JP5526786B2 - 振動型駆動装置の製造方法 - Google Patents
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Description
錘と、
伸縮方向の一端が前記錘に固定された圧電素子と、
該圧電素子の他端に一端が固定された軸状の振動部材と、
該振動部材にすべり移動可能に摩擦係合する移動体と、を備え、
前記圧電素子を駆動源として駆動電圧を印加することで前記振動部材を伸縮させることにより前記移動体をすべり変位させて駆動する振動型駆動装置の製造方法であって、
前記圧電素子は、完全に分極できる電圧が異なる複数の圧電材料の層を積層してなり、
前記複数の圧電材料の層のそれぞれの前記完全に分極できる電圧をV1,V2,…,VN(Nは2以上の整数)とし、V1<V2<…<VNの関係があるとした場合、前記振動型駆動装置が所望の伸縮特性を得られるまで、前記完全に分極できる電圧V1,V2,…,VNをこの順で前記圧電素子に段階的に印加する工程を有するものとする。
また、振動型駆動装置が所望の伸縮特性を得られるまで、電圧の小さい順に圧電素子に段階的に印加するので、性能にバラツキのない圧電素子を提供できる。
2…錘
3…圧電素子
3a,3b,3c…ブロック
4…振動部材
5…移動体
6…分極処理用電源
7a,7b…電極
8…圧電材料
ta,tb,tc…層厚
図1に、本発明の第1実施形態の振動型駆動装置1の駆動速度の調整の様子を示す。振動型駆動装置1は、錘2と、錘2に伸縮方向の一端が固定された圧電素子3と、圧電素子3の他端に一端が固定された軸状の振動部材4と、振動部材4にすべり移動可能に摩擦係合する移動体5とからなる。圧電素子3は、例えばPZTからなる圧電材料と電極とを積層してなる積層型圧電素子であって、電極に分極処理用電源6を接続し、例えば30(V)程度の分極処理電圧を印加して、圧電材料を分極することで、圧電特性を付与するものである。
Claims (7)
- 錘と、
伸縮方向の一端が前記錘に固定された圧電素子と、
該圧電素子の他端に一端が固定された軸状の振動部材と、
該振動部材にすべり移動可能に摩擦係合する移動体と、を備え、
前記圧電素子を駆動源として駆動電圧を印加することで前記振動部材を伸縮させることにより前記移動体をすべり変位させて駆動する振動型駆動装置の製造方法であって、
前記圧電素子は、完全に分極できる電圧が異なる複数の圧電材料の層を積層してなり、
前記複数の圧電材料の層のそれぞれの前記完全に分極できる電圧をV1,V2,…,VN(Nは2以上の整数)とし、V1<V2<…<VNの関係があるとした場合、前記振動型駆動装置が所望の伸縮特性を得られるまで、前記完全に分極できる電圧V1,V2,…,VNをこの順で前記圧電素子に段階的に印加する工程を有することを特徴とする振動型駆動装置の製造方法。 - 前記複数の圧電材料の層は、異なる厚みを有する層を含むことを特徴とする請求項1に記載の振動型駆動装置の製造方法。
- 前記複数の圧電材料の層は、異なる抗電界を有する圧電材料の層を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の振動型駆動装置の製造方法。
- 前記圧電素子は予め分極されており、前記完全に分極できる電圧は、前記圧電素子を逆方向に分極する電圧であることを特徴とする請求項3に記載の振動型駆動装置の製造方法。
- 前記圧電素子は、複数の異なる厚みを有する層を積層してなることを特徴とする請求項3または4に記載の振動型駆動装置の製造方法。
- 前記圧電素子は、複数の異なる抗電界を有する圧電材料の層を積層してなることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載の振動型駆動装置の製造方法。
- 前記所望の伸縮特性は、前記移動体の変位量によって確認することを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の振動型駆動装置の製造方法。
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