JP2004347398A - 音叉型角速度センサ素子の駆動方法 - Google Patents
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Abstract
【構成】少なくとも一方の音叉腕の4面に電極を設けて両主面から両側面に交流電圧を印加して音叉振動を駆動し、コリオリの力によって生ずる電荷を少なくとも他方の音叉腕の両側面に設けたセンサ電極によって検出する音叉型角速度センサ素子の駆動方法において、前記音叉腕の両主面から両側面に印加する交流電圧の大きさを異ならせて駆動する。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はコリオリの力を利用した音叉型角速度センサ素子(以下、角速度センサ素子とする)の駆動方法を産業上の技術分野とし、特に斜め振動による雑音成分を電気的に低減した駆動方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
(発明の背景)音叉型角速度センサ素子は、位置制御や誘導装置例えばカメラやカーナビに適用される。このようなものの一つに、圧電材特に貼り合わせ型の水晶を用いたものがあり、さらなる高感度及び生産性が求められている。
【0003】
(従来技術の一例)第7図は一従来例を説明する角速度センサ素子の図である。
【0004】
角速度センサ素子は音叉型水晶振動子(音叉型振動子とする)1を基礎として構成される。音叉型振動子1は結晶軸(XYZ)のZ軸に主面が直交あるいは概ね直交したZカット板からなり、音叉基部2から一対の音叉腕3(ab)を延出する。ここでは、±X軸を逆方向とした二枚の音叉状水晶片1(ab)を直接接合によって貼り合わせてなる。
【0005】
一対の音叉腕3(ab)のそれぞれには、音叉振動を駆動してコリオリの力を検出する電極4、5が設けられる。ここでは、第8図の結線図に示したように、一対の音叉腕3(ab)の各内側面に設けた第1電極4a、5aを接続し、各外側面に設けた第2電極4b、5bを接続して、それぞれ第1及び第2センサ端子S1、S2を導出する。
【0006】
また、一方の音叉腕3a(図の右側)の表面に設けた第3電極4cと、他方の音叉腕3b(図の左側)の裏面に設けた第4電極5dとは共通接続して、第1駆動端子D1が導出する。そして、一方の音叉腕3aの裏面に設けた第4電極4dからは第2駆動端子D2が導出する。さらに、他方の音叉腕3bの表面に設けた第3電極5cからはモニタ端子Mが導出する。
【0007】
このようなものでは、第1及び第2センサ端子S1、S2には、第9図に示したように直流の基準電圧E0が印加され、各音叉腕3(ab)の両側面の電位を一定にする。そして、第1及び第2駆動端子D1、D2には、基準電圧E0を中心値として互いに逆相となる交流電圧V1、V2を印加する。これにより、X軸の極性を逆として接合しているので、一方の音叉腕3aでは表裏面と内外側面との間に生ずる電界によって、Y軸方向に内側面が伸張(縮小)すると外側面が縮小(伸張)して左右方向に屈曲振動する。
【0008】
また、他方の音叉腕3bでは、裏面に印加される交流電圧によって内外側面のいずれか一方が伸張又は縮小して屈曲するとともに、音叉構造であることから一方の音叉腕3aに応答して逆向きの屈曲振動する。したがって、一対の音叉腕3(ab)は互いに逆向きの水平方向に音叉振動する。
【0009】
そして、音叉振動中にY軸を中心とした回転力が加わると、一対の音叉腕3(ab)は板面に直交する互いに反対方向に屈曲振動、即ち水平振動に対して直交する互いに逆向きの垂直振動を生ずる。そして、各音叉腕3(ab)の両側面に回転力に応じた電荷を発生する。なお、各音叉腕3(ab)の両側面間での電荷の符号は逆となる。具体的には、各音叉腕3(ab)の内側面の第1電極4a、5aが同極性、外側面の第2電極4b、5bが同極性となる。
【0010】
そして、各音叉腕3(ab)の第1と第2電極4(ab)、5(ab)には連続的に変化する電荷が収拾され、基準電圧E0に交流分として重畳し、第1及び第2センサ端子S1、S2に検出される。そして、振動周波数に応答した図示しない同期検波等によって交流分(電荷量)を検出し、回転角を計測する。なお、モニタ端子Mは音叉振動によって誘起される電荷量を検出し、振動振幅量(変位量)を一定の基準値とするために設けられる。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
(従来技術の問題点)しかしながら、上記構成の角速度センサ素子では、一対の音叉腕3(ab)は音叉振動の際、第10図の矢印P−Pで示す水平方向に必ずしも振動することなく、製造に起因した断面形状の非対称性から同矢印Q−Qで示す斜め方向に所謂斜め振動する。したがって、斜め振動における垂直方向のベクトル成分によって、コリオリの力とは無関係に電荷が発生し、不要信号としてセンサ端子S1、S2に検出される。これにより、角速度が及んでいない場合にも、角速度が及んでいるような誤信号を生じる。
【0012】
このため、通常では、角速度センサ素子毎に斜め振動による不要信号を検出する。そして、一対の音叉腕3(ab)を数回となく繰り返して研削(トリミング)し、斜め振動を抑制すべく調整していた。しかし、この場合には、トリミング工程に多くの時間を要し、生産性の低下を招く問題があった。
【0013】
(発明の目的)本発明は音叉の加工誤差に起因した不要信号の影響を軽減できる角速度センサ素子の駆動方法を提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本件に係る請求項1の発明では、音叉腕の両主面から両側面に印加して音叉振動を駆動する交流電圧の大きさを異ならせて駆動する。これにより、音叉腕の両主面から両側面に向かう電界及び表面側と裏面側の屈曲量も異なる。したがって、音叉腕は斜め振動を生ずる。このことから、加工誤差に起因した機械的な斜め振動に応じて、交流電圧の大きさを異ならせれば電子的に斜め振動を相殺(抑制)できる。
【0015】
同請求項2の発明では、前記音叉型角速度センサ素子は結晶軸(XYZ)の±X軸を逆向きにした2枚の音叉状水晶片を貼り合わせてなり、前記音叉腕の両主面から両側面に印加される交流電圧は互いに逆相とする。これにより、2枚の音叉状水晶片を貼り合わせた角速度センサ素子で斜め振動を抑制できる。
【0016】
同請求項3の発明では、前記音叉型角速度センサ素子は1枚の音叉状水晶片からなり、前記音叉腕の両主面から両側面に印加される交流電圧は互いに同相とする。これにより、単板からなる角速度センサ素子で斜め振動を抑制できる。
【0017】
【第1実施例】
第1図は本発明の第1実施例の駆動方法を説明する角速度センサ素子の結線図を示した上面図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
【0018】
角速度センサ素子は、前述したように2枚の音叉状水晶片1(ab)を貼り合せてなり、音叉基部2及び一対の音叉腕3(ab)を有する音叉型振動子からなる(前第7図参照)。各音叉腕3(ab)の内外側面には基準電圧E0の印加される第1及び第2電極4(ab)、5(ab)を有し、第1及び第2電極同士4a、5a及び4b、5bが共通接続してセンサ端子S1、S2に導出する。
【0019】
また、一方の音叉腕3aの表裏面には駆動端子D1、D2に接続して互いに逆相の交流電圧V1、V2の印加される第3及び第4電極4(cd)を有し、他方の音叉腕3bの表面にはモニタ端子Mに接続した第3電極5cを、裏面には一方の音叉腕3aの表面の第3電極4cに接続した第4電極5dを有する(前第8図と同一)。
【0020】
そして、この実施例では、特に第2図に示したように、第1及び第2駆動端子D1、D2から一方の音叉腕3aの第3及び第4電極(表裏面電極)4(cd)に印加する交流電圧V1、V2は、前述同様に基準電圧E0を中心とし互いに逆相とし、ここではさらに電圧レベル(振幅レベル)を異にする。
【0021】
このようなものでは、先ず、一方の音叉腕3aの第3電極(表面電極)4cには、駆動端子D1から半周期の大電圧が、第4電極(裏面電極)4dには逆相の小電圧が印加されると、第3図(a)に示したように、貼り合せによる表面側水晶1bの屈曲量は大きく、裏面側水晶1aの屈曲量は小さくなる。したがって、先の半周期では貼り合わせた2枚の水晶片1(ab)各々の伸張及び縮小量が異なるので、音叉腕3aは例えば電極4c側へ偏る成分をもった斜め方向の変位をする。
【0022】
次に、一方の音叉腕3aの第3電極(表面電極)4cには次の半周期の小電圧が、第4電極(裏面電極)4dには逆相の大電圧が印加されると、第3図(b)に示したように、貼り合せによる表面側水晶1bの屈曲量は小さく、裏面側水晶1aの屈曲量は大きくなる。したがって、次の半周期では例えば電極4d側へ偏る成分を持った斜め方向の変位をする。これらのことから、第4図に示したように、交流電圧の一周期では斜め方向に振動する。
【0023】
このような駆動法であれば、加工誤差に基づく音叉型振動子の斜め振動による電荷量を相殺するように、駆動端子D1、D2に逆位相で大きさの異なる交流電圧を印加すれば、斜め振動を抑制して水平振動を維持できる。要するに、機械的な斜め振動を電子的に抑制できる。例えば駆動端子D1に印加する交流電圧V1は以下にして形成される。
【0024】
すなわち、先ず、第5図(a)に示したように、モニタ端子Mの電荷量から音叉振動を一定の振幅とする交流電圧V0を生成する。次に、交流電圧V0の振幅レベルを小さくした調整電圧A0を得る「同図(b)」。次に、調整電圧A0の−側を反転した整流電圧A1を得る「同図(c)」。最後に、交流電圧V0に整流電圧A1を加え、正負間で振幅の異なる非対称の交流電圧V1を得る「同図(d)」。
【0025】
なお、調整電圧A0(整流電圧A1)は斜め振動に応じて振幅が決定される。また、駆動端子D2に印加する交流電圧V2は、交流電圧V1の位相を180度ずらすことによって得られる。これらのことから、加工誤差に起因した不要信号の影響が小さい角速度センサ素子を得られる。また、研削等のトリミングに比較し、電子的に制御するので要する時間も短くして生産性を高められる。
【0026】
【第2実施例】
第6図は本発明の第2実施例の駆動方法を説明する角速度センサ素子の結線図を示した上面図である。なお、第1実施例と同一部分の説明は簡略又は省略する。
【0027】
第1実施例では2枚の水晶片1(ab)を貼り合せた音叉型振動子での例を説明したが、第2実施例は一枚(単板)の音叉状水晶片からなる音叉型振動子での例である。この例では、一方の音叉腕3aを音叉振動の駆動用として、他方の音叉腕3bをコリオリの力による垂直振動の検出用とする。
【0028】
すなわち、一方の音叉腕3aの両側面電極を共通接続して基準電圧E0を印加する。そして、駆動端子D1、D2から、同相として大きさの異なる交流電圧V1、V2を表裏面電極に印加する。また、他方の音叉腕3bの内側面電極は例えば基準電圧E0(あるいはアース電位)に設定し、外側面に設けた分割電極との間で垂直振動による電荷をセンサ端子S1、S2によって検出する。なお、表裏面に設けたMはモニタ端子であり、前述同様に音叉振動による電荷を検出して振幅を一定にする。
【0029】
このような構成であれば、先ず半周期の交流電圧V1>V2によって、一方の音叉腕3aの表面側は電界強度が高くて屈曲量が大きく、裏面側は電界強度が低くて屈曲量は小さい。そして、次の半周期の交流電圧V1<V2によって、同様にして表面側の屈曲量は小さく、裏面側は大きくなる。したがって、第1実施例と同様に斜め振動を生ずる。このことから、加工誤差による機械的な斜め振動を電子的に相殺して抑制できる。
【0030】
【発明の効果】
本発明は、音叉腕の両主面から両側面に印加して音叉振動を駆動する交流電圧の大きさを異ならせて駆動するので、音叉腕の両主面から両側面に向かう電界及び表面側と裏面側の屈曲量も異なって、音叉腕は斜め振動を生ずる。このことから、加工誤差に起因した機械的な斜め振動を電子的に相殺して抑制できるので、加工誤差の影響が小さく生産性の高い角速度センサ素子を得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の駆動方法を説明する角速度センサ素子の結線図を示した上面図である。
【図2】本発明の第1実施例を説明する駆動電圧の図である。
【図3】本発明の第1実施例の作用を説明する一方の音叉腕の上面図である。
【図4】本発明の第1実施例の作用を説明する一方の音叉腕の上面図である。
【図5】本発明の第1実施例を説明する駆動電圧の形成方法の図である。
【図6】本発明の第2実施例の駆動方法を説明する角速度センサ素子の結線図を示した上面図である。
【図7】従来例を説明する音叉型角速度センサの図である。
【図8】従来例を説明する角速度センサ素子の結線図を示した上面図である。
【図9】従来例を説明する駆動電圧の図である。
【図10】従来例を説明す音叉腕の上面図である。
【符号の説明】
1 音叉状水晶片、2 音叉基部、3 音叉腕、4、5 電極.
Claims (4)
- 少なくとも一方の音叉腕の4面に電極を設けて両主面から両側面に交流電圧を印加して音叉振動を駆動し、コリオリの力によって生ずる電荷を少なくとも他方の音叉腕の両側面に設けたセンサ電極によって検出する音叉型角速度センサ素子の駆動方法において、前記音叉腕の両主面から両側面に印加する交流電圧の大きさを異ならせたことを特徴とする音叉型角速度センサ素子の駆動方法。
- 前記音叉型角速度センサ素子は結晶軸(XYZ)の±X軸を逆向きにした2枚の音叉状水晶片を貼り合わせてなり、前記音叉腕の両主面から両側面に印加される交流電圧は互いに逆相である請求項1の音叉型角速度センサ素子。
- 前記音叉型角速度センサ素子は1枚の音叉状水晶片からなり、前記音叉腕の両主面から両側面に印加される交流電圧は互いに同相である請求項1の音叉型角速度センサ素子。
- 前記交流電圧の大きさの異ならせ方は、前記音叉の加工誤差に起因して前記音叉に生じる斜め方向振動を相殺又は抑圧できる条件である請求項1の音叉型角速度センサ素子の駆動方法。
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