JP2004530269A5

JP2004530269A5 -

Info

Publication number: JP2004530269A5
Application number: JP2002580685A
Authority: JP
Filing date: 2002-03-23
Publication date: 2008-09-18
Anticipated expiration: 2022-03-23

Claims

パッシェン曲線の左側分枝部で駆動されるガス放電を用いる、殊に、ＥＵＶリソグラフィ用の超紫外線及び軟Ｘ線の発生方法であって、
放電空間（１０）を規定するガスの圧力と２つの電極（１１，１２）とを使用し、該電極は各々１つの、同じ対称軸（１３）上に形成された開口（１４，１５）を有しており、電圧上昇部（１６）の経過中、所定の点火電圧（Ｕ_z）に達した際、前記電極（１１，１２）の開口（１４，１５）の領域内に位置するプラズマ（１７）が形成され、該プラズマ（１７）は、発生すべき放射（１７′）のソースであり、
前記プラズマ（１７）は、前記ガスの圧力への制御手段によって、及び／又は、トリガによって点火され、
前記プラズマ（１７）の前記点火によって、エネルギ蓄積器は、電極（１１，１２）を用いて蓄積エネルギを前記プラズマ（１７）中に自発的に供給する方法において、
点火電圧（Ｕ_z ）に達した後、ユーザによって決定された時間期間中、点火遅延（１８）の間、プラズマ（１７）の点火を阻止し、前記点火遅延（１８）の経過後初めて前記プラズマ（１７）を点火する
ことを特徴とする方法。
点火遅延（１８）を、ガスの圧力を高めることによって低減し、又は、ガスの圧力を低くすることによって長くする請求項１記載の方法。
プラズマ（１７）の点火領域に作用するトリガ電極（１９）に印加されるトリガパルスを作動することによって点火する請求項１又は２記載の方法。
圧力間隔内でのガス圧力の変動により、所定の点火遅延（１８）を達成するようにトリガする請求項１から３迄の何れか１記載の方法。
ユーザによって決定されたトリガ遅延（２０）のあるトリガを用いる請求項１から４迄の何れか１記載の方法。
電圧上昇部（１６）及び／又は所定の点火電圧（Ｕ_z）の達成を測定技術により検出し、測定結果を考慮して、ガスの圧力及び／又はトリガを変える請求項１から５迄の何れか１記載の方法。
点火時点（ｔ_z）を測定技術により検出する請求項１から６迄の何れか１記載の方法。
点火時点（ｔ_z）を電極電圧（Ｕ）の電圧微分（ｄＵ／ｄｔ）の測定を用いて、及び／又は、電極電流の電流微分（ｄＩ／ｄｔ）の測定を用いて測定する請求項１から７迄の何れか１記載の方法。
所定の点火電圧（Ｕ_z）の達成と点火時点（ｔ_z）との間の時間を測定し、該測定結果を用いて、ガスの圧力を所定の点火遅延（１８）に相応して調整する請求項１から８迄の何れか１記載の方法。
各電極（１１，１２）に印加される電圧を、電圧上昇部（１６）の開始から、推定による点火時点（ｔ_z）を含む所定時間に亘って測定技術により検出し、該測定技術による検出のために、点火電圧積分器を用いる請求項１から９迄の何れか１記載の方法。
電極（１１，１２）に印加される電圧（Ｕ）を測定技術により検出し、達した点火電圧値（Ｕ_z）を、前記電圧（Ｕ）の印加に続いて電圧上昇部（１６）が開始するまで記憶する請求項１から１０迄の何れか１記載の方法。
各電極にエネルギ蓄積器として直接接続されているコンデンサバンク（２１）の充電状態を、電圧上昇部（１６）の間連続して監視し、ユーザによって決定された点火電圧（Ｕ_z）に達した後、必要に応じてトリガ遅延してからトリガする請求項１から１１迄の何れか１記載の方法。
所定の点火電圧（Ｕ_z）を、コンデンサバンク（２１）の少なくとも１つのキャパシタンスパラメータに依存して補正し、補正された点火電圧（Ｕ _z ）に達した後、ユーザによって決定された時間期間中、点火遅延（１８）の間、プラズマ（１７）の点火を阻止し、前記点火遅延（１８）の経過後初めて前記プラズマ（１７）を点火する請求項１から１２迄の何れか１記載の方法。
電極の中間スペース（２２）の荷電坦体に作用するトリガ電極（１９）を用いてトリガし、該トリガ電極（１９）の、陰極に対して形成される遮断電位を低減する請求項１から１３迄の何れか１記載の方法。
エネルギ蓄積器を、プラズマ（１７）の消去後、ガスが完全には再結合しなくても、所定の点火電圧（Ｕ_z）が達成される迄充電する請求項１から１４迄の何れか１記載の方法。
各電極（１１，１２）間で、発生すべき２つの放射間の時間内に形成されるプラズマ放電により、高抵抗プラズマを燃焼させる請求項１５記載の方法。
パッシェン曲線の左側分枝部で駆動されるガス放電を用いる、殊に、ＥＵＶリソグラフィ用の超紫外線及び軟Ｘ線の発生方法であって、
放電空間（１０）を規定するガスの圧力と２つの電極（１１，１２）とを使用し、該電極は各々１つの、同じ対称軸（１３）上に形成された開口（１４，１５）を有しており、電圧上昇部（１６）の経過中、所定の点火電圧（Ｕ_z）に達した際、前記開口（１４，１５）の領域内に位置するプラズマ（１７）が形成され、該プラズマ（１７）は、発生すべき放射（１７′）のソースであり、
前記プラズマ（１７）は、トリガによって点火され、
前記プラズマ（１７）の前記点火によって、エネルギ蓄積器は、電極（１１，１２）を用いて蓄積エネルギを前記プラズマ（１７）中に供給する方法において、
プラズマ（１７）をトリガ電極（１９）を用いて点火し、該トリガ電極（１９）の電位を、トリガ過程の開始前に、陰極として使用される各電極（１１，１２）の一方の電極（１１）の電位よりも高くする
ことを特徴とする方法。
トリガ電極（１９）の、陰極として使用される電極（１１）に対する電圧、両電極（１１，１２）の電圧及び放電空間（１０）のガスの圧力を、トリガ電圧の印加時に、トリガ電圧の遮断を用いて初めて開始されるプラズマ（１７）が点火されないように調整する請求項１７記載の方法。
０Ｈｚよりも大きく１００Ｈｚ迄の間の繰り返し周波数で駆動する請求項１７又は１８記載の方法。
スイッチオン及びスイッチオフによって調整可能な、長い作動間隔で駆動し、該作動間隔中、各々固定の繰り返し周波数を用いる請求項１７から１９迄の何れか１記載の方法。
パッシェン曲線の左側分枝部で駆動されるガス放電を用いる、超紫外線及び軟Ｘ線の発生装置であって、
放電空間（１０）を規定するガスの圧力と２つの電極（１１，１２）とが設けられており、該電極は各々１つの、同じ対称軸（１３）上に形成された開口（１４，１５）を有しており、前記開口（１４，１５）は、電圧上昇部（１６）の経過中、所定の点火電圧（Ｕ_z）に達した際、前記開口（１４，１５）の領域内に位置するプラズマ（１７）を有しており、該プラズマ（１７）は、発生すべき放射（１７′）のソースであり、
前記各電極の前記開口（１４，１５）は、軸方向に相互に離隔しており、
前記２つの電極（１１，１２）のうちの一方である第１の電極（１１）で限定された空間（２３）内に、点火遅延用に設けられた手段を用いて点火遅延（１８）を伴って、トリガによって行われるプラズマ（１７）の点火用のトリガ電極（１９）が設けられている装置において、
プラズマ（１７）の点火領域に作用するトリガ電極（１９）は、壁部（２９）として構成されており、該壁部は、少なくとも、第１の電極（１１）の開口（１４）から、ユーザによって決定された、所定間隔を有している扁平部分を有している
ことを特徴とする装置。
第１の電極（１１）は、中空電極として構成されており、トリガ電極（１９）は、壁又は壁部として前記中空電極の幾何形状内に構成されている請求項２１記載の装置。
トリガ電極（１９）は、中空電極に平行な、当該中空電極の開口（１４）に対向する後壁として構成されている請求項２１又は２２記載の装置。
トリガ電極（１９）は、対称軸（１３）に設けられた貫通孔（２４）を有する請求項２１から２３迄の何れか１記載の装置。
貫通孔（２４）及び／又は対称軸（１３）は、平行な孔（２４′）をガスの入口として構成されている請求項２４記載の装置。
トリガ電極（１９）は、ポット状に形成されており、ポットの底部（１９′）上に垂直なポット軸（２５）は、各電極（１１，１２）の対称軸（１３）と同じ位置である請求項２１から２５迄の何れか１記載の装置。
トリガ電極（１９）は、第１の電極（１１）と共にアイソレータ（２６）の上に一緒に構成されている請求項２１から２６迄の何れか１記載の装置。
第１の電極（１１）は、当該電極（１１）の開口（１４）に対して同心状のリングフランジ（２７）を有しており、該リングフランジは、各々電位分離距離を保ちつつ、アイソレータ（２６）とオーバーラップしてトリガ電極（１９）に当接しており、又は、前記トリガ電極（１９）の環状切欠部（２８）内に填め込まれている請求項２１から２７迄の何れか１記載の装置。
パッシェン曲線の左側分枝部で駆動されるガス放電を用いる、超紫外線及び軟Ｘ線の発生装置であって、
放電空間（１０）を規定するガスの圧力と２つの電極（１１，１２）とが設けられており、該電極は各々１つの、同じ対称軸（１３）上に形成された開口（１４，１５）を有しており、前記開口（１４，１５）は、電圧上昇部（１６）の経過中、所定の点火電圧（Ｕ_z）に達した際、前記開口（１４，１５）の領域内に位置するプラズマ（１７）を有しており、該プラズマ（１７）は、発生すべき放射（１７′）のソースであり、
前記各電極の前記開口（１４，１５）は、軸方向に相互に離隔しており、
前記２つの電極（１１，１２）のうちの一方である第１の電極（１１）で限定された空間（２３）内に、点火遅延用に設けられた手段を用いて点火遅延（１８）を伴って、トリガによって行われるプラズマ（１７）の点火用のトリガ電極（１９）が設けられている装置において、
プラズマ（１７）の点火領域に作用するトリガ電極（１９）は、対称軸（１３）に形成される部分ビームの外側に設けられており、又は、当該部分ビームを阻止する遮蔽部（３５）を有していることを特徴とする装置。
トリガ電極（１９）は、電極（１１，１２）の開口（１４，１５）の対称軸に設けられており、前記開口（１４，１５）側の端面（３４）は、少なくとも部分ビームの形成領域内にアイソレータを遮蔽部（３５）として有している請求項２９記載の装置。
アイソレータは、トリガ電極（１９）の端面（３４）上に堆積された層として形成されている請求項３０記載の装置。
アイソレータは、トリガ電極（１９）の端面（３４）内に填め込まれた部材として形成されている請求項３０記載の装置。
アイソレータは、部分ビームに一致する横断面を有する凹部（３６）を有する請求項３２記載の装置。
アイソレータの凹部（３６）は、円錐状に先細にされて形成されている請求項３３記載の装置。
トリガ電極（１９）は、第１の電極（１１）で限定された空間（２３）に対して完全に絶縁されている請求項２９から３４迄の何れか１記載の装置。
トリガ電極（１９）の遮蔽部（３５）は、表面電荷を除去するが、第２の電極（１２）とトリガ電極（１９）との間の放電を制御する電流を阻止する残留コンダクタンスを有している請求項２９から３５迄の何れか１記載の装置。
トリガ電極（１９）は、対称軸を囲む中空円筒部として構成されている請求項２９記載の装置。
中空円筒状のトリガ電極（１９）は、２つの電極（１１，１２）とは反対側の底部を有しており、該底部は、アイソレータとして構成されているか、又は、前記各電極（１１，１２）の一方の電極の電位を有する金属底部であり、前記底部は、前記トリガ電極（１９）に対して絶縁されている請求項３７記載の装置。
トリガ電極（１９）は、環状盤又は少なくとも１つの電極ピンを有しており、単数又は複数の前記電極ピンは、第１の電極（１１）内の各電極（１１，１２）の対称軸（１３）に対して横方向に組み込まれている請求項２９記載の装置。
トリガ電極（１９）は、第１の電極（１１）内に絶縁されて組み込まれている請求項２９から３９迄の何れか１記載の装置。
遮蔽部（３５）は、温度安定性絶縁材料製である請求項２９から４０迄の何れか１記載の装置。
遮蔽部（３５）は、トリガ電極（１９）と良好に熱伝導するように結合されている請求項２９から４１迄の何れか１記載の装置。
遮蔽部（３５）は、少なくとも、開口（１４，１５）の直径に相応する直径を有している請求項２９から４２迄の何れか１記載の装置。