JP2004538640A - 高周波ボンドワイヤ振動の減衰 - Google Patents

高周波ボンドワイヤ振動の減衰 Download PDF

Info

Publication number
JP2004538640A
JP2004538640A JP2003519992A JP2003519992A JP2004538640A JP 2004538640 A JP2004538640 A JP 2004538640A JP 2003519992 A JP2003519992 A JP 2003519992A JP 2003519992 A JP2003519992 A JP 2003519992A JP 2004538640 A JP2004538640 A JP 2004538640A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
damping material
circuit assembly
electrical circuit
bond wire
assembly according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003519992A
Other languages
English (en)
Inventor
トーマス ダブリュー. モラー,
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ericsson Inc
Original Assignee
Ericsson Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ericsson Inc filed Critical Ericsson Inc
Publication of JP2004538640A publication Critical patent/JP2004538640A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/58Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for, e.g. in combination with batteries
    • H01L23/64Impedance arrangements
    • H01L23/66High-frequency adaptations
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/16Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations, e.g. centering rings
    • H01L23/18Fillings characterised by the material, its physical or chemical properties, or its arrangement within the complete device
    • H01L23/24Fillings characterised by the material, its physical or chemical properties, or its arrangement within the complete device solid or gel at the normal operating temperature of the device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/34Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
    • H01L23/42Fillings or auxiliary members in containers or encapsulations selected or arranged to facilitate heating or cooling
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/78Apparatus for connecting with wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2223/00Details relating to semiconductor or other solid state devices covered by the group H01L23/00
    • H01L2223/58Structural electrical arrangements for semiconductor devices not otherwise provided for
    • H01L2223/64Impedance arrangements
    • H01L2223/66High-frequency adaptations
    • H01L2223/6605High-frequency electrical connections
    • H01L2223/6611Wire connections
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/4501Shape
    • H01L2224/45012Cross-sectional shape
    • H01L2224/45015Cross-sectional shape being circular
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49111Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting two common bonding areas, e.g. Litz or braid wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49175Parallel arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/852Applying energy for connecting
    • H01L2224/85201Compression bonding
    • H01L2224/85205Ultrasonic bonding
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L24/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01006Carbon [C]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01014Silicon [Si]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01019Potassium [K]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01027Cobalt [Co]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01083Bismuth [Bi]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/013Alloys
    • H01L2924/014Solder alloys
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/102Material of the semiconductor or solid state bodies
    • H01L2924/1025Semiconducting materials
    • H01L2924/10251Elemental semiconductors, i.e. Group IV
    • H01L2924/10253Silicon [Si]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1515Shape
    • H01L2924/15153Shape the die mounting substrate comprising a recess for hosting the device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15172Fan-out arrangement of the internal vias
    • H01L2924/15173Fan-out arrangement of the internal vias in a single layer of the multilayer substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/161Cap
    • H01L2924/1615Shape
    • H01L2924/16152Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1901Structure
    • H01L2924/1904Component type
    • H01L2924/19041Component type being a capacitor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1901Structure
    • H01L2924/1904Component type
    • H01L2924/19042Component type being an inductor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/20Parameters
    • H01L2924/207Diameter ranges
    • H01L2924/2076Diameter ranges equal to or larger than 100 microns
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/35Mechanical effects
    • H01L2924/351Thermal stress

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Vibration Prevention Devices (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Coupling Device And Connection With Printed Circuit (AREA)

Abstract

複数の導線および電気部品が、基板上に配置されている。電気部品は、複数のボンドワイヤによって基板上の導線に接続される複数のリード線を有する。減衰材料は、複数のボンドワイヤと接触して位置し、減衰材料は、複数のボンドワイヤが減衰材料に関連して移動できるように選択される。減衰材料は、基板に取り付けられる格納蓋によってボンドワイヤと接触するよう保たれる粘性液体であり得る。あるいは、減衰材料は、液体またはエラストマーを含むコロイド混合物であり得る。

Description

【背景技術】
【0001】
本発明は、電気回路アセンブリの分野、より具体的には、様々な回路部品端子および/または導体を電気的に接続するワイヤを用いる電気回路アセンブリに関する。
【0002】
集積回路は、通信から家庭用電化製品までにわたる産業において様々な用途を有する。典型的な集積回路は、しばしばチップと呼ばれる、1つ以上の半導体デバイスをシリコンウエハ上に組み立てることによって形成される。このチップは、プリント回路基板(PCB)または他のキャリヤーに載置することに適し得る熱伝導性基板に、より大きな電気回路アセンブリの一部として取り付けられる。保護カバーは、チップおよび基板上に固定され得、電気的な接続リード線は、蓋の下から伸び、これにより集積回路パッケージを形成する。パッケージのリード線は、チップの共通端子をPCB上に位置する他の回路要素に接続する。
【0003】
集積回路パッケージのリード線とチップ上の接続端子との間の、ならびに同じチップ上またはチップ間の接続端子の間の電気的な接続は、しばしば接触点の間、例えば、絶縁構造またはパスを「ジャンプする」、ワイヤを用いて行われる。そのような導電性ワイヤは、通常非常に小さく、典型的には4分の1ミリメートル以下の直径を有する。ワイヤは、熱音波および超音波のボンディングおよびはんだ付けを含む当該分野で周知の様々な技術を用いて、接触端子またはリード線にボンドされる。そのようなワイヤは、本明細書中で「ボンドワイヤ」といわれる。
【0004】
例えば、航空宇宙、自動車および高周波数無線通信に適用される電気アセンブリは、激しい振動の下におかれ得る。小さな直径のために、ボンドワイヤは、高周波数のこのような振動に特に敏感である。十分な周期数を経て、ボンドワイヤがリード線または接続端子に接続するボンドパッドを含むボンドワイヤは、材料が変形する場合に生じる疲労破壊のために損傷し得る。疲労から材料が破壊するまでの周期数は、変形が低減するにつれて増加する。
【0005】
熱応力による低周期の疲労損傷を防げる1つの手法は、米国特許第5,930,604号および第5,808,354号に記載されるように、エポキシを用いてワイヤを被包することを含み、ワイヤの回避動作および隣接するボンドワイヤ間のショートを回避することを完了する。被包材料は、接合線を含むアセンブリ上に注がれ、ワイヤが不動にするように固められる。この技術はいくつかの不利な点を有する。例えば、ワイヤおよびそれぞれのボンドパッドは、被包材料およびチップを形成する材料の熱膨張係数の違いによる熱応力を受ける。また、そのようなチップを形成する方法は、応力を集中させ、且つ初期故障を起こす材料内に空隙または気泡を作り得る。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【0006】
(発明の要旨)
本発明は、ワイヤを不動にする従来技術によって、ワイヤのいくつかの動きが、熱ストレスを軽減し、且つ他の問題を避けることを可能にしながら、振動に応答しながら接合線の機械変形を低減することによって、高周波数振動による電気アセンブリおよび集積回路パッケージ内のボンドワイヤの破壊を低減することを目的とする。
【0007】
1つの実施形態において、例えば、LDMOSパワートランジスタのゲートおよびドレイン端子のような電気部品の端子は、それぞれ複数のボンドワイヤによって、部品が載る基板から伸びる入出力リード線に接続される。ボンドワイヤの動きを抑制するように、しかし減衰材料に関連して動くことが可能であるように選択される減衰材料は、接続線を包囲する。制限しない実施例を用いて、減衰材料は様々なコロイド混合物であり、しかし、おそらく液状または粘性材料である必要はない。
【0008】
本発明の他のおよびさらなる局面および有利な点は、好ましい実施形態の以下の詳細な記述を考慮すると明らかになる。
【0009】
好ましい実施形態は、例示するためであって、制限するために示されるわけではない。添付の図面の数字において、同じ参照符号が同じコンポーネントを表す。
【発明を実施するための最良の形態】
【0010】
本発明の1つの実施形態によると、図1および図2は、多重層PCB10、パワートランジスタパッケージ20、実質的には流体である減衰材料52および格納蓋54を含む電気アセンブリ8を示す。
【0011】
より具体的には、PCB10は、導電上部層12、誘電性絶縁層13、導電下部層14をそれぞれ含む。他の実施形態において、PCB10は、いくつかのさらなる他の導電および誘電体層を含み得、本発明は、特定のPCB実施形態に限定されない。PCB10の下部層14は、放熱体16に取り付けられる。パワートランジスタパッケージ20の載置基板18は、導電接着剤またはハンダ層22によって、PCB10の切り取りウインドエリア21にある放熱体16に取り付けられる。当業者によって理解されるように、ネジまたは引張バネのような基板18を取り付ける他の手段は当該分野において周知であり、本明細書に開示される発明概念と異なることなく同様に用いられてもよい。
【0012】
パワートランジスタパッケージ20は、基板18の上面に取り付けられるトランジスタチップ24を含み、そこに形成される1つ以上のトランジスタ(図示されず)を有する。例示的な実施形態において、側方拡散金属酸化物半導体(LDMOS)トランジスタが用いられるが、本明細書に教示される発明概念を逸脱することなく、他の実施形態において、他の種類のトランジスタ(例えば、バイポーラ接合デバイス)が用いられ得る。チップ24上のトランジスタは、チップ24の上面に位置する複数の入力(ゲート)端子26および出力(ドレイン)端子28を有する。誘電性ウインド基板30は、基板18の上面に取り付けられ、トランジスタチップ24を封入する。ウインド基板30は、それぞれの入出力リード線32および34を基板18からそれぞれ電気的に絶縁する役割を果たす。
【0013】
パワートランジスタパッケージ20は、トランジスタチップ24の両側にある基板18の上面に取り付けられる出入力マッチング素子(例えば、キャパシタまたはインダクタ)36および38をさらに含む。ボンドワイヤ44の第1のセットは、入力リード線32をそれぞれのトランジスタゲート端子28および入力マッチング素子36に電気結合する。ボンドワイヤ46の第2のセットは、出力リード線34をそれぞれトランジスタドレイン端子28および出力マッチング素子38に電気的に接合する。本明細書中で用いられるように、ボンドワイヤの「セット」は、1つ以上のボンドワイヤを意味する。
【0014】
PCB10の上部導電層12の部分は、露出された誘電体層13によって、層12の残りの部分から離れたそれぞれ金属ストリップ導線40および42を形成するように、ウインドエリア21の両側で切り取られた部分である。トランジスタパッケージの入出力リード線32および34を、PCB10上(または内)の他の場所に位置する電気アセンブリ8の受動的および能動的部品(図示されず)に接続するために、金属ストリップ導線40および42は、導電パスを提供する。出入力リード線32および34をそれぞれストリップ同然40および42に電気的に結合するために、ボンドワイヤ48および50のさらなるセットが用いられる。ボンドワイヤのセット44、46、48および50において、ボンドワイヤは、非常に薄く、熱音波および超音波ボンディングおよびはんだ付けを含む当該分野において公知の技術を用いて、様々な接触点にボンディングされている。
【0015】
図2に見られるように、減衰材料52は、ボンドワイヤセット44、46、48および50の個々のボンドワイヤを包囲するように、格納蓋54によってPCB10に対して格納される。減衰材料52は、パワートランジスタパッケージ20を通って発信される高周波数信号を伴って振動する個々のボンドワイヤの振動を最小化するように選択される。他の実施形態において、減衰材料52は、格納システムを必要としない。例えば、減衰材料44は流れず(例えば、エラストマー)、格納蓋54は不必要である。流体であるかどうかには関わらず、減衰材料52は、ショートを回避するために、好ましくは誘電性、すなわち実質的には非導電性である。
【0016】
振動面(例えば、トランジスタチップ端子26および28)に取り付けられる1つのボンドワイヤは、所定の周波数で駆動されるバネの端部に質量としてモデル化される。図3は、他方の端部で振動力F(t)によって駆動される、剛性kを有するバネの一端に接続される質量mを示す。これは単純化されたモデルであり、図3が、より多くの複雑なモデルを用いてまた記述され得る基本概念を示すことは理解し得る。振動駆動力F(t)に応答して、質量が振動変位x(t)を有することは理解され得る。
【0017】
振動変位x(t)の振幅は、駆動力F(t)の周波数および振幅に依存する。当該分野において公知のように、図3の質量‐バネシステムは、質量mおよびバネの剛性kに依存する固有周波数ωを有する。図5の曲線Aによって示されるように、固有周波数で駆動される場合、質量は最高振幅で振動する。従って、ボンドワイヤは、所定の剛性および質量の固有周波数を有し、それらが接続される表面によってその周波数で駆動される場合、相当振動し得る。これらの振動は、ボンドワイヤおよびボンドパッドの変形を引き起こし、多くの周期を経て、疲労破損をもたらす。
【0018】
図4によって表現されるように、そのモデルにおいて振動は、ダンパーを加えることによって減少され得る。ダンパーは、ずれの速度に正比例および反比例する力を生成する特性を有し、その構成関係は、x’(t)がx(t)の時間微分であり、F=cx’(t)によって与えられる。図5の曲線BおよびCによって示されるように、質量バネモデルにこのダンパーを加えることによって、質量の振動を減少することが示され得る。曲線Cは、曲線Bよりも大きな減衰係数cを有するシステムの周波数の応答を表し、曲線Cのシステムにおける振動は、相対して減少される。
【0019】
図4において、特定の減衰材料により、減衰定数cが決定される。例えば、減衰効果が極僅かである(例えば、空気がボンドワイヤを囲むように減衰材料が用いられない)場合、減衰係数cはゼロに近づき、図4のモデルは、図3の減衰されないモデルに単純化する。減衰材料として適する様々な材料が存在する。ボンドワイヤの所望される減衰は、(mとして表現される)質量および(kとして表現される)剛性および(F(t)で表現される)アセンブリの典型的な振動に依存することが理解される。これらの変数に依存して、様々な減衰特性を有する様々な減衰材料が適切であり得る。粘性が、液体がボンドワイヤに所定の剪断速度で伝えることができる剪断応力、またはワイヤに関連する動きの大きさである場合、例えば、より粘性の高いものは、より大きな減衰能力を有する。
【0020】
他の減衰材料はまた、ボンドワイヤを減衰することに適切であり得る。これらは、発泡体、乳剤、ゲルおよび他の粘弾性のある材料を含む。発泡体は、少なくとも1つの局面がコロイドのサイズ範囲に入る、液体中における気泡の分散である。発泡体の種類は、固体フォームおよびバイリキッド(bi‐liquid)発泡体を含む。固体発泡体は、ポリスチレン発泡体のような固体中における気体のコロイド分散である。バイリキッド発泡体は、別の液体に分散される1つの液体の濃縮された乳剤である。乳剤は、1つの液体の液滴の別の非混和液中における分散であり、液滴は、コロイドのサイズであるか、またはコロイドのサイズに近い。空気混和乳剤は、乳剤の形成において液体部品が2相からなる発泡体である。例えば、ホイップクリームは、それ自体が乳剤であるクリームに分散された気泡の空気混和乳剤である。ゲルは、液体ではなく、弾性固体または半固体として挙動する懸濁液または高分子溶液である。
【0021】
1つの好ましい実施形態において、選択される減衰材料は、ボンドワイヤを通る電気信号の伝搬によって引き起こされる振動に応答するボンドワイヤの動きは減衰されるが完全に妨げられず、ボンドワイヤが「移動可能に被包する」と言われ得る性質を有する。特に、減衰材料は、回復力ならびに減衰力を生成する可能性が最も高いため、従って、図4のダンパーは、より正確には、バネおよびダンパーのネットワークによって表現され得る。しかし、そのモデルの目的は、システムに減衰材料を加える効果を示すことであり、必要とされるシステムのパラメータを経験的に決定することは、当業者の能力の範囲内である。
【0022】
適切な減衰材料を選択することにおける他の要因は、トランジスタチップ24から熱を散逸する材料の性能である。例えば、周囲の流体中の回路基板上の電気部品によって発生される熱を散逸することによって集積回路を冷却し、さらに液体から周囲に熱を散逸するように、本明細書中の発明の局面をシステムに組み込むことが所望され得る。本明細書中に開示されるアセンブリ8の減衰材料52は、熱を散逸する流体と同じであり、結果としてもたらされるシステムが、ボンドワイヤ振動を減衰することと同じ手段によって回路を冷却することとの両方に備えることは明らかである。
【0023】
好ましい実施形態および実施が示され、且つ記述されてきたが、当業者によって理解され得るように、本発明は、本明細書中に含まれる発明概念を逸脱することなく、他の特定の形態において実施され得る。従って、開示された実施形態は、例示的であり、限定的ではないことが理解されなければならない。
【0024】
例えば、蓋54の使用は、減衰材料のための格納システムのほんの(単純な)一例である。特定のアセンブリ構造および選択される減衰材料の種類に依存して、格納システムのの他の多くの種類は可能であり、本発明の範囲内で熟慮される。重要なことは、ワイヤを介する高周波数信号伝搬によって生じられる振動エネルギーを吸収するように、減衰材料がボンドワイヤと接触することである。どの格納システムが必要とされるかは、実施形態毎に異なり得る設計上の選択である。
【0025】
従って、本発明は、添付の請求項の範囲以外によって限定されない。
【図面の簡単な説明】
【0026】
【図1】図1は、格納蓋および減衰材料を除く、本発明の1つの好ましい実施形態に従って構成される例示的な電気回路アセンブリの上面図である。
【図2】図2は、格納蓋および減衰材料を含む、図1の電気回路アセンブリの部分的に切り取られた側面図である。
【図3】図3は、高周波数電気回路において電気接続するために用いられる減衰されていないボンドワイヤの数学モデルの図である。
【図4】図4は、図1の電気回路アセンブリにおいて接続するために用いられる減衰されたボンドワイヤの数学モデルの図である。
【図5】図5は、それぞれ減衰されていない、僅かに減衰された、十分に減衰されたボンドワイヤの周波数応答曲線のグラフである。

Claims (13)

  1. 電気回路アセンブリであって、
    導体が上に配置される基板と、
    端子を有する電気部品と、
    該導体を該端子に電気的に接続するボンドワイヤと、
    該ボンドワイヤと接触して位置する減衰材料であって、該ボンドワイヤを通る電気信号の伝搬によって生じる振動に応答するボンドワイヤの動きは減衰されるが、妨げられない性質の減衰材料と
    を含む、電気回路アセンブリ。
  2. 前記減衰材料は流体である、請求項1に記載の電気回路アセンブリ。
  3. 前記減衰材料は誘電体である、請求項1に記載の電気回路アセンブリ。
  4. 前記減衰材料は熱伝導性である、請求項1に記載の電気回路アセンブリ。
  5. 前記ボンドワイヤは、前記減衰材料によって移動可能に被包される、請求項1に記載の電気回路アセンブリ。
  6. 前記ボンドワイヤとの前記減衰材料の接触を保つ格納システムをさらに含む、請求項2に記載の電気回路アセンブリ。
  7. 前記減衰材料は、流体中における固体のコロイド混合物である、請求項1に記載の電気回路アセンブリ。
  8. 前記減衰材料は、流体中における気体のコロイド混合物である、請求項1に記載の電気回路アセンブリ。
  9. 前記減衰材料は粘弾性材料である、請求項1に記載の電気回路アセンブリ。
  10. 前記電気部品は、RFパワートランジスタチップである、請求項1に記載の電気回路アセンブリ。
  11. 電気接続をそれぞれ形成する複数のボンドワイヤであって、前記減衰材料は、該ボンドワイヤと接触して位置し、該減衰材料は、該ボンドワイヤを通る電気信号の伝搬によって生じる振動に応答する該ボンドワイヤの動きが、減衰されるが、完全には妨げられない性質を有する、請求項1に記載の電気回路アセンブリ。
  12. 前記ボンドワイヤは、前記減衰材料によって移動可能に被包される、請求項11に記載の電気回路アセンブリ。
  13. 前記ボンドワイヤとの前記減衰材料の接触を保つ格納システムをさらに含む、請求項11に記載の電気回路アセンブリ。
JP2003519992A 2001-05-30 2002-05-29 高周波ボンドワイヤ振動の減衰 Pending JP2004538640A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/871,445 US6429510B1 (en) 2001-05-30 2001-05-30 Liquid damping of high frequency bond wire vibration
PCT/US2002/020235 WO2003015164A2 (en) 2001-05-30 2002-05-29 Damping of high frequency bond wire vibration

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2004538640A true JP2004538640A (ja) 2004-12-24

Family

ID=25357448

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003519992A Pending JP2004538640A (ja) 2001-05-30 2002-05-29 高周波ボンドワイヤ振動の減衰

Country Status (5)

Country Link
US (1) US6429510B1 (ja)
EP (1) EP1396021A2 (ja)
JP (1) JP2004538640A (ja)
AU (1) AU2002312595A1 (ja)
WO (1) WO2003015164A2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6833761B2 (en) * 2003-02-28 2004-12-21 Freescale Semiconductor, Inc. Amplifier apparatus and method thereof
US8462510B2 (en) * 2011-05-11 2013-06-11 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Board-level package with tuned mass damping structure
US10852165B1 (en) * 2016-12-06 2020-12-01 Davis Intellectual Properties LLC Vehicle orientation-determining process
US9992890B1 (en) 2016-12-07 2018-06-05 Raytheon Company Modules and systems for damping excitations within fluid-filled structures

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0412556A (ja) * 1990-05-02 1992-01-17 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体装置の放熱構造
JPH05129474A (ja) * 1991-10-30 1993-05-25 Nippondenso Co Ltd 樹脂封止型半導体装置
JPH0730015A (ja) * 1993-07-14 1995-01-31 Hitachi Ltd 半導体モジュール及びその製造方法
JP2000311970A (ja) * 1999-02-25 2000-11-07 Toyota Motor Corp 半導体装置およびその製造方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04196233A (ja) * 1990-11-27 1992-07-16 Mitsubishi Electric Corp 半導体集積回路装置
NO911774D0 (no) * 1991-05-06 1991-05-06 Sensonor As Anordning ved innkapsling av et funksjonsorgan, samt fremgangsmaate for fremstilling av samme.
US5808354A (en) 1994-11-21 1998-09-15 Samsung Electronics Co., Ltd. Lead frame for a semiconductor device comprising inner leads having a locking means for preventing the movement of molding compound against the inner lead surface
US5945643A (en) * 1995-06-16 1999-08-31 Casser; Donald J. Vibration dampening material and process
US5930604A (en) 1998-02-02 1999-07-27 Delco Electronics Corporation Encapsulation method for fine-pitch chip-on-board
US6057601A (en) 1998-11-27 2000-05-02 Express Packaging Systems, Inc. Heat spreader with a placement recess and bottom saw-teeth for connection to ground planes on a thin two-sided single-core BGA substrate

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0412556A (ja) * 1990-05-02 1992-01-17 Oki Electric Ind Co Ltd 半導体装置の放熱構造
JPH05129474A (ja) * 1991-10-30 1993-05-25 Nippondenso Co Ltd 樹脂封止型半導体装置
JPH0730015A (ja) * 1993-07-14 1995-01-31 Hitachi Ltd 半導体モジュール及びその製造方法
JP2000311970A (ja) * 1999-02-25 2000-11-07 Toyota Motor Corp 半導体装置およびその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
AU2002312595A1 (en) 2003-02-24
WO2003015164A3 (en) 2003-12-04
US6429510B1 (en) 2002-08-06
WO2003015164A2 (en) 2003-02-20
EP1396021A2 (en) 2004-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6114635A (en) Chip-scale electronic component package
JP3123477B2 (ja) 表面弾性波素子の実装構造および実装方法
JP2548350B2 (ja) テープ自動結合に使用される熱放散相互接続テープ
JP2009510766A (ja) マルチチップ・モジュールで使用することができる熱応力を緩和するための集積回路の実装
JP2012524987A (ja) 吸収層を備える基板のためのカプセル化された回路装置及び該回路装置を製造する方法
JP2001156246A (ja) 集積回路チップの実装構造および実装方法
KR100606295B1 (ko) 회로 모듈
KR20010071333A (ko) 히트 싱크에 집적 회로 패키지를 고정시키는 열 전도성장착 장치
WO2004112129A1 (ja) 電子装置
US20030042624A1 (en) Power semiconductor device
US6448635B1 (en) Surface acoustical wave flip chip
JP2004538640A (ja) 高周波ボンドワイヤ振動の減衰
WO2005124862A1 (ja) 半導体装置
US6441480B1 (en) Microelectronic circuit package
JP3693057B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP2006253519A (ja) 半導体装置
JP2003110089A (ja) 半導体電力用モジュール及びその製造方法
JP2710986B2 (ja) 電子装置
CA2017080C (en) Semiconductor device package structure
JPH0869926A (ja) 内燃機関用点火装置
JP2012227229A (ja) 半導体装置
JP2004158700A (ja) 電子制御装置およびその製造方法
JPH1084009A (ja) 半導体装置
JPS634652A (ja) 半導体装置
KR100790752B1 (ko) 실링라인을 갖는 웨이퍼 레벨 디바이스 패키지

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20061011

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20061013

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20061110

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20061110

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20070306