JP2004523471A - 珪素−ホウ素−炭素−窒素セラミック及び先駆化合物、それらの製造方法及びそれらの使用 - Google Patents
珪素−ホウ素−炭素−窒素セラミック及び先駆化合物、それらの製造方法及びそれらの使用 Download PDFInfo
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Abstract
Description
本発明は、構造特徴Si−N−Bを有するボリルシリルアミン、新規のボリルシリルアミン、新規のボロシラザン化合物、新規のオリゴ−又はポリボロシラザン化合物の新規の製造方法、セラミック材料及びそれぞれの製造方法及び使用に関する。
【0002】
分子先駆物質から多元の非酸化物セラミックを製造する方法は、ますます重要になってきた。このようにして、従来の合成法により主として概して製造されなかった材料が入手可能である。分子先駆物質から出発する際の主な利点は、最終生成物の高い純度及びセラミック繊維を得る可能性である。それというのも、中間段階として溶融可能なポリマーを得ることができるからである。最適な紡糸可能性のためには、ポリマーの分子量が十分に線状で存在することが決定的に重要である。
【0003】
既に1975年から、炭化ケイ素繊維を製造するために、分子先駆物質を介する合成法が利用される(特開昭75−50223公報)。アンモニア及びジクロルシランから得られる液状シラザンポリマーから窒化物セラミックの合成に関して、1983年に(D. Seyferth, G. H. Wiseman, C. Prud’homme, J. Am. Ceram. Soc. 66 (1983) C3)が報告された。1984年以来、メチルアミンを用いた脱ヒドロハロゲン化も先行技術である(D. Seyferth, G. H. Wisman, Polym. Prepr. 25 (1984) 10)。それによれば、ジクロルシラン及びエチルアミンから、加熱すると黒色のセラミックに変換されるポリマーが得られる。これは多数の別のハロゲン化合物に転用することができる。この方法で製造されたSi、B、N及びCからなるセラミックは、特に重要な特性を有する。このようなセラミックが有することができる異常な高温及び酸化安定性は、あらゆる別の方法で製造されたセラミックを明らかに凌駕している。
【0004】
DE4107108には、単成分先駆物質の架橋及び引き続いての熱分解によるセラミックSiBN3Cの合成が記載されている。この場合使用される先駆物分子トリクロルシリルアミノジクロルボラン(TADB、Cl3Si−NH−BCl2)はメチルアミンで架橋され、その際まず全て5つの塩素原子は脱ヒドロハロゲン化の下でメチルアミミノ基により置換される。それによって、NH官能基と一緒に、構造単位は引き続いてのポリマー内での縮合反応によって6つの橋掛け可能性を介して隣接した構造単位に接合する。こうして、強度に架橋したポリマーが得られる。従って、ポリマーの最適に所望される線状性は、DE4107107に基づく処理法では与えられずかつ紡糸は問題を提供する。
【0005】
従来使用された先駆物化合物TADBのもう1つの欠点は、面倒な取り扱い性及び制限された貯蔵性である。これは−20℃未満でも高反応性の攻撃性の発煙する液体であり、該液体は長時間貯蔵すると分解しながら連続的にトリクロルボラン及び塩酸を放出する。
【0006】
先駆物分子内の個々の反応性位置、ひいては橋掛け可能性をブロックすることが試みられた。しかしその際、シラン分離(TADBの合成に類似)の際に、問題が生じる。既に窒素へのメチル基の導入の際に、その更なる分離が行われない使用不能な生成物混合物が得られる(K. Barlos, H. Noeth, Chem. Ber. 110 (1977) 2790)。合成の失敗(これは固有の作業により証明することができる)にもかかわらず、該物質にはCAS番号が与えられた[64355−89−1]。この化合物に関するその他の刊行物は、今日まで存在しない。
【0007】
DE19628448には、慣用の物質アンモニア及びメチルアミンを越える架橋剤を使用することにより、セラミック内のC:N比を変化させることが記載されている。しかしこの場合には、紡糸可能なポリマーを得ることはできない。珪素含量は、DE4344161によればTADB及び種々のクロルシランからなる混合物のアンモノリシスにより高めることができる。ホウ素含量の上昇は、DE19530390に基づき、ポリマーをボラン化合物で処理することにより可能である。アミン化したTADBは、DE19635848によればCVD法におけるセラミック被覆のために使用することができる。
【0008】
更に、最大均一な元素分布は、ポリボロシラザンを、既にケイ素及びホウ素を含有する金属有機先駆物分子から製造した際にのみ達成することができることが判明した(H.−P. Baldus, M. Jansen, Angew. Cgem. 109 (1997) 339)。
【0009】
従って、本発明の課題は、従来の技術において公知の先駆化合物よりも僅かに架橋したポリマーを生じかつより簡単に取り扱いされる、新規の、簡単かつ高い収率で製造可能な金属有機化合物を提供することである。
【0010】
本発明のもう1つの課題は、このような又は類似した化合物の改良された製造方法を提供することである。
【0011】
前記課題は、本発明により、式(I):
RxHal3 − xSi−NR1−BRyHal2 − y (I)
[式中、Halはそれぞれ無関係にCl、Br又はIを表し、Rはそれぞれ無関係に1〜20個のC原子、有利には1〜10個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、R1は1〜20個のC原子、有利には1〜10個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、xは0,1又は2でありかつyは0又は1である]の化合物を製造する方法により解決される。
【0012】
本発明による方法においては、式(I)の化合物は、アミン成分R1NH2を順次にシラン成分SiHal4−xRx及びボラン成分BHal3−yRyと任意の順序で反応させることにより製造される。
【0013】
有利には、第1工程でシラン成分を気相内でアミン成分と連続的に又は分割して、キャリアガスを用いて又は用いないで、反応させる。形成された中間生成物は、有利には第2工程でボラン成分と濃縮した相内で、不活性溶剤中で又は気相内で更に反応させる。
【0014】
脱ヒドロハロゲン化工程で補助塩基を用いて支援することも可能である。
【0015】
この完全に新規の反応法で、殊に化合物ジクロルボリル−メチル−トリクロルシリル−アミンCl3Si−N(CH3)−BCl2を初めて純粋な形で製造することができた。この際まず、トリクロルシランとメチルアミンを気相で反応させる。中間生成物として、メチル−トリクロルシラン−アミンが生成し、これを濃縮した形で又は有利には気相内でトリクロルボランと反応させる。アミンで架橋させることにより、ポリマーのボロシラザンが得られ、これは低い枝分かれ鎖度、ひいては低い粘度を有する。単成分先駆物質の融点は、10℃である。従って、室温で加工は液体としての問題のない加工が可能である。それに対して、貯蔵する際に(従来の冷却棚内で)、物質は固体でありかつ危険なくかつ分解せずに実際に無制限に貯蔵することができる。物質の搬送のためにも、好ましい融点は大きな利点を有する。
【0016】
反応−時間、温度及び制御に関する多数の変形が可能である。そのように、まずホウ素成分を使用することもできる。類似した反応方法で、別のアミンを使用することにより窒素にメチル基の他に別の基を付加することもできる。テトラクロルシランの代わりにトリクロルシラン、ジクロルシラン又はアルキルハロゲンシラン(有利にはメチルクロルシラン)もしくはトリクロルボランの代わりにアルキルハロゲンボラン(有利にはメチルクロルボラン)を使用することにより、選択的に又は付加的に別の橋掛け位置をアルキル基によりブロック可能でるかもしくは橋掛けのSiH又はBH官能基として脱離される。
【0017】
本発明にに基づき製造される化合物は、ケイ素原子に結合された0,1又は2個の炭素原子を有するボルシリルアミンである。このような化合物は、構造特徴Si−N−Bを有する。x=1又は2及び/又はy=1のためには、これらの化合物は炭素を既に基礎骨格内に含有する。このような化合物を用いると、高められた炭素含量、及び新規の構造特徴、例えばSi−C−又はB−C結合の実現に基づき改良された機械的及び熱的負荷性を有するセラミックを製造することができる。本発明によるボルシリルアミンにおけるハロゲン原子の、しかもSi並びにまたBでの、炭化水素基による置換は、炭素の有利な導入の他に更に反応性ハロゲン原子の意図的な減少を生じる。それにより、本発明による化合物から形成されるオリゴマー又はポリマーの流動学的特性、特に粘度を変化させかつ/又は調整することができる。有利であるのは、なお2個の炭化水素基(x+y=2)を有し又は3個の炭化水素基(x+y=3)を有し、これらがなお2個の架橋可能なハロゲン原子を含有する化合物であり、それにより多次元的架橋が制限されかつ実質的に線状のポリマーが得られる。
【0018】
式(1)において、基R及びR1は、それぞれ無関係に1〜20個のC原子、有利には1〜10個のC原子を有する炭化水素基を表すことができる。炭化水素基は、元素炭素及び水素から形成された基である。本発明によれば、炭化水素基は分枝鎖状又は非分枝鎖状、飽和又は不飽和であってよい。炭化水素基は、また芳香族基を含有することができ、該基はまた炭化水素基で置換されていてもよい。有利な炭化水素基の例は、例えば非分枝鎖状炭化水素基、例えばC1〜C20−アルキル、特にメチル、エチル、n−プロピル、n−ブチル、n−ペンチル、n−ヘキシル、n−ヘプチル、n−オクチル、n−ノニル、及びn−デシルである。しかしまた、基Rは、分枝鎖状飽和炭化水素基、特に分枝鎖状C3〜C20−アルキル、例えばi−プロピル、i−ブチル、t−ブチル並びにその他の分枝鎖状アルキル基であってもよい。もう1つの有利な実施態様においては、基Rは、1つ以上のオレフィン系不飽和基を包含する。このような基の例は、ビニル、アリル、ブテニル、ペンテニル、ヘキセニル、ヘプテニル、オクテニル、ノネニル、デセニル、ブタジエニル、ペンタジエニル、ヘキサジエニル、ヘプタジエニル、オクタジエニル、ノナジエニル及びデカジエニルである。基Rは、アルキン基、従ってC≡C結合を含有することもできる。もう1つの有利な実施態様においては、少なくとも1つの基R及び有利には全ての基Rは、芳香族基、特に5〜10個のC原子、有利には5又は6個のC原子を有する芳香族基、例えばフェニル基、又は炭化水素基、特にC1〜C10−炭化水素で置換された芳香族基、特にフェニル基、例えばメチルフェニル、ジメチルフェニル、トリメチルフェニル、エチルフェニル又はプロピルフェニルを含有する。置換基を含めて、芳香族基は有利には5〜20、特に10個までのC原子を包含する。この場合、炭化水素基R並びにR1はそれぞれ互いに無関係に変更することができる。
【0019】
特に有利には、少なくとも1個の基R及び/又はR1及び特に全ての基R及び/又はR1は、例えばC1〜C20−アルキル基、特にC1〜C6−アルキル基、フェニル基、ビニル基又はアリル基又は1〜3個のC原子有する炭化水素基、特にメチル、エチル又はプロピル及び最も有利にはメチルを包含する。
【0020】
基Halは、ハロゲン原子を表しかつ特にCl、Br又はIを表し、この場合少なくとも1つのHal、有利には全てのHalはClを表すのが有利である。
【0021】
更に、本発明の基礎とする課題は、 式(I):
RxHal3 − xSi−NR1BRyHal2 − y (I)
[式中、Halはそれぞれ無関係にCl、Br又はIを表し、Rはそれぞれ無関係に1〜20個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、R1は1〜20個のC原子のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、xは0,1又は2でありかつyは0又は1である]のボル−シリル−アミン化合物、但しトリクロルシリルアミノジクロルボラン、Cl3Si−NH−BCl2又はクロルジメチルシリル−メチルアミノジクロルボラン、(CH3)2ClSi−N(CH3)−BCl2を除く、により解決される。
【0022】
基は有利には前記のものを有する。有利には、R1は1〜10個の炭素原子を有する炭化水素基を表しかつR及びR1はそれぞれ登場する際に互いに無関係にC1〜C6−アルキル、フェニル、ビニル又はアリルである。Halは、有利にはCl、全く特に有利にはそれぞれ登場する際にClを表す。有利な化合物の例は、メチルジクロルシリルアミノジクロルボラン、CH3Cl2−Si−NH−BCl2、ジメチルクロルシリルアミノジクロルボラン、(CH3)2ClSi−NH−BCl2、従って構造特徴C−Si−N−Bを有する化合物である。本発明の有利な実施態様は、ケイ素に結合した1又は2個のハロゲン原子が炭化水素基で置換される構造単位RHal2Si−並びにR2HalSi−を有する化合物を包含する。それにより、一面ではそのような化合物として製造されたセラミックの炭素含量が高められ、他面ではこのような化合物は減少された数の、オリゴマー化もしくはポリマー化に対して反応性のハロゲン原子を有する。
【0023】
更に有利であるのは、構造特徴−BHal2又は−BHalRを有する化合物である。
【0024】
この式(I)の先駆化合物の利点は、例えばNH官能基のような個々のポテンシャル橋掛け位置のブロッキングにより先駆物分子から形成されたポリマーの架橋度が低下せしめられることにある。
【0025】
一般式(I)の本発明による化合物から、第一又は第二アミンとの反応によりモノマー、オリゴマー又はポリマーのボロラザン化合物を製造することができる。このようなボロシラザン化合物においては、式(I)の化合物のハロゲン原子は完全に又は部分的にアミノ基より置換されている。従って、本発明は、式(II):
(R’R”N)qRxHal3 − x − qSi−N(R1)−BRyHal2 − y − z(NR’R”)z (II)
[式中、R’、R”、R及びR1は相互に無関係に1〜20個のC原子、1〜10個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、HalはCl.Br又はIを表し、qは0,1又は2であり、xは0,1又は2であり、yは0又は1であり、かつzは0,1又は2でありかつx+q≦3及びy+z≦2である]のボロシラザン化合物、但しトリス(ジメチルアミノ)シリルアミノビス(ジメチルアミノ)ボラン、((CH3)2N3Si−NH−B(N(CH3)2)2を除く、に関する。
【0026】
基の有利なものは、前記に示されているものである。基R1が1〜10個のC原子を有する炭化水素であるようなボロシラザン化合物が有利である。
【0027】
qは有利には0,1又は2でありかつ/又はxは1又は2である。更に、前記式中、有利にはq+z≧1、x+q≦3及び/又はy+z≦2である。
【0028】
ハロゲン原子が完全にアミノ基によって置換されている式(II)のボロシラザン化合物が有利である。このような化合物は、式(R’R”N)qRxSi−N(R1)−BRy(NR’R”)z[式中、q+x=3及びy+z=2である]を有する。
【0029】
なおボロシラザン化合物の1個以上のハロゲン原子が存在する場合には、Halは少なくとも1回登場する際及び有利にはそれぞれの登場の際にClであるのが有利である。
【0030】
更に有利であるのは、以下の式を有する:
【0031】
【化1】
【0032】
また、特に有利であるのは、全てのハロゲン原子がアミノ基によって置換されており、従ってまたなお炭化水素基又はアミノ基のみを有するボロシラザン化合物である。このような化合物は、以下の式を有する:
【0033】
【化2】
【0034】
前記式において、基Rはそれぞれ登場する際に化合物(I)において前記したかつ特に有利なものであると記載したものを表す。特に有利には、Rは1〜3個のC原子を有する炭化水素基、メチル基、エチル基又はプロピル基又はフェニル基又はビニル基である。
【0035】
基R’及びR”は、それぞれ無関係に水素又は1〜20個のC原子、1〜10個のC原子を有するを有する炭化水素基を表す。有利であるのは、基R’及びR”の少なくとも1つが1〜20個のC原子を有するを有する炭化水素基を表す化合物である。特に有利には、R’及びR”は、C1〜C20−アルキル基、特にC1〜C6−アルキル基、例えばメチル、エチル、プロピル、並びにフェニル基、アリル基又はビニル基から選択される。
【0036】
特に有利であるのは、R並びにR’及びR”がそれぞれ登場する際にメチルである化合物である。
【0037】
このようなボロシラザン化合物は、式(I)のボリルシリル−アミンを過剰のアミン化合物R’R”NHと−90℃〜+300℃、有利には−50℃〜+200℃のの温度で反応させることにより製造することができる。該反応は、気相内で、濃縮した形で又は溶剤内で実施することができる。
【0038】
式(I)及び/又は(II)の化合物とアミン化合物R’R”NHとの反応により、構造特徴Si−N−Bを有するオリゴ−又はポリボロシラザン化合物が生成する。
【0039】
モノマー又はオリゴマー単位は、温度処理により及び/又はアンモニア又はアミンでの架橋によりポリマーに変換することができる。従って、本発明は更に、式(I)及び/又は式(II)の化合物を式(V):
NHR’R” (V)
と反応させることにより、又は式(I)及び/又は式(II)の熱重合により得られるオリゴ−又はポリボロシラザン化合物である。このようなオリゴ−又はポリボロシラザン化合物は、構造特徴Si−N−Bを有する。
【0040】
モノマーと前記アミンとの反応は、開放系でもまた閉鎖系でも行うことができる。反応温度は、有利には−78〜+580℃、特に−50℃〜+250℃であり、反応時間は5分間〜20日である。
【0041】
反応のために適当なアミンは、例えばメチルアミン、エチルアミン、ジメチルアミン、アニリン又はアンモニアを包含する。反応は、純粋な成分においてもまた中性溶剤、例えばヘキサン、トルエン、THF又は塩化メチレン中でも実施することができる。反応温度は、有利には少なくとも−100℃、より有利には少なくとも−78℃及び有利には最高100℃まで、より有利には最高5℃までである。
【0042】
本発明によるポリボロシラザン化合物の粘稠度は、基R、R’、R”、R1並びに重合度に依存して弱粘性から樹脂もしくはワックス状を介して固体状態まで達する。熱架橋は、アミンを分離することにより新規のSi−N又はB−N結合の結合の下で行われる。アンモニアを用いた架橋は、NR’R”基をNH2基(これは次いで更に架橋される)により置換することにより行われる。
【0043】
オリゴ−又はポリボロシラザン化合物は、構造特徴;
【0044】
【化3】
【0045】
を有する。前記構造特徴は、理解やすくするために、線状配列であり、この場合Siはもちろん常に4個の隣接原子に、B、Nは常に3個の隣接原子にかつCはそれぞれ3又は4個の隣接原子に結合されている。しかしながら、相応する結合線は、理解しやすくするために省略してあるが、しかし当業者にはそのままで読み取ることができる。それぞれの原子に分枝鎖が登場することができる。
【0046】
特に有利には、B及びSiはN及び/又はCのみによって包囲されている。NとCは任意に包囲されていてもよく、この場合N−Nは有利には存在しない。
【0047】
本発明によるポリボロシラザンから、所望の炭ホウ素窒化ケイ素セラミックを製造することができる。従って、本発明のもう1つの対象は、炭ホウ素窒化ケイ素セラミックの製造方法であり、該方法は、ここに記載したようなモノマー、オリゴマー又はポリマーのボロシラザン化合物を不活性又はアミン含有、特にアンモニア含有雰囲気で800℃〜2000℃、有利には800℃〜1800℃、更に特に有利には1000℃〜1700℃、最も有利には1300℃〜1700℃で焼成することを特徴とする。アミノリシスもしくはアンモノリシス及び引き続いての熱分解によりボロシラザンは炭ホウ素窒化ケイ素セラミック粉末に変換される。該セラミックは、熱分解の際にアモルファス又は少なくとも部分的に微細結晶で生成する。有利には、これはアモルファス炭ホウ素窒化ケイ素である。該セラミックは、特に高い温度安定性及び酸素に対する不活性により優れている。セラミック内部には、含有された元素は殆ど完全に均一に分布されている。アモルファス材料のSiC、Si3N4及び/又はBNからなる複合セラミックへの結晶化は、>1700℃貯蔵することにより行うことがでいる。このような結晶質複合セラミック内には、SiC、Si3N4及び/又はBN微細結晶は有利にはナノメータ範囲で実質的に完全に均一に分布されている。
【0048】
有利には、セラミック内にSi−N−B構造単位が存在しかつ元素Si、N、B及び場合によりCは有利には90質量%より多く、より有利には95質量%より多く含有されている。この場合、炭素含有セラミックが有利である。本発明による炭ホウ素窒化ケイ素セラミック粉末は、特に、有利には<5質量%、より有利には<2質量%、最も有利には<1質量%のその低い酸素含量で優れている。炭ホウ素窒化ケイ素セラミックの本発明による製造方法を用いると、実際に酸素不含であるセラミックを製造することができる。
【0049】
セラミック材料は、有利には構造単位C−Si−N−B及び/又はSi−N−B、特に有利には構造単位C−Si−N−B−C、特に構造単位:
【0050】
【化4】
【0051】
を含有する。前記構造特徴は、理解やすくするために、線状配列であり、この場合Siはもちろん常に4個の隣接原子に、B、Nは常に3個の隣接原子にかつCはそれぞれ3又は4個の隣接原子に結合されている。しかしながら、相応する結合線は、理解しやすくするために省略してあるが、しかし当業者にはそのままで読み取ることができる。それぞれの原子に分枝鎖が登場することができる。
【0052】
有利には、B及びSiはN及び/又はCのみによって包囲されている。NとCは任意に包囲されていてもよく、この場合N−Nは有利には存在しない。
【0053】
ボロシラザン化合物とアンモニアとの反応のためには、全ての文献から公知のテトラクロルシランのアミノリシスもしくはアンモノリシス、例えば低温での固体もしくは液体アンモニアとの反応(US−A−4196178)、有機溶剤中でのガス状アンモニアとの反応(US−3959446)又は塩化水素を分解しながらの高温反応におけるアンモニアとの反応(US−A−4145224)を利用することがでいる。
【0054】
有利な1実施態様では、式(I)のボリル−シリル−アミンをアンモニアと−200℃〜+1400℃の温度でアンモノリシスし、生成した中間生成物を不活性雰囲気及び/又はアンモニア内で800℃〜1400℃の温度で焼成する。
【0055】
この特殊な実施態様に依存せずに、不活性雰囲気は、希ガス雰囲気、例えばアルゴン又はヘリウム雰囲気、窒素雰囲気、又は800℃〜1700℃の反応条件下で反応パートナーとは反応しない別の不活性ガスからなる雰囲気から選択することができる。
【0056】
そうして得られる、有利にはアモルファス又は結晶質のセラミック及びその製造方法の他に、本発明はまた、モノマー、オリゴ−もしくはポリボロシラン化合物並びにアモルファス及び少なくとも部分的に結晶質のセラミック被覆の、セラミック繊維、セラミック被覆、セラミック成形体、セラミックシート及び/又はセラミック微細構造を製造するための使用に関する。
【0057】
成形したポリボロシラン化合物は、ポリマーを溶融不能にするために、物理的又は化学的前処理、例えば硬化又は架橋にかけることができる。
【0058】
溶融不能なポリボロシラン化合物の適当な処理は、例えばDE19530390A1に記載されており、この場合には溶融不能な化合物はボラン−アミンアダクトと反応させることにより得られる。
【0059】
微細構造は、例えば射出成形又はリソグラフィー法により製造することができる。特に有利には、繊維の形のセラミックを製造され、これから別のセラミックのための強度又は粘靱性を高める充填材として使用することができる、例えば織物もしくは織物が製造される。
【0060】
更に、本発明によるボロシラザン化合物はまた化学的蒸着(CVD)又は物理蒸着(PVD)においても使用することができる。CVD又はPVDにより支持体を被覆することにより、セラミック被膜又は被覆を製造することができる。この場合蒸着は、従来の技術に記載されてるいるように実施することができる(例えばDE19635848C1参照)。
【0061】
以下に、本発明を実施例により説明する。
【0062】
例1
メチル−トリクロルシリル−アミンの製造
4リットルの3首フラスコを、250mlのフラスコ及び冷却トラップとそれぞれコックを介して接続する。真空化した4リットルの3首フラスコにテトラクロルシラン2ml(18ミリモル)を供給する。250mlのフラスコにメチルアミン(常圧で、14ミリモル)を充填する。テトラクロルシランが完全に蒸発すると直ちに、メチルアミンを4リットルのフラスコに流入させる。10〜60秒間の反応時間後に、生成物を冷却トラップ内で凝縮させる。該プロセスをしばしば任意に繰り返すことができる。その際、物質量は広い範囲にわたって変動可能である。過剰のテトラクロルシランと混合された反応生成物が清澄な液体として得られる。60℃で、これは任意に保持可能であり、室温では重合が行われる。
【0063】
【外1】
【0064】
例2
ジクロルボリル−メチル−トリクロルシリル−アミンの製造
例1からの反応生成物(約0.1モル)を、78℃で乾燥n−ヘキサン250mlで希釈する。トリクロルボラン20g(0.17モル)を縮合させる。第一に形成されたアダクトの乳状懸濁液が形成される。反応混合物の温度を徐々にヘキサン沸点まで高める。この際、溶液は清澄になりかつ粒子状の塩沈殿物(Cl3SiNH2Me+Cl−)が析出する。これを濾別しかつ濾液を分留する。58℃及び11ミリバールで、生成物12g(約0.05モル)が得られる。従って、収率は定量的である。
【0065】
【外2】
【0066】
例3
メチルアミンでのジクロルボリル−メチル−トリクロルシリル−アミンの架橋
メチルアミン0.5モルを乾燥n−ヘキサン200ml中に溶かしかつ78℃に冷却する。撹拌下に、4時間以内でジクロルボリル−メチル−トリクロルシリル−アミン6g(25ミリモル)及び乾燥n−ヘキサン250mlを滴加する。加熱後に、塩化メチルアンモニウムの沈殿物を濾別しかつヘキサンを減圧で留去する。100〜300℃の温度範囲内で熱処理した後に、最終的に固体のポリマー約3gが得られる。この際、その都度の粘度をその間にある範囲内で意図的に調整することもできる。
【0067】
例4
SiBCNセラミックの製造
例3からなるポリマーを、六方晶の窒化ホウ素からなる坩堝内で窒素流中で300K/hの加熱速度で1400℃に加熱する。アモルファスの黒色のセラミック粉末が得られる。
【0068】
例5
クロル(メチル)ボリル−メチル−トリクロルシリル−アミンの製造
例1からの反応生成物(約30ミリモル)を、−78℃で乾燥n−ヘキサン250mlで希釈する。ジクロルメチルボラン3g(31ミリモル)を縮合させる。第一に形成されたアダクトの乳状懸濁液が形成される。反応混合物の温度を徐々に高める。この際、溶液は清澄になりかつ粒子状の塩沈殿物(Cl3SiNH2Me+Cl−)が析出する。これを濾別しかつ濾液を濃縮する。生成物3g(約13ミリモル)が得られる。
【0069】
例6
ジクロルボリル−メチル−ジクロル(メチル)シリル−アミンの製造
4リットルの3首フラスコを、250mlのフラスコ及び冷却トラップとそれぞれコックを介して接続する。冷却トラップに乾燥n−ヘキサン100ml及び過剰のトリクロルボランを装入する。真空化した4リットルの3首フラスコにトリクロルメチルシラン2ml(17ミリモル)を供給する。250mlのフラスコにメチルアミン(常圧で14ミリモル)を充填する。シランが完全に蒸発すると直ちに、メチルアミンを4リットルのフラスコに流入させる。10〜60秒間の反応時間後に、生成物を冷却トラップ内で凝縮させる。該プロセスを20回繰り返す。反応混合物の温度を徐々に高める。この際、溶液は清澄になりかつ粒子状の塩沈殿物(MeCl2SiNH2Me+Cl−)が析出する。これを濾別しかつ濾液を濃縮する。生成物9g(約40ミリモル)が得られる。
【0070】
【外3】
【0071】
例7
メチル−トリクロル−アミンの連続的製造
反応フラスコを、それぞれ絞り弁を介してメチルアミン及びテトラクロルシランの貯蔵容器と接続する。反応混合物を連続的にポンプで排出しかつ冷却トラップ内で凍結させる。この反応制御では正確な量比は示すことはできないが、しかしアミンは常に不足量で存在することが保証されねばならない。該プロセスを、塩化メチルアンモニウムの沈殿物が反応フラスコを十分に満たすまで保持することができる。
【0072】
例8
メチル−トリクロルシリル−アミン及びトリクロルボランからなるアダクトの連続的製造
メチル−トリクロルシリル−アミンを、メチルアミン及び常圧で蒸発したテトラクロルシランを調節可能な絞り弁を通して一緒に連続的に真空化される反応管に流入させることにより製造する。メチルアミンのテトラクロルシランに対する物質量比をガス流量測定器を用いて測定し、そうして、1:0.5〜1:08になるように調整する。反応管を理想的には外部から水で冷却する。反応管内の壁部に結晶質の塩化メチルアンモニウムが硬質の層として析出する。
【0073】
反応管の後方で、もう1つの絞り弁を通して連続的にトリクロルボランを僅かに過剰で流入させる。メチル−トリクロルシリル−アミン及びトリクロルボランからなるアダクトが、定量的収率で無色の沈殿物として形成される。典型的な実験制御で、5〜8時間以内でテトラクロルシラン約700g、メチルアミン約100g及びトリクロルボランが反応せしめられる。
【0074】
例9
ジクロルボリル−メチル−トリクロルシリル−アミンの合成
溶剤を用いない変更例:
メチル−トリクロルシリル−アミン及びトリクロルボランからなるアダクト(例8からの生成物)100gを、アルゴン雰囲気中で70℃に加熱する。その際、形成されたトリクロルボランを留去する。ジクロルボリル−メチル−トリクロルシリル−アミン及び塩Cl3SiNH2Me+Cl−からなる混合物が残留する。高真空で、ジクロルボリル−メチル−トリクロルシリル−アミンを不揮発性の塩から分留することができる。
【0075】
溶剤を用いた変更例:
メチル−トリクロルシリル−アミン及びトリクロルボランからなるアダクト(例8からの生成物)100gを、乾燥n−ヘキサン500ml中に懸濁させる。該懸濁液を、還流下に30分間沸騰させる。その際、乳状の懸濁液から粒子状の塩沈殿物(Cl3SiNH2Me+Cl−)を有する清澄な溶液が形成され、かつ形成されたトリクロルボランを留去する。塩沈殿物を濾別しかつ溶剤の留去後に、ジクロルボリル−メチル−トリクロルシリル−アミン43gが残留する。該反応生成物は、既に例2で特性を決定した。
Claims (28)
- 式(I):
RxHal3 − xSi−NR1−BRyHal2 − y
[式中、
Halはそれぞれ無関係にCl、Br又はIを表し、
Rはそれぞれ無関係に1〜20個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、
R1は1〜20個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、
xは0,1又は2でありかつ
yは0又は1である]の化合物を製造する方法において、アミン成分R1NH2を順次にシラン成分SiHal4−xRx及びボラン成分BHal3−yRyと任意の順序で反応させることを特徴とする、前記式(I)の化合物の製造方法。 - 第1工程で、シラン化合物を気相内でアミン化合物と連続的に又は分割してキャリアガスを用いて又は用いないで反応させる、請求項1記載の方法。
- 第2工程でボラン成分を濃縮した相で、不活性溶剤内又は気相内で、シラン成分とアミン成分との反応の際に形成された中間生成物と反応させる、請求項1又は2記載の方法。
- 脱ヒドロハロゲン化工程を補助塩基で支援する、前記請求項のいずれか1項記載の方法。
- 式(II):
RxHal3 − xSi−NR1BRyHal2 − y
[式中、
Halはそれぞれ無関係にCl、Br又はIを表し、
Rはそれぞれ無関係に1〜20個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、
R1は1〜20個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、
xは0,1又は2でありかつ
yは0又は1である]のボリル−シリル−アミン、但しトリクロルシリルアミノジクロルボラン、Cl3Si−NH−BCl2又はクロルジメチルシリルメチルアミノジクロルボラン、(CH3)2ClSi−N(CH3)−BCl2を除く。 - R1が1〜10個のC原子を有する炭化水素基を表す、請求項5記載の化合物。
- Halがそれぞれ登場する際にClを表す、請求項5又は6記載の化合物。
- R及びR1がそれぞれ登場する際に互いに無関係にC1〜C6−アルキル、フェニル、ビニル又はアリルである、請求項5から7までのいずれか1項記載の化合物。
- 式(II):
(R’R”N)qRxHal3 − x − qSi−N(R1)−BRyHal2 − y − z(NR’R”)z
[式中、
R’、R”、Rは相互に無関係に1〜20個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、
HalはCl.Br又はIを表し、
qは0,1又は2であり
xは0,1又は2であり、
yは0又は1であり、
zは0,1又は2でありかつ
x+q≦3及びy+z≦2である
]のボロシラザン化合物、但しトリス(ジメチルアミノ)シリルアミノビス(ジメチルアミノ)ボラン、((CH3)2N3Si−NH−B(N(CH3)2)2を除く。 - 基R1が1〜10個の炭素原子を有する炭化水素基である、請求項9記載のボロシラザン化合物。
- 請求項9又は10記載のボロシラザン化合物を製造する方法において、請求項1から4までのいずれか1項に基づき製造されたボリル−シリル−アミン又は請求項5から8までのいずれか1項記載のボリル−シリル−アミンをアミン化合物とR’R”NHと−90℃〜+300℃の温度で反応させる、ボロシラザン化合物の製造方法。
- 反応を気相内で、濃縮した形で又は溶剤内で実施する、請求項11記載の方法。
- 式(I):
RxHal3 − xSi−NR1BRyHal2 − y
[式中、
Halはそれぞれ無関係にCl、Br又はIを表し、
Rはそれぞれ無関係に1〜20個のC原子を有する炭化水素基又は水素を表し、
xは0,1又は2でありかつ
yは0又は1である]の1種以上のホウ素−シリル−アミン化合物又は請求項1から4までのいずれか1項に基づき得られるホウ素−シリル−アミン化合物(但し、トリクロルシリルアミノジクロルボラン、Cl3Si−NH−BCl2を除く)及び/又は請求項9又は10記載のボロシラザンオリゴマー混合物をアミン化合物R’R”NHと反応させることにより得られるオリゴ−又はポリボロシラザン化合物において、構造特徴Si−N−Bを有することを特徴とする、オリゴ−又はポリボロシラザン化合物。 - 窒化珪素ホウ素セラミックを製造する方法において、請求項5から8までのいずれか1項記載の又は請求項1から4までのいずれか1項記載の方法に基づき製造されたボリル−シリル−アミン又は請求項9又は10の1項記載のボロシラザン化合物をアンモニアと−200℃〜1400℃の温度でアンモノリシスしかつ生成した中間生成物を不活性雰囲気及び/又はアンモニア中で800℃〜1400℃の温度で焼成することを特徴とする、窒化珪素ホウ素セラミックの製造方法。
- アモルファス窒化珪素ホウ素セラミック粉末を製造する、請求項14記載の方法。
- セラミック材料を製造する方法において、請求項13記載のオリゴ−又はポリボロシラザン化合物を不活性又はアンモニア含有雰囲気内で800℃〜1800℃の温度で熱分解することを特徴とする、セラミック材料の製造方法。
- セラミック内にSi−N−B構造単位が存在する、請求項14から16までのいずれか1項に基づき得られる窒化珪素ホウ素セラミック。
- 無定形材料である、請求項17記載の窒化珪素ホウ素セラミック。
- 少なくとも部分的に結晶質のセラミック材料である、請求項17記載の窒化珪素ホウ素セラミック。
- 成分SiC、Si3N4、BN及びB4Cの少なくとも1つを有する複合セラミックを製造する方法において、請求項17から19までのいずれか1項記載の炭ホウ素窒化珪素セラミックを>1700℃の温度で貯蔵する、複合セラミックの製造方法。
- 少なくとも部分的に結晶質の複合セラミックを製造する、請求項20記載の方法。
- 請求項17から19までのいずれか1項記載の炭ホウ素窒化珪素セラミックの結晶化により請求項20又は21記載のの方法に基づき得られる複合セラミックにおいて、SiC、Si3N4、BN及びB4Cが分子分散分布で存在することを特徴とする複合セラミック。
- 請求項17から19又は22までのいずれか1項記載の又は請求項14から16又は20から21までのいずれか1項に基づき製造されたセラミック材料の、セラミック成形体、セラミック繊維、セラミック被覆又はセラミック微細構造を製造するための使用。
- 請求項9又は10の1つに記載のボロシラザン化合物の、セラミック繊維、セラミック被覆、セラミック成形体、セラミックシート及び/又はセラミック微細構造を製造するための使用。
- 請求項13記載のオリゴ−又はポリボロシラン化合物の、セラミック成形体、セラミック繊維、セラミック被覆又はセラミック微細構造を製造するための使用。
- 微細構造を射出成形又はリソグラフィー方法により製造する、請求項23から25までのいずれか1項記載の使用。
- セラミック繊維から、織物、編み物又はフェルト製造する、請求項23から25までのいずれか1項記載の使用。
- 請求項9又は10記載のボロシラザン化合物の、化学蒸着(CVD)又は物理蒸着(PVD)における使用。
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