JP2004339156A - アダマンタン誘導体及びその製造方法 - Google Patents

アダマンタン誘導体及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2004339156A
JP2004339156A JP2003137873A JP2003137873A JP2004339156A JP 2004339156 A JP2004339156 A JP 2004339156A JP 2003137873 A JP2003137873 A JP 2003137873A JP 2003137873 A JP2003137873 A JP 2003137873A JP 2004339156 A JP2004339156 A JP 2004339156A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
alkyl group
formula
adamantane derivative
carbon atoms
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003137873A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4275456B2 (ja
Inventor
Shinji Tanaka
田中  慎司
Hidetoshi Ono
英俊 大野
Koichi Kodoi
小土井  浩一
Naoyoshi Hatakeyama
直良 畠山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Idemitsu Petrochemical Co Ltd
Original Assignee
Idemitsu Petrochemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Idemitsu Petrochemical Co Ltd filed Critical Idemitsu Petrochemical Co Ltd
Priority to JP2003137873A priority Critical patent/JP4275456B2/ja
Priority to PCT/JP2004/006818 priority patent/WO2004101484A1/ja
Priority to TW093113741A priority patent/TW200508173A/zh
Publication of JP2004339156A publication Critical patent/JP2004339156A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4275456B2 publication Critical patent/JP4275456B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C43/00Ethers; Compounds having groups, groups or groups
    • C07C43/30Compounds having groups
    • C07C43/313Compounds having groups containing halogen
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C43/00Ethers; Compounds having groups, groups or groups
    • C07C43/30Compounds having groups
    • C07C43/315Compounds having groups containing oxygen atoms singly bound to carbon atoms not being acetal carbon atoms
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07CACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C2603/00Systems containing at least three condensed rings
    • C07C2603/56Ring systems containing bridged rings
    • C07C2603/58Ring systems containing bridged rings containing three rings
    • C07C2603/70Ring systems containing bridged rings containing three rings containing only six-membered rings
    • C07C2603/74Adamantanes

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Low-Molecular Organic Synthesis Reactions Using Catalysts (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)

Abstract

【課題】フォトリソグラフィー分野におけるフォトレジスト用樹脂の改質剤やドライエッチング耐性向上剤、農医薬中間体、その他各種工業製品用などとして有用な新規なアダマンタン誘導体及びその製造方法を提供する。
【解決手段】一般式(I)
【化1】
Figure 2004339156

(X及びXはハロゲン原子、ヒドロキシル基、カルボキシル基、アルキル基、アルコキシル基又はアルコキシカルボニル基、R及びRは水素原子又はアルキル基、m及びnは0〜15、a及びbは0〜10の整数を示す。)
で表されるアダマンタン誘導体、並びに塩化水素の存在下、アダマンチル基含有アルコールとホルムアルデヒドとを反応させて、前記一般式(I)で表されるアダマンタン誘導体を製造する方法である。
【選択図】 なし

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、新規なアダマンタン誘導体及びその製造方法に関し、さらに詳しくは、フォトリソグラフィー分野におけるフォトレジスト用樹脂の改質剤やドライエッチング耐性向上剤、農医薬中間体、その他各種工業製品用などとして有用な新規なビス(アダマンチルオキシ又はアダマンチルアルコキシ)メタン類、及びこのものを効率よく製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
アダマンタンは、シクロヘキサン環が4個、カゴ形に縮合した構造を有し、対称性が高く、安定な化合物であって、脂環式化合物特有の低誘電率を有し、その誘導体は特異な機能を示すことから、例えば医薬品原料や高機能性工業材料の原料などとして有用であることが知られている。具体的には、光学特性や耐熱性などを有することから、光ディスク基板、光ファイバーあるいはレンズなどに用いることが試みられている(例えば、特許文献1、特許文献2参照)。また、アダマンタンエステル類を、その酸感応性、ドライエッチング耐性、紫外線透過性などを利用して、フォトレジスト用樹脂原料としての使用が試みられている(例えば、特許文献3参照)。
ところで、半導体素子分野においては、半導体素子の微細化技術が進むに伴い、その製造におけるリソグラフィー工程において、さらなる微細化が要求されており、したがって、KrF、ArFあるいはFエキシマレーザー光などの短波長の照射光に対応したフォトレジスト材料を用いて、微細パターンを形成させる方法が種々検討されている。そして、前記エキシマレーザー光などの短波長の照射光に対応できる新しいフォトレジスト材料の出現が望まれていた。
【0003】
【特許文献1】
特開平6−305044号公報
【特許文献2】
特開平9−302077号公報
【特許文献3】
特開平4−39665号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような状況下でなされたもので、フォトリソグラフィー分野におけるフォトレジスト用樹脂の改質剤やドライエッチング耐性向上剤、農医薬中間体、その他各種工業製品用などとして有用な新規なアダマンタン誘導体、及びこのものを効率よく製造する方法を提供することを目的とするものである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、前記の用途に有用な新規なアダマンタン誘導体を開発すべく鋭意研究を重ねた結果、特定の構造を有するビス(アダマンチルオキシ又はアダマンチルアルコキシ)メタン類が、その目的に適合し得ることを見出した。また、このものは、塩化水素の存在下、アダマンチル基含有アルコールとホルムアルデヒドとを反応させることにより、効率よく得られることを見出した。本発明は、かかる知見に基づいて完成したものである。
すなわち、本発明は、
(1)一般式(I)
【0006】
【化4】
Figure 2004339156
【0007】
(式中、X及びXは、それぞれ独立にハロゲン原子、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜10のアルキル基又はアルキル基の炭素数が1〜10のアルコキシル基若しくはアルコキシカルボニル基、R及びRは、それぞれ独立に水素原子又はヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜10のアルキル基を示し、m及びnは、それぞれ0〜15の整数、a及びbは、それぞれ0〜10の整数を示す。)で表される構造を有することを特徴とするアダマンタン誘導体、
(2)一般式(I−a)、一般式(I−b)又は一般式(I−c)
【0008】
【化5】
Figure 2004339156
【0009】
(式中、X、X、R、R、a、b、m及びnは一般式(I)における定義と同じである。)で表される構造を有する上記(1)のアダマンタン誘導体、
(3)一般式(I−a)又は一般式(I−b)において、XとX、RとR、aとb及びmとnがそれぞれ同じである上記(2)のアダマンタン誘導体、及び
(4)塩化水素の存在下アダマンチル基含有アルコールとホルムアルデヒドとを反応させることを特徴とする、前記一般式(I)で表される構造を有するアダマンタン誘導体の製造方法、を提供するものである。
【0010】
【発明の実施の形態】
本発明のアダマンタン誘導体は、文献未載の新規な化合物であって、一般式(I)
【0011】
【化6】
Figure 2004339156
【0012】
で表される構造を有するビス(アダマンチルオキシ又はアダマンチルアルコキシ)メタン類である。
前記一般式(I)において、X及びXは、それぞれハロゲン原子、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜10のアルキル基又はアルキル基の炭素数が1〜10のアルコキシル基若しくはアルコキシカルボニル基を示す。ここで、上記ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。炭素数1〜10のアルキル基は直鎖状、分岐状、環状のいずれであってもよく、また適当な置換基、例えばハロゲン原子などを有していてもよい。
このようなアルキル基の例としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、各種ブチル基、各種ペンチル基、各種ヘキシル基、各種オクチル基、各種デシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、トリフルオロメチル基、パーフルオロエチル基などが挙げられる。
【0013】
アルキル基の炭素数が1〜10のアルコキシル基及びアルコキシカルボニル基におけるアルキル基は、上記で説明したとおりである。このXとXはたがいに同一でも異なっていてもよい。
一般式(I)において、m及びnは、それぞれ0〜15の整数を示し、Xが複数ある場合、複数のXはたがいに同一でも異なっていてもよく、Xが複数ある場合、複数のXはたがいに同一でも異なっていてもよい。
一般式(I)において、R及びRは、それぞれ水素原子又はヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜10のアルキル基を示す。この炭素数1〜10のアルキル基は、前記で説明したとおりである。また、該アルキル基に含んでいてもよいヘテロ原子としては、例えばハロゲン原子、酸素原子、硫黄原子、窒素原子などが挙げられる。このRとRはたがいに同一であっても異なっていてもよい。
一般式(I)において、a及びbは、それぞれ0〜10の整数を示し、CHRが複数ある場合、複数のCHRはたがいに同一でも異なっていてもよく、CHRが複数ある場合、複数のCHRはたがいに同一でも異なっていてもよい。
前記一般式(I)で表されるアダマンタン誘導体としては、下記の一般式(I−a)、一般式(I−b)、一般式(I−c)
【0014】
【化7】
Figure 2004339156
【0015】
(式中、X、X、R、R、a、b、m及びnは、前記と同じである。)で表されるビス(アダマンチルオキシ又はアダマンチルアルコキシ)メタン類を挙げることができる。具体的には、1,1’−ビス(アダマンチルオキシ)メタン、1,1’−ビス(ペルフルオロアダマンチルオキシ)メタン、1,1’−ビス(アダマンチルメトキシ)メタン、1,1’−ビス(ペルフルオロアダマンチルメトキシ)メタン、2,2’−ビス(アダマンチルオキシ)メタン、2,2’−ビス(2−メチルアダマンチルオキシ)メタン、2,2’−ビス(2−エチルアダマンチルオキシ)メタン、2,2’−ビス(2−ヒドロペルフルオロアダマンチルオキシ)メタン、2,2’−ビス(2−メチルペルフルオロアダマンチルオキシ)メタン、2,2’−ビス(2−エチルペルフルオロアダマンチルオキシ)メタン、2,2’−ビス(アダマンチルメトキシ)メタン、2,2’−ビス(2−メチルアダマンチルメトキシ)メタン、2,2’−ビス(2−ヒドロペルフルオロアダマンチルメトキシ)メタン、2,2’−ビス(2−メチルペルフルオロアダマンチルメトキシ)メタン、1,2’−ビス(アダマンチルオキシ)メタン、1,2’−ビス(アダマンチルメトキシ)メタン、1−(アダマンチルオキシ)−2’−(アダマンチルメトキシ)メタンなどを例示することができる。
【0016】
本発明のアダマンタン誘導体の製造方法としては、前記一般式(I)で表される構造を有する化合物が得られる方法であればよく、特に制限はないが、以下に示す本発明の方法によれば、効率よく目的の化合物を製造することができる。
本発明の方法においては、塩化水素の存在下、アダマンチル基含有アルコールとホルムアルデヒドとを反応させることにより、一般式(I)で表されるアダマンタン誘導体を製造する。
本発明の方法において、原料として用いられるアダマンチル基含有アルコールとしては、例えば2−アダマンタノール、2−メチル−2−アダマンタノール、2−エチル−2−アダマンタノール、1−アダマンチルメタノール、2−アダマンチルメタノール、2−メチル−2−アダマンチルメタノール、1−ペルフルオロアダマンタノール、2−ヒドロ−2−ペルフルオロアダマンタノール、2−メチル−2−ペルフルオロアダマンタノール、2−エチル−2−ペルフルオロアダマンタノール、1−ペルフルオロアダマンチルメタノール、2−ヒドロ−2−ペルフルオロアダマンチルメタノール、2−メチル−2−ペルフルオロアダマンチルメタノールなどが挙げられる。
【0017】
本発明においては、これらのアダマンチル基含有アルコールは一種単独で用いてもよく、二種を組み合わせて用いてもよい。
一方、ホルムアルデヒドとしては、通常パラホルムアルデヒドが用いられる。
反応方法としては、前記アダマンチル基含有アルコールとパラホルムアルデヒドを溶融するか、あるいは溶媒に溶解したのち、好ましくは乾燥剤を加え、ここに好ましくは乾燥した塩化水素ガスを吹き込む方法を用いることができる。
溶媒を用いる場合には、溶媒として、反応温度におけるアダマンチル基含有アルコールの溶解度が0.5質量%以上、好ましくは5質量%以上である溶媒を用いるのが有利である。溶媒の使用量は、反応混合物中のアダマンチル基含有アルコールの濃度が0.5質量%以上、好ましくは5質量%以上となる量が適当である。この際、アダマンチル基含有アルコールは懸濁状態でもよいが、溶解していることが望ましい。また、使用前に溶媒中の水分を除くことが望ましい。この溶媒の例としては、ヘキサン、ヘプタンなどの炭化水素系溶媒、ジエチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶媒、ジクロロメタン、四塩化炭素などのハロゲン化炭化水素系溶媒などが挙げられる。これらの溶媒は一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
【0018】
乾燥剤としては特に制限はなく、一般的な乾燥剤を用いることができる。具体的には、無水硫酸マグネシウム、無水塩化マグネシウム、無水塩化鉄、無水塩化アルミニウムなどの無水無機塩、塩化カルシウム、モレキュラーシーブス、五酸化二リン、過塩素酸ナトリウム、活性アルミナ、シリカゲル、水素化カルシウム、水素化アルミニウムリチウムなどを挙げることができる。これらは一種を単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。乾燥剤の使用量は、反応系に存在する水分の量や使用する乾燥剤の種類などに応じて適宜選定される。
塩化水素ガスは乾燥したものが好ましく、その供給方法としては、市販のボンベから供給する方法、塩化ナトリウムと濃硫酸を反応させて発生した塩化水素ガスを供給する方法などがある。塩化水素ガスの供給量は特に制限はないが、使用するパラホルムアルデヒドに対し、通常1〜10倍モル、好ましくは2〜3倍モルの範囲で選定される。
【0019】
本発明の方法においては、原料のアダマンチル基含有アルコールとホルムアルデヒドとの割合は、通常ホルムアルデヒドを化学量論的量よりも過剰に用いる。
具体的には、ホルムアルデヒドは、アダマンチル基含有アルコールに対して、1〜10倍モル、好ましくは2〜3倍モルの割合で用いるのが有利である。
反応温度は、通常−200〜200℃、好ましくは−78〜50℃、より好ましくは−10〜25℃の範囲で選定される。この反応温度が低すぎると反応速度が低下し、反応時間が長くなって実用的でなくなり、一方反応温度が高すぎると副反応の増加や、塩化水素ガスの反応系への溶解度が低下して、多量の塩化ガスを必要とする。
反応圧力は、通常絶対圧力で、0.01〜10MPa、好ましくは常圧〜1MPaの範囲で選定される。この反応圧力が低すぎる場合には、塩化水素ガスの反応系への溶解度が低下して、反応時間が長くなり、一方反応圧力が高すぎる場合には、特別な装置が必要となり、経済的でない。
【0020】
反応時間は、反応温度や反応圧力、使用するアダマンチル基含有アルコールの種類などに左右され、一概に定めることはできないが、通常1分〜24時間程度で十分であり、好ましくは3分〜5時間である。
このようにして得られた反応生成物は、蒸留、晶析、カラム分離などにより精製が可能であり、該反応生成物の性状や不純物の種類などに応じて、精製方法を適宜選択することができる。
このようにして得られた本発明のアダマンタン誘導体は新規な化合物であって、例えばフォトリソグラフィー分野におけるフォトレジスト用樹脂の改質剤やドライエッチング耐性向上剤、農医薬中間体、その他各種工業製品用などとして有用である。
【0021】
【実施例】
次に、本発明を実施例により、さらに詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。
実施例1:1,1’−ビス(アダマンチルメトキシ)メタンの製造
塩化水素ガス導入用のノズルと電磁誘導攪拌機を取り付けた2Lセパラブルフラスコに、1−アダマンチルメタノール500g(3.0モル)、パラホルムアルデヒド182g(6.0モル)、硫酸マグネシウム181g(1.5モル)及び乾燥したジクロロメタン1Lを加え、室温で攪拌した。
ここに、塩化ナトリウム600gと濃硫酸500mLを混合して発生させた塩化水素ガスを、導入ノズルを通して60分間吹き込んだ。さらに60分間攪拌したのち、吸引ろ過により、硫酸マグネシウム及び反応液に不溶解の未反応パラホルムアルデヒドをろ去した。
【0022】
次いで、ろ液はエバポレーターにて溶媒を除去し、さらに蒸留により軽質分を除去したのち、再結晶により精製することによって、1,1’−ビス(アダマンチルメトキシ)メタンの白色結晶末396g(1.1モル、単離収率77%)が得られた。
この白色結晶末の物性データを以下に示す。
<物性データ>
(1)ガスクロマトグラフィー質量分析(GC−MS):EI法
m/e:343(M+1,0.03%),209(4.5%),
179(18.5%),149(60.9%),135(100%)
(2)核磁気共鳴分光法(NMR):CDCl
H−NMR(500MHz):1.54(d,J=2.3Hz,12H,f),1.69(dd,J=5.8,J=15.8Hz,12H,d&d’),1.97(s,6H,e),3.08(s,4H,b),
4.62(s,2H,a)
13C−NMR(126MHz):28.26(e),33.66(c),
37.20(d or f),39.71(f or d),78.38(b),95.89(a)
【0023】
【化8】
Figure 2004339156
【0024】
実施例2:2,2’−ビス(アダマンチルオキシ)メタンの製造
実施例1において、1−アダマンチルメタノール500g(3.0モル)の代わりに2−アダマンタノール456g(3.0モル)を使用したこと以外は同様に実施して2,2’−ビス(アダマンチルオキシ)メタンの白色結晶末323g(1.0モル、単離収率68%)が得られた。
この白色結晶末の物性データを以下に示す。
【0025】
<物性データ>
(1)ガスクロマトグラフィー質量分析(GC−MS):EI法
m/e:316(M,0.12%),315(M−1,0.47%),
268(29.3%),164(52.9%),135(100%)
(2)核磁気共鳴分光法(NMR):CDCl
H−NMR(500MHz):1.47(d,J=12.1Hz,4H),1.65〜1.82(m,18H),1.96(br−s,4H),
2.01(d,J=12.6Hz,4H),3.76(br−s,2H,b)
4.80(s,2H,a)
13C−NMR(126MHz):27.37(f or g),
27.47(g or f),31.67(d or e),32.24(c)36.67(e or d),37.64(h),78.96(b),
90.77(a)
【0026】
【化9】
Figure 2004339156
【0027】
【発明の効果】
本発明によれば、フォトリソグラフィー分野におけるフォトレジスト用樹脂の改質剤やドライエッチング耐性向上剤、農医薬中間体、その他各種工業製品用などとして有用な新規なビス(アダマンチルオキシ又はアダマンチルアルコキシ)メタン類、及びこのものを効率よく製造する方法を提供することができる。

Claims (4)

  1. 一般式(I)
    Figure 2004339156
    (式中、X及びXは、それぞれ独立にハロゲン原子、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜10のアルキル基又はアルキル基の炭素数が1〜10のアルコキシル基若しくはアルコキシカルボニル基、R及びRは、それぞれ独立に水素原子又はヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜10のアルキル基を示し、m及びnは、それぞれ0〜15の整数、a及びbは、それぞれ0〜10の整数を示す。)で表される構造を有することを特徴とするアダマンタン誘導体。
  2. 一般式(I−a)、一般式(I−b)又は一般式(I−c)
    Figure 2004339156
    (式中、X、X、R、R、a、b、m及びnは、一般式(I)おける定義と同じである。)で表される構造を有する請求項1記載のアダマンタン誘導体。
  3. 一般式(I−a)又は一般式(I−b)において、XとX、RとR、aとb及びmとnがそれぞれ同じである請求項2記載のアダマンタン誘導体。
  4. 塩化水素の存在下、アダマンチル基含有アルコールとホルムアルデヒドとを反応させることを特徴とする、一般式(I)
    Figure 2004339156
    (式中、X及びXは、それぞれ独立にハロゲン原子、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜10のアルキル基又はアルキル基の炭素数が1〜10のアルコキシル基若しくはアルコキシカルボニル基、R及びRは、それぞれ独立に水素原子又はヘテロ原子を含んでいてもよい炭素数1〜10のアルキル基を示し、m及びnは、それぞれ0〜15の整数、a及びbは、それぞれ0〜10の整数を示す。)
    で表される構造を有するアダマンタン誘導体の製造方法。
JP2003137873A 2003-05-15 2003-05-15 アダマンタン誘導体及びその製造方法 Expired - Fee Related JP4275456B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003137873A JP4275456B2 (ja) 2003-05-15 2003-05-15 アダマンタン誘導体及びその製造方法
PCT/JP2004/006818 WO2004101484A1 (ja) 2003-05-15 2004-05-13 アダマンタン誘導体及びその製造方法
TW093113741A TW200508173A (en) 2003-05-15 2004-05-14 Adamantane derivative and method for production thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003137873A JP4275456B2 (ja) 2003-05-15 2003-05-15 アダマンタン誘導体及びその製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004339156A true JP2004339156A (ja) 2004-12-02
JP4275456B2 JP4275456B2 (ja) 2009-06-10

Family

ID=33447273

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003137873A Expired - Fee Related JP4275456B2 (ja) 2003-05-15 2003-05-15 アダマンタン誘導体及びその製造方法

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP4275456B2 (ja)
TW (1) TW200508173A (ja)
WO (1) WO2004101484A1 (ja)

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8201492A (nl) * 1982-04-07 1983-11-01 Rijksuniversiteit Werkwijze ter bereiding van een op de 4-plaats equatoriaal gesubstitueerde symmetrisch-polycycloethyleenverbinding; op de 4-plaats equatoriaal gesubstitueerde symmetrisch-polycycloethyleenverbinding alsmede een op basis van de verbinding bereid thermochemiluminescerend merkmateriaal of thermochemiluminescerend sondeermateriaal.
JP3006475B2 (ja) * 1996-03-28 2000-02-07 日本電気株式会社 フォトレジスト組成物
KR20010009339A (ko) * 1999-07-09 2001-02-05 박찬구 카르복시산 유도체 및 그 제조방법
JP4580165B2 (ja) * 2002-12-25 2010-11-10 出光興産株式会社 アダマンタン誘導体及びその製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4275456B2 (ja) 2009-06-10
TW200508173A (en) 2005-03-01
WO2004101484A1 (ja) 2004-11-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5103878B2 (ja) 化学増幅型レジスト組成物の酸発生剤製造用スルホニウム化合物
KR100519405B1 (ko) 신규한 에스테르 화합물
JP4866237B2 (ja) アダマンタン誘導体、その製造方法及びフォトレジスト用感光材料
JP5137982B2 (ja) アダマンタン誘導体及びその製造方法
CN113200858B (zh) 基于三蝶烯衍生物单分子树脂的合成、正性光刻胶及其在光刻中的应用
WO2018025892A1 (ja) 重合性トリプチセン誘導体化合物
JP2004339156A (ja) アダマンタン誘導体及びその製造方法
JPWO2005108343A1 (ja) アダマンタン誘導体、その製造方法及びフォトレジスト用感光材料
KR20040105614A (ko) 아다만틸 비닐 에테르 화합물 및 그의 제조방법
JP4271461B2 (ja) ハロゲノアセトキシアダマンタン誘導体及びその製造方法
JP2005023066A (ja) アダマンチルビニルエーテル化合物及びその製造方法
KR101031383B1 (ko) 할로게노아세톡시아다만탄 유도체 및 이의 제조 방법
KR20070052639A (ko) 아다만테인 유도체 및 그의 제조방법
JP4580165B2 (ja) アダマンタン誘導体及びその製造方法
JP2005154363A (ja) アダマンタン誘導体及びその製造方法
JP5659492B2 (ja) ジハロメチルエーテル誘導体化合物及びその製造方法
JP2004123586A (ja) カリックス[4]アレーン誘導体混合物の製造方法
JP2004131461A (ja) アダマンタン誘導体及びその製造方法
JP2009256306A (ja) 重合性不飽和基を有するアダマンタン誘導体とその製造法
JP2005008531A (ja) ラクトン環縮合脂環式ヒドロキシカルボン酸エステル類及びその(メタ)アクリレート付加体
JP2004315437A (ja) ノルボルネンジカルボン酸モノエステル類及びその製造方法
JP2005179300A (ja) アダマンタン誘導体の製造方法
JP2004026700A (ja) 新規なアダマンタンカルボン酸エステル及びその製造方法
JP2010138115A (ja) 環状化合物の組成物及びその製造方法
JP2002080420A (ja) アリールエステル残基を有する化合物の光変換方法

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20041206

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20060201

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090224

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090304

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120313

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees