JP2004536446A - 基板のプラズマ／液体併用洗浄 - Google Patents

Abstract

基板を洗浄する装置および方法。基板（１１）はチャック（１２）に保持されるとともに回転させられ、大気圧プラズマジェット（１３）が、前記基板（１１）の所定領域にプラズマを当てる。ついで、液体リンス（１５）が前記所定領域に噴霧される。一実施の形態においては、所望により、前記所定領域の乾燥を手助けするために、ノズルがガスを当該所定領域に吹きつける。

Description

【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に電子回路の製造における基板の洗浄に関し、さらに詳細には、基板上の金属膜の洗浄に関する。本発明は米国エネルギー省の契約番号Ｗ−７４０５−ＥＮＧ−３６に基づく政府の支援の元になされたものであり、本発明に関わる権利の一端を政府が保有する。
【背景技術】
【０００２】
近年の集積回路およびコンピュータチップ製品は、つぎの２段階の製造段階を有している。一つは前工程（ＦＥＯＬ）と呼ばれ、リソグラフィー、薄膜形成およびイオン注入の技術を用いてシリコンウエハにシリコンやシリコン含有組成物で構成される構造を生成した部分であり、もう一つは後工程（ＢＥＯＬ）と呼ばれ、各素子中の異なる部分間または異なる素子間をワイヤ接続したり、その他の方法で接続したりする部品を当該シリコンウエハの表面上に構成する工程を経て形成される部分である。この後工程は、その典型として、それぞれ複数存在するメタル層と誘電分離層に関わるものであり、これらの層を形成する複数の工程からなるものである。
【０００３】
前記前工程においては、形成する回路をより縮小されたものとすべきものとされ、回路は小さい程電子の必要移動距離が短くなりひいてはそれに含まれる素子の動作速度が大きくなるからであり、後工程（ＢＥＯＬ）においてはより良い導電体を採用することを目指すことになる。電流が流れる線が細くなる程その電気抵抗は大きくなることから、すぐれた導電体の採用はとくに重要である。当該後工程において電気的接続を行うのに、これまではアルミニウム関連の加工技術が幅を利かせてきた。これは素子間ならびに同一素子内部分間の接続用ワイヤやその他の接触部分を形成するにはアルミニウム層は形成し易いことやエッチングがし易いというアルミニウムの性質に負うところが大きい。しかしながら、アルミニウムに変えて銅を採用できれば、銅がアルミニウムよりも電気抵抗が小さいという点で大きいな利点となる。銅に備わった電気抵抗が小さいという特性は、その結果として抵抗・容量（ＲＣ）時定数が小さくなり、接続素子間の反応速度が速くなる方向に作用するのである。また銅はアルミニウムによって構成された回路部品よりも高い耐腐食性をもつ。
【０００４】
しかし、シリコンやシリコン含有組成物で構成される素子への銅の接続には、いくつかの技術的問題がある。銅のハロゲン塩はシリコンの加工に許容されるような低温域で気化しないため、アルミニウムと異なり、銅のプラズマエッチングが不可能なことである。これとは逆に、アルミニウムは、多くの場合、塩素原子を生成する塩素含有プラズマに基板上のアルミニウム薄膜を暴露することによってそのエッチングが行われる。プラズマにより生成される塩素原子は基板上のアルミニウムと化学反応しその反応生成物質として塩化アルミニウム（ＡｌＣｌ₃）を生成する。生成される該アルミニウム塩は充分に高い蒸気圧を有するため、減圧プラズマエッチングの工程で常用される設備である減圧装置によって吸引除去することができる。塩素を含有するガスとしては典型的にはＢＣｌ₃とＣｌ₂の一方または双方を含有するガス組成物が用いられる。アルミニウム塩を気化し除去する目的で、アルミニウム塩の蒸気圧を上昇させるべく該ウエハは２００〜３００℃に加熱される。その結果、アルミニウム塩が該ウエハから蒸発することとなる。この程度の温度は該ウエハには許容できるものであり、またウエハ上にある組成物やウエハに形成された素子の構造に害を及ぼさない。
【０００５】
アルミニウムの場合とは異なり、銅を塩素ないしフッ素を含有する反応性プラズマに暴露することで生成される反応生成物はその蒸気圧が低く前述の減圧装置によって除去されることはない。このように除去されずに反応性性物が残留するとそれが反応の進行を妨害し、実質的には同反応の進行を停止させてしまうことになる。これは、堆積したフッ化第二銅（ＣｕＦ₂）または塩化第二銅（ＣｕＣｌ₂）がウエハ表面をおおう不活性な膜を形成するためである。この不活性な膜は、銅の未反応表面への反応活性をもつ塩素やフッ素の原子の到達を妨害することになる。もし４００〜７００℃といった高温域にウエハを曝すことが可能であれば、塩化銅の蒸気圧が必要充分な高さとなり、ひいてはその減圧除去ができるようになるため銅のエッチングも可能となる。しかし、このような高温域に曝されるとウエハ上に形成された素子は不可逆的に破壊される。したがって、銅をエッチングするためには前記以外の技術が必要になる。そのための技術はいずれも細かい操作を要求するものであり、またその多くは複数回のリフトオフ処理を含む操作となるものの、現在のところこれに替わる方法は見当たらない。このリフトオフ処理とは、銅薄膜の下の層を攻撃破壊しその結果として当該部分の銅薄膜を剥がし取る処理である。この方法に頼らざるをえないのは、ウエハ上の相互接続レベルのエッチング工程には細線を生成するために高度の方向性（アニソトロピー性）をもつことが求められることにある。
【０００６】
本発明は銅による相互接続技術であっても前記とは別のステップに関し、方向性をもつことを必要としないステップにかかわる。シリコンウエハにかかわる銅加工技術において、銅の薄膜の内、ウエハの面取りされた縁部、裏側の縁部および表側の縁部に形成された不用な部分を除去することの重要性については、従来からよく説明されているところである。このような領域への銅の付着はシリコンウエハ上に銅の薄膜を形成する造膜工程においてもたらされるものである。相互接続用の材料としては銅が望ましいが、ここに述べたシリコンウエハの相互接続に関わらない部分（ウエハの面取り縁部、裏側の縁部および表側の縁部で、「不用縁部」と総称される）に銅が付着していることは望ましいものではない。この部分に付着した銅はウエハ加工設備に対する汚染源となるからである。このような背景から、当該不用縁部に付着した銅を除去することが望ましい。この不用縁部に該当する部分はウエハの外周縁ならびに他の前述したウエハの部分からから概ね２〜４ｍｍ離れている。除去されずにこの領域に銅が残存した場合には、その銅はウエハ加工作業を実行する道具類を動作させるロボット装置を汚染する原因となる。
【０００７】
工程作業を実行する道具類を汚染した銅は製品の歩留まり率を低下させる原因となる。これは銅が不特定個所に散在する形での汚染であり、関与するシリコン材自身の電気的性質を変化させかねないものであり、ひいてはデバイスの動作を変化させてしまいかねないものである。ウエハの表側表面にはバリア層を形成してシリコンの保護が行われる。このバリア層形成材には通常チタンが用いられる。しかしながら、この防壁膜は当該ウエハの縁部や同ウエハの裏側表面には形成されない。以上まとめていえば、致命的な汚染問題を避けるためにはウエハ表側表面の不用周縁領域、ウエハの面取り部分ならびにウエハの裏側縁部に形成された銅薄膜を除去することが重要になるということになる。この要求を達成するために、現状においては、銅を溶解できる酸をスプレー液としそのスプレーにウエハを暴露することが必要となっている。この方法は現実に所定の目的を達成できるものであるが、労働集約的であり、必要工程数を増加させるものでもある。加えて有害な化学物質をも排出する。
【発明の開示】
【０００８】
本発明は、汚染原因物質である銅をシリコンウエハの面取り縁部、ウエハ表側表面の不用周縁領域、ならびにウエハの裏側から除去するため、現状において採用されている化学溶剤を使用する方法に替えて費用対効果が大きい方法を提供するものである。本発明によると、基板の周縁部洗浄および基板の所定部分の洗浄を行うに当ってプラズマが利用され、その結果、当該基板を有害な溶剤や酸に暴露する必要がなくなる。本発明は、液体を使わないプラズマ技術と非刺激性液体によるリンス工程とのユニークな組み合わせに関わるものであり、従来の低圧下でのプラズマ処理する方法では不可能であった処理を、大気圧近辺ないしは大気圧において行うものである。本発明はそれが対象とする処理の一部を、１９９９年１０月１５日に発行された、セルウィンらの発明にかかわる米国特許第５，９６１，７７２号明細書に記載された方法を用いて達成している。この特許の教示は、あらゆる目的のために本明細書に含まれている。
【０００９】
本発明の目的は、基板上の銅薄膜の方向特異性をもたない洗浄除去を実現することである。
【００１０】
本発明の他の目的は、基板上の銅薄膜についてその特定の領域部分のみを洗浄除去することを可能にすることである。
【００１１】
本発明のさらなる他の目的は集積回路の製造において銅の使用を可能にする装置を提供することである。
【００１２】
本発明の今一つの目的は、大気圧下におけるプラズマ処理工程と液体によるリンス処理工程とを交互に行うことにより、これらいずれの処理工程についても単独では達することができない、また低圧下でのプラズマ処理を複数回繰り返し、各回ごとにリンス工程を挿入するといった実行上煩雑極まりない処理工程に替わる、現実に実施可能な処理工程を提供することである。
【００１３】
以上の他にも本発明の目的、本発明に伴う優位な点または本発明に特有な特徴に関しては、その一部は以下の詳細にわたる説明によって明らかにするものであり、またその他の一部は当業者には、これを慎重に読み、または本発明を実際に実施されることにより明らかになるものである。本発明の目的ならびに優位性については、別途掲げるクレームにおいて詳細に示した事項を具体化し構成することによって実現しまたは達成できるものである。
【００１４】
基板の洗浄のための本発明にかかわる装置は、以上に述べた目的またはそれ以外の目的を達成するためのものであり、本明細書で具体化されまた広く一般化された形で述べられた本発明の要旨にしたがうところによると、基板から離れた位置に配置され、当該基板の所定領域にプラズマを衝突させるべく配置された大気圧プラズマジェットによる洗浄を受ける当該基板を保持する回転チャックを備えている。前記基板は逐次的または同時にプラズマに暴露される一方において、当該基板の所定領域にノズルから液体リンスが噴霧される。
【００１５】
本発明にかかわる前記とは別の態様によるとともに、本発明の原理ならびに主旨にしたがうところによると、基板の洗浄のための本発明にかかわる装置は、基板から離れた位置に配置され当該基板の所定領域にプラズマを衝突させるべく配置された大気圧プラズマジェットによる洗浄を受ける当該基板を保持する回転チャックを備えている。前記基板の所定領域には第１のノズルから液体リンスが噴霧され、当該基板の前記所定領域には第２のノズルからガスが吹きつけられる。
【００１６】
本発明にかかわる前記とはまた別の態様によるとともに、本発明の原理ならびに主旨にしたがうところによると、基板の洗浄のための本発明にかかわる方法は、チャックに洗浄を受ける基板を保持し当該基板を回転する工程、大気圧プラズマジェットによって当該基板の所定領域にプラズマを衝突させる工程、および当該基板の前記所定領域に液体リンスを噴霧する工程を含む。
【００１７】
本発明にかかわる前記とはさらにまた別の態様によるとともに、本発明の原理ならびに主旨にしたがうところによると、基板の洗浄のための本発明にかかわる方法は、当該基板の所定領域を処理するために大気圧プラズマジェットを点で位置決めする工程、および当該基板の事前に選定された部分の薄膜を当該基板から除去するため当該基板の前記所定の領域をリンスする工程を含んでいる。
【００１８】
本発明にかかわる前記とはさらに別の態様によるとともに、本発明の原理ならびに主旨にしたがうところによると、基板の洗浄のための本発明にかかわる装置は、基板から離れた位置に配置され当該基板の所定領域にプラズマを衝突させるべく配置された大気圧プラズマジェットで基板を固定した位置で洗浄するために保持するチャックを備えている。当該基板の前記所定領域に液体リンスは噴霧される。この装置においては、プズマおよび液体リンスが当該基板の所定領域に届くように、大気圧プラズマジェットおよび液体リンスの噴霧器は回転させられる。
【００１９】
添付図面は本明細書に含まれるとともに本明細書の部分を構成するものであり、本発明の実施態様を図示するものであるとともに、発明の詳細な説明としての記述事項とあいまって本発明の基本的な特徴を説明するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
本発明はシリコンウエハやその他の基板の表側表面の一定部分、裏側表面および縁部から薄膜をその任意に特定される部分からのみ選択的に除去するための方法ならびに装置を提供するものである。本発明はプラズマの噴射および液体リンスの噴霧のふたつの工程を同時にかつ逐次的に実行することで前記目的を実現するものである。本発明は添付図を参照すると極めて簡単に理解できる。
【００２１】
まず、図１について述べる。図１は本発明の一実施の形態に関する模式図である。図１において、基板１１は本発明の処理対象として適した何らかの基板である。基板１１は回転チャック１２に固定されており回転させられる。如何なる時点においても大気圧プラズマジェット（Atmospheric Pressure Plasma Jet：ＡＰＰＪ）１３の出力は、基板１１上の一特定部分を目標として噴射されるとともにプラズマ源から出力される電子と供給ガスとの反応で生成される塩素原子の流れを含んでいる。また水用ノズル１４は当該基板１１上の別の部分に液体リンス１５を噴霧する。チャック１２はみずからが回転しているとともに、基板１１を図に示した方向に回転させているが、その状態で大気圧プラズマジェット１３は基板１１の処理を進める。ちなみに一例をあげれば銅（Ｃｕ）を塩化第二銅（ＣｕＣｌ₂）に化学変化させる。生成する塩化第二銅（ＣｕＣｌ₂）は基板１１の回転に伴って、ノズル１４から噴霧される液体リンス１５中に溶解され、続いて収集容器１６の中に落下して行くことになる。このとき、ウエハの前記領域はプラズマジェットガス（原子状の塩素を含む）中および液体リンスの噴霧中を何度も通過し、所期の目的である銅薄膜の除去が達成される。当該液体リンス１５はウエハがプラズマの流れの中を通過するときに形成される銅塩を溶解するものである。
【００２２】
液体リンス１５は、基板１１から除去しようとしている銅塩や銅塩以外の汚染原因物質を溶解する性質を有する限りいかなる液状化学物質であってもよい。多くの場合、かかる液体リンス１５として脱イオン水や蒸留水などの水を採用できる。しかし、放射性物質や鉛のように溶媒和しにくい重金属といった汚染原因物質を溶解除去しようとしている場合は、前記液体リンス１５にキレート試薬（chelating agent）を配合しこれら汚染原因物質からプラズマによって生成される塩物質の溶解性を高めてもよい。
【００２３】
基板１１が回転することで数項目の重要な役目をはたす。そのうちのいくつかをつぎに示す。
（１）基板１１が回転することで、該基板１１上の必要な部分が生成されるプラズマに暴露されている時間中は該基板１１に対して大気圧プラズマジェット１３を静止した状態に留めることができる。
（２）基板１１が回転することで、該基板１１上の必要部分が大気圧プラズマジェット１３による処理を受けたのち、当該必要部分に対して液体リンス１５を噴霧できる。
（３）基板１１が回転することで遠心力方向に移動する速度が得られるため、プラズマ処理を受け液体リンスの噴霧を受けた基板１１の処理対象部分が次回の大気圧プラズマジェット１３から発生するプラズマ気流内に進入するまでのあいだに乾燥するのを助けるに留まらず、銅の溶解液が除去されるのを助ける働きをする。
【００２４】
本発明の好適な実施の形態はシリコンウエハの面取りした周縁部の銅薄膜を除去する手段を提供するものである。この目的を達成するため、本実施の形態にあっては、前述のごとくプラズマと水スプレーのふたつの工程を包含し、回転するチャック１２上で基板１１を回転させながら該基板１１の周縁部を大気圧プラズマジェット１３から噴射されるハロゲンを含有するプラズマ気流に暴露し、前記銅薄膜をハロゲン化銅へ化学変化せしめる。生成したハロゲン化銅は、その工程から短時間経過した時点でノズル１４から回転している基板１１に向かって噴霧される液体リンス１５に溶解される。
【００２５】
すでに参照したとおり、大気圧プラズマジェット１３に関しては米国特許第５，９６１，７７２号明細書が完全に記述している。大気圧プラズマジェット１３を、本発明に適用した結果、優れて高い効率で本発明が機能することになる。また本発明によるところの逐次的な処理の結果、当該銅薄膜の厚さが大きくとも、その除去が可能となる利点も発現する。これまでに知られている低圧プラズマを使用して同様の結果を達成するのは極めてやっかいである。というのは、液体リンスは高い蒸気圧をもちその蒸気とプラズマが相互反応するため、低圧の処理チャンバ内では該液体リンスを用いることが不可能だからである。さらに、基板をリンス工程のための別のチャンバに移動することにすると、液体リンスの噴霧は大気圧下で行わざるを得ず、かつプラズマの相互反応を生起させるには通常１ないし１００ｍＴｏｒｒの範囲の圧力環境が必要であるため、真空ロードロックを何回もくりかえすことが必要になる。加えて、特定部分のみから銅の除去を図るための基板１１のマスキングを行う簡単な手段も存在しない。大気圧プラズマジェットの反応活性保持距離は短く、その短さ故に大気圧プラズマジェットは前述のマスキングに相当する作用を備えているといえる。すなわち、生成する塩素原子は当該噴射口から数ｍｍ移動すると、お互いに再結合し、比較的不活性な物質に変ってしまうのである。このような背景から、プラズマ発生器の直径とともにプラズマジェット末端部のノズルの大きさおよび当該ジェットとウエハ間の距離を調整することでマスキングと反応の双方を一つの処理ステップで行えるようになる。
【００２６】
本発明の他の実施の形態については、その模式図を図２に示した。当該実施の形態は、基板上１１の必要な部分をそれら部分が再度大気圧プラズマジェット１３と遭遇する前に乾燥工程を導入しようとするものである。大気圧プラズマジェット１３およびノズル１４に加えてガスノズル１７が描かれている。図に示されているとおり基板１１が回転し、処理対象とされた部分が再度大気圧プラズマジェット１３と遭遇する前の時点で、ガスノズルからは窒素または他の乾燥用ガスが当該基板１１に向けて噴射される。この工程は基板１１の部分の再度の処理が始まる前の時点で、同部分の乾燥を必要に応じて補助するものである。当該被処理部分の乾燥については一般に完全なる乾燥に至らなくても必要な処理を行うことができる。一般には噴霧された水溶液の大部分を単純に除去する程度で充分である。
【００２７】
ウエハ洗浄方法にかかわる従来技術と比較するとき、本発明の最大の利点は、大気圧プラズマジェット１３から基板１１に達するガス流を機械的方法で調整することで簡単に銅の除去を必要としている領域のみを選択できるようになることである。加えて、高温度に当該ウエハを加熱する必要がなくなることである。本発明は、酸を用いる種々の洗浄方法に比べて遥かに優れている。なぜなら、マスキングが不用になることに加えて、溶解したＣｕＣｌ₂が生成されること以外は危険性や毒性がある廃棄物質を生成しないからである。さらに加えて、大気圧プラズマジェット１３を基板１１の周縁部に合わせて配置することで、この部分のみを局所的に処理することもできる。最後に、本発明ではそれがバッチ式工程ではないためにウエハからウエハに汚染成分を持ち込んで行くといった形の汚染を引き起こす可能性は低いことが挙げられる。バッチ式工程においては、当該基板から溶解した銅成分がタンク内に残存し他の基板を汚染することになるが、このような形の汚染を除くためには大量の液体リンスを使用することを必要とし、ひいては廃棄液体または廃棄化学物質の発生量を増加させる。
【００２８】
すでに述べたとおり、本発明の適用に関し誰にも明らかな用途は基板１１に形成された銅の薄膜をその裏側表面、周縁部ならびに表側表面にあって種々に特定される領域に存在するもののみを選択的に除去するという用途である。しかし、本発明は、これに限られることなく、広く薄膜の除去工程に、当該薄膜が大気圧プラズマジェット１３から噴射されるプラズマ流に暴露されることで溶解性の化学物質に変換される限り金属薄膜であると非金属薄膜であるに関わらず適用できるものであり、溶解性の物質に変換されたのちは脱イオン水やその他溶剤を液体リンス１５として用いることで溶解除去できる。これら以外で本発明が適用できる用途が存在すると考えられるのは、建築用窓ガラスの再使用や補修の分野、またはコンピュータ封入用基板および平たんな表示パネルの産業分野である。
【００２９】
図１および２に関連して、基板１１を静止させ、大気圧プラズマジェット１３、液体噴霧器１５およびガスノズル１７を回転させることで前述と同様の効果を得ることができるものと理解されるべきである。これらの図は、そのような構成が必要な場合にあっては可能であることを明確に示している。
【００３０】
本発明の実施の形態に関する以上の記述は図示したり説明したりするために行ったものに過ぎない。すなわちこれら記述は本発明のすべてを言い尽くすものでも、本発明を記述された事実のみに限定しようとするものでもない。ここの記述を元に様々な部分変更を加えたり、それらの改変したものを考案したりできることは明らかである。ここに示した実施態様は本発明の主旨と現実的な適用の状況を最も明確に表現するものとして選ばれており、したがって当業者が本発明に基づいて個々の必要に応じて様々に変更改変を加え種々の具体的な実施態様として実現できるようにするためのものである。本発明の範囲はここに添付されるクレームによって定義されるものとする。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】図１は本発明の一実施の形態を模式図として示すものであり、具体的には基板の所定部分をプラズマジェット処理する工程およびその処理に続くリンス工程を示す図である。
【図２】図２は本発明の他の一実施の形態を模式図として示すものであり、具体的には前記リンス工程に続いて乾燥工程が設けられていることを示す図である。

Claims (24)

1. 基板の洗浄のための装置であって、
   洗浄のために前記基板を保持するチャック、
   前記基板から離間しており、当該基板の所定領域にプラズマを衝突させる大気圧プラズマジェット、および
   液体リンスを前記基板の所定領域に噴霧する噴霧器
   を備えており、前記基板が逐次的かつ同時に前記プラズマにさらされる装置。
2. 前記基板がシリコンウエハからなる請求項１記載の装置。
3. 前記基板が平たんな表面パネルからなる請求項１記載の装置。
4. 前記プラズマがハロゲン供給ガスまたはハロゲン化合物からなる請求項１記載の装置。
5. 前記液体リンスが水からなる請求項１記載の装置。
6. 前記液体リンスがキレート試薬からなる請求項１記載の装置。
7. 基板の洗浄のための装置であって、
   洗浄のために前記基板を保持する回転チャック、
   前記基板から離間しており、当該基板の所定領域にプラズマを衝突させる大気圧プラズマジェット、
   前記基板の所定領域上へ液体リンスの噴霧する噴霧器、および
   前記基板の所定領域へガスを吹きつけるノズル
   を備えてなる装置。
8. 前記ガスがチッ素である請求項７記載の装置。
9. 前記基板がシリコンウエハからなる請求項７記載の装置。
10. 前記基板が平たんな表面パネルからなる請求項７記載の装置。
11. 前記プラズマがハロゲンガスまたはハロゲン化合物を含む請求項７記載の装置。
12. 前記液体リンスが水からなる請求項７記載の装置。
13. 前記液体リンスがキレート試薬からなる請求項７記載の装置。
14. 基板を洗浄する方法であって、
    洗浄されるべき基板をチャック上で回転させる工程、
    プラズマを大気圧プラズマジェットから前記基板の所定領域に衝突させる工程、および
    前記基板の所定領域へ液体リンスを噴霧する工程
    を含む方法。
15. 前記基板がシリコンウエハである請求項１４記載の方法。
16. 前記基板が平たんな表面パネルである請求項１４記載の方法。
17. 前記液体リンスが水からなる請求項１４記載の方法。
18. 前記液体リンスがキレート試薬からなる請求項１４記載の方法。
19. 前記基板の所定領域を乾燥させるために当該所定領域にガスを吹きつける工程をさらに含む請求項１４記載の方法。
20. 前記ガスがチッ素からなる請求項１９記載の方法。
21. 前記プラズマがハロゲンガスまたはハロゲン化合物を含む請求項１４記載の方法。
22. 基板を洗浄する方法であって、
    前記基板の所定領域を処理するために大気圧プラズマジェットを点で位置決めする工程、および
    フィルムの予め選ばれた領域を前記基板から除去するために液体リンスを用いて前記基板の所定領域をすすぐ工程
    を含む方法。
23. 基板の洗浄のための装置であって、
    静止位置で洗浄するために前記基板を保持するチャック、
    前記基板から離間しており、当該基板の所定領域にプラズマを衝突させる大気圧プラズマジェット、および
    前記基板の所定領域へ液体リンスを噴霧する噴霧器
    を備えており、前記プラズマおよび液体リンスが基板の所定領域に達するように、前記大気圧プラズマジェットおよび液体リンスの噴霧器が回転させられる装置。
24. 前記大気圧プラズマジェットおよび液体リンスの噴霧器とともに回転し、前記基板の所定領域にガスを吹きつけるノズルをさらに含んでいる請求項２３記載の装置。

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