JP2004518914A - 高剛性クロスローラーベアリング構造 - Google Patents
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Abstract
本発明は、第1の要素と第2の要素との間に配置されている一対のベアリング組立体を備える平行移動テーブルに関する。各々のベアリング組立体は、ベアリング分離ストリップの一方の端部に一対のローラーベアリングを有し、分離ストリップの反対側の端部には別の一対のローラーベアリングを有している。これら外側のローラーベアリング対の間には、ベアリングは配置されていない。分離ストリップの内側部分にローラーベアリングをもたないローラーベアリング組立体は、比較的高剛性のベアリング組立体をもたらす。
Description
【0001】
(技術分野)
本発明は、機械的な平行移動テーブルに組み込むことができるクロスローラーベアリング組立体に関する。
【0002】
(背景技術)
一般に、平行移動テーブルは、静止基体に対して移動可能なプラットフォームを有している。テーブルは、一方の対象物を他方の対象物に対して正確に移動させる手段となっている。例えば、光学的試験台において、フォーカシング・ミラーやレンズ等の光学的構成部品は、平行移動装置の摺動プラットフォームに取り付けることができる。プラットフォームは、オペレータによって操作できるマイクロメータに取り付けて、試験台に対する光学的構成部品の位置を変更できるようになっている。構成部品の移動は、光学ビームの反射角度や収束点等の光学的特性を変更できる。
【0003】
一般に、平行移動テーブルは、プラットフォームと静止基体との間に配置されて2部材間の摩擦を最小にする多数のベアリングを有する。一般に、平行移動テーブルのベアリング組立体は、ベアリング分離ストリップの全長にわたって配置される複数のローラーベアリングを含む。製造公差に起因して、ベアリング分離ストリップの中央部にあるローラーベアリングは、ストリップの外側端部に配置されるベアリングよりも大きい場合があることが知られている。これはベアリング組立体の中央部でプラットフォームをぐらつかせる原因になる。この状況は、ベアリング組立体の剛性を低下させる。剛性の低下は、プラットフォームの精度を低下させる。精度の低下は、ナノメータの解像度が要求される光学的ベンチで用いられる場合には特に問題である。
【0004】
(発明の開示)
ベアリング組立体は、ベアリング分離ストリップの第1の端部に配置されている第1のローラーベアリング対と、第2の端部に配置されている第2のローラーベアリング対とを備える。各々のローラーベアリング対は、ベアリング分離ストリップのローラーベアリングをもたない部分により分離される。
【0005】
(発明を実施するための最良の形態)
一般に、本発明は、第1の要素と第2の要素との間に配置されているベアリング組立体対を備える平行移動テーブルを含む。各々のベアリング組立体は、ベアリング分離ストリップの一方の端部に配置される一対のローラーベアリングと、ベアリング分離ストリップの反対側の端部に配置される別の一対のローラーベアリングとを有する。ベアリングは、各々の外側のローラーベアリング対の間には配置されていない。分離ストリップの内側部分にローラーベアリングをもたないローラーベアリング組立体の場合は、比較的剛性の高いベアリング組立体がもたらされる。第2の要素は、先行技術に見られるような必要以上に大きい中央ベアリングの周りでぐらつくことなく外側のローラーベアリング対に沿って摺動することができる。
【0006】
特に参照番号によって図面を参照すると、図1及び図2は、本発明の平行移動テーブル10の実施形態を示す。平行移動テーブル10は、第1の要素12及び第2の要素14を含む。第2の要素14は、第1の要素12に対して動くことができるプラットフォームである。第2の要素14は、1つ又はそれ以上のネジ孔16及び溝18を備えることができる。
【0007】
ネジ孔16及び溝18は、機械的構成部品を第2の要素14に取り付けるためのものである。例えば、光学的取付けポスト(図示せず)は、ネジ孔16へネジ留めして、第2の要素14へ取り付けることができる。第2の要素14を摺動させることによって、第1の要素12に対してポストを移動させることができる。特に図示はしないが、マイクロメータ等のアクチュエータを第2の要素14に取り付け、それを操作して要素14を移動させるようにすることができる。
【0008】
第1の要素12は、複数の留め具24によって基体22に取り付けられる一対のベアリング外側案内部材20を含む。留め具24は、外側案内部材20においてカウンタボアが設けられたクリアランスホール26を貫通して延びる。第1の要素12は、別個の部品として構成されているので、テーブル10を製造する上での複雑性が低減される。
【0009】
平行移動テーブル10は、一対のローラーベアリング組立体30を備えることができる。各々の組立体30は、ベアリング分離ストリップ32を含むことができる。また、各々の組立体30は、分離ストリップ32の一端部36に配置されている第1のローラーベアリング対34と、ストリップ32の反対の端部40に配置されている第2のローラーベアリング対38とを含むことができる。
【0010】
各々のローラーベアリング対は、第1の傾斜角度で配置される外側のローラーベアリング42と、第2の傾斜角度で配置される内側のローラーベアリング44を含むことができる。典型的には、第2の傾斜角度は、第1の傾斜角度に対して90度に定められている。内側のローラーベアリング44は、対向する第1の要素12及び第2の要素14の座面46に対して回転する。外側のローラーベアリング42は、対向する第1の要素12及び第2の要素14の座面48に沿って回転する。交差型ローラーベアリングの場合、互いに90度の向きにあるベアリングは、ヨー、ピッチ、及びロール方向において比較的剛性の高いベアリング組立体を形成する。
【0011】
ローラーベアリング42及び44は、分離ストリップ32の対応する開口52の中に配置される。分離ストリップ32は、ベアリング42及び44がテーブル10から転がり出るのを防ぐストップピン(図示せず)によって第1の要素12に連結されてもよい。
【0012】
作動時、第2の要素14は、第1の要素12に対して移動する。第2の要素14の移動は、第1の要素12のローラーベアリング42及び44に沿うスライドを引き起こす。一対のローラーベアリング42及び44を分離ストリップ32の外側端部にのみ設け、分離ストリップ32の中央部分に設けないと、ベアリング組立体30の剛性が高くなることが分かった。
【0013】
添付の図面には、特定の例示的な実施形態が説明され示されているが、本実施形態は、単なる例示的なものであり広範な本発明を限定するものではなく、当業者であれば他の多くの変形例を考えることができるので、本発明は、図示され説明されている特定の構造及び配置に限定されるものではないことを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明の平行移動テーブルの斜視図である。
【図2】
平行移動テーブルの組立分解図である。
(技術分野)
本発明は、機械的な平行移動テーブルに組み込むことができるクロスローラーベアリング組立体に関する。
【0002】
(背景技術)
一般に、平行移動テーブルは、静止基体に対して移動可能なプラットフォームを有している。テーブルは、一方の対象物を他方の対象物に対して正確に移動させる手段となっている。例えば、光学的試験台において、フォーカシング・ミラーやレンズ等の光学的構成部品は、平行移動装置の摺動プラットフォームに取り付けることができる。プラットフォームは、オペレータによって操作できるマイクロメータに取り付けて、試験台に対する光学的構成部品の位置を変更できるようになっている。構成部品の移動は、光学ビームの反射角度や収束点等の光学的特性を変更できる。
【0003】
一般に、平行移動テーブルは、プラットフォームと静止基体との間に配置されて2部材間の摩擦を最小にする多数のベアリングを有する。一般に、平行移動テーブルのベアリング組立体は、ベアリング分離ストリップの全長にわたって配置される複数のローラーベアリングを含む。製造公差に起因して、ベアリング分離ストリップの中央部にあるローラーベアリングは、ストリップの外側端部に配置されるベアリングよりも大きい場合があることが知られている。これはベアリング組立体の中央部でプラットフォームをぐらつかせる原因になる。この状況は、ベアリング組立体の剛性を低下させる。剛性の低下は、プラットフォームの精度を低下させる。精度の低下は、ナノメータの解像度が要求される光学的ベンチで用いられる場合には特に問題である。
【0004】
(発明の開示)
ベアリング組立体は、ベアリング分離ストリップの第1の端部に配置されている第1のローラーベアリング対と、第2の端部に配置されている第2のローラーベアリング対とを備える。各々のローラーベアリング対は、ベアリング分離ストリップのローラーベアリングをもたない部分により分離される。
【0005】
(発明を実施するための最良の形態)
一般に、本発明は、第1の要素と第2の要素との間に配置されているベアリング組立体対を備える平行移動テーブルを含む。各々のベアリング組立体は、ベアリング分離ストリップの一方の端部に配置される一対のローラーベアリングと、ベアリング分離ストリップの反対側の端部に配置される別の一対のローラーベアリングとを有する。ベアリングは、各々の外側のローラーベアリング対の間には配置されていない。分離ストリップの内側部分にローラーベアリングをもたないローラーベアリング組立体の場合は、比較的剛性の高いベアリング組立体がもたらされる。第2の要素は、先行技術に見られるような必要以上に大きい中央ベアリングの周りでぐらつくことなく外側のローラーベアリング対に沿って摺動することができる。
【0006】
特に参照番号によって図面を参照すると、図1及び図2は、本発明の平行移動テーブル10の実施形態を示す。平行移動テーブル10は、第1の要素12及び第2の要素14を含む。第2の要素14は、第1の要素12に対して動くことができるプラットフォームである。第2の要素14は、1つ又はそれ以上のネジ孔16及び溝18を備えることができる。
【0007】
ネジ孔16及び溝18は、機械的構成部品を第2の要素14に取り付けるためのものである。例えば、光学的取付けポスト(図示せず)は、ネジ孔16へネジ留めして、第2の要素14へ取り付けることができる。第2の要素14を摺動させることによって、第1の要素12に対してポストを移動させることができる。特に図示はしないが、マイクロメータ等のアクチュエータを第2の要素14に取り付け、それを操作して要素14を移動させるようにすることができる。
【0008】
第1の要素12は、複数の留め具24によって基体22に取り付けられる一対のベアリング外側案内部材20を含む。留め具24は、外側案内部材20においてカウンタボアが設けられたクリアランスホール26を貫通して延びる。第1の要素12は、別個の部品として構成されているので、テーブル10を製造する上での複雑性が低減される。
【0009】
平行移動テーブル10は、一対のローラーベアリング組立体30を備えることができる。各々の組立体30は、ベアリング分離ストリップ32を含むことができる。また、各々の組立体30は、分離ストリップ32の一端部36に配置されている第1のローラーベアリング対34と、ストリップ32の反対の端部40に配置されている第2のローラーベアリング対38とを含むことができる。
【0010】
各々のローラーベアリング対は、第1の傾斜角度で配置される外側のローラーベアリング42と、第2の傾斜角度で配置される内側のローラーベアリング44を含むことができる。典型的には、第2の傾斜角度は、第1の傾斜角度に対して90度に定められている。内側のローラーベアリング44は、対向する第1の要素12及び第2の要素14の座面46に対して回転する。外側のローラーベアリング42は、対向する第1の要素12及び第2の要素14の座面48に沿って回転する。交差型ローラーベアリングの場合、互いに90度の向きにあるベアリングは、ヨー、ピッチ、及びロール方向において比較的剛性の高いベアリング組立体を形成する。
【0011】
ローラーベアリング42及び44は、分離ストリップ32の対応する開口52の中に配置される。分離ストリップ32は、ベアリング42及び44がテーブル10から転がり出るのを防ぐストップピン(図示せず)によって第1の要素12に連結されてもよい。
【0012】
作動時、第2の要素14は、第1の要素12に対して移動する。第2の要素14の移動は、第1の要素12のローラーベアリング42及び44に沿うスライドを引き起こす。一対のローラーベアリング42及び44を分離ストリップ32の外側端部にのみ設け、分離ストリップ32の中央部分に設けないと、ベアリング組立体30の剛性が高くなることが分かった。
【0013】
添付の図面には、特定の例示的な実施形態が説明され示されているが、本実施形態は、単なる例示的なものであり広範な本発明を限定するものではなく、当業者であれば他の多くの変形例を考えることができるので、本発明は、図示され説明されている特定の構造及び配置に限定されるものではないことを理解されたい。
【図面の簡単な説明】
【図1】
本発明の平行移動テーブルの斜視図である。
【図2】
平行移動テーブルの組立分解図である。
Claims (20)
- 第1の要素と、
前記第1の要素に対して移動可能な第2の要素と、
前記第1及び第2の要素の間に配置され、第1の端部及び第2の端部を有す第1のベアリング分離ストリップと、
前記第1のベアリング分離ストリップの前記第1端部に配置されている第1のローラーベアリング対と、
前記第1のベアリング分離ストリップの第2端部に配置され、前記第1のベアリング分離ストリップのローラーベアリングをもたない部分によって前記第1のローラーベアリング対から分離されている第2のローラーベアリング対と
を備えることを特徴とする平行移動テーブル。 - 前記第1及び第2のローラーベアリング対の各々は、第1の傾斜角度に方向付けられた外側のローラーベアリングと、第2の傾斜角度に方向付けられた内側のローラーベアリングとを含むことを特徴とする請求項1に記載のテーブル。
- 前記テーブルは、
第1の端部及び第2の端部を有し、前記第1及び第2の要素の間に配置される第2のベアリング分離ストリップと、
前記第2のベアリング分離ストリップの前記第1の端部に配置される第3のローラーベアリング対と、
前記第2のベアリング分離ストリップの前記第2の端部に配置される第4のローラーベアリング対と
を備え、
前記第4のローラーベアリング対は、前記第2のベアリング分離ストリップのローラーベアリングをもたない部分によって前記第3のローラーベアリング対と分離されていることを特徴とする請求項1に記載のテーブル。 - 前記第3及び第4のローラーベアリング対の各々は、第1の傾斜角度に方向付けられた外側のローラーベアリングと、
第2の傾斜角度に方向付けられた内側のローラーベアリングと、
を含むことを特徴とする請求項3に記載のテーブル。 - 前記第2の要素は、ネジ孔を含むことを特徴とする請求項1に記載のテーブル。
- 前記第2の要素は、溝を含むことを特徴とする請求項1に記載のテーブル。
- 前記第1の要素は、基体に取り付けられるベアリングの外側案内部材を含むことを特徴とする請求項1に記載のテーブル。
- 前記第1のベアリング分離ストリップは、複数の開口を有し、前記ローラーベアリングは、前記開口内に配置されることを特徴とする請求項1に記載のテーブル。
- 前記第1のベアリング分離ストリップは、前記第1の要素に連結されることを特徴とする請求項1に記載のテーブル。
- 第1の要素と、
前記第1の要素に対して移動可能な第2の要素と、
前記第1及び第2の要素の間に配置され、第1の端部及び第2の端部を有す第1のベアリング分離ストリップと、
前記第1のベアリング分離ストリップの前記第1の端部に配置されている第1のローラーベアリング対と、
前記第1のベアリング分離ストリップの第2端部に配置されている第2のローラーベアリング対と、
を備えることを特徴とする平行移動テーブル。 - 前記第1及び第2のローラーベアリング対の各々は、
第1の傾斜角度に方向付けられた外側のローラーベアリングと、
第2の傾斜角度に方向付けられた内側のローラーベアリングと
を含むことを特徴とする請求項10に記載のテーブル。 - 前記テーブルは、
前記第1及び第2の要素の間に配置され、第1の端部及び第2の端部を有する第2のベアリング分離ストリップと、
前記第2のベアリング分離ストリップの前記第1端部に配置される第3のローラーベアリング対と、
前記第2のベアリング分離ストリップの前記第2端部に配置される第4のローラーベアリング対と
を備え、
前記第4のローラーベアリング対は、前記第2のベアリング分離ストリップのローラーベアリングをもたない部分によって前記第3のローラーベアリング対と分離されていることを特徴とする請求項11に記載のテーブル。 - 前記第3及び第4のローラーベアリング対の各々は、
第1の傾斜角度に方向付けられた外側のローラーベアリングと、
第2の傾斜角度に方向付けられた内側のローラーベアリングと、
を含むことを特徴とする請求項12に記載のテーブル。 - 前記第2の要素は、ネジ孔を含むことを特徴とする請求項10に記載のテーブル。
- 前記第2の要素は溝を含むことを特徴とする請求項10に記載のテーブル。
- 前記第1の要素は基体に取り付けられるベアリング外側案内部材を含むことを特徴とする請求項10に記載のテーブル。
- 前記第1のベアリング分離ストリップは、複数の開口を有し、前記ローラーベアリングは、前記開口内に配置されることを特徴とする請求項10に記載のテーブル。
- 前記第1のベアリング分離ストリップは、前記第1の要素に連結されることを特徴とする請求項10に記載のテーブル。
- 第1の端部及び第2の端部を有するアリング分離ストリップと、
前記ベアリング分離ストリップの第1端部に配置されている第1のローラーベアリング対と、
前記ベアリング分離ストリップの第2端部に配置され、前記ベアリング分離ストリップのローラーベアリングをもたない部分によって前記第1のローラーベアリング対と分離されている第2のローラーベアリング対と
を備えることを特徴とするローラーベアリング組立体。 - 前記第1及び第2のローラーベアリング対の各々は、
第1の傾斜角度に方向付けられた外側のローラーベアリングと、
第2の傾斜角度に方向付けられた内側のローラーベアリングと、
を含むことを特徴とする請求項19に記載のベアリング組立体。
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US09/782,920 US6655840B2 (en) | 2001-02-13 | 2001-02-13 | Stiff cross roller bearing configuration |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2004518914A true JP2004518914A (ja) | 2004-06-24 |
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Family Applications (1)
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WO (1) | WO2002064984A2 (ja) |
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