタ欠陥修正方法およびカラーフィルタ欠陥修正装置 |
KR101566429B1 (ko) | 2009-01-30 | 2015-11-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시판, 박막 트랜지스터 표시판 및 기판의 수리 방법 |
CN112965336A (zh) * | 2020-10-14 | 2021-06-15 | 深圳市路维光电股份有限公司 | 用于掩膜版缺陷修补的方法及装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0829770A (ja) * | 1994-07-15 | 1996-02-02 | Toshiba Corp | 液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法 |
JP4374176B2 (ja) * | 2002-09-25 | 2009-12-02 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルターの修正方法及びカラーフィルターの修正装置 |
JP4880380B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2012-02-22 | Ntn株式会社 | 基板欠陥修正装置および基板欠陥修正方法 |
-
2006
- 2006-12-12 JP JP2006334250A patent/JP4893286B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008145828A (ja) | 2008-06-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6828069B1 (en) | Method for correcting defects on color filter | |
JP5351287B2 (ja) | 基板、基板に対する露光方法、光配向処理方法 | |
JP4893286B2 (ja) | カラーフィルタの再修正方法 | |
JP4924192B2 (ja) | 透明導電性膜付きカラーフィルタ基板の欠陥修正方法および透明導電性膜付きカラーフィルタ基板 | |
JP2008026752A (ja) | カラーフィルタ基板、カラーフィルタ基板の修正方法及びカラー液晶表示装置 | |
JP4924118B2 (ja) | カラーフィルタの再修正方法 | |
JP2017181704A (ja) | カラーフィルター基板およびその製造方法ならびに表示パネル、その製造方法およびその輝点欠陥修正方法ならびに表示装置 | |
JP4872457B2 (ja) | カラーフィルタの欠陥修正方法 | |
JP4237982B2 (ja) | カラーフィルタの欠陥修正方法 | |
JPH04369604A (ja) | カラーフィルタの欠陥部修正方法 | |
JP4905055B2 (ja) | カラーフィルタの修正方法 | |
JPH03274504A (ja) | カラーフィルタの修正方法及び修正済みカラーフィルタ | |
JP5200577B2 (ja) | カラーフィルタの欠陥修正方法 | |
CN102792215B (zh) | 液晶面板的制造方法、液晶面板以及修复装置 | |
CN102792216B (zh) | 液晶面板的制造方法、液晶面板以及修复装置 | |
JP5488170B2 (ja) | カラーフィルタの修正方法及びカラーフィルタ | |
JP2010015072A (ja) | カラーフィルタ基板の修復方法とその装置 | |
JPH05303014A (ja) | カラーフィルターの修正法 | |
JP2012118444A (ja) | カラーフィルタ基板の欠陥修正方法及びカラーフィルタ基板 | |
JP5263861B2 (ja) | 欠陥修正装置 | |
JP4788501B2 (ja) | カラーフィルタの欠陥修正方法 | |
JP2006047800A (ja) | カラーフィルタ | |
TWI386689B (zh) | 彩色濾光片基板及其製造方法 | |
JP2007240932A (ja) | 表示パネル用の基板および表示パネル | |
JP2006350122A (ja) | カラーフィルタのブラックマトリクス修正方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110915 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111122 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111205 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4893286 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150106 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |