JP2004340343A - リニアガイド装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】剛性の低下を招くことなくコロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与することのできるリニアガイド装置を提供する。
【解決手段】スライダ１２内にコロ状転動体の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔２１を形成して該貫通孔２１に金属からなる円柱状の循環路形成部材２２を設け、この循環路形成部材２２の内部に転動体循環路２３を形成した。
【選択図】 図３
【解決手段】スライダ１２内にコロ状転動体の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔２１を形成して該貫通孔２１に金属からなる円柱状の循環路形成部材２２を設け、この循環路形成部材２２の内部に転動体循環路２３を形成した。
【選択図】 図３
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、案内レールとスライダとの間を転動する転動体としてコロ状転動体を用いたリニアガイド装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置や精密加工機械あるいは精密測定機械などで使用されるリニアガイド装置は、比較的大きな負荷が付与されるため、案内レールとスライダとの間を転動する転動体としてコロ状転動体を用いている。このようなリニアガイド装置は、転動体として球状転動体を用いたものに比べ、転動体に十分な予圧荷重を与えることができ、比較的高い剛性を得ることができるが、スライダ内に転動体循環路を孔明け加工によって形成することが困難であり、加工コストの上昇を招くなどの問題がある。そこで、スライダ内にコロ状転動体の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔を形成し、この貫通孔に樹脂材を射出して成形された循環路形成部材の内部に転動体循環路を形成したものが知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２９１６５４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記文献１に開示されたリニアガイド装置では、コロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与すると、スライダが図４（ａ）又は（ｂ）のように弾性変形し、剛性の低下を招くという問題があった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、剛性の低下を招くことなくコロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与することのできるリニアガイド装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、両側面に転動体軌道面を有する案内レールと、この案内レールの前記転動体軌道面と対向する転動体軌道面を内側面に有するスライダと、前記案内レールの転動体軌道面と前記スライダの転動体軌道面との間に設けられた多数のコロ状転動体を備えたリニアガイド装置において、
前記スライダ内に前記コロ状転動体の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔を形成して該貫通孔に金属からなる円柱状の循環路形成部材を設け、この循環路形成部材の内部に転動体循環路を形成したことを特徴とする。
このような構成によると、貫通孔に設けられた循環路形成部材がスライダの補強材として機能するので、剛性の低下を招くことなくコロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与することができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図３を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の一実施形態に係るリニアガイド装置の斜視図、図２はその一部断面正面図、図３はスライダの正面図であり、図１に示すように、本発明の一実施形態に係るリニアガイド装置は、案内レール１１と、この案内レール１１の長手方向に相対移動するスライダ１２と、このスライダ１２の前後方向両端に取り付けられた一対のエンドキャップ１３とを備えて構成されている。
【０００７】
案内レール１１はその両側面に転動体軌道面１４，１５を有しており、これらの転動体軌道面１４，１５は案内レール１１の側面に互いに平行に形成されている。また、転動体軌道面１４，１５は案内レール１１の側面に対して傾斜しており、その傾斜角度は互いに直交する角度となっている。なお、案内レール１１の図中上面には複数のボルト挿通孔１６が案内レール１１の長手方向に一定間隔で穿設されている。
【０００８】
スライダ１２は、図３に示すように、案内レール１１の側面と対向する二つの内側面１２ａを有しており、これらの内側面１２ａには、それぞれ転動体軌道面１７，１８が形成されている。これらの転動体軌道面１７，１８は案内レール側の転動体軌道面１４，１５とそれぞれ対向しており、レール側転動体軌道面１４，１５とスライダ側転動体軌道面１７，１８との間には、多数の転動体２０（図２参照）が転動自在に設けられている。なお、スライダ１２の図中上面にはスライダ取付け用のネジ穴１９が複数箇所に形成されている。
【０００９】
転動体２０は円筒コロ状に形成されており、これらのコロ状転動体２０は、スライダ１２が案内レール１１の長手方向に相対移動すると、レール側転動体軌道面１４，１５とスライダ側転動体軌道面１７，１８との間に形成された直線状の転動体転動路を転動するようになっている。
スライダ１２内には、図２及び図３に示すように、案内レール１１の軸方向に貫通する４つの貫通孔２１が形成されている。これらの貫通孔２１はコロ状転動体２０の軸方向長さよりも大きな径でスライダ１２内に形成されており、各貫通孔２１には円柱状の循環路形成部材２２が設けられている。
【００１０】
循環路形成部材２２は貫通孔２１にクロムモリブデン鋼等の金属材料を射出して成形されており、各循環路形成部材２２の内部には、コロ状転動体２０を循環させるための転動体循環路２３が形成されている。したがって、レール側転動体軌道面１４，１５とスライダ側転動体軌道面１７，１８との間を転動したコロ状転動体２０は、エンドキャップ１３内に形成された転動体方向転換路（図示せず）を転動した後、循環路形成部材２２内に形成された転動体循環路２３を転動して循環するようになっている。
【００１１】
このように、スライダ１２内にコロ状転動体２０の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔２１を形成して該貫通孔２１に金属からなる円柱状の循環路形成部材２２を設け、この循環路形成部材２２の内部に転動体循環路２３を形成したことで、循環路形成部材２２がスライダ１２の補強材として機能する。これにより、スライダ１２が図４のように弾性変形し難くなるので、剛性の低下を招くことなくコロ状転動体２０に比較的大きな予圧荷重を付与することができる。
なお、上述した実施の形態では貫通孔２１にクロムモリブデン鋼等の金属材料を射出して循環路形成部材２２を形成したが、金属からなる円柱部材を貫通孔２１に嵌め込んで循環路形成部材２２を形成してもよい。
【００１２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るリニアガイド装置によれば、スライダ内にコロ状転動体の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔を形成して該貫通孔に金属からなる円柱状の循環路形成部材を設け、この循環路形成部材の内部に転動体循環路を形成したことで、循環路形成部材がスライダの補強材として機能するので、剛性の低下を招くことなくコロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るリニアガイド装置の斜視図である。
【図２】図１に示すリニアガイド装置の一部断面正面図である。
【図３】図２に示すスライダの正面図である。
【図４】従来のリニアガイド装置のコロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与した場合のスライダの状態を示す図である。
【符号の説明】
１１ 案内レール
１２ スライダ
１３ エンドキャップ
１４，１５ レール側転動体軌道面
１７，１８ スライダ側転動体軌道面
２０ コロ状転動体
２１ 貫通孔
２２ 循環路形成部材
２３ 転動体循環路
【発明の属する技術分野】
本発明は、案内レールとスライダとの間を転動する転動体としてコロ状転動体を用いたリニアガイド装置の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体製造装置や精密加工機械あるいは精密測定機械などで使用されるリニアガイド装置は、比較的大きな負荷が付与されるため、案内レールとスライダとの間を転動する転動体としてコロ状転動体を用いている。このようなリニアガイド装置は、転動体として球状転動体を用いたものに比べ、転動体に十分な予圧荷重を与えることができ、比較的高い剛性を得ることができるが、スライダ内に転動体循環路を孔明け加工によって形成することが困難であり、加工コストの上昇を招くなどの問題がある。そこで、スライダ内にコロ状転動体の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔を形成し、この貫通孔に樹脂材を射出して成形された循環路形成部材の内部に転動体循環路を形成したものが知られている（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−２９１６５４号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記文献１に開示されたリニアガイド装置では、コロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与すると、スライダが図４（ａ）又は（ｂ）のように弾性変形し、剛性の低下を招くという問題があった。
本発明は、このような問題点に着目してなされたものであり、剛性の低下を招くことなくコロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与することのできるリニアガイド装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明は、両側面に転動体軌道面を有する案内レールと、この案内レールの前記転動体軌道面と対向する転動体軌道面を内側面に有するスライダと、前記案内レールの転動体軌道面と前記スライダの転動体軌道面との間に設けられた多数のコロ状転動体を備えたリニアガイド装置において、
前記スライダ内に前記コロ状転動体の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔を形成して該貫通孔に金属からなる円柱状の循環路形成部材を設け、この循環路形成部材の内部に転動体循環路を形成したことを特徴とする。
このような構成によると、貫通孔に設けられた循環路形成部材がスライダの補強材として機能するので、剛性の低下を招くことなくコロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与することができる。
【０００６】
【発明の実施の形態】
以下、図１乃至図３を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の一実施形態に係るリニアガイド装置の斜視図、図２はその一部断面正面図、図３はスライダの正面図であり、図１に示すように、本発明の一実施形態に係るリニアガイド装置は、案内レール１１と、この案内レール１１の長手方向に相対移動するスライダ１２と、このスライダ１２の前後方向両端に取り付けられた一対のエンドキャップ１３とを備えて構成されている。
【０００７】
案内レール１１はその両側面に転動体軌道面１４，１５を有しており、これらの転動体軌道面１４，１５は案内レール１１の側面に互いに平行に形成されている。また、転動体軌道面１４，１５は案内レール１１の側面に対して傾斜しており、その傾斜角度は互いに直交する角度となっている。なお、案内レール１１の図中上面には複数のボルト挿通孔１６が案内レール１１の長手方向に一定間隔で穿設されている。
【０００８】
スライダ１２は、図３に示すように、案内レール１１の側面と対向する二つの内側面１２ａを有しており、これらの内側面１２ａには、それぞれ転動体軌道面１７，１８が形成されている。これらの転動体軌道面１７，１８は案内レール側の転動体軌道面１４，１５とそれぞれ対向しており、レール側転動体軌道面１４，１５とスライダ側転動体軌道面１７，１８との間には、多数の転動体２０（図２参照）が転動自在に設けられている。なお、スライダ１２の図中上面にはスライダ取付け用のネジ穴１９が複数箇所に形成されている。
【０００９】
転動体２０は円筒コロ状に形成されており、これらのコロ状転動体２０は、スライダ１２が案内レール１１の長手方向に相対移動すると、レール側転動体軌道面１４，１５とスライダ側転動体軌道面１７，１８との間に形成された直線状の転動体転動路を転動するようになっている。
スライダ１２内には、図２及び図３に示すように、案内レール１１の軸方向に貫通する４つの貫通孔２１が形成されている。これらの貫通孔２１はコロ状転動体２０の軸方向長さよりも大きな径でスライダ１２内に形成されており、各貫通孔２１には円柱状の循環路形成部材２２が設けられている。
【００１０】
循環路形成部材２２は貫通孔２１にクロムモリブデン鋼等の金属材料を射出して成形されており、各循環路形成部材２２の内部には、コロ状転動体２０を循環させるための転動体循環路２３が形成されている。したがって、レール側転動体軌道面１４，１５とスライダ側転動体軌道面１７，１８との間を転動したコロ状転動体２０は、エンドキャップ１３内に形成された転動体方向転換路（図示せず）を転動した後、循環路形成部材２２内に形成された転動体循環路２３を転動して循環するようになっている。
【００１１】
このように、スライダ１２内にコロ状転動体２０の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔２１を形成して該貫通孔２１に金属からなる円柱状の循環路形成部材２２を設け、この循環路形成部材２２の内部に転動体循環路２３を形成したことで、循環路形成部材２２がスライダ１２の補強材として機能する。これにより、スライダ１２が図４のように弾性変形し難くなるので、剛性の低下を招くことなくコロ状転動体２０に比較的大きな予圧荷重を付与することができる。
なお、上述した実施の形態では貫通孔２１にクロムモリブデン鋼等の金属材料を射出して循環路形成部材２２を形成したが、金属からなる円柱部材を貫通孔２１に嵌め込んで循環路形成部材２２を形成してもよい。
【００１２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係るリニアガイド装置によれば、スライダ内にコロ状転動体の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔を形成して該貫通孔に金属からなる円柱状の循環路形成部材を設け、この循環路形成部材の内部に転動体循環路を形成したことで、循環路形成部材がスライダの補強材として機能するので、剛性の低下を招くことなくコロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るリニアガイド装置の斜視図である。
【図２】図１に示すリニアガイド装置の一部断面正面図である。
【図３】図２に示すスライダの正面図である。
【図４】従来のリニアガイド装置のコロ状転動体に比較的大きな予圧荷重を付与した場合のスライダの状態を示す図である。
【符号の説明】
１１ 案内レール
１２ スライダ
１３ エンドキャップ
１４，１５ レール側転動体軌道面
１７，１８ スライダ側転動体軌道面
２０ コロ状転動体
２１ 貫通孔
２２ 循環路形成部材
２３ 転動体循環路
Claims (1)
- 両側面に転動体軌道面を有する案内レールと、この案内レールの前記転動体軌道面と対向する転動体軌道面を内側面に有するスライダと、前記案内レールの転動体軌道面と前記スライダの転動体軌道面との間に設けられた多数のコロ状転動体を備えたリニアガイド装置において、
前記スライダ内に前記コロ状転動体の軸方向長さよりも径の大きい貫通孔を形成して該貫通孔に金属からなる円柱状の循環路形成部材を設け、この循環路形成部材の内部に転動体循環路を形成したことを特徴とするリニアガイド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003140783A JP2004340343A (ja) | 2003-05-19 | 2003-05-19 | リニアガイド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003140783A JP2004340343A (ja) | 2003-05-19 | 2003-05-19 | リニアガイド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004340343A true JP2004340343A (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=33529409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003140783A Withdrawn JP2004340343A (ja) | 2003-05-19 | 2003-05-19 | リニアガイド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004340343A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11773902B2 (en) | 2015-12-24 | 2023-10-03 | Sanwa Techno Co., Ltd. | Linear motion mechanism side seal unit and linear motion mechanism |
-
2003
- 2003-05-19 JP JP2003140783A patent/JP2004340343A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11773902B2 (en) | 2015-12-24 | 2023-10-03 | Sanwa Techno Co., Ltd. | Linear motion mechanism side seal unit and linear motion mechanism |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060517 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Effective date: 20080903 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 |