JP2004516653A - Rfおよびマイクロ波通信集積回路用熱電スポット冷却装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一実施形態では、冷却装置は、集積回路要素の直ぐ近くの領域に熱的に結合された低温プレート、この低温プレートに熱的に結合された熱電冷却装置、およびこの熱電冷却装置に熱的に結合された高温プレートを含む。熱は低温プレートを通して集積回路要素から除去され、熱電冷却装置を通して高温プレートに伝達される。1つの形態では、高温プレートは集積回路の外面に位置づけされるか結合されるので、集積回路要素から周囲に伝達された熱は集積回路を囲繞する雰囲気中に放散されるようになる。他の形態では、高温プレートは、集積回路基板中に埋め込まれて、熱を基板中に放出しながら、集積回路の要素を局部的に冷却する。
【選択図】図7
Description
【発明の属する技術範囲】
本発明は一般的に集積回路の分野に関し、より詳細には、集積回路を冷却する方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
無線周波数(RF)およびマイクロ波周波数の使用は、20世紀の大部分で通信を行うために利用されてきた。RFおよびマイクロ波技術の初期の使用には、同報通信と2方向通信の両方の無線通信、および侵入してくる航空機を検出するレーダが含まれていた。この初期の技術の大部分は、第二次世界大戦を戦う際に役立つように1940年代に開発された。
【0003】
戦争後、RFおよびマイクロ波技術は他の通信領域に拡張された。電話会社は、マイクロ波技術を使用して、例えば非常に山の多い地域のような伝送線を築くことが実際的でない地域を横断して音声通信を伝えた。また、RF周波数は、出現するテレビジョン産業でも人々の家庭にテレビジョン放送を伝えるために使用され、家庭ではテレビジョン・セットで放送信号が受信された。
【0004】
極最近は、衛生信号を搬送するためにRF伝送が使用されており、この衛生信号は例えば、軍用と商業用途の両方の衛星信号、並びに、極最近はテレビジョン内容の加入者家庭への配信およびインターネット・アクセスのための衛星信号である。また、RFおよびマイクロ波の周波数は、無線(セルラー式)電話サービスを提供するためにも使用され、これらのサービスには、アナログ通信サービス、ディジタル通信サービス、およびパーソナル通信サービス(PCS)がある。
【0005】
RF伝送による電子通信の伝送容量は、周波数信号の範囲(帯域幅)および帯域幅内のチャネルの数によって決定される。伝送容量は、1秒当たりのビット、1秒当たりのバイトの単位で、またはヘルツ(1秒あたりのサイクル)の単位で表される。ますます多くの情報がRF回路を通して伝送されるようになるにつれて、この情報伝送の増大に対処するために、より広い帯域幅が求められている。しかし、RFシステム、セルラー・システムおよびマイクロ波システムの帯域幅およびチャネル容量は、システム内の増幅プロセスおよびフィルタ処理プロセスの信号対雑音(S/N)比で制限されている。S/N比を高める1つの重要な方法は、回路の動作温度を下げて熱雑音を低減することである。したがって、RF回路の帯域幅およびチャンネル容量を増大するようにRF回路を冷却する装置、システム、および方法を所有していることが望ましい。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、無線周波トランジスタまたは受信機で使用される電界効果トランジスタ回路のような集積回路部品を冷却するための装置を提供する。
【0007】
【課題を解決するための手段】
第1の態様において、本発明は集積回路の要素を冷却するための装置を提供し、この装置は、集積回路の選ばれた要素に熱的に結合された低温プレートと、この低温プレートに熱的に結合された熱電冷却装置と、この熱電冷却装置に熱的に結合された高温プレートとを備え、熱は集積回路の選ばれた要素から低温プレートを通して除去され、熱電冷却装置を通して高温プレートに伝達される。そして、熱は高温プレートから放散される。
【0008】
一実施形態では、本冷却装置は、集積回路部品に熱的に結合された低温プレートと、この低温プレートに熱的に結合された熱電冷却装置と、この熱電冷却装置に熱的に結合された高温プレートとを含む。熱は低温プレートを通して集積回路部品から除去され、熱電冷却装置を通して高温プレートに伝達される。集積回路部品から高温プレートに伝達された熱が集積回路チップを囲繞する雰囲気に放散されるように、高温プレートは、集積回路の表面に位置づけらている。
【0009】
他の実施形態では、集積回路の要素を冷却するための装置が提供され、この装置は、集積回路の選ばれた要素に熱的に結合された低温プレートと、この低温プレートに熱的に結合された熱電冷却装置と、この熱電冷却装置に熱的に結合された高温プレートとを備え、高温プレートは集積回路のバルク基板中に熱を流し込むように熱的に結合され、さらに、集積回路要素からの熱は低温プレートから熱電冷却装置を通して運ばれ、高温プレートを通してバルク基板中に放散される。
【0010】
これから、本発明の好ましい実施形態を、単に例として、添付の図面を参照してより詳細に説明する。
【0011】
【発明の実施の形態】
図を参照すると、特に図1から5を参照すると、冷却動作の恩恵を受ける一般的な無線周波(RF)回路の例の回路図を示す。図1は、受動アンテナ・システムの例を示す。図2は、入力低雑音増幅器(LNA)の例を示す。図3は、RF回路のミクサ段の例を示す。図4は直角位相発信器の例を示す。図5は、出力の電力増幅器(PA)の例を示す。信号経路に使用されるこれらの回路およびフィルタのチャネル選択度は、受動インダクタおよびコンデンサのQ、およびトランジスタの熱雑音電圧によって決定される。Qも熱雑音電圧も、動作温度に強く依存している。
【0012】
ここで、図6を参照すると、チップ上に形成された渦巻き形インダクタのQの一般的な温度依存性のグラフを示す。図6に示すグラフは、CMOSテスト・チップのクロック成生器に実現された150×150μm2の3.1ナノヘンリー(nH)渦巻き形インダクタ・コイルのQとギガヘルツ(GHz)単位の動作周波数との関連を3つの温度について示す。図6に示すように、全ての動作周波数で、インダクタの温度が下がるにつれて渦巻き形インダクタ・コイルのQは連続的に大きくなる。摂氏100度のインダクタ温度で、インダクタ・コイルのQは、1.0から10.0GHzまでの周波数範囲にわたって、ほぼ2〜3の範囲にある。インダクタ・コイルの温度が摂氏25度に下がると、Qは同じ周波数範囲でほぼ5.0に増大する。インダクタ・コイルの温度がさらに摂氏−123度に下がると、同じ周波数範囲にわたって、Qはさらにほぼ15.0から18.0にも増大する。このようにして、誘導コイルの動作温度を下げることで、著しい利点を達成することができる。他のRF回路に関して、温度低下の同様な利点が得られる。発信器の位相雑音Lは、また、回路の動作温度の影響を直接受ける。発信器の位相雑音の温度依存性は、次の式で与えられる。
【数1】
ここで、R=(LC)タンクの実効抵抗(温度に依存する)
ω0=発振の中心周波数
Δω=周波数オフセット
F=能動デバイスからの雑音に関係する項
Psignal=発振の電力レベル
T=ケルビン単位の絶対動作温度
【0013】
この式から、発信器の温度が上昇するにつれて、位相雑音が増大することが明らかである。したがって、位相雑音の量を減少させるために、発信器をより低温で動作させることが有利である。
【0014】
図7を参照すると、本発明に従った熱電冷却(TEC)デバイス300の高レベル・ブロック図を示す。TECデバイス300は、温度敏感要素に近い集積回路デバイスに結合するのが好ましい。よく知られている原理である熱電冷却は、ペルチェ効果に基づいている。このペルチェ効果によって、電源302からの直流電流が2つの異なる材料の両端間に加えられて、この2つの異なる材料の接合で熱が吸収されるようになる。一般的な熱電冷却デバイスでは、熱伝導特性が優れ電気伝導の悪い導体308の間にサンドイッチ状に挟まれたp型半導体304とn型半導体306が利用される。電子が電気導体310を介してp型半導体304からn型半導体306に移動するとき、熱源312から吸収する熱エネルギーによって、電子のエネルギー状態は高くなる。このプロセスは、p型半導体304および電気導体310を通過する電子流によって熱エネルギーを熱源312からヒート・シンク316に伝達するという効果を有する。電子は、電気導体310でより低いエネルギー状態に落ち、熱エネルギーを放出する。
【0015】
図8を参照すると、本発明に従ったICのRF回路を冷却する直接結合冷却装置の上面図を示す。集積回路400は、受動渦巻き形コイル402に熱的に結合された2個の冷却装置404および406を含む。冷却装置404および406は、例えば、図7のTECデバイス300として実現することができる。この実施形態で、冷却装置406の低温プレートは、ビア構造408および410を使用して受動渦巻き形コイル402の一端に直接結合する。ビア構造408と410および、より下のレベルの相互接続414は、熱および電気伝導性の銅組成であるのが好ましい。冷却装置404の低温プレートは、好ましくは同じく銅組成の渦巻き形コイル402の他端420に熱的に直接結合する。
【0016】
冷却装置404および406並びに渦巻き形コイル402の部分は、集積回路400の同じ層内に組み立てる。相互接続414は、渦巻き形コイル402の層から集積回路400のより下の層に作る。2個の冷却装置404〜406を使用して渦巻き形コイル402を冷却するように示しているが、単一の冷却装置を利用することもできる。しかし、直列で動作する2個の冷却装置は、単一冷却装置よりも渦巻き形コイル402を強力に冷却することができ、さらに渦巻き形コイル402の異なる部分間の熱勾配を減少するのに役立つ。
【0017】
冷却装置406と受動渦巻き形コイル402の間の電気的な分離は、電流モードの回路を使用して、または、化学気相成長(CVD)二酸化シリコンまたは陽極酸化アルミニウムのような極薄誘電体パシベーション層を使用して実現することができる。アルミニウムの陽極酸化がCVD二酸化シリコンよりも好ましい。その理由は、1〜10ナノメートル(nm)の誘電体層を容易に形成することができ、かつアルミナ(酸化アルミニウム)の熱伝導率は二酸化シリコンのそれよりも優れているからである。
【0018】
図9を参照すると、本発明に従った電流制御熱電冷却装置(TEC)の回路を示す。電流制御TEC回路500は電流モード回路の例であり、この電流モード回路は、受動渦巻き形コイル402からの冷却装置404〜406の電気的分離を維持するために、直接結合冷却装置400とともに使用することができる。電流制御TEC回路500は、pチャネル電界効果トランジスタ502〜506、nチャネル・トランジスタ508、インバータ510と512〜514、およびTEC516を含む。TEC516は、熱を放散する高温端部518および、冷却すべきデバイスに熱的に結合される低温端部520を有する。
【0019】
トランジスタ508のゲートは、バイアス制御電圧Vbc並びにインバータ510の入力に結合する。インバータ510の出力は、トランジスタ506のゲートに結合する。トランジスタ506のドレインおよびトランジスタ508のドレインは、トランジスタ512のソースおよびトランジスタ512〜514のゲートに結合するので、その結果、トランジスタ512および514は、カレント・ミラー構成となる。トランジスタ512〜514のドレインは、接地Gndに結合する。トランジスタ514のソースは、TEC516の第2の端部に結合する。このようにして、電流制御TEC回路500は、バイアス電圧Vbcに基づいてTEC516を流れる一定電流の流れI0を維持する。たとえTEC516の低温端部520がデバイスに電気的に接続されても、キルヒホッフの法則によって、TEC516とデバイスの間を流れる電流はない。このようにして、電流モード・バイアス回路500によって、TEC516の電気的な分離が保証される。
【0020】
図10および11を参照すると、図10は、本発明に従ってRF用IC回路を冷却するための集積回路チップのパターン形成された低温プレートの上面図を示し、図11は、この集積回路チップの部分の断面図を示す。この実施形態で、図8に示すような直接結合冷却装置の使用に代わるものとして、例えば図1〜9に示すRF回路の1つのようなRF回路650の下に低温プレート602を配置する。RF回路650の下に低温プレート602を配置することで、RF回路650の中のインダクタおよびコンデンサの大きな面積が冷却される。しかし、低温プレート602は、RF回路650内のどの回路にも物理的に接触しないで、誘電体材料604で分離されている。低温プレート602は、熱導体608を介して熱電冷却装置606に熱的に結合されている。
【0021】
低温プレート602を金属で作り、かつこれをRF回路650内のインダクタの下で使用する場合、インダクタとの磁気結合に起因する金属層内の循環渦電流の誘起を回避するように、低温プレート602をパターン形成する。
【0022】
集積チップ600は、過大な量の熱を発生しないので冷却を必要としない、RF回路650以外の他の領域を含むことができる。このようにして、かなりの熱を発生し冷却を必要とする集積回路600の部分(すなわち、RF回路650)だけをスポット冷却することで、本発明によって、電力節約の効率を達成することができる。
【0023】
図12および13を参照すると、図12は、本発明に従った、集積回路(IC)の本体/基板レベルを経由したTEC冷却装置への直接熱結合を図示する上部切り取り平面図を示し、図13は、集積回路(IC)の本体/基板レベルを経由したTEC冷却装置への直接熱結合の切り口750に沿った断面図を示す。ビア702〜712は、IC700の低温プレート762をIC700の本体/基板レベル752に熱的に結合する。本体/基板レベル752は、低雑音増幅器回路を含むことができる。TEC冷却装置714の低温プレート762は、介在する金属化層または酸化膜層754あるいはその両方によって、IC700の本体/基板レベル752から分離されている。
【0024】
電気導体760は、p形不純物サーモエレメント758をn型不純物サーモエレメント756に結合して、電流が電気導体768からサーモエレメント756および758を通って流れ、さらに電気導体766を通って流れ出ることができるようにする。電気的に絶縁性で熱的に伝導性の高温プレート764は、電気導体766〜768と物理的に接触し、熱がサーモエレメント756〜758から高温プレート764に流れ込むことができるようにする。この高温プレートで、熱は放散される。
【0025】
図14を参照すると、本発明に従って、RF用CMOSIC上に製造された例示の熱電スポット冷却装置の断面図を示す。この例示の実施形態では、集積回路(IC)チップ800は低雑音増幅器(LNA)トランジスタ808を含み、この低雑音増幅器(LNA)トランジスタ808は、シリコン基板890の上にある埋込み酸化膜894の中にシリコン・オン・インシュレータ(SOI)トランジスタとして形成されている。熱電冷却装置(TEC)832は、LNAトランジスタ808を冷却するために、LNAトランジスタ808の上に配置されている。TEC832用の電流源を実現する第2のトランジスタ806は、また、埋込み酸化膜894中にSOIトランジスタとして形成される。酸化膜層816を貫通する伝導性ビア構造810は、トランジスタ806のドレイン826をTEC832に結合して、TEC832のp型半導体材料838およびn型半導体材料840に電流を供給する。p型半導体領域838およびn型半導体領域840は、図7のp型半導体304およびn型半導体306と同様な機能を実現する。
【0026】
熱を放散するための熱スプレッダ830は、例えば図7のヒート・シンク316のようなヒート・シンクとして作用し、層834を介してTEC832の高温側要素に熱的に結合されているが電気的には結合されていない。層834は、例えば極薄酸化物またはアルミナで製造することができる。熱スプレッダ830は、半田で層834に結合されるかもしれない。
【0027】
N型半導体840は、薄い層836を介して低温プレート828に熱的に結合する。層836は、例えば、極薄酸化物またはアルミナから製造することができる。
【0028】
低温プレート828は、それぞれビア814および812を使用して酸化物層816を通して、トランジスタ808のドレイン824とソース822の両方に熱的に結合する。ビア812および814並びにビア810は、一般に、例えば銅(Cu)またはタングステン(W)のような金属で製造され、電気と熱の両方の優れた伝導体である。ビア814は、ドレイン拡散824と反対の不純物型である拡散領域818を通してドレイン824に熱的に結合する。この拡散領域818は、ビア814および低温プレート828のドレイン824からの電気的分離を維持しながら熱的結合を実現する。ビア812は、同様な拡散領域820を通してソース822に熱的に結合する。この拡散領域820は、ビア812および低温プレート828のソース822からの電気的分離を維持しながら、熱的結合を実現する。
【0029】
このようにして、RF動作によってトランジスタ808で熱が発生するとき、この熱は、ビア812および814を通してTEC832の低温プレート828に運び去られる。そして、この熱は低温プレート828から熱スプレッダ830に伝達され、そこでICチップ800から放散される。
【0030】
随意に、部分844の反応性イオン・エッチング(RIE)を行うことができる。RIEエッチングによって、部分844に溝を形成し、この溝によって、高温プレート838に接続されたビア810から、低温プレート828をさらに確実に熱的に分離することができる。
【0031】
図14に示す構造は、RF用ICデバイスに直接結合された熱電スポット冷却装置の例として与えるものであり、本発明を限定する意図ではない。例えば、もっと多くの、またはもっと少ない金属化層M1〜M5およびLMを、例えばトランジスタ808のようなRFデバイスと低温プレート828の間に使用することができる。さらに、トランジスタ808は、本発明の範囲および精神から逸脱することなく、任意の単一または複合の温度敏感デバイスであることができる。また、留意すべきことであるが、本発明は、SOIトランジスタとして組み立てられたRFトランジスタに限定されることはなく、バルク・トランジスタおよびトランジスタ以外のRFデバイスにも適用することができる。さらに、ICチップ802の要素は、図示したもの以外の物質および化合物で作ることができる。
【0032】
ここで図15を参照すると、本発明に従って、熱電冷却装置が受動インダクタ中に組み込まれ、熱がバルク基板中に排出される例示のRF渦巻き形インダクタ回路の断面図を示す。ICチップ900は、示した図に見ることが出来る部品908および910を有する渦巻き形インダクタを含む。渦巻き形インダクタの部品908および910は、例えば銅(Cu)のような電気伝導性材料から形成する。渦巻き形インダクタを低温端部904に形成し、インダクタ部品であるインダクタのリード線908および910を低温端部904に熱的に結合する。この低温端部904は、今度は、フォトレジスト(PR)支持912を用いてICチップ900の表面930の上に部分的に支持する。
【0033】
熱電冷却装置902は、低温端部904をTECのp型要素914およびn型要素916の低温端部に結合する、電気伝導性であるが熱伝導性でない薄い層906を含む。TECを駆動する電流は、導体932を通して供給され、この導体932は、図示の例では、第2の金属化層M2中に存在する。また、熱電冷却装置902は、ビア920への熱結合を実現するように、熱伝導性であるが電気伝導性でない第2の薄い層918を含む。そして、ビア920は、酸化物層922を貫通して基板926の高温端部924への熱接続を実現する。渦巻き形インダクタで熱が発生するとき、その熱はTEC902によって低温端部904から高温端部924に、そしてバルク・シリコン基板926に運ばれて、渦巻き形インダクタを冷やす。
【0034】
集積回路の表面にある高温プレートを介してバルク基板中か集積回路を囲繞する雰囲気中かに熱を放散することに関連して、主に本発明を説明したが、熱は他の手段でも放散することができる。例えば、熱は、空気中に直接ではなくヒート・パイプを介して排出することができる。さらに、熱電冷却装置は、単一型の熱電冷却装置に限定されることなく、例えば量子点冷却装置のようないくつかの異なる型の熱電冷却装置のいずれか1つとして実施することができる。
【0035】
また、留意すべきことであるが、本発明は、フォトレジストまたは誘電体の支持物が容易に冷却プロセスに組み込まれる状態にある金属構造を可能にする。さらに、本発明は図示の例示構造で限定されないこと、および、本発明の範囲および精神から逸脱することなく使用することができる多数の代替え構造があることにも留意すべきである。
【0036】
本発明の記述は、実例と説明のために表現され、網羅的である意図でなく、または開示された形態の発明に限定される意図でない。多くの修正物および変化物が当業者には明らかになるであろう。本発明の原理および実際的な応用を適切に説明するために、および当業者が、意図する特定の使用に適しているような様々な修正物を有する様々な実施形態に関して、本発明を理解することができるようにするために、実施形態を選びかつ説明した。
【図面の簡単な説明】
【図1】
冷却動作の恩恵を受ける一般的な無線周波数(RF)回路の例を示す回路図である。
【図2】
冷却動作の恩恵を受ける一般的な無線周波数(RF)回路の例を示す回路図である。
【図3】
冷却動作の恩恵を受ける一般的な無線周波数(RF)回路の例を示す回路図である。
【図4】
冷却動作の恩恵を受ける一般的な無線周波数(RF)回路の例を示す回路図である。
【図5】
冷却動作の恩恵を受ける一般的な無線周波数(RF)回路の例を示す回路図である。
【図6】
チップ上に形成された渦巻き形インダクタのQの一般的な温度依存性を示すグラフである。
【図7】
本発明に従った熱電冷却(TEC)デバイスを示す高レベル・ブロック図である。
【図8】
本発明に従ったICのRF回路を冷却するための直接結合冷却装置を示す上面図である。
【図9】
本発明に従った電流制御熱電冷却装置(TEC)の回路を示す図である。
【図10】
本発明に従ったRF用IC回路を冷却するためのパターン形成された低温プレートを示す上部切り取り平面図である。
【図11】
本発明に従ったRF用IC回路を冷却するためのパターン形成された低温プレートを示す上部切り取り断面図である。
【図12】
本発明に従った集積回路(IC)のLNA/PAレベルおよび本体/基板レベルと冷却装置との直接熱結合を示す上部切り取り平面図である。
【図13】
本発明に従った集積回路(IC)のLNA/PAレベルおよび本体/基板レベルと冷却装置との直接熱結合を示す上部切り取り断面図である。
【図14】
本発明に従ったRF用CMOSICの上に製造された例示の熱電スポット冷却装置を示す断面図である。
【図15】
本発明に従って、熱電冷却装置が受動インダクタ中に組み込まれ、熱がバルク基板中に排出される例示のRF渦巻き形インダクタ回路を示す断面図である。
Claims (22)
- 集積回路の要素を冷却するための装置であって、
前記集積回路の選ばれた要素に熱的に結合された低温プレートと、
前記低温プレートに熱的に結合された熱電冷却装置と、
前記熱電冷却装置に熱的に結合された高温プレートとを備え、
熱が前記集積回路の前記選ばれた要素から前記低温プレートを通して除去され、前記熱電冷却装置を通して前記高温プレートに伝達され、さらに
熱が前記高温プレートから放散される装置。 - 前記高温プレートが、熱を周囲雰囲気に放散するように前記集積回路の表面に露出している、請求項1に記載の装置。
- 前記高温プレートが、熱を放散するための受動要素に熱的に結合されている、請求項1に記載の装置。
- 前記高温プレートが、前記集積回路のバルク基板に熱を流し込むように熱的に結合され、その結果、前記集積回路要素からの熱が、前記低温プレートから前記熱電冷却装置を通して伝達され、さらに前記高温プレートを通して前記バルク基板中に放散される、請求項3に記載の装置。
- 電流が前記集積回路内の電界効果トランジスタから前記熱電冷却装置に供給され、前記電界効果トランジスタのドレインがビア構造によって前記熱電冷却装置に電気的に結合されている、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記低温プレートが、熱伝導体によって前記集積回路の前記選ばれた要素に熱的に結合され、前記熱伝導体が、前記集積回路の前記選ばれた要素から前記低温プレートを少なくとも部分的に電気的に分離する、請求項1ないし5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記集積回路の前記選ばれた要素がトランジスタであり、前記低温プレートが前記トランジスタのドレインとソースの両方に熱的に結合されている、請求項1ないし6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記トランジスタが、低雑音増幅器トランジスタである、請求項7に記載の装置。
- 前記トランジスタが、SOI型トランジスタである、請求項7または請求項8に記載の装置。
- 前記集積回路の前記選ばれた要素がコンデンサである、請求項1ないし6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記集積回路の前記選ばれた要素がインダクタである、請求項1ないし6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記インダクタが渦巻き形インダクタである、請求項11に記載の装置。
- 前記集積回路の前記選ばれた要素が、無線周波回路で使用される、請求項1ないし12のいずれか一項に記載の装置。
- 前記無線周波回路がアンテナを備える、請求項13に記載の装置。
- 前記無線周波回路が受動アンテナを備える、請求項14に記載の装置。
- 前記無線周波回路が低雑音増幅器を備える、請求項13ないし15のいずれか一項に記載の装置。
- 前記無線周波回路がミクサを備える、請求項13ないし16のいずれか一項に記載の装置。
- 前記無線周波回路が直角位相発信器を備える、請求項13ないし17のいずれか一項に記載の装置。
- 前記無線周波回路が電力増幅器を備える、請求項13ないし18のいずれか一項に記載の装置。
- 前記熱電冷却装置が量子点冷却装置である、請求項1ないし19のいずれか一項に記載の装置。
- 前記低温プレートが、支持物によって、前記集積回路の表面から離れて部分的に支持されている、請求項1ないし20のいずれか一項に記載の装置。
- 前記支持物がフォトレジストを含む、請求項21に記載の装置。
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