JPH09258017A - カラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
カラーフィルタ及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH09258017A JPH09258017A JP7078796A JP7078796A JPH09258017A JP H09258017 A JPH09258017 A JP H09258017A JP 7078796 A JP7078796 A JP 7078796A JP 7078796 A JP7078796 A JP 7078796A JP H09258017 A JPH09258017 A JP H09258017A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodeposition
- conductive layer
- layer
- color filter
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133377—Cells with plural compartments or having plurality of liquid crystal microcells partitioned by walls, e.g. one microcell per pixel
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1337—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
- G02F1/133753—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers with different alignment orientations or pretilt angles on a same surface, e.g. for grey scale or improved viewing angle
- G02F1/133757—Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers with different alignment orientations or pretilt angles on a same surface, e.g. for grey scale or improved viewing angle with different alignment orientations
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 軸対称配向の軸位置を所望の位置に容易に配
することができ、安定した広視角表示モードの液晶表示
素子を作製できるようにする。 【解決手段】 導電層２の一部、たとえば中央部に導電
性の低い領域である細孔３を設け、これに対して電着を
施して着色層５を形成すると、導電性の低い領域に対応
する着色層５部分では電着が起こり難いので、各着色層
５の中央部に凹部が設けられる。
することができ、安定した広視角表示モードの液晶表示
素子を作製できるようにする。 【解決手段】 導電層２の一部、たとえば中央部に導電
性の低い領域である細孔３を設け、これに対して電着を
施して着色層５を形成すると、導電性の低い領域に対応
する着色層５部分では電着が起こり難いので、各着色層
５の中央部に凹部が設けられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば多人数で
見る携帯情報端末や、パーソナルコンピュータ、ワード
プロセッサ、アミューズメント機器、テレビなどの平面
ディスプレーに応用される、各絵素における液晶分子が
軸対称状に配向した広視野角特性の液晶表示素子に対
し、その一部に組み込まれて利用されるカラーフィルタ
及びその製造方法に関する。
見る携帯情報端末や、パーソナルコンピュータ、ワード
プロセッサ、アミューズメント機器、テレビなどの平面
ディスプレーに応用される、各絵素における液晶分子が
軸対称状に配向した広視野角特性の液晶表示素子に対
し、その一部に組み込まれて利用されるカラーフィルタ
及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示素子（ＬＣＤ）としては、従来
より、電気光学効果を利用したものが知られており、た
とえば表示媒体としてネマティック液晶を用いたＴＮ
（ツィスティッドネマティック）型の液晶表示素子や、
ＳＴＮ（スーパーツィスティッドネマティック）型の液
晶表示素子が実用化されている。これらは、偏光板を要
するタイプであり、また、液晶に接するように設ける配
向膜に配向処理を必要とする。
より、電気光学効果を利用したものが知られており、た
とえば表示媒体としてネマティック液晶を用いたＴＮ
（ツィスティッドネマティック）型の液晶表示素子や、
ＳＴＮ（スーパーツィスティッドネマティック）型の液
晶表示素子が実用化されている。これらは、偏光板を要
するタイプであり、また、液晶に接するように設ける配
向膜に配向処理を必要とする。
【０００３】これらの液晶表示素子は、図５（ａ）に示
すように、一対の基板１、２の間に設けられた液晶層の
液晶分子９が、初期配向状態においてプレチルト角が付
与されており、電圧印加時には（ｂ）および（ｃ）に示
すように液晶分子が同方向に立ち上がっていく。このと
き、図５（ｂ）に示すように、異なる視角方向ＡとＢと
から観察者が液晶表示素子を観察した場合、見かけ上の
屈折率が変化し、コントラストが変化する。また、中間
調の表示状態において、液晶分子９の傾き状態が印加し
た電圧にしたがって変化せずにそれまでとは逆方向にな
り、視角方向によっては透過率の変化が逆になる反転現
象が生じて、表示品位が著しく低下するという難点であ
った。
すように、一対の基板１、２の間に設けられた液晶層の
液晶分子９が、初期配向状態においてプレチルト角が付
与されており、電圧印加時には（ｂ）および（ｃ）に示
すように液晶分子が同方向に立ち上がっていく。このと
き、図５（ｂ）に示すように、異なる視角方向ＡとＢと
から観察者が液晶表示素子を観察した場合、見かけ上の
屈折率が変化し、コントラストが変化する。また、中間
調の表示状態において、液晶分子９の傾き状態が印加し
た電圧にしたがって変化せずにそれまでとは逆方向にな
り、視角方向によっては透過率の変化が逆になる反転現
象が生じて、表示品位が著しく低下するという難点であ
った。
【０００４】そこで、かかる難点を解決すべく、本願出
願人は、図５（ｄ）に示すように、一対の基板１、２の
間に、高分子壁７により囲まれた液晶領域８を設けると
共に、その液晶領域８の液晶分子９を軸１０の回りに軸
対称状に配列させることにより、広視角特性を持つ液晶
表示素子を提案した（特開平６−３０１０１５号、特開
平７−１２０７２８号）。この広視角表示モードの液晶
表示素子においては、液晶領域８が軸対称状に配向して
いるため、（ｅ）および（ｆ）に示すように電圧を印加
しても、視角方向Ａ、Ｂに拘らず同様の状態となる。
願人は、図５（ｄ）に示すように、一対の基板１、２の
間に、高分子壁７により囲まれた液晶領域８を設けると
共に、その液晶領域８の液晶分子９を軸１０の回りに軸
対称状に配列させることにより、広視角特性を持つ液晶
表示素子を提案した（特開平６−３０１０１５号、特開
平７−１２０７２８号）。この広視角表示モードの液晶
表示素子においては、液晶領域８が軸対称状に配向して
いるため、（ｅ）および（ｆ）に示すように電圧を印加
しても、視角方向Ａ、Ｂに拘らず同様の状態となる。
【０００５】ところで、カラー表示を行う場合には、液
晶表示素子にカラーフィルタが組み込まれる。図６は、
そのカラーフィルタが組み込まれた状態を示す断面図で
ある。つまり、表示媒体を挟んで設けられる一対の基板
の一方において、その表示媒体側に着色層（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）とブラックマトリックスとからなるカラーフィルタ
が設けられる。そのカラーフィルタの上には、オーバー
コート層と、液晶へ電圧を印加するための透明電極とが
形成される。
晶表示素子にカラーフィルタが組み込まれる。図６は、
そのカラーフィルタが組み込まれた状態を示す断面図で
ある。つまり、表示媒体を挟んで設けられる一対の基板
の一方において、その表示媒体側に着色層（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）とブラックマトリックスとからなるカラーフィルタ
が設けられる。そのカラーフィルタの上には、オーバー
コート層と、液晶へ電圧を印加するための透明電極とが
形成される。
【０００６】上記オーバーコート層は、カラーフィルタ
の表面が凹凸になっていると、現在使用されている液晶
表示モードがその凹凸により配向不良を引き起こすの
で、従来よりカラーフィルタの表面を平坦化するために
設けてある。その形成方法としては、電着法やカラーレ
ジストを使用した方法などがある。
の表面が凹凸になっていると、現在使用されている液晶
表示モードがその凹凸により配向不良を引き起こすの
で、従来よりカラーフィルタの表面を平坦化するために
設けてある。その形成方法としては、電着法やカラーレ
ジストを使用した方法などがある。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにカラーフィルタの表面を平坦にすると、上記広視
角表示モードの液晶表示素子を安定して作製できない。
つまり、表面が平坦であるカラーフィルタを用いた場
合、軸対称配向の軸位置を所望の位置、たとえば液晶領
域の中央部に配することが困難であり、安定して広視角
表示モードの液晶表示素子を作製することができない、
という問題があった。
ようにカラーフィルタの表面を平坦にすると、上記広視
角表示モードの液晶表示素子を安定して作製できない。
つまり、表面が平坦であるカラーフィルタを用いた場
合、軸対称配向の軸位置を所望の位置、たとえば液晶領
域の中央部に配することが困難であり、安定して広視角
表示モードの液晶表示素子を作製することができない、
という問題があった。
【０００８】本発明は、このような従来技術の課題を解
決すべくなされたものであり、軸対称配向の軸位置を所
望の位置に容易に配することができ、安定した広視角表
示モードの液晶表示素子を作製できるカラーフィルタお
よびその製造方法を提供することを目的とする。
決すべくなされたものであり、軸対称配向の軸位置を所
望の位置に容易に配することができ、安定した広視角表
示モードの液晶表示素子を作製できるカラーフィルタお
よびその製造方法を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
は、導電性の低い領域を有する導電層と、該導電層の上
に複数の着色層とを有し、各着色層が該導電性の低い領
域に対応する部分に凹部を有し、そのことにより上記目
的が達成される。
は、導電性の低い領域を有する導電層と、該導電層の上
に複数の着色層とを有し、各着色層が該導電性の低い領
域に対応する部分に凹部を有し、そのことにより上記目
的が達成される。
【００１０】本発明のカラーフィルタにおいて、前記導
電性の低い領域が、前記導電層に設けた細孔からなる構
成とすることができる。また、前記導電性の低い領域が
前記導電層に設けた細孔からなり、該細孔が前記導電層
を貫通して形成されて絶縁状態となっている構成とする
ことができる。また、前記導電性の低い領域が前記導電
層に設けた細孔からなり、該細孔が底部を有し、その周
辺の厚みより薄くなっている構成とすることができる。
電性の低い領域が、前記導電層に設けた細孔からなる構
成とすることができる。また、前記導電性の低い領域が
前記導電層に設けた細孔からなり、該細孔が前記導電層
を貫通して形成されて絶縁状態となっている構成とする
ことができる。また、前記導電性の低い領域が前記導電
層に設けた細孔からなり、該細孔が底部を有し、その周
辺の厚みより薄くなっている構成とすることができる。
【００１１】本発明のカラーフィルタにおいて、前記着
色層の上にオーバーコート層を有する構成や、前記着色
層の上に透明電極を有する構成、または前記オーバーコ
ート層の上に透明電極を有する構成とすることができ
る。
色層の上にオーバーコート層を有する構成や、前記着色
層の上に透明電極を有する構成、または前記オーバーコ
ート層の上に透明電極を有する構成とすることができ
る。
【００１２】本発明のカラーフィルタの製造方法は、基
板上に導電層を設け、該基板に電着を施して該導電層上
に複数の着色層を形成するカラーフィルタの製造方法に
おいて、各着色層が形成される領域の導電層の一部に導
電性の低い領域を設ける工程と、該基板に電着を施し
て、該導電性の低い領域に対応する部分に凹部を有する
着色層を形成する工程とを含み、そのことにより上記目
的が達成される。
板上に導電層を設け、該基板に電着を施して該導電層上
に複数の着色層を形成するカラーフィルタの製造方法に
おいて、各着色層が形成される領域の導電層の一部に導
電性の低い領域を設ける工程と、該基板に電着を施し
て、該導電性の低い領域に対応する部分に凹部を有する
着色層を形成する工程とを含み、そのことにより上記目
的が達成される。
【００１３】以下に、本発明の作用につき説明する。
【００１４】本発明にあっては、導電層の一部、たとえ
ば中央部に導電性の低い領域を設け、これに対して電着
を施して着色層を形成すると、導電性の低い領域に対応
する着色層部分では電着が起こり難いので、各着色層の
中央部に凹部が設けられる。このカラーフィルタを液晶
表示素子に組み込んだ場合、各着色層は液晶表示素子の
各絵素に対応して設けられる。より詳細には、カラーフ
ィルタの各着色層は、液晶表示素子の表示媒体である高
分子壁と、これで囲まれた液晶領域とのうちの液晶領域
に対応して配される設計とされる。このとき、液晶領域
を軸対称配向とする所定の処理を行うと、カラーフィル
タの各着色層の中央部に凹部が設けられている場合に
は、その液晶領域を軸対称配向にできると共にその軸位
置を凹部の最低点に配することが可能となる。そして、
このような液晶領域が形成された液晶表示素子において
は、液晶が安定配向し、高精細な画質を持つ、広視角表
示モードとなる。
ば中央部に導電性の低い領域を設け、これに対して電着
を施して着色層を形成すると、導電性の低い領域に対応
する着色層部分では電着が起こり難いので、各着色層の
中央部に凹部が設けられる。このカラーフィルタを液晶
表示素子に組み込んだ場合、各着色層は液晶表示素子の
各絵素に対応して設けられる。より詳細には、カラーフ
ィルタの各着色層は、液晶表示素子の表示媒体である高
分子壁と、これで囲まれた液晶領域とのうちの液晶領域
に対応して配される設計とされる。このとき、液晶領域
を軸対称配向とする所定の処理を行うと、カラーフィル
タの各着色層の中央部に凹部が設けられている場合に
は、その液晶領域を軸対称配向にできると共にその軸位
置を凹部の最低点に配することが可能となる。そして、
このような液晶領域が形成された液晶表示素子において
は、液晶が安定配向し、高精細な画質を持つ、広視角表
示モードとなる。
【００１５】なお、従来のカラーフィルタの製法では、
表面を平坦にすることを目的とするため、各着色層毎
に、換言すれば各絵素毎に凹部にすることは困難であ
り、さらに、凹部の最低点の位置を制御することはさら
に難しいものであった。
表面を平坦にすることを目的とするため、各着色層毎
に、換言すれば各絵素毎に凹部にすることは困難であ
り、さらに、凹部の最低点の位置を制御することはさら
に難しいものであった。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１７】本発明において各着色層に形成する凹部形
状とは、例えば、すり鉢状、逆円錐状、あるいは放物線
や平方根曲線を回転させて得られる形状などのように、
着色層の中心部ないし中心部付近が最低点となるように
くぼんだ形状をしていて、軸対称状に配向した液晶配向
を安定に形成かつ維持することができる形状を言う。ま
た、軸対称状に配向した液晶配向とは、放射状、同心円
状または渦巻状に液晶分子の長軸方向が向いている配向
状態を言う。
状とは、例えば、すり鉢状、逆円錐状、あるいは放物線
や平方根曲線を回転させて得られる形状などのように、
着色層の中心部ないし中心部付近が最低点となるように
くぼんだ形状をしていて、軸対称状に配向した液晶配向
を安定に形成かつ維持することができる形状を言う。ま
た、軸対称状に配向した液晶配向とは、放射状、同心円
状または渦巻状に液晶分子の長軸方向が向いている配向
状態を言う。
【００１８】本発明における凹部の形成は、着色層が形
成される領域内の所定の位置に導電性の低い領域が設け
られている導電層を有する基板を一方の電極として用
い、電着によって該導電層上に着色層を形成することに
より行う。より詳細には、まず、着色層が形成される領
域の導電層の所定の位置に導電性の低い領域を設け、そ
の後に電着を行うと、導電性の低い領域の存在によりそ
の部分の着色層が形成されにくくなり、結果的に導電性
の低い領域に凹部の最低点を有する着色層を形成でき
る。
成される領域内の所定の位置に導電性の低い領域が設け
られている導電層を有する基板を一方の電極として用
い、電着によって該導電層上に着色層を形成することに
より行う。より詳細には、まず、着色層が形成される領
域の導電層の所定の位置に導電性の低い領域を設け、そ
の後に電着を行うと、導電性の低い領域の存在によりそ
の部分の着色層が形成されにくくなり、結果的に導電性
の低い領域に凹部の最低点を有する着色層を形成でき
る。
【００１９】以下に、本発明のカラーフィルタの製造工
程および構造を、図１に従って説明する。
程および構造を、図１に従って説明する。
【００２０】図１（ａ）は、基板１上に透明電極からな
る導電層２が形成された状態を示す。
る導電層２が形成された状態を示す。
【００２１】用いる基板１としては、ガラス基板あるい
はプラスチック基板等の透明基板が挙げられる。基板の
厚みは特に限定しないが、後の工程で微細なレジストの
パターンを形成するためには、１．１ｍｍ以下、好まし
くは０．７ｍｍ程度の厚みがよい。さらに基板の平垣性
についても同様に、微細パターンを形成するためには平
坦なほどよい。
はプラスチック基板等の透明基板が挙げられる。基板の
厚みは特に限定しないが、後の工程で微細なレジストの
パターンを形成するためには、１．１ｍｍ以下、好まし
くは０．７ｍｍ程度の厚みがよい。さらに基板の平垣性
についても同様に、微細パターンを形成するためには平
坦なほどよい。
【００２２】このような基板１の上に、通常の方法によ
ってＩＴ０膜（錫をドープした酸化インジウム膜）また
はネサ膜（アンチモンをドープした酸化錫膜）などの導
電層を全面に形成し、エッチングなどの方法によって、
互いに絶縁された島状の透明電極（導電層）２にする。
この導電層２は、場合によっては、フォトリソグラフィ
手法などによって所望の形状を有する複数の透明導電性
回路に形成することもできる。
ってＩＴ０膜（錫をドープした酸化インジウム膜）また
はネサ膜（アンチモンをドープした酸化錫膜）などの導
電層を全面に形成し、エッチングなどの方法によって、
互いに絶縁された島状の透明電極（導電層）２にする。
この導電層２は、場合によっては、フォトリソグラフィ
手法などによって所望の形状を有する複数の透明導電性
回路に形成することもできる。
【００２３】導電層２の抵抗率は、特に制限されないが
低いほどよく、電着塗膜の膜厚分布、平滑性を向上する
ためには、３０Ω／□以下、好ましくは２０Ω／□以
下、さらに好ましくは１５Ω／□以下であることが望ま
れる。また、基板内での抵抗率分布も均一であるほど好
ましい。これらの条件を満たせば、原理上、基板の大き
さは制限を受けず、非常に大きな基板上にそれに応じた
大きさのカラーフィルタを作製できる。このことは、Ｌ
ＣＤの大画面化の要求を満たすものであり、また、カラ
ーフィルタの工業的生産性を向上することができるもの
であり、電着法を用いる本発明の大きな利点の一つであ
る。
低いほどよく、電着塗膜の膜厚分布、平滑性を向上する
ためには、３０Ω／□以下、好ましくは２０Ω／□以
下、さらに好ましくは１５Ω／□以下であることが望ま
れる。また、基板内での抵抗率分布も均一であるほど好
ましい。これらの条件を満たせば、原理上、基板の大き
さは制限を受けず、非常に大きな基板上にそれに応じた
大きさのカラーフィルタを作製できる。このことは、Ｌ
ＣＤの大画面化の要求を満たすものであり、また、カラ
ーフィルタの工業的生産性を向上することができるもの
であり、電着法を用いる本発明の大きな利点の一つであ
る。
【００２４】次に、図１（ａ）に示すように、電着用導
電層２に導電性の低い領域、図示例では貫通する細孔３
を作製する。
電層２に導電性の低い領域、図示例では貫通する細孔３
を作製する。
【００２５】導電性の低い領域の形状としては、例え
ば、その平面形状が正方形、円形、楕円形などである細
孔が好ましく、この細孔３は、導電層を貫通する細孔で
あってもよいが、図２に示すように、電気抵抗が大きい
場合にはその電気抵抗に応じた厚みの導電層を底部に有
する、貫通しない細孔３ａが好適である。その底部の導
電層の厚みは薄くすると電気抵抗を大きくできる。この
ような細孔の平面形状の大きさは、着色層の大きさや膜
厚によって適宜設定されるが、通常、最大幅が約５μｍ
〜３０μｍであるのがよい。また、その深さは、導電層
を貫通する場合は当然に導電層の膜厚に相当する深さで
あり、底部に導電層を有する細孔の場合は、電着量を導
電性領域と明確に区別するために、底部導電層の膜厚を
約１オングストローム〜５００オングストロームとする
のがよい。
ば、その平面形状が正方形、円形、楕円形などである細
孔が好ましく、この細孔３は、導電層を貫通する細孔で
あってもよいが、図２に示すように、電気抵抗が大きい
場合にはその電気抵抗に応じた厚みの導電層を底部に有
する、貫通しない細孔３ａが好適である。その底部の導
電層の厚みは薄くすると電気抵抗を大きくできる。この
ような細孔の平面形状の大きさは、着色層の大きさや膜
厚によって適宜設定されるが、通常、最大幅が約５μｍ
〜３０μｍであるのがよい。また、その深さは、導電層
を貫通する場合は当然に導電層の膜厚に相当する深さで
あり、底部に導電層を有する細孔の場合は、電着量を導
電性領域と明確に区別するために、底部導電層の膜厚を
約１オングストローム〜５００オングストロームとする
のがよい。
【００２６】導電性の低い領域の断面形状は、特に制限
されないが、上部側の幅と底部側の幅が同じか、また
は、底部側の幅が上部側の幅より若干小さい形状が好ま
しい。
されないが、上部側の幅と底部側の幅が同じか、また
は、底部側の幅が上部側の幅より若干小さい形状が好ま
しい。
【００２７】導電性の低い領域を設ける位置は、特に制
限されないが、この領域に軸対称配向の中心部分が固定
されるため、望ましい形状の凹部を有する着色層を形成
するためには、着色層が形成される領域の導電層のほぼ
中心部がよい。
限されないが、この領域に軸対称配向の中心部分が固定
されるため、望ましい形状の凹部を有する着色層を形成
するためには、着色層が形成される領域の導電層のほぼ
中心部がよい。
【００２８】このような導電性の低い領域の形成方式と
しては、レーザー、スパッタリング等のドライエッチン
グ法や、化学薬品を含むエッチング液を用いて行うウェ
ットエッチング法を用いることができる。生産性やコス
トの観点からはウェットエッチング法が好ましい。レー
ザ一等によるドライエッチングの場合は、機械的に直接
所定の位置に導電性の低い領域を形成することもできる
が、通常は、よく知られているフォトリソグラフィ手法
によって所定の位置に導電性の低い領域を設けることが
できる。導電層をフォトリソグラフィ手法によって回路
状に形成する場合は、それと同時に導電性の低い領域を
設けることが工業的に有利である。
しては、レーザー、スパッタリング等のドライエッチン
グ法や、化学薬品を含むエッチング液を用いて行うウェ
ットエッチング法を用いることができる。生産性やコス
トの観点からはウェットエッチング法が好ましい。レー
ザ一等によるドライエッチングの場合は、機械的に直接
所定の位置に導電性の低い領域を形成することもできる
が、通常は、よく知られているフォトリソグラフィ手法
によって所定の位置に導電性の低い領域を設けることが
できる。導電層をフォトリソグラフィ手法によって回路
状に形成する場合は、それと同時に導電性の低い領域を
設けることが工業的に有利である。
【００２９】次に、図１（ｂ）に示すように、ブラック
マトリックス（遮光層）４を形成する。このブラックマ
トリックス４は、既存のスクリーン印刷法、スピンコー
ト法またはロールコート法等の通常の膜形成方法で導電
層を有する基板の全面に塗布して遮光性塗膜を形成し、
その後、以下に説明する窓開け工程、露光工程、現像工
程および熱処理工程を経て形成する。
マトリックス（遮光層）４を形成する。このブラックマ
トリックス４は、既存のスクリーン印刷法、スピンコー
ト法またはロールコート法等の通常の膜形成方法で導電
層を有する基板の全面に塗布して遮光性塗膜を形成し、
その後、以下に説明する窓開け工程、露光工程、現像工
程および熱処理工程を経て形成する。
【００３０】上記スクリーン印刷法等の膜形成方法にて
形成された遮光性塗膜の膜厚は、遮光層が所定の膜厚に
なるように調整する。遮光層の膜厚は、カラーフィルタ
が用いられるＬＣＤの種類にもよるが、通常、約０．２
μｍ〜５μｍ程度である。遮光性、パターニング性およ
び着色層の膜厚などを考慮すると、０．８μｍ〜３μｍ
程度が好ましい。
形成された遮光性塗膜の膜厚は、遮光層が所定の膜厚に
なるように調整する。遮光層の膜厚は、カラーフィルタ
が用いられるＬＣＤの種類にもよるが、通常、約０．２
μｍ〜５μｍ程度である。遮光性、パターニング性およ
び着色層の膜厚などを考慮すると、０．８μｍ〜３μｍ
程度が好ましい。
【００３１】遮光層の材料としては、耐熱性や耐溶剤性
等の特性を持った、たとえばアクリル樹脂、ポリエステ
ル樹脂、ポリイミド樹脂等からなる感光性材料に、遮光
性のある顔料等、たとえばカーボンブラックまたはチタ
ンブラック等を分散させたものを使用する。但し、もち
ろんこれらのものに限定されるものではなく、遮光性が
あり、一定の特性を満たす材料であれば何でもよい。一
例としては、例えば、一般に市販されているブラック材
料含有感光性樹脂、具体的な品名としては、富士ハント
エレクトロニクステクノロジー社製ＣＦＰＲ−ＢＫ５５
０Ｓ（商品名）、新日鉄化学社製Ｖ２５９−ＢＫ０（商
品名）などを使用できる。
等の特性を持った、たとえばアクリル樹脂、ポリエステ
ル樹脂、ポリイミド樹脂等からなる感光性材料に、遮光
性のある顔料等、たとえばカーボンブラックまたはチタ
ンブラック等を分散させたものを使用する。但し、もち
ろんこれらのものに限定されるものではなく、遮光性が
あり、一定の特性を満たす材料であれば何でもよい。一
例としては、例えば、一般に市販されているブラック材
料含有感光性樹脂、具体的な品名としては、富士ハント
エレクトロニクステクノロジー社製ＣＦＰＲ−ＢＫ５５
０Ｓ（商品名）、新日鉄化学社製Ｖ２５９−ＢＫ０（商
品名）などを使用できる。
【００３２】次いで、前記窓開け工程を行う。この工程
では、遮光性塗膜を窓枠状にパターニングして透明導電
層上に窓状に開放されている部分、つまり窓開き部分を
設ける。窓開き部分のパターンは、各ＬＣＤ画面に応じ
て決定される。たとえば、５インチ以下程度の小さい画
面では、デルタ配列やモザイク配列等が用いられ、それ
以上の大きい画面では主としてストライプ配列が用いら
れる。この場合、前記導電層に設けた導電性の低い領域
が、窓開き部分のほぼ中心部に配置されるように遮光性
塗膜をパターニングすることが望まれる。
では、遮光性塗膜を窓枠状にパターニングして透明導電
層上に窓状に開放されている部分、つまり窓開き部分を
設ける。窓開き部分のパターンは、各ＬＣＤ画面に応じ
て決定される。たとえば、５インチ以下程度の小さい画
面では、デルタ配列やモザイク配列等が用いられ、それ
以上の大きい画面では主としてストライプ配列が用いら
れる。この場合、前記導電層に設けた導電性の低い領域
が、窓開き部分のほぼ中心部に配置されるように遮光性
塗膜をパターニングすることが望まれる。
【００３３】基板上に形成された遮光性塗膜は、必要に
応じて乾燥のため熱処理（プリベーキング）される。熱
処理を行うことにより、遮光性塗膜が予備硬化され、基
板との密着性が向上する。
応じて乾燥のため熱処理（プリベーキング）される。熱
処理を行うことにより、遮光性塗膜が予備硬化され、基
板との密着性が向上する。
【００３４】次いで、前記露光工程を行う。この工程で
は、遮光性塗膜パターンを形成するためのパターンの透
光部を有するフォトマスクを介して露光する。
は、遮光性塗膜パターンを形成するためのパターンの透
光部を有するフォトマスクを介して露光する。
【００３５】照射される光については、感光性樹脂の種
類により、種々の範囲の波長の光を使用できるが、一般
的にはＵＶ領域の光が好ましく、光源として、高圧水銀
灯、メタルハライドランプ等を使用した装置を用いるこ
とができる。露光方式については、特に限定されず、コ
ンベア方式、プロキシミティー方式、ミラープロジェク
ション方式、ステッパー方式等のいずれの方式でも用い
ることができる。生産性を上げるためには、プロキシミ
ティー方式、または、ミラープロジエクション方式を用
いるのが好ましい。また、露光量としては、遮光性塗膜
の特性にもよるが、通常は１ｍＪ／ｃｍ2〜５０００ｍ
Ｊ／ｃｍ2の範囲である。
類により、種々の範囲の波長の光を使用できるが、一般
的にはＵＶ領域の光が好ましく、光源として、高圧水銀
灯、メタルハライドランプ等を使用した装置を用いるこ
とができる。露光方式については、特に限定されず、コ
ンベア方式、プロキシミティー方式、ミラープロジェク
ション方式、ステッパー方式等のいずれの方式でも用い
ることができる。生産性を上げるためには、プロキシミ
ティー方式、または、ミラープロジエクション方式を用
いるのが好ましい。また、露光量としては、遮光性塗膜
の特性にもよるが、通常は１ｍＪ／ｃｍ2〜５０００ｍ
Ｊ／ｃｍ2の範囲である。
【００３６】さらに必要であれば、露光された遮光性塗
膜に熱処理を施す。これは、ポストエクスポージャーべ
一ク（ＰＥＢ）と呼ばれ、露光によって引き起こされた
反応を熱によって促進させ、光が照射された部分を完全
に硬化（または分解）させるために行う。
膜に熱処理を施す。これは、ポストエクスポージャーべ
一ク（ＰＥＢ）と呼ばれ、露光によって引き起こされた
反応を熱によって促進させ、光が照射された部分を完全
に硬化（または分解）させるために行う。
【００３７】次いで、前記現像工程を行う。この工程で
は、用いた感光性樹脂がネガ型のときは遮光部分を、ポ
ジ型のときは露光部分を溶解除去する。現像は適当な溶
解力を有する薬剤、例えば現像液に接触させることによ
り行う。
は、用いた感光性樹脂がネガ型のときは遮光部分を、ポ
ジ型のときは露光部分を溶解除去する。現像は適当な溶
解力を有する薬剤、例えば現像液に接触させることによ
り行う。
【００３８】最後に、前記熱処理工程を行う。この熱処
理（ポストベーキング）の工程は、現像して形成された
窓枠状の遮光層を固定させ、基板との密着性を上げる目
的で行う。この熱処理の温度については、プリベーキン
グやＰＥＢよりも高い温度で行うのがよく、材料によっ
ても異なるが、通常、１１０℃〜２７０℃、５分〜１８
０分程度である。熱処理温度を上げて条件を厳しくする
と、基板との密着性は向上するが、材料によってはかえ
って脆くなるものもあり、適度な条件で行うのがよい。
理（ポストベーキング）の工程は、現像して形成された
窓枠状の遮光層を固定させ、基板との密着性を上げる目
的で行う。この熱処理の温度については、プリベーキン
グやＰＥＢよりも高い温度で行うのがよく、材料によっ
ても異なるが、通常、１１０℃〜２７０℃、５分〜１８
０分程度である。熱処理温度を上げて条件を厳しくする
と、基板との密着性は向上するが、材料によってはかえ
って脆くなるものもあり、適度な条件で行うのがよい。
【００３９】このようにして、基板１の上に窓枠状のブ
ラックマトリックス（遮光層）４が形成される。
ラックマトリックス（遮光層）４が形成される。
【００４０】なお、このようにして、窓枠状の遮光層を
形成し、導電層の表面を窓状に露出することができる
が、窓枠状の遮光層は、上記した感光性樹脂材料を用い
る方法以外の方法によっても形成することができる。例
えば、特開昭６１−２７２７２０号公報に記載された方
法に準じて電着法によっても形成することができる。
形成し、導電層の表面を窓状に露出することができる
が、窓枠状の遮光層は、上記した感光性樹脂材料を用い
る方法以外の方法によっても形成することができる。例
えば、特開昭６１−２７２７２０号公報に記載された方
法に準じて電着法によっても形成することができる。
【００４１】また、導電層における導電性の低い領域
は、窓枠状の遮光層を形成した後に設けることもでき
る。
は、窓枠状の遮光層を形成した後に設けることもでき
る。
【００４２】次に、図１（ｃ）に示すように、着色層
（Ｒ、Ｇ、Ｂ）５を電着により形成する。この電着は、
上述のようにして遮光層４が窓枠状に形成され、下層の
導電層２が窓状に露出している基板１を一方の電極と
し、対向電極とともに電着液に浸漬し、電着することに
よって行われる。
（Ｒ、Ｇ、Ｂ）５を電着により形成する。この電着は、
上述のようにして遮光層４が窓枠状に形成され、下層の
導電層２が窓状に露出している基板１を一方の電極と
し、対向電極とともに電着液に浸漬し、電着することに
よって行われる。
【００４３】対向電極は、その材質が電着液と反応を起
こさない導電体であれば特に限定されず、たとえばステ
ンレス製のプレート状導電体が典型例としてあげられ
る。そのようなプレート状導電体は板状であってもよい
が、電着塗膜の膜厚分布、平滑性をさらに向上するため
には金網状が好ましく、また、その形状は基板と全く異
なる形であっても差し支えないが、好ましくは、基板と
同型、又は相似形である。
こさない導電体であれば特に限定されず、たとえばステ
ンレス製のプレート状導電体が典型例としてあげられ
る。そのようなプレート状導電体は板状であってもよい
が、電着塗膜の膜厚分布、平滑性をさらに向上するため
には金網状が好ましく、また、その形状は基板と全く異
なる形であっても差し支えないが、好ましくは、基板と
同型、又は相似形である。
【００４４】電着は、一般に公知の方法で行うことがで
きる。電着法には、アニオン系とカチオン系があり、本
発明においてはいずれの方法も使用可能であるが、回路
への影響が少ないことなどからアニオン系電着法が好ま
しい。電着に用いる電着液の樹脂材料（バインダー）と
しては、マレイン化油系、アクリル系、ポリエステル
系、ポリブタジエン系、ポリオレフィン系などの樹脂が
挙げられ、熱硬化性または光硬化性の樹脂であってもか
まわない。これらは、それぞれ単独で、あるいは混合し
て使用できる。これらのバインダーに染料、顔料などの
所望の色相を有する色素を配合することにより、所望の
色、たとえばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の任意の色
の着色層を形成できる。また、電着液は、一般に、バイ
ンダー、色素等の成分を適当な溶媒に分散、溶解、希釈
して調製することができる。溶媒としては、水および有
機溶剤などが使用される。
きる。電着法には、アニオン系とカチオン系があり、本
発明においてはいずれの方法も使用可能であるが、回路
への影響が少ないことなどからアニオン系電着法が好ま
しい。電着に用いる電着液の樹脂材料（バインダー）と
しては、マレイン化油系、アクリル系、ポリエステル
系、ポリブタジエン系、ポリオレフィン系などの樹脂が
挙げられ、熱硬化性または光硬化性の樹脂であってもか
まわない。これらは、それぞれ単独で、あるいは混合し
て使用できる。これらのバインダーに染料、顔料などの
所望の色相を有する色素を配合することにより、所望の
色、たとえばＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の任意の色
の着色層を形成できる。また、電着液は、一般に、バイ
ンダー、色素等の成分を適当な溶媒に分散、溶解、希釈
して調製することができる。溶媒としては、水および有
機溶剤などが使用される。
【００４５】電着液槽としては、電着液を保持できる材
質の絶縁物であれば特に限定されず、たとえば、硬質塩
化ビニール、アクリル樹脂等のプラスチック製の電着液
槽が用いられる。
質の絶縁物であれば特に限定されず、たとえば、硬質塩
化ビニール、アクリル樹脂等のプラスチック製の電着液
槽が用いられる。
【００４６】このような電着液槽内に上記の電着液を入
れ、基板および対向電極をそれぞれが対峠するように平
行に設置する。この際、基板は、その中心部が対向電極
の中心部と一致するように設置することが好ましい。こ
のとき、アニオン電着を行う場合は、上記の基板の導電
層を陽極とし、対向電極を陰極として直流電圧を印加す
ると、その導電層上に着色層が形成される。
れ、基板および対向電極をそれぞれが対峠するように平
行に設置する。この際、基板は、その中心部が対向電極
の中心部と一致するように設置することが好ましい。こ
のとき、アニオン電着を行う場合は、上記の基板の導電
層を陽極とし、対向電極を陰極として直流電圧を印加す
ると、その導電層上に着色層が形成される。
【００４７】電着条件としては、通常、電圧１０〜３０
０Ｖ、電圧印加時間１秒〜３分程度の電着条件で行うこ
とができる。着色層の膜厚は、電着条件を適宜選択する
ことにより容易に制御することができる。
０Ｖ、電圧印加時間１秒〜３分程度の電着条件で行うこ
とができる。着色層の膜厚は、電着条件を適宜選択する
ことにより容易に制御することができる。
【００４８】電着塗膜形成後はよく洗浄して不要物質を
除去することが望ましい。塗膜強度を高めるために、必
要により、１００℃〜２８０℃、１０分〜１２０分の条
件で熱処理することができる。
除去することが望ましい。塗膜強度を高めるために、必
要により、１００℃〜２８０℃、１０分〜１２０分の条
件で熱処理することができる。
【００４９】以上のようにして電着を行うと、導電層に
形成された導電性の低い領域に対応する着色層部分では
電着層が形成されにくくなり、結果的に導電性の低い領
域に凹部を有する着色層を形成できる。
形成された導電性の低い領域に対応する着色層部分では
電着層が形成されにくくなり、結果的に導電性の低い領
域に凹部を有する着色層を形成できる。
【００５０】次に、図１（ｄ）に示すように、着色層５
およびブラックマトリックス４の上を覆ってオーバーコ
ート層６を形成し、続いて、図１（ｅ）に示すようにオ
ーバーコート層６の上に対向電極等として用いられる透
明電極７を形成する。なお、オーバーコート層６の形成
を省略して、透明電極７を直接着色層５およびブラック
マトリックス４の上を覆うように形成してもよい。
およびブラックマトリックス４の上を覆ってオーバーコ
ート層６を形成し、続いて、図１（ｅ）に示すようにオ
ーバーコート層６の上に対向電極等として用いられる透
明電極７を形成する。なお、オーバーコート層６の形成
を省略して、透明電極７を直接着色層５およびブラック
マトリックス４の上を覆うように形成してもよい。
【００５１】したがって、以上のようにして製造する
と、図１（ｅ）に示すように、平面形状が窓状である着
色層の外側の窓枠状をした間隙が遮光層によって埋めら
れてなるカラーフィルタを工業的有利に製造することが
できる。また、本発明のカラーフィルタは、軸対称配向
の液晶領域を有する広視角表示モードの液晶表示素子に
適応させると、ざらつきを低減することができる。つま
り、軸対称配向を各絵素ごと形成させる場合、基板上の
表面構造が重要になってくる。特に、絵素中のセル厚の
最も厚い領域に軸位置が固定されることが観察結果から
分かっており、セル厚の最大点を絵素中央部に設定する
ことにより軸位置を絵素中央部に固定できる。従って、
絵素中央部に向かって連続的に傾斜がついているカラー
フィルタ一を用いセルを形成し、該セル中で軸対称配向
させることにより、軸対称配向の配向軸が絵素の中心部
に揃った液晶領域を有する、すなわち、ざらつき感のな
い軸対称配向モードが作製される。
と、図１（ｅ）に示すように、平面形状が窓状である着
色層の外側の窓枠状をした間隙が遮光層によって埋めら
れてなるカラーフィルタを工業的有利に製造することが
できる。また、本発明のカラーフィルタは、軸対称配向
の液晶領域を有する広視角表示モードの液晶表示素子に
適応させると、ざらつきを低減することができる。つま
り、軸対称配向を各絵素ごと形成させる場合、基板上の
表面構造が重要になってくる。特に、絵素中のセル厚の
最も厚い領域に軸位置が固定されることが観察結果から
分かっており、セル厚の最大点を絵素中央部に設定する
ことにより軸位置を絵素中央部に固定できる。従って、
絵素中央部に向かって連続的に傾斜がついているカラー
フィルタ一を用いセルを形成し、該セル中で軸対称配向
させることにより、軸対称配向の配向軸が絵素の中心部
に揃った液晶領域を有する、すなわち、ざらつき感のな
い軸対称配向モードが作製される。
【００５２】なお、本発明は、以下の方法を採用するこ
とができる。たとえば前出特開昭６１−２７２７２０号
公報に記載された方法によって窓状の着色層を形成した
後、窓枠状の感光性樹脂塗膜を剥離し、次いで、例え
ば、特開昭６２−２４７３３１号公報などに記載されて
いる背面露光法によってブラックマトリックスと呼ばれ
ている窓枠状の遮光層を形成する方法を採用できる。ま
た、遮光層の形成方法としては、金属あるいは金属酸化
物を遮光層形成材料として用いる方法などを採用でき
る。
とができる。たとえば前出特開昭６１−２７２７２０号
公報に記載された方法によって窓状の着色層を形成した
後、窓枠状の感光性樹脂塗膜を剥離し、次いで、例え
ば、特開昭６２−２４７３３１号公報などに記載されて
いる背面露光法によってブラックマトリックスと呼ばれ
ている窓枠状の遮光層を形成する方法を採用できる。ま
た、遮光層の形成方法としては、金属あるいは金属酸化
物を遮光層形成材料として用いる方法などを採用でき
る。
【００５３】
【実施例】以下に、本発明の実施例を説明する。なお、
本発明は、この実施例に限定されるものではない。
本発明は、この実施例に限定されるものではない。
【００５４】（実施例１）公知の方法により、赤、緑、
青の顔料をそれぞれエスビアＥＤ−３０００クリアー
（アニオン性ポリエステル樹脂系電着用塗科、神東塗料
社製）に分散させて、電着用の赤色、緑色、青色の各電
着液を調製した。
青の顔料をそれぞれエスビアＥＤ−３０００クリアー
（アニオン性ポリエステル樹脂系電着用塗科、神東塗料
社製）に分散させて、電着用の赤色、緑色、青色の各電
着液を調製した。
【００５５】かかる準備が完了すると、縦３５０ｍｍ、
横３００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍのガラス基板の表面に、
抵抗率が１５Ω／□であるＩＴＯを用いて、３０μｍの
間隔をおいて７０μｍ幅（１００μｍピッチ）の短冊状
をした島状導電層を形成した。また、導電層の非形成部
分に、膜厚が２．０μｍの窓枠状のカラーフィルタ（遮
光層）を形成し、更に、窓状に露出している導電層のほ
ぼ中心部に、直径が１０μｍの円形の貫通している細孔
を形成した。ここで、島状導電層のパターニング及び円
形の細孔の形成は通常のホトリソグラフィにより行い、
カラーフィルタ（遮光層）の形成は、黒色顔科を分散し
たネガ型レジスト（商品名Ｖ２５９−ＢＫＯ，新日鉄化
学社製）を用い、通常のホトリソグラフィーでパターニ
ングし、焼成、硬化させて形成した。
横３００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍのガラス基板の表面に、
抵抗率が１５Ω／□であるＩＴＯを用いて、３０μｍの
間隔をおいて７０μｍ幅（１００μｍピッチ）の短冊状
をした島状導電層を形成した。また、導電層の非形成部
分に、膜厚が２．０μｍの窓枠状のカラーフィルタ（遮
光層）を形成し、更に、窓状に露出している導電層のほ
ぼ中心部に、直径が１０μｍの円形の貫通している細孔
を形成した。ここで、島状導電層のパターニング及び円
形の細孔の形成は通常のホトリソグラフィにより行い、
カラーフィルタ（遮光層）の形成は、黒色顔科を分散し
たネガ型レジスト（商品名Ｖ２５９−ＢＫＯ，新日鉄化
学社製）を用い、通常のホトリソグラフィーでパターニ
ングし、焼成、硬化させて形成した。
【００５６】次に、上記電着液中に、このガラス基板を
対向電極とともに配置し、赤、緑、青の各色電着液で電
着を行った。電着は、３０℃、５０Ｖ、１０秒の条件で
行い、基板を電着液から取り出した後は、十分に水洗い
した。この基板を２６０℃、６０分間焼成、硬化を行
い、３色の着色層を形成した。
対向電極とともに配置し、赤、緑、青の各色電着液で電
着を行った。電着は、３０℃、５０Ｖ、１０秒の条件で
行い、基板を電着液から取り出した後は、十分に水洗い
した。この基板を２６０℃、６０分間焼成、硬化を行
い、３色の着色層を形成した。
【００５７】着色層は、図１（ｅ）に示すように、導電
層上の遮光層の窓開き部分のみに正確に形成されてお
り、着色層の断面形状はその中央部を最低点とする良好
な凹状であった。
層上の遮光層の窓開き部分のみに正確に形成されてお
り、着色層の断面形状はその中央部を最低点とする良好
な凹状であった。
【００５８】（比較例１）比較例１は、導電性の低い領
域無しでカラーフィルタを作製する場合である。
域無しでカラーフィルタを作製する場合である。
【００５９】比較例１では、電着用導電層を形成するホ
トマスクを変更し、実施例１と同様にカラーフィルタを
作製した。
トマスクを変更し、実施例１と同様にカラーフィルタを
作製した。
【００６０】このようにして作製したカラーフィルタ
は、図６に示すように、平坦な形状となっていた。
は、図６に示すように、平坦な形状となっていた。
【００６１】また、導電性の低い領域（貫通する円形の
細孔）の径を変化させて、実施例１と同様にカラーフィ
ルタを作製したところ、径が３０μｍ以上では、電着時
に導電性の低い領域が着色層で埋まることがなく、光り
抜けや、色純度の低下を起こした。逆に、径が５μｍ以
下では、着色層の中央部分を凹ませる効果が小さかっ
た。
細孔）の径を変化させて、実施例１と同様にカラーフィ
ルタを作製したところ、径が３０μｍ以上では、電着時
に導電性の低い領域が着色層で埋まることがなく、光り
抜けや、色純度の低下を起こした。逆に、径が５μｍ以
下では、着色層の中央部分を凹ませる効果が小さかっ
た。
【００６２】（実施例２）この実施例２は、底部が薄い
細孔からなる導電性の低い領域を着色層に形成した場合
である。
細孔からなる導電性の低い領域を着色層に形成した場合
である。
【００６３】本実施例２では、比較例１と同様のパター
ンのホトマスクで導電層をパターン化し、さらにその導
電層の上であって絵素中心部に当たる部分に、ホトリソ
グラフィーを用いてレジストの穴（直径３０μｍ）を形
成し、導電層の厚みが１／３程度になるようにエッチン
グを実施した。その後、実施例１と同様にして、図２に
示すカラーフィルタを作製した。
ンのホトマスクで導電層をパターン化し、さらにその導
電層の上であって絵素中心部に当たる部分に、ホトリソ
グラフィーを用いてレジストの穴（直径３０μｍ）を形
成し、導電層の厚みが１／３程度になるようにエッチン
グを実施した。その後、実施例１と同様にして、図２に
示すカラーフィルタを作製した。
【００６４】本カラーフィルタは、導電性の低い領域の
径が３０μｍと大きいにもかかわらず電気伝導性が低い
ながら維持されているために、色抜けを起こすことはな
かった。
径が３０μｍと大きいにもかかわらず電気伝導性が低い
ながら維持されているために、色抜けを起こすことはな
かった。
【００６５】次に、上述した実施例１、２および比較例
１のカラーフィルタを使用し、３種類の液晶表示素子を
作製した。
１のカラーフィルタを使用し、３種類の液晶表示素子を
作製した。
【００６６】まず、カラーフィルタを備えたカラーフィ
ルタ基板と対向配設されるＴＦＴ基板側の作製を行う。
このとき、ＴＦＴ基板上には、絵素電極と、その絵素電
極を駆動するスイッチング素子としての薄膜トランジス
タ（ＴＦＴ）とを形成すると共に、レジスト材料で各絵
素電極の周りに格子状をしたレジスト壁を形成した。
ルタ基板と対向配設されるＴＦＴ基板側の作製を行う。
このとき、ＴＦＴ基板上には、絵素電極と、その絵素電
極を駆動するスイッチング素子としての薄膜トランジス
タ（ＴＦＴ）とを形成すると共に、レジスト材料で各絵
素電極の周りに格子状をしたレジスト壁を形成した。
【００６７】次に、このＴＦＴ基板と、上記カラーフィ
ルタ基板とを、貼り合わせると共に、両基板間の周辺で
あって表示領域外にシールを配してセルを作製した。
ルタ基板とを、貼り合わせると共に、両基板間の周辺で
あって表示領域外にシールを配してセルを作製した。
【００６８】次に、上記セル中に、少なくとも液晶材料
と光硬化性モノマーとを混合した混合物を注入した。
と光硬化性モノマーとを混合した混合物を注入した。
【００６９】次に、軸対称配向操作を行い軸対称配向状
態を作製し、その後、光照射を行って光硬化性モノマー
を硬化させて軸対称配向を安定させた。これにより、絵
素電極部分に液晶領域が存在し、その液晶領域を囲んで
高分子壁が形成される。なお、光照射部分が高分子壁と
なり、非光照射部分が液晶領域となる。
態を作製し、その後、光照射を行って光硬化性モノマー
を硬化させて軸対称配向を安定させた。これにより、絵
素電極部分に液晶領域が存在し、その液晶領域を囲んで
高分子壁が形成される。なお、光照射部分が高分子壁と
なり、非光照射部分が液晶領域となる。
【００７０】以上のようにして作製した液晶表示素子を
偏光顕微鏡で観察したところ、実施例１、２のカラーフ
ィルタ基板を使用した液晶表示素子では、液晶領域は、
一区画ごとに軸位置が完全に制御されていた。これに対
して、比較例１のカラーフィルタ基板を使用した液晶表
示素子では、複数の絵素で軸対称配向の配向軸がずれて
いた。その結果、各液晶表示素子を駆動して表示させて
みると、実施例１、２のカラーフィルタ基板を使用した
液晶表示素子では、図３（ａ）および図４（ａ）に示す
ようにざらつきがないが、比較例１のカラーフィルタ基
板を使用した液晶表示素子では、図３（ｂ）および図４
（ｂ）に示すように中間調状態で、かつ、視角を倒した
ときにざらつきが観測された。なお、図３は、液晶を挟
んで２枚の偏光板を設けるとき、パラレルニコル状態と
したものを正面から偏光顕微鏡により観察した結果を示
す図であり、（ａ）は軸ずれなしの場合、（ｂ）は軸ず
れありの場合を示す。図４は、液晶を挟んで２枚の偏光
板を設けるとき、直交ニコル状態とし、かつ、セルを傾
けて偏光顕微鏡により観察した結果を示す図であり、
（ａ）は軸ずれなしの場合、（ｂ）は軸ずれありの場合
を示す。
偏光顕微鏡で観察したところ、実施例１、２のカラーフ
ィルタ基板を使用した液晶表示素子では、液晶領域は、
一区画ごとに軸位置が完全に制御されていた。これに対
して、比較例１のカラーフィルタ基板を使用した液晶表
示素子では、複数の絵素で軸対称配向の配向軸がずれて
いた。その結果、各液晶表示素子を駆動して表示させて
みると、実施例１、２のカラーフィルタ基板を使用した
液晶表示素子では、図３（ａ）および図４（ａ）に示す
ようにざらつきがないが、比較例１のカラーフィルタ基
板を使用した液晶表示素子では、図３（ｂ）および図４
（ｂ）に示すように中間調状態で、かつ、視角を倒した
ときにざらつきが観測された。なお、図３は、液晶を挟
んで２枚の偏光板を設けるとき、パラレルニコル状態と
したものを正面から偏光顕微鏡により観察した結果を示
す図であり、（ａ）は軸ずれなしの場合、（ｂ）は軸ず
れありの場合を示す。図４は、液晶を挟んで２枚の偏光
板を設けるとき、直交ニコル状態とし、かつ、セルを傾
けて偏光顕微鏡により観察した結果を示す図であり、
（ａ）は軸ずれなしの場合、（ｂ）は軸ずれありの場合
を示す。
【００７１】
【発明の効果】以上詳述したように本発明による場合に
は、軸対称配向の軸位置を所望の位置に容易に配するこ
とができ、安定した広視角表示モードの液晶表示素子を
作製できるカラーフィルタを提供できる。このカラーフ
ィルタを使用した液晶表示素子は、１絵素内に液晶分子
が絵素の中心部を中心に軸対称状に配向した状態とな
り、視角を変化させたときに見られるざらつきを低減す
ることができ、均一でコントラストの高い広視角表示モ
ードとなる。
は、軸対称配向の軸位置を所望の位置に容易に配するこ
とができ、安定した広視角表示モードの液晶表示素子を
作製できるカラーフィルタを提供できる。このカラーフ
ィルタを使用した液晶表示素子は、１絵素内に液晶分子
が絵素の中心部を中心に軸対称状に配向した状態とな
り、視角を変化させたときに見られるざらつきを低減す
ることができ、均一でコントラストの高い広視角表示モ
ードとなる。
【００７２】また、本発明方法にあっては、通常のカラ
ーフィルタの電着製造工程をホトマスク変更だけで実現
でき、高精度に表面形状が制御されたカラーフィルタを
従来と同様に、安価に製造できる。
ーフィルタの電着製造工程をホトマスク変更だけで実現
でき、高精度に表面形状が制御されたカラーフィルタを
従来と同様に、安価に製造できる。
【図１】本発明のカラーフィルタの作製工程を説明する
ための工程図（断面図）である。
ための工程図（断面図）である。
【図２】本発明の他の実施形態に係るカラーフィルタを
示す断面図であり、実施例２で作製したカラーフィルタ
を示す。
示す断面図であり、実施例２で作製したカラーフィルタ
を示す。
【図３】液晶を挟んで２枚の偏光板を設けるとき、パラ
レルニコル状態としたものを正面から偏光顕微鏡により
観察した結果を示す図であり、（ａ）は軸ずれなしの場
合、（ｂ）は軸ずれありの場合を示す。
レルニコル状態としたものを正面から偏光顕微鏡により
観察した結果を示す図であり、（ａ）は軸ずれなしの場
合、（ｂ）は軸ずれありの場合を示す。
【図４】液晶を挟んで２枚の偏光板を設けるとき、直交
ニコル状態とし、かつ、セルを傾けて偏光顕微鏡により
観察した結果を示す図であり、（ａ）は軸ずれなしの場
合、（ｂ）は軸ずれありの場合を示す。
ニコル状態とし、かつ、セルを傾けて偏光顕微鏡により
観察した結果を示す図であり、（ａ）は軸ずれなしの場
合、（ｂ）は軸ずれありの場合を示す。
【図５】ＴＮモードと、広視角表示モ一ドとの視角によ
るコントラスト変化の説明図であり、（ａ）〜（ｃ）は
ＴＮモードの場合、（ｄ）〜（ｆ）は広視角表示モ一ド
の場合を示す。
るコントラスト変化の説明図であり、（ａ）〜（ｃ）は
ＴＮモードの場合、（ｄ）〜（ｆ）は広視角表示モ一ド
の場合を示す。
【図６】従来のカラーフィルタを示す断面図である。
１ 基板 ２ 導電層（透明電極） ３、３ａ 細孔 ４ ブラックマトリックス ５ 着色層 ６ オーバーコート層 ７ 透明電極
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成８年５月１０日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２２】このような基板１の上に、通常の方法によ
ってＩＴＯ膜（錫をドープした酸化インジウム膜）また
はネサ膜（アンチモンをドープした酸化錫膜）などの導
電層を全面に形成し、次いで、フォトリソグラフィ手法
などによって互いに絶縁された所望の形状を有する導電
層（透明電極）２に形成する。この場合、基板上の全面
に形成した導電層をそのまま透明電極とすることもでき
る。
ってＩＴＯ膜（錫をドープした酸化インジウム膜）また
はネサ膜（アンチモンをドープした酸化錫膜）などの導
電層を全面に形成し、次いで、フォトリソグラフィ手法
などによって互いに絶縁された所望の形状を有する導電
層（透明電極）２に形成する。この場合、基板上の全面
に形成した導電層をそのまま透明電極とすることもでき
る。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５５
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５５】かかる準備が完了すると、縦３５０ｍｍ、
横３００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍのガラス基板の表面に、
抵抗率が１５Ω／□であるＩＴＯを用いて、３０μｍの
間隔をおいて７０μｍ幅（１００μｍピッチ）の短冊状
をした導電層を形成した。また、導電層の非形成部分
に、膜厚が２．０μｍの窓枠状のカラーフィルタ（遮光
層）を形成し、更に、窓状に露出している導電層のほぼ
中心部に、直径が１０μｍの円形の貫通している細孔を
形成した。ここで、導電層のパターニング及び円形の細
孔の形成は通常のホトリソグラフィにより行い、カラー
フィルタ（遮光層）の形成は、黒色顔料を分散したネガ
型レジスト（商品名Ｖ２５９−ＢＫＯ，新日鉄化学社
製）を用い、通常のホトリソグラフィーでパターニング
し、焼成、硬化させて形成した。
横３００ｍｍ、厚さ１．１ｍｍのガラス基板の表面に、
抵抗率が１５Ω／□であるＩＴＯを用いて、３０μｍの
間隔をおいて７０μｍ幅（１００μｍピッチ）の短冊状
をした導電層を形成した。また、導電層の非形成部分
に、膜厚が２．０μｍの窓枠状のカラーフィルタ（遮光
層）を形成し、更に、窓状に露出している導電層のほぼ
中心部に、直径が１０μｍの円形の貫通している細孔を
形成した。ここで、導電層のパターニング及び円形の細
孔の形成は通常のホトリソグラフィにより行い、カラー
フィルタ（遮光層）の形成は、黒色顔料を分散したネガ
型レジスト（商品名Ｖ２５９−ＢＫＯ，新日鉄化学社
製）を用い、通常のホトリソグラフィーでパターニング
し、焼成、硬化させて形成した。
フロントページの続き (72)発明者 中野 強 千葉県八千代市大和田新田711番地の１ 神東塗料株式会社内 (72)発明者 笹木 玲子 千葉県八千代市大和田新田711番地の１ 神東塗料株式会社内 (72)発明者 岡田 良克 千葉県八千代市大和田新田711番地の１ 神東塗料株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】 導電性の低い領域を有する導電層と、該
導電層の上に複数の着色層とを有し、各着色層が該導電
性の低い領域に対応する部分に凹部を有しているカラー
フィルタ。 - 【請求項２】 前記導電性の低い領域が、前記導電層に
設けた細孔からなる請求項１に記載のカラーフィルタ。 - 【請求項３】 前記導電性の低い領域が前記導電層に設
けた細孔からなり、該細孔が前記導電層を貫通して形成
されて絶縁状態となっている請求項１に記載のカラーフ
ィルタ。 - 【請求項４】 前記導電性の低い領域が前記導電層に設
けた細孔からなり、該細孔が底部を有し、その周辺の厚
みより薄くなっている請求項１に記載のカラーフィル
タ。 - 【請求項５】 前記着色層の上にオーバーコート層を有
する請求項１〜４のいずれか一つに記載のカラーフィル
タ。 - 【請求項６】 前記着色層の上に透明電極を有する請求
項１〜４のいずれか一つに記載のカラーフィルタ。 - 【請求項７】 前記オーバーコート層の上に透明電極を
有する請求項５に記載のカラーフィルタ。 - 【請求項８】 基板上に導電層を設け、該基板に電着を
施して該導電層上に複数の着色層を形成するカラーフィ
ルタの製造方法において、 各着色層が形成される領域の導電層の一部に導電性の低
い領域を設ける工程と、 該基板に電着を施して、該導電性の低い領域に対応する
部分に凹部を有する着色層を形成する工程とを含むカラ
ーフィルタの製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07078796A JP3781134B2 (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
| US08/823,871 US5731111A (en) | 1996-03-26 | 1997-03-25 | Color filter and method for manufacturing the same |
| TW086103763A TW353725B (en) | 1996-03-26 | 1997-03-25 | Color filter and method for manufacturing the same |
| KR1019970010544A KR100224374B1 (ko) | 1996-03-26 | 1997-03-26 | 칼라 필터와 그 제조 방법 |
| CN97104934A CN1080891C (zh) | 1996-03-26 | 1997-03-26 | 彩色滤光片及其加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07078796A JP3781134B2 (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09258017A true JPH09258017A (ja) | 1997-10-03 |
| JP3781134B2 JP3781134B2 (ja) | 2006-05-31 |
Family
ID=13441597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07078796A Expired - Lifetime JP3781134B2 (ja) | 1996-03-26 | 1996-03-26 | カラーフィルタ及びその製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5731111A (ja) |
| JP (1) | JP3781134B2 (ja) |
| KR (1) | KR100224374B1 (ja) |
| CN (1) | CN1080891C (ja) |
| TW (1) | TW353725B (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2772982A1 (fr) * | 1997-12-24 | 1999-06-25 | Futaba Denshi Kogyo Kk | Substrat d'anode pour un dispositif d'affichage et son procede de fabrication |
| US6445438B1 (en) | 1998-01-26 | 2002-09-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device and method for fabricating the same |
| KR100590744B1 (ko) * | 1998-10-30 | 2006-10-13 | 삼성전자주식회사 | 컬러 필터 기판 및 그 제조 방법, 상기 컬러 필터 기판을 포함하는 액정 표시 장치 |
| KR100710159B1 (ko) * | 2002-08-28 | 2007-04-20 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09304757A (ja) * | 1996-03-11 | 1997-11-28 | Sharp Corp | 液晶表示素子及びその製造方法 |
| JPH11311786A (ja) * | 1998-02-27 | 1999-11-09 | Sharp Corp | 液晶表示装置およびその製造方法 |
| CN100376960C (zh) * | 2004-03-02 | 2008-03-26 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 多域垂直取向型液晶显示装置 |
| CN100356205C (zh) * | 2004-04-28 | 2007-12-19 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 彩色滤光片及其制造方法 |
| KR100652061B1 (ko) * | 2004-11-04 | 2006-12-06 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 컬러필터 기판 및 그 제조방법, 및 그를 이용한액정표시소자 및 그 제조방법 |
| KR101840713B1 (ko) * | 2011-09-23 | 2018-03-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 투명 표시 장치 |
| US9482906B2 (en) * | 2012-12-28 | 2016-11-01 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0727082B2 (ja) * | 1985-05-28 | 1995-03-29 | セイコー電子工業株式会社 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| DE3674547D1 (de) * | 1985-11-26 | 1990-10-31 | Stanley Electric Co Ltd | Fluessigkristall-farbanzeigevorrichtung und verfahren zu ihrer herstellung. |
| JPH07117662B2 (ja) * | 1986-04-21 | 1995-12-18 | 神東塗料株式会社 | 微細な透明導電性回路パタ−ン上およびその間隙に機能性薄膜を形成する方法 |
| US5122891A (en) * | 1986-12-29 | 1992-06-16 | Goldstar Co., Ltd. | Color liquid crystal display device |
| US5399450A (en) * | 1989-04-28 | 1995-03-21 | Seiko Epson Corporation | Method of preparation of a color filter by electrolytic deposition of a polymer material on a previously deposited pigment |
| US5473450A (en) * | 1992-04-28 | 1995-12-05 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device with a polymer between liquid crystal regions |
| JP2930496B2 (ja) * | 1992-04-28 | 1999-08-03 | シャープ株式会社 | 液晶表示素子及びその製造方法 |
| US5552911A (en) * | 1992-10-19 | 1996-09-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Color liquid crystal display device having varying cell thickness and varying pixel areas |
| JP2933816B2 (ja) * | 1993-07-15 | 1999-08-16 | シャープ株式会社 | 液晶表示素子及びその製造方法 |
-
1996
- 1996-03-26 JP JP07078796A patent/JP3781134B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-03-25 TW TW086103763A patent/TW353725B/zh not_active IP Right Cessation
- 1997-03-25 US US08/823,871 patent/US5731111A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-26 CN CN97104934A patent/CN1080891C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1997-03-26 KR KR1019970010544A patent/KR100224374B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2772982A1 (fr) * | 1997-12-24 | 1999-06-25 | Futaba Denshi Kogyo Kk | Substrat d'anode pour un dispositif d'affichage et son procede de fabrication |
| US6445438B1 (en) | 1998-01-26 | 2002-09-03 | Sharp Kabushiki Kaisha | Liquid crystal display device and method for fabricating the same |
| KR100590744B1 (ko) * | 1998-10-30 | 2006-10-13 | 삼성전자주식회사 | 컬러 필터 기판 및 그 제조 방법, 상기 컬러 필터 기판을 포함하는 액정 표시 장치 |
| KR100710159B1 (ko) * | 2002-08-28 | 2007-04-20 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시소자 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW353725B (en) | 1999-03-01 |
| US5731111A (en) | 1998-03-24 |
| CN1080891C (zh) | 2002-03-13 |
| KR100224374B1 (ko) | 1999-10-15 |
| JP3781134B2 (ja) | 2006-05-31 |
| CN1165957A (zh) | 1997-11-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3317637B2 (ja) | 液晶表示装置用基板およびその製造方法並びにそれを用いた液晶表示装置 | |
| JP3335578B2 (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
| JP3456896B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| US6396559B1 (en) | LCD including spacers used in combination with polymer walls | |
| JPH09304757A (ja) | 液晶表示素子及びその製造方法 | |
| JPH10332923A (ja) | カラーフィルター及び液晶表示装置 | |
| JP3097656B2 (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
| JPH095763A (ja) | カラー液晶表示装置 | |
| JP3781134B2 (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| KR20000011567A (ko) | 액정표시장치 | |
| KR101022552B1 (ko) | 액정표시장치 및 그 제조방법 | |
| JP2008292626A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法、及び液晶表示装置用カラーフィルタ | |
| US5725976A (en) | Method for manufacture of a color filter | |
| JP4639457B2 (ja) | Ｍｖａ−ｌｃｄ用カラーフィルタの製造方法 | |
| JPH0720310A (ja) | 液晶素子の製造方法 | |
| JPH08327814A (ja) | カラーフィルタの製造方法とカラー液晶表示素子 | |
| JP2000162643A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
| US7378200B2 (en) | Method of fabricating color filter substrate | |
| JP2000284110A (ja) | 液晶用カラーフィルター、その製造方法及び液晶表示装置 | |
| JP2002006130A (ja) | カラーフィルターの形成方法、電気光学装置及び電子機器 | |
| JP2003195273A (ja) | 液晶表示装置 | |
| JP3529847B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| JPH11218749A (ja) | 液晶表示装置およびその製造方法 | |
| JP2005115142A (ja) | 液晶表示装置、液晶表示装置の製造方法、電子機器 | |
| JPH09258181A (ja) | アクティブマトリクス型液晶表示装置及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050223 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050228 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050427 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050512 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060301 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060301 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090317 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100317 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100317 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110317 Year of fee payment: 5 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110317 Year of fee payment: 5 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110317 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120317 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130317 Year of fee payment: 7 |