JP2004502935A - ヘリウムまたは水素のためのセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ヘリウムのためのセンサであって、真空密なケーシングと、測定すべきガスのための選択的に作用する通路とが設けられており、ケーシング内に、ガスを消費する冷陰極ユニットが設けられているものに関する。
【0002】
ドイツ連邦共和国特許第4326265号明細書により、上記の特徴を備えたセンサが公知である。このようなセンサは、比較的簡単な構造を有していて、ほぼ大気圧(センサのケーシングの外部で)まで作動可能である。しかし、このようなセンサは、今のところ市場では広まっていない。それというのは、特に、通常使用されるが高価な質量分析装置と比較して感度が過度に悪く、そのため、テストガス分圧の低い真空条件下では使用することができないからである。
【0003】
本発明の課題は、冒頭で述べた形式のセンサを改良して、よりよい特性を有するものを提供することである。本発明によれば、この課題は、特許請求の範囲に記載された特徴によって解決される。
【0004】
ケーシングがガラスからなっているので、ケーシングの内部へH2ガスが放出されない。この場合、有利にはホウケイ酸ガラスが使用され、それというのは、このホウケイ酸ガラスが、熱的に適合した金属に対応する封入にも、ケイ素との陽極接合もしくは拡散溶接にも適しているからである。さらに、本発明によるセンサの場合に用いられるガス通路(ドイツ連邦共和国特許第19521275号明細書により自体公知)は、十分な安定性を備えていてかつ比較的大きな面積を有するガス通路の構造を得ることができる。最後に、ガス通路とケーシングとを陽極接合または拡散溶接によってポリマーなしでおよびエラストマーなしで結合させることにより、シール部材または接着剤からケーシングの内部へガスが放出されない、という利点が得られる。全てのこれらの手段は、センサの感度に有利に作用する、もしくは検出限界を向上させる。
【0005】
本発明の別の利点および詳細を、図1〜図4により概略的に示した実施態様によって説明する。
【0006】
図1〜図3は、ほぼ直方体形状のケーシングを備えた実施態様を示した図であり、
図4は、マグネトロンの形状を備えた実施態様を示した図である。
【0007】
全ての図において、センサ1のケーシングを符号2で、このケーシング2の内部に位置するカソード構成部材を符号3で、アノード構成部材を符号4で、ケーシング2の外部に配置されたマグネットを符号5で表す。ケーシング2はそれぞれ、1つの開放された端面6を有していて、その他は閉鎖されて形成されている。この端面の領域には、フランジ状の縁部7が取付けられており、この縁部7の端面側の環状面8は、陽極接合および拡散溶接によってガス通路9(図1〜図3のみに図示)とケーシング2との結合を形成するために用いられる。ケーシング2の、開放された端面6もしくはガス通路9とは反対側の端面11には、電気的な貫通案内部材12,13が設けられており、これらの貫通案内部材12,13は、導線を介して、単にブロック14として示された制御装置、測定装置、記録装置、表示装置、および/または供給装置に接続されている。貫通案内部材12は、カソード構成部材3に高電圧を供給するのに用いられている。貫通案内部材13は、アノード4を装置14に接続している。この貫通案内部材13には、シールド15が取付けられている。それというのは、貫通案内されている導線が、極めてわずかなイオン流(fA領域まで)を装置14へ供給する役割を果たしているからである。貫通案内部材12,13およびシールド15のための材料としては、鉄/(コバルト)/ニッケル合金(商品名VACON,KOVAR,...)が極めて有利である。タングステンおよび白金も、特別な種類のガラスと共に場合によっては使用可能である。
【0008】
図1〜図3に示した実施態様では、ケーシング2は、ほぼ直方体の形状を有している。ケーシング2の内部には、貴金属4からなる環状アノードと、ほぼ正方形の、有利にはチタン薄板片からなる2つのカソード3とが設けられており、これらのカソード3は、環状アノード3の端面に通常のように前置されている。電極は、水素放出を最小限にするために、高真空下でのガス抜きプロセスで、約600〜900℃に加熱される。
【0009】
図3は斜視図である。この図では、観察者に向かうケーシング壁は省略されている。マグネット5、有利には永久マグネットにより生じた磁界を、矢印17で表す。この図3は、ガス通路9の2つの拡大断面図である図3aおよび図3bを含んでいる。図3aは、ガス通路9の断面図を示す。ガス通路9は、おもに、所望の選択的な特性を備えた膜18と保持体19とからなる。保持体19はケイ素ディスクであり、このケイ素ディスクには、公知のエッチング法により多数の貫通孔21が設けられている。これらの貫通孔21は、膜18により閉鎖された、たとえば0.5mm2の窓面を有する窓を形成している。これらの窓面の合計が、実際のガス通路(全貫流面)となる。
【0010】
ガス通路9は、たとえば、ドイツ連邦共和国特許出願公開第19521257号明細書より公知であるような方法に基づき製造されてよい。このことは、ヒータ23についても同様であり、このヒータ23は、ガス通路9に、応答時間を向上させるために取付けられている。図3bに示した実施態様では、それぞれの窓面に、ニッケル/クロムまたは有利には白金24からなっていて外部に位置する加熱コイルが取付けられている。加熱コイルへの電気の供給は、構造の外側の縁部から行われ、そこでは、各エッジ面に、全ての加熱コイルのそれぞれ1つの極が集合している。
【0011】
図5に基づく実施態様では、ケーシング2およびカソード3は、円筒形に形成されている。アノード4は棒状であって、ケーシング2とカソード3との共通の軸線25に配置されている。マグネット5により生じた磁力線を、矢印26により示す。
【0012】
本発明に基づく手段によって、ケーシング2内へのガスの放出が起こらないので、これにより、質量分析装置に匹敵する分圧感度が得られる。たとえばホウケイ酸ガラスからなるケーシング2を別の材料と組み合わせるかもしくは密に結合させることが必要であるので、ケーシング2の異なる領域が、種々異なる膨張係数を備えた様々な種類のガラスからなっていると有利である。これにより、ケーシングの膨張係数を、このケーシングが別の材料と密に結合すべき箇所で、この別の材料の膨張係数に適合させることができる。これにより、ケーシング2のシール性は向上し、材料応力は低減する。
【0013】
3.0ppm/Kの熱膨張係数を有するケイ素へ適合させるには、3.3ppm/Kを有するDURANガラスが特によく適している。KOVARまたはVACONへ適合させるには、5.0ppm/Kを有するSCHOTT封入ガラス8250が最適である。その他に、白金と温度計ガラスとの組み合わせも可能であり、原則的には、タングステンはDURANと組み合わせてよい。異なる膨張係数の橋渡しのために、多数のいわゆる移行ガラスが提案されており、これらの移行ガラスは、温度条件によって変化する応力ひいては破壊にまで至るシール性の悪さを防止したい場合には、相応の順序で使用されなければならない。
【0014】
図示の実施態様では、たとえば、端面6もしくは陽極接合面8の領域でケーシング2のために用いられる種類のホウケイ酸ガラスは、選択的な膜18を保持するケイ素ディスク19に適合している。また、それとは反対側の端面11の領域では、この領域でケーシング2のために用いられる種類のホウケイ酸ガラスは、有利には、その領域で貫通案内された金属(たとえばKOVARまたはVACON)の膨張係数に対応している。端面6と11との間の移行領域では、有利には、端面で用いられる両方の種類のガラスの膨張係数の間の値をとるような膨張係数を有する種類の移行ガラスが用いられる。必要であれば、材料応力を防ぐために、同様の段階で変化する膨張係数を有する複数の種類の移行ガラスが用いられてもよい。上記の手段による製造例を以下に示す。
【0015】
・ケーシングはDURANガラス(SCHOTT)からなり、電流貫通案内部材はSCHOTT8250ガラス中に封入されたKOVARまたはVACONからなり、さらに、移行ガラスからなるドーム状部分を用いてDURANに適合させ、ケイ素ディスクを直接的に陽極接合させる。
【0016】
・ケーシングは封入ガラス(SCHOTT8250)からなり、電流貫通案内部材はKOVARまたはVACONからなり、ケイ素ディスクをアルミニウムを介在させて拡散溶接させる。
【0017】
・ケーシングはDURANガラス(SCHOTT)からなり、および電流貫通案内部材はタングステンからなり、ケイ素ディスクを直接的に陽極接合させる。
【0018】
・ケーシングはDURANガラス(SCHOTT)からなり、電流貫通部材は温度計ガラス中に封入された白金からなり、さらに、移行ガラスからなるドーム状部分を用いてDRANに適合させ、ケイ素ディスクを直接的に陽極接合させる。
【0019】
上述の種類のガラスは例であり、重要なのは、金属とガラスとのそれぞれの膨張係数が適合していることである。
【0020】
本発明によれば、このセンサの利点は、特に、大気圧近傍まで作動できかつ十分な感度を有しているということである。したがって、このセンサは、質量分析装置の代わりに、漏洩検出で使用することができる、つまり、このセンサは、漏洩検出装置のテストガスディテクタの構成部材であってよく、この場合、試料が漏洩検出装置に接続されているか、または検知器が設けられていてこの検知器によって試料が検査されるかどうかには関係がない。
【0021】
たとえば常時圧力が変化する真空設備内で使用されても有利である。しかも、漏洩検出装置のテストガスディテクタの構成部材としての使用も、ガスセンサとしての一般的な使用にも有利である。真空室での漏洩検出においては、この真空室に、外部からテストガスが吹き付けられる。漏洩がある場合には、テストガスが入り込み、センサにより記録される。
【図面の簡単な説明】
【図1】
ほぼ直方体形状のケーシングを備えた実施態様を示す図である。
【図2】
ほぼ直方体形状のケーシングを備えた別の実施態様を示す図である。
【図3】
ほぼ直方体形状のケーシングを備えたさらに別の実施態様を示す図である。
【図3a】
ガス通路での拡大断面図である。
【図3b】
ガス通路の、加熱コイルを備えた拡大断面図である。
【図4】
マグネトロンの形状を備えた実施態様を示す図である。
Claims (8)
- ヘリウムまたは水素のためのセンサ(1)であって、真空密のケーシング(2)と、測定すべきガスのための選択的に作用する通路(9)とが設けられており、ケーシング(2)内に、ガスを消費する冷陰極ユニット(3,4)が設けられている形式のもにおいて、
ケーシング(2)がガラスからなっており、ガス通路(9)の構成部材が、ケイ素材料からなっていて所望の選択的な特性を備えた膜(18)と、この膜(18)を保持していて多数の貫通孔(21)を有するケイ素ディスク(19)と、ヒータ(24)とになっており、ケーシング(2)と選択的に作用するガス通路(9)とが、ポリマーなしでおよびエラストマーなしで互いに結合されていることを特徴とする、ヘリウムまたは水素のためのセンサ。 - ケーシング(2)と選択的に作用するガス通路(9)とが、接合または拡散溶接によって、高真空密に互いに結合されている、請求項1記載のセンサ。
- 冷陰極ユニットのカソードが、チタン薄板からなっている、請求項1または2記載のセンサ。
- ケーシング(2)が、ホウケイ酸ガラスからなっている、請求項1から3までのいずれか1項記載のセンサ。
- ケーシングの、ガス通路とは反対の側の側面に、電圧供給部材もしくは電流供給部材が取付けられている、請求項1から4までのいずれか1項記載のセンサ。
- 請求項1から5までのいずれか1項に記載の特徴を備えたセンサの、漏洩検出での使用。
- センサが、漏洩検出装置のテストガスディテクタの構成部材である、請求項6記載の使用。
- 請求項1から5までのいずれか1項に記載の特徴を備えたセンサの、真空設備内での使用。
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