JP2005012192A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100691280B1 (ko) * 2005-09-05 2007-03-12 삼성전기주식회사 압전 진동자, 그 제조방법 및 압전 진동자를 구비하는 선형액추에이터
JP4892661B2 (ja) * 2006-08-24 2012-03-07 ニッコー株式会社 超音波モータ用振動子
JP5526786B2 (ja) * 2008-02-12 2014-06-18 コニカミノルタ株式会社 振動型駆動装置の製造方法
CN101990738A (zh) * 2008-04-08 2011-03-23 柯尼卡美能达控股株式会社 执行元件阵列片
US7932661B2 (en) 2008-09-23 2011-04-26 Nikko Company Piezoelectric vibrator for ultrasonic motor

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2742414B2 (ja) * 1987-08-27 1998-04-22 ロ−ム株式会社 積層セラミック電子部品の製造方法
JPH08111991A (ja) * 1994-08-19 1996-04-30 Mitsui Petrochem Ind Ltd 超音波モータ用圧電振動子および圧電振動子の取付け方法
DE10016429C2 (de) * 2000-04-01 2002-06-13 Bosch Gmbh Robert Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Mehrschicht-Aktoren
JP4313610B2 (ja) * 2003-05-19 2009-08-12 セイコーインスツル株式会社 超音波モータ及びその製造方法、超音波モータを備えた電子機器

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