JP2004333249A - 検査回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】ADコンバータ・DAコンバータをシリアルに測定した場合、検査時間が長くなる分、ADコンバータ・DAコンバータの検査コストは増大する。また、LSIテスターに複数のアナログユニットを持たせ、それぞれのアナログユニットが並列にADコンバータやDAコンバータを測定できたとしても、LSIテスターの価格は上昇しADコンバータ・DAコンバータの検査コストは増大する。
【解決手段】アナログ入力信号発生器2から出力される入力信号を1つ以上の信号に変換できるアナログ入力信号変換回路4と、複数のADコンバータ5の出力信号を任意の順番で選択して出力できるデジタル信号セレクタ回路7を用いることにより、ADコンバータ5よりも少ないアナログ入力信号発生器2で並列にADコンバータ5を測定する。DAコンバータ15も変換回路14およびセレクタ回路16を用いる。
【選択図】 図1
【解決手段】アナログ入力信号発生器2から出力される入力信号を1つ以上の信号に変換できるアナログ入力信号変換回路4と、複数のADコンバータ5の出力信号を任意の順番で選択して出力できるデジタル信号セレクタ回路7を用いることにより、ADコンバータ5よりも少ないアナログ入力信号発生器2で並列にADコンバータ5を測定する。DAコンバータ15も変換回路14およびセレクタ回路16を用いる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、ADコンバータおよびDAコンバータの検査回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の複数のADコンバータまたはDAコンバータがあった場合の検査において、それらADコンバータまたはDAコンバータを並列に測定するのに十分な数のアナログユニット(アナログ入力信号発生器など)がない場合は、各回路をシリアルに測定しなければならず、検査時間は各被測定回路の検査時間の合計となる。
【0003】
また、従来のLSIテスタには、複数のアナログチャンネルを持ち、かつ各アナログチャンネルはそれぞれ独立にアナログ入力信号発生器、デジタル信号発生器、データ取り込み器、演算器等を持つことで、各アナログチャンネルごとに独立してADコンバータやDAコンバータを測定することで、並列に複数のADコンバータやDAコンバータを測定しているものもある(例えば、特許文献1参照)。この場合、信号入力から信号取り込み、演算まで各アナログチャンネルで実施できるので、アナログチャンネル数分はADコンバータやDAコンバータを並列に測定することができる。
【0004】
【特許文献1】
特開平9−189750号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の複数のADコンバータ・DAコンバータの検査手法のうち、各回路をシリアルに測定した場合、検査時間は各被測定回路の検査時間の合計となってしまい、検査時間が長くなる分、ADコンバータ・DAコンバータの検査コストは増大する。
【0006】
また、LSIテスタに複数のアナログユニットを持たせ、それぞれが並列にADコンバータやDAコンバータを測定できた場合、テスト時間は大幅に短縮されるが、アナログユニットを複数搭載した分、LSIテスタの価格は上昇し、その結果、ADコンバータ・DAコンバータの検査コストは増大してしまう。
【0007】
したがって、本発明の目的は、検査コストを低減することができる検査回路を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の検査回路は、アナログ入力信号を発生するアナログ入力信号発生器と、アナログ入力信号のレベルを個別に所定のレベルに増減させたアナログ信号を出力することのできる1つ以上のレベル増減器を有するアナログ入力信号変換回路とを備え、アナログ信号を検査対象である1つ以上のADコンバータに印加することを特徴とするものである。
【0009】
請求項1記載の検査回路によれば、アナログ入力信号発生器のアナログ入力信号をADコンバータの測定に必要なレベルである1つ以上のアナログ信号に変換することにより、複数のADコンバータを測定する場合において、アナログ入力発生器が測定対象のADコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0010】
請求項2記載の検査回路は、請求項1において、アナログ入力信号変換回路が、レベル増減器で変換したアナログ信号を所定の時間保持することのできるサンプルホールド回路を持ち、検査対象である1つ以上のADコンバータにそれぞれ所定のタイミングと入力レベルでアナログ信号を印加するものである。
【0011】
請求項2記載の検査回路によれば、請求項1と同様な効果のほか、信号レベルの切り換わりタイミングも調整できる。
【0012】
請求項3記載の検査回路は、請求項1または請求項2において、アナログ入力信号変換回路がLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内に組み込まれているものである。
【0013】
請求項3記載の検査回路によれば、請求項1または請求項2と同様な効果 がある。
【0014】
請求項4記載の検査回路は、1つ以上のADコンバータのデジタル信号の出力を入力とし、所定のアルゴリズムにしたがって各デジタル信号出力を切り換えて出力するセレクタを持つデジタル信号セレクタ回路を備え、デジタル出力データを格納するデジタルキャプチャにデジタル信号セレクタ回路の出力を入力することを特徴とするものである。
【0015】
請求項4記載の検査回路によれば、複数のデジタル信号出力をセレクタにより選択することにより、複数のADコンバータを測定する場合において、例えばLSIテスタに搭載されているデジタルキャプチャが測定対象のADコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0016】
請求項5記載の検査回路は、請求項4において、デジタル信号セレクタ回路が、1つ以上のADコンバータの出力であるデジタル信号を表す矩形波を入力として受け取り矩形波のレベルを変換して出力する1つ以上のレベル変換器を有し、セレクタは、1つ以上のレベル変換器の出力を入力として受け取りデジタルキャプチャに出力する信号を選択するものである。
【0017】
請求項5記載の検査回路によれば、請求項4と同様な効果のほか、ADコンバータに対応してレベル変換器を有するため、1つ以上のADコンバータの出力のデジタル信号が異なるレベルであっても、デジタルキャプチャに記憶させることができる。
【0018】
請求項6記載の検査回路は、請求項4または請求項5において、デジタル信号セレクタ回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれているものである。
【0019】
請求項6記載の検査回路によれば、請求項4または請求項5と同様な効果がある。
【0020】
請求項7記載の検査回路は、デジタル入力信号を出力するデジタル信号発生器と、デジタル入力信号を表す矩形波のレベルを個別に所定のレベルに増減したデジタル信号を出力することのできる1つ以上のレベル増減器を有するデジタル入力信号変換回路を備え、デジタル信号を検査対象である1つ以上のDAコンバータに印加することを特徴とするものである。
【0021】
請求項7記載の検査回路によれば、デジタル信号発生器のデジタル入力信号をDAコンバータの測定に必要なレベルの矩形波にデジタル信号に変換することにより、複数のDAコンバータを測定する場合において、デジタル信号発生器が測定対象のDAコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0022】
請求項8記載の検査回路は、請求項7において、デジタル入力信号変換回路は、レベル増減器で変換したデジタル信号を所定のアルゴリズムでコード変換することのできるデコーダを有し、検査対象である1つ以上のDAコンバータにそれぞれ所定のタイミングと入力レベルでデジタル信号を印加するものである。
【0023】
請求項8記載の検査回路によれば、請求項7と同様な効果のほか、同時に異なる周期のデジタル信号を入力することができるので、それぞれ必要とするデジタル信号の周期の異なるDAコンバータを並列に測定できる。
【0024】
請求項9記載の検査回路は、請求項7または請求項8において、デジタル入力信号変換回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれているものである。
【0025】
請求項9記載の検査回路によれば、請求項7または請求項8と同様な効果がある。
【0026】
請求項10記載の検査回路は、1つ以上のDAコンバータのアナログ信号の出力を入力とし、所定のアルゴリズムにしたがって各DAコンバータのアナログ出力を切換えて出力することのできるアナログ信号セレクタ回路を備え、アナログ出力データを格納するデジタイザにアナログ信号セレクタ回路の出力を入力することを特徴とするものである。
【0027】
請求項10記載の検査回路によれば、複数のアナログ信号出力をアナログ信号セレクタ回路により選択することにより、複数のDAコンバータを測定する場合において、例えばLSIテスタに搭載されているデジタイザが、各DAコンバータのアナログ出力データを記憶することができるので、測定対象のDAコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができ、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0028】
請求項11記載の検査回路は、請求項10において、アナログ信号セレクタ回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれているものである。
【0029】
請求項11記載の検査回路によれば、請求項10と同様な効果がある。
【0030】
【発明の実施の形態】
まず、課題を解決するための手段を図面を参照しながら説明する。図1は本発明を代表する検査回路図である。
【0031】
1はLSIテスタ、2はアナログ入力信号発生器、3はアナログ信号、4はアナログ入力信号変換回路、5はADコンバータ、6はデジタル信号、7はデジタル信号セレクタ回路、8はデジタルデータを格納するデジタルキャプチャ、9は制御信号、13はデジタル入力信号発生器、14はデジタル入力信号変換回路、15はDAコンバータ、16はアナログ信号セレクタ回路、17はデジタイザである。
【0032】
課題を解決するためには、最小限のアナログユニットで複数のADコンバータ5、DAコンバータ15が測定できれば、LSIテスタの価格は低く抑えることができ、その結果、ADコンバータやDAコンバータの検査コストを低くすることができる。
【0033】
以下にADコンバータ・DAコンバータそれぞれについて課題の解決手段について述べる。
【0034】
ADコンバータ5の場合、ADコンバータ5に入力するアナログ信号3を発生するアナログ入力信号発生器4の数がADコンバータ数よりも少ない場合でも、基準となるアナログ信号3から各ADコンバータ5が必要とするアナログ信号3を生成できるアナログ入力信号変換回路4を用いることで、同時に1つ以上のADコンバータ5にアナログ信号3を入力することができる。また、ADコンバータ5が出力するデジタル信号6を取り込むデジタルキャプチャ8の数がADコンバータ5の数よりも少ない場合でも、1つ以上のADコンバータ5の出力を受け取り所定のアルゴリズムで選択してデジタルキャプチャ8に出力できるデジタル信号セレクタ回路7を用意することで、並列に1つ以上のADコンバータ5のデジタル信号6を取り込むことができる。
【0035】
DAコンバータ15の場合、DAコンバータ15に入力するデジタル信号6を発生するデジタル入力信号発生器13の数がDAコンバータ数よりも少ない場合でも、基準となるデジタル信号6から各DAコンバータ15が必要とするデジタル信号6を生成できるデジタル入力信号変換回路14を用意することで、同時に1つ以上のDAコンバータ15にデジタル信号6を入力することができる。また、DAコンバータ15が出力するアナログ信号3を取り込むデジタイザの数がDAコンバータ15の数よりも少ない場合でも、1つ以上のDAコンバータ15の出力を受け取り、所定のアルゴリズムで選択してデジタイザ17に出力できるアナログ信号セレクタ回路16を用意することで、並列に1つ以上のDAコンバータ15の出力であるアナログ信号3を取り込むことができる。
【0036】
なお、アナログ入力信号変換回路4、デジタル信号セレクタ回路7、デジタル入力信号変換回路14、アナログ信号セレクタ回路16はLSIテスタ1から出力される制御信号9により制御可能である。
(実施形態1)
以下、本発明の検査回路における第1の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図2は本実施形態における検査回路図である。1はLSIテスタ、2はアナログ入力信号発生器、3はアナログ信号、4はアナログ入力信号変換回路、5はADコンバータ、6はデジタル信号、9はアナログ入力信号変換回路を制御する制御信号、10はアナログ入力信号変換回路4内にあるレベル増減器である。
【0037】
アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3はまずアナログ入力信号変換回路4の中に搭載されている1つ以上のレベル増減器10にそれぞれ入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたアナログ信号3を増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたアナログ信号3を増減して出力し、それぞれが接続されているADコンバータ5に変換したアナログ信号3を入力する。
【0038】
図3は本実施形態におけるアナログ信号変換例である。例えば、アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3が図(a)のように1.0mVステップで電圧が切り替わる階調波であり、アナログ入力信号変換回路4の中に搭載されているレベル増減器10が2つ(レベル増減器A、レベル増減器B)でありそれぞれの増減させる割合が図(b)の2倍と図(c)の0.5倍であった場合について示している。図3に示す通り、アナログ入力信号発生器2から出力される基準となるアナログ信号3が0.0mV→1.0mV→2.0mV→3.0mVと変化した場合、レベル増減器Aから出力されるアナログ信号3は0.0mV→2.0mV→4.0mV→6.0mVとなり、レベル増減器Bから出力されるアナログ信号3は0.0mV→0.5mV→1.0mV→1.5mVとなる。
【0039】
本実施形態における検査回路を使用することにより、測定対象の1つ以上のADコンバータ5が必要とするアナログ信号3の入力レベルの切り替わりタイミングが同時でよい場合、LSIテスタは測定するADコンバータ5の数よりも少ないアナログ入力信号発生器2しか持たなくても同時にアナログ信号3を入力し測定できる。また、それぞれのADコンバータ5の測定に必要なアナログ信号3の入力ステップ数がそれぞれ異なる場合でも、各ADコンバータ3は測定に必要な入力ステップ数だけAD変換してそれ以降の入力は変換しないか、または変換してもそれ以降の処理で無視すればよく、アナログ入力信号発生器2からは最大ステップ数を必要とするADコンバータ5にあわせて基準となるアナログ信号3を出力すればよい。
【0040】
なお、アナログ入力信号変換回路4はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内に組み込まれていればよい。
【0041】
また、図2ではアナログ入力信号発生器2はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にアナログ入力信号発生器2を用意してもよい。
(実施形態2)
以下、本発明の検査回路における第2の実施形態について図面を参照しながら説明する。第1の実施の形態と異なる点は、アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3はアナログ入力信号変換回路4によりレベルが増減されるだけでなくレベルの切り替わりタイミングも調整できることにある。
【0042】
図4は本実施形態における検査回路図である。
【0043】
1はLSIテスタ、2はアナログ入力信号発生器、3はアナログ信号、4はアナログ入力信号変換回路、5はADコンバータ、6はデジタル信号、9はアナログ入力信号変換回路を制御する制御信号、10はアナログ入力信号変換回路4内にあるレベル増減器、11はアナログ入力信号変換回路4内にあるサンプルホールド回路である。
【0044】
アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3はまずアナログ入力信号変換回路4の中に搭載されている1つ以上のレベル増減器10にそれぞれ入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたアナログ信号3を増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたアナログ信号3を増減して出力し、それぞれが接続されているサンプルホールド回路11に入力する。サンプルホールド回路11はLSIテスタ1から出力される制御信号9により決められた時間が経過すると保持しているレベルをそれぞれが接続されているADコンバータ5に出力するとともに、その時にレベル増減器10から入力されているアナログ信号3のレベルを保持することを繰り返す。
【0045】
図5は本実施形態におけるアナログ信号変換例である。例えば、アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3が1.0mVステップで1μs周期で電圧が切り替わる階調波であり(図5(a))、アナログ入力信号変換回路4の中に搭載されている1つのレベル増減器10のレベル増減の割合が0.5倍に設定され(図5(b))、サンプルホールド回路11のデータ保持時間が3μsに設定されていた場合(図5(c))の変換例を示している。
【0046】
図5に示す通り、アナログ入力信号発生器2から出力される基準となるアナログ信号3が0.0mV(0μs)→1.0mV(1μs)→2.0mV(2μs)→…→10.0mV(10μs)と変化した場合(図5(a))、レベル増減器10から出力されるアナログ信号3は0.0mV(0μs)→0.5mV(1μs)→1.0mV(2μs)→1.5mV(3μs)→…→3.0mV(6μs)→…→4.5mV(9μs)→5.0mV(10μs)となる(図5(b))。サンプルホールド回路11のデータ保持時間は3μsであるので、サンプルホールド回路11のデータ切換りタイミングは0μs、3μs、9μsであり(図5(c))、出力するアナログ信号は図5(d)のように0.0mV(0μs)→1.5mV(3μs) →3.0mV(6μs)→4.5mV(9μs)となる(図5の例では最初の切り替わりが0μsと仮定)。
【0047】
本実施形態における検査回路を使用することにより、測定対象の複数のADコンバータ5が必要とするアナログ信号3の周期が異なる場合でも、測定するADコンバータ5の数よりも少ないアナログ入力信号発生器2しかなくても同時にアナログ信号3を入力することができるので、ADコンバータ5を並列に測定できる。
【0048】
ただし、アナログ入力信号発生器2は測定対象である1つ以上のADコンバータ5の入力信号周期を全て満たせるようにアナログ信号3を出力しなければならない。例えば、測定対象のADコンバータ5が2個であり入力周期がそれぞれ、4μs、6μsであれば、アナログ入力信号発生器2は少なくとも最大公約数である2μsの周期でアナログ信号3を出力しなければならない。
【0049】
なお、アナログ入力信号変換回路4はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内に組み込まれていればよい。また、図4ではアナログ入力信号発生器2はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にアナログ入力信号発生器2を用意してもよい。
(実施形態3)
以下、本発明の検査回路における第3の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図6は本実施形態における検査回路図である。1はLSIテスタ、5はADコンバータ、6はデジタル信号、7はデジタル信号セレクタ回路、8はデジタルキャプチャ、9はデジタル信号セレクタ回路7を制御する制御信号、10はデジタル信号セレクタ回路7内にあるレベル変換器であるレベル増減器、12はデジタル信号セレクタ回路7内にあるセレクタである。
【0050】
測定対象である複数のADコンバータ5から出力されるデジタル信号6は矩形波として出力され、矩形波のレベルにより0,1に分けられる。そのため、デジタル信号6といっても、並列にデータを取り込むためには各ADコンバータ5の出力レベルを同じにする必要がある。そこでまず、測定対象である複数のADコンバータ5から出力されるデジタル信号は各ADコンバータ5のデジタル出力と接続されているデジタル信号セレクタ回路7内にあるレベル増減器10に入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたデジタル信号6を表す矩形波のレベルを増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたデジタル信号6を増減して出力し、接続されているセレクタ12に変換したデジタル信号6を入力する。LSIテスタ1から入力される制御信号9によりセレクタ12は所定の間隔で複数の入力の中からどの信号をどの順番に出力するかが決められ、セレクタ12で出力されたデジタル信号はデジタルキャプチャ8に入力される。デジタルキャプチャ8はADコンバータ5の測定開始から所定のタイミングでデジタル信号セレクタ回路7から出力されるデジタル信号をサンプリングする。デジタルキャプチャ8にサンプリングされたデータがどのADコンバータ5のデータかどうかはLSIテスタ1内のメモリに記憶されており、そのメモリの内容により各ADコンバータ5の出力結果をデジタルキャプチャ8から取り出すことができ、取り出したデータを用いて各ADコンバータ5の直線性テスト等の演算・判定を行うことができる。
【0051】
図7は本実施の形態における処理フローを示す。例として2つの1bit ADコンバータ5(ADコンバータA、ADコンバータB)の出力を用いて説明する。ADコンバータAはH出力時は3V(1.5V以上でコード1)、L出力時が0V(1.5V以下でコード0)であり、出力は0μs〜4μsおよび6μs〜8μsがH出力(コード1)、4μs〜6μsおよび8μs〜10μsがL出力(コード0)の矩形波となっているとする(図7(a))。ADコンバータBはL出力時は0V(0.5V以下でコード0)、H出力時が1V(0.5V以上でコード1)であり、出力は0μs〜3μsおよび6μs〜10μsがH出力(コード1)、3μs〜6μsがL出力(コード0)の矩形波となっているとする(図7(b))。
【0052】
レベル増減器10は、LSIテスタ1から出力される制御信号9により、両ADコンバータ5から出力されるデジタル信号を表す矩形波のレベル変換の割合はそれぞれADコンバータA=2/3倍、ADコンバータA=2倍となるよう設定してあるとする。
【0053】
セレクタ12は制御信号9により1μs周期でADコンバータAとADコンバータBの出力を交互に入れ換え、ADコンバータAは0μs〜1μs、2μs〜3μs、4μs〜5μs、6μs〜7μs、8μs〜9μsに出力され、ADコンバータBは1μs〜2μs、3μs〜4μs、5μs〜6μs、7μs〜9μs、9μs〜10μsに出力されるものとする。
【0054】
デジタルキャプチャ8は1V以上をコード1、1V以下をコード0として取り込む設定であり、取り込みを1μs周期で次の0μs、1μs、2μs、3μs、4μs、5μs、6μs、7μs、8μs、9μsの10ポイントで行うものとする。
【0055】
この場合、まずADコンバータAとADコンバータBのデジタル出力はデジタル信号セレクタ回路7内にあるレベル増減器10にそれぞれ入力され、振幅2Vの矩形波に変換される(図7(c)、(d))。次に、セレクタ12は変換されたそれぞれのレベル増減器10からの出力を入力として受け取り、0μs〜1μs、2μs〜3μs、4μs〜5μs、6μs〜7μs、8μs〜9μsはADコンバータAのデジタル信号をレベル変換した信号を出力し、1μs〜2μs、3μs〜4μs、5μs〜6μs、7μs〜9μs、9μs〜10μsではADコンバータBのデジタル信号をレベル変換した信号を出力する。その結果、デジタルキャプチャ8が受け取る信号は、0μs〜1μsは2V、1μs〜2μsは0V、2μs〜3μsは2V、3μs〜4μsは2V、4μs〜5μsは0V、5μs〜6μsは2V、6μs〜7μsは2V、7μs〜8μsは0V、8μs〜9μsは0V、9μs〜10μsは0Vとなり(図7(e))、デジタルキャプチャ8は0μsは1、1μsは0、2μsは1、3μsは1、4μsは0、5μsは1、6μsは1、7μsは0、8μsは0、9μsは0というコード変換したデータを記憶する(図7(f))。
【0056】
本実施形態における検査回路を使用することにより、LSIテスタ1は測定するADコンバータ5の数よりも少ないデジタルキャプチャ8しか持たなくても、最も出力に時間がかかるADコンバータ5の測定と同じ時間で、1つ以上のADコンバータ5から出力されるデジタル信号をあらわす矩形波が異なるレベルであっても、並列に取り込むことができる。
【0057】
ただし、本実施形態ではデジタルキャプチャ8は測定対象である1つ以上のADコンバータ5の出力信号周期を全て満たせるようにサンプリングしなければならない。例えば、測定対象のADコンバータ5が2個であり出力周期がそれぞれ、4μs、6μsであれば、デジタルキャプチャ8は少なくとも最大公約数である2μsの周期でデジタル信号6をサンプリングしなければならない。
【0058】
なお、デジタル信号セレクタ回路7はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれていればよい。
【0059】
また、図6ではデジタルキャプチャ8はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にデジタルキャプチャ8を用意してもよい。
(実施形態4)
以下、本発明の検査回路における第4の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図8は本実施形態における検査回路図である。1はLSIテスタ、3はアナログ信号、6はデジタル信号、10はデジタル入力信号変換回路14内にあるレベル増減器、13はデジタル信号発生器、14はデジタル入力信号発生器、15はDAコンバータである。
【0060】
デジタル信号発生器13から出力されるデジタル信号6を表す矩形波は、まずデジタル入力信号変換回路14の中に搭載されている1つ以上のレベル増減器10にそれぞれ入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたデジタル信号6を表す矩形波のレベルを増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたデジタル信号6を増減して出力し、それぞれが接続されているDAコンバータ15に変換したデジタル信号6を入力する。
【0061】
図9は本実施形態におけるデジタル信号変換例である。例えば、デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6がH側1V、L側が0Vの矩形波を出力し、デジタル入力信号変換回路14の中に搭載されているレベル増減器10が2つ(レベル増減器A、レベル増減器B)でありそれぞれの増減させる割合が2倍と3倍であった場合について示している。図9に示す通り、デジタル入力信号発生器13から出力される基準となるデジタル信号6(図9(a))がレベル増減器Aから出力されるデジタル信号6は、H側2V,L側が0Vの矩形波となり(図9(b))、レベル増減器Bから出力されるデジタル信号6はH側3V,L側が0Vの矩形波となる(図9(c))。
【0062】
本実施形態における検査回路を使用することにより、測定対象の複数のDAコンバータ15が必要とするデジタル信号6を表す矩形波のレベルの切り替わりタイミングが同時でよい場合、LSIテスタ1は測定するDAコンバータ15の数よりも少ないデジタル入力信号発生器13しか持たなくても同時に異なるレベルの矩形波で表されるデジタル信号6を入力し測定できる。また、それぞれのDAコンバータ15の測定に必要なデジタル信号6の入力ステップ数がそれぞれ異なる場合でも、各DAコンバータ15は測定に必要な入力ステップ数だけDA変換してそれ以降の入力は変換しないか、または変換してもそれ以降の処理で無視すればよく、デジタル入力信号発生器13からは最もステップ数を必要とするDAコンバータ15にあわせて基準となるデジタル信号6を出力すればよい。
【0063】
なお、デジタル入力信号変換回路14はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれていればよい。
【0064】
また、図8ではデジタル信号発生器13はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にデジタル信号発生器13を用意してもよい。
(実施形態5)
以下、本発明の検査回路における第5の実施形態について図面を参照しながら説明する。第4の実施の形態と異なる点は、デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6はデジタル入力信号変換回路14により矩形波のレベルが増減されるだけでなく、デジタルコード変換することにより任意にデジタル信号の周期を変換できることである。
【0065】
図10は本実施形態における検査回路図である。
【0066】
1はLSIテスタ、3はアナログ信号、6はデジタル信号、9はデジタル入力信号変換回路14を制御する制御信号、10はデジタル入力信号変換回路14内にあるレベル増減器、13はデジタル入力信号発生器、14はデジタル入力信号変換回路、15はDAコンバータ、18はデジタル入力信号変換回路14内にあるデコーダである。
【0067】
デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6はまずデジタル入力信号変換回路14の中に搭載されている1つ以上のレベル増減器10にそれぞれ入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたデジタル信号6を表す矩形波のレベルを増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたデジタル信号6を増減して出力し、それぞれが接続されているデコーダ18に入力する。デコーダ18は入力されたデジタルコードをLSIテスタ1から出力される制御信号9により決まる所定のアルゴリズムに従い、デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6が切換るタイミングに同期してコード変換を行う。
【0068】
図11は本実施形態におけるデジタル信号変換例である。例えば、デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6はbit0,bit1,bit2の信号で表され(図11(a))、bit0がLSB、bit2がMSBでコードが0から7へ増加する信号であり、また各デジタル信号を表す矩形波のレベルが0V〜1Vであるとする。また、アナログ入力信号変換回路4の中に搭載されているレベル増減器10のレベル増減の割合が2倍に設定され、デコーダのコード変換のアルゴリズムは入力されるコードを3で割った商に変換して出力するものであるとする。
【0069】
図11に示す通り、まずデジタル入力信号発生器13から出力される基準となるデジタル信号6のレベルがレベル増減器10により2倍の0V〜2Vに変換される(図11(b))。レベル増減器10の出力はデコーダ18に入力され、この場合3で割った商に変換するアルゴリズムで変換され、デジタルコードは、最初0,1,2,3,4,5,6,7であったものが、0,0,0,1,1,1,2,2というように変換され(図11(c))、この変換したデジタル信号6がDAコンバータ15に入力される。つまり、この例ではもとのデジタル信号は周期が3倍のデジタル信号6に変換されることになる。
【0070】
本実施形態における検査回路を使用することにより、デジタル信号発生器13から出力されるデジタル信号が階調波信号であれば、任意にデジタル信号を遅延させることができるので、測定するDAコンバータ15の数よりも少ないデジタル入力信号発生器13しかなくても、同時に異なる周期のデジタル信号6を入力することができるので、それぞれ必要とするデジタル信号6の周期が異なるDAコンバータ15を並列に測定できる。
【0071】
ただし、本実施形態ではデジタル入力信号発生器13は測定対象である1つ以上のDAコンバータ15の入力信号周期を全て満たせるようにデジタル信号6を出力しなければならない。例えば、測定対象のDAコンバータ15が2個であり入力周期がそれぞれ、4μs、6μsであれば、デジタル入力信号発生器13は少なくとも最大公約数である2μsの周期でデジタル信号6を出力しなければならない。
【0072】
なお、デジタル入力信号変換回路14はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれていればよい。
【0073】
また、図10ではデジタル信号発生器13はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にデジタル信号発生器13を用意してもよい。
(実施形態6)
以下、本発明の検査回路における第6の実施形態について図面を参照しながら説明する。
【0074】
図12は本実施形態における検査回路図である。
【0075】
1はLSIテスタ、3はアナログ信号、9はアナログ信号セレクタ回路16を制御する制御信号、12はアナログ信号セレクタ回路16内にあるセレクタ、15はDAコンバータ、16はアナログ入力信号セレクタ回路、17はアナログ信号を格納するデジタイザである。
【0076】
測定対象である1つ以上のDAコンバータ15から出力される各アナログ信号3はアナログ入力信号セレクタ回路16内のセレクタ12に入力される。LSIテスタ1から入力される制御信号9によりセレクタ12は一定の間隔で複数の入力の中からどの信号をどの順番に出力するかが決められ、セレクタ12で出力されたアナログ信号はデジタイザ17に入力される。デジタイザ17はDAコンバータ15の測定開始から所定のタイミングでアナログ信号セレクタ回路16から出力されるアナログ信号をサンプリングする。デジタイザ17にサンプリングされたデータの中からどのデータがどのDAコンバータ15のデータかはLSIテスタ1内のメモリに記憶されており、そのメモリの内容により各DAコンバータ15の出力結果をデジタイザ7から取り出すことができ、このデータを用いて各DAコンバータ15の直線性テスト等の演算・判定を行うことができる。
【0077】
図13は本実施の形態における処理フローを示す。例として2つのDAコンバータ15(DAコンバータA、DAコンバータB)の出力を用いて説明する。
【0078】
DAコンバータAは0μs〜4μsでは5.0mV、4μs〜8μsでは10.0mV、8μs〜10μsでは15.0mVで出力され(図13(a))、DAコンバータBは0μs〜2μsでは10.0mV、2μs〜4μsでは12.0mV、4μs〜6μsでは14.0mV、6μs〜8μsでは16.0mV、8μs〜10μsでは18.0mVで出力されるものとする(図13(b))。
【0079】
セレクタ12は0μs〜1μs、2μs〜3μs、4μs〜5μs、6μs〜7μs、8μs〜9μsではDAコンバータAのアナログ信号3を出力し、1μs〜2μs、3μs〜4μs、5μs〜6μs、7μs〜8μs、9μs〜10μsではDAコンバータBのアナログ信号3を出力するものとする。
【0080】
デジタイザ17はデータの取り込みを1μs周期で次の0μs、1μs、2μs、3μs、4μs、5μs、6μs、7μs、8μs、9μsの10ポイントで行うものとする(図13(d))。
【0081】
この場合、DAコンバータAとDAコンバータBのデジタル出力はアナログ信号セレクタ回路16内にあるセレクタ12に入力され、セレクタは0μs〜1μs、2μs〜3μs、4μs〜5μs、6μs〜7μs、8μs〜9μsはDAコンバータAのアナログ信号を出力し、1μs〜2μs、3μs〜4μs、5μs〜6μs、7μs〜9μs、9μs〜10μsではDAコンバータBのアナログ信号を出力する。その結果、デジタイザ17が受け取る信号は、0μs〜1μsは5mV、1μs〜2μsは10mV、2μs〜3μsは5mV、3μs〜4μsは12mV、4μs〜5μsは10mV、5μs〜6μsは14mV、6μs〜7μsは10mV、7μs〜8μsは16mV、8μs〜9μsは15mV、9μs〜10μsは18mVとなる。デジタイザ17が取り込むタイミングは0μsからスタートし1μs周期に取り込むので、デジタイザ17に格納されるデータは0μsは5mV、1μsは10mV、2μsは5mV、3μsは12mV、4μsは10mV、5μsは14mV、6μsは10mV、7μsは16mV、8μsは15mV、9μsは18mVとなる(図13(d))。
【0082】
本実施形態における検査回路を使用することにより、LSIテスタ1は測定するDAコンバータ15の数よりも少ないデジタイザ17しか持たなくても、最も出力に時間がかかるDAコンバータ15の測定と同じ時間で複数のDAコンバータ15の出力を取り込むことができる。
【0083】
ただし、本実施形態ではデジタイザ17は測定対象である1つ以上のDAコンバータ15の出力信号周期を全て満たせるようにサンプリングしなければならない。例えば、測定対象のDAコンバータ15が2個であり出力周期がそれぞれ、4μs、6μsであれば、デジタイザ17は少なくとも最大公約数である2μsの周期でアナログ信号3をサンプリングしなければならない。
【0084】
なお、アナログ信号セレクタ回路16はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれていればよい。
【0085】
また、図12ではデジタイザ17はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にデジタル信号発生器13を用意してもよい。
【0086】
【発明の効果】
請求項1記載の検査回路によれば、アナログ入力信号発生器のアナログ入力信号をADコンバータの測定に必要なレベルである1つ以上のアナログ信号に変換することにより、複数のADコンバータを測定する場合において、アナログ入力発生器が測定対象のADコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0087】
請求項2記載の検査回路によれば、請求項1と同様な効果のほか、信号レベルの切り換わりタイミングも調整できる。
【0088】
請求項3記載の検査回路によれば、請求項1または請求項2と同様な効果 がある。
【0089】
請求項4記載の検査回路によれば、複数のデジタル信号出力をセレクタにより選択することにより、複数のADコンバータを測定する場合において、例えばLSIテスタに搭載されているデジタルキャプチャが測定対象のADコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0090】
請求項5記載の検査回路によれば、請求項4と同様な効果のほか、ADコンバータに対応してレベル変換器を有するため、1つ以上のADコンバータの出力のデジタル信号が異なるレベルであっても、デジタルキャプチャに記憶させることができる。
【0091】
請求項6記載の検査回路によれば、請求項4または請求項5と同様な効果がある。
【0092】
請求項7記載の検査回路によれば、デジタル信号発生器のデジタル入力信号をDAコンバータの測定に必要なレベルの矩形波にデジタル信号に変換することにより、複数のDAコンバータを測定する場合において、デジタル信号発生器が測定対象のDAコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0093】
請求項8記載の検査回路によれば、請求項7と同様な効果のほか、同時に異なる周期のデジタル信号を入力することができるので、それぞれ必要とするデジタル信号の周期の異なるDAコンバータを並列に測定できる。
【0094】
請求項9記載の検査回路によれば、請求項7または請求項8と同様な効果がある。
【0095】
請求項10記載の検査回路によれば、複数のアナログ信号出力をアナログ信号セレクタ回路により選択することにより、複数のDAコンバータを測定する場合において、例えばLSIテスタに搭載されているデジタイザが、各DAコンバータのアナログ出力データを記憶することができるので、測定対象のDAコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができ、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0096】
請求項11記載の検査回路によれば、請求項10と同様な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を代表する検査回路図である。
【図2】本発明の第1の実施形態における検査回路図である。
【図3】本発明の第1の実施形態におけるアナログ信号変換例の説明図である。
【図4】本発明の第2の実施形態における検査回路図である。
【図5】本発明の第2の実施形態におけるアナログ信号変換例の説明図である。
【図6】本発明の第3の実施形態における検査回路図である。
【図7】本発明の第3の実施形態における処理フロー図である。
【図8】本発明の第4の実施形態における検査回路図である。
【図9】本発明の第4の実施形態におけるデジタル信号変換例の説明図である。
【図10】本発明の第5の実施形態における検査回路図である。
【図11】本発明の第5の実施形態におけるデジタル信号変換例の説明図である。
【図12】本発明の第6の実施形態における検査回路図である。
【図13】本発明の第6の実施形態における処理フロー図である。
【符号の説明】
1 LSIテスタ
2 アナログ入力信号発生器
3 アナログ信号
4 アナログ入力信号変換回路
5 ADコンバータ
6 デジタル信号
7 デジタル信号セレクタ回路
8 デジタルキャプチャ
9 制御信号
10 レベル増減器
11 サンプルホールド回路
12 セレクタ
13 デジタル入力信号発生器
14 デジタル入力信号変換回路
15 DAコンバータ
16 アナログ信号セレクタ回路
17 デジタイザ
18 デコーダ
【発明が属する技術分野】
本発明は、ADコンバータおよびDAコンバータの検査回路に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の複数のADコンバータまたはDAコンバータがあった場合の検査において、それらADコンバータまたはDAコンバータを並列に測定するのに十分な数のアナログユニット(アナログ入力信号発生器など)がない場合は、各回路をシリアルに測定しなければならず、検査時間は各被測定回路の検査時間の合計となる。
【0003】
また、従来のLSIテスタには、複数のアナログチャンネルを持ち、かつ各アナログチャンネルはそれぞれ独立にアナログ入力信号発生器、デジタル信号発生器、データ取り込み器、演算器等を持つことで、各アナログチャンネルごとに独立してADコンバータやDAコンバータを測定することで、並列に複数のADコンバータやDAコンバータを測定しているものもある(例えば、特許文献1参照)。この場合、信号入力から信号取り込み、演算まで各アナログチャンネルで実施できるので、アナログチャンネル数分はADコンバータやDAコンバータを並列に測定することができる。
【0004】
【特許文献1】
特開平9−189750号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述した従来の複数のADコンバータ・DAコンバータの検査手法のうち、各回路をシリアルに測定した場合、検査時間は各被測定回路の検査時間の合計となってしまい、検査時間が長くなる分、ADコンバータ・DAコンバータの検査コストは増大する。
【0006】
また、LSIテスタに複数のアナログユニットを持たせ、それぞれが並列にADコンバータやDAコンバータを測定できた場合、テスト時間は大幅に短縮されるが、アナログユニットを複数搭載した分、LSIテスタの価格は上昇し、その結果、ADコンバータ・DAコンバータの検査コストは増大してしまう。
【0007】
したがって、本発明の目的は、検査コストを低減することができる検査回路を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の検査回路は、アナログ入力信号を発生するアナログ入力信号発生器と、アナログ入力信号のレベルを個別に所定のレベルに増減させたアナログ信号を出力することのできる1つ以上のレベル増減器を有するアナログ入力信号変換回路とを備え、アナログ信号を検査対象である1つ以上のADコンバータに印加することを特徴とするものである。
【0009】
請求項1記載の検査回路によれば、アナログ入力信号発生器のアナログ入力信号をADコンバータの測定に必要なレベルである1つ以上のアナログ信号に変換することにより、複数のADコンバータを測定する場合において、アナログ入力発生器が測定対象のADコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0010】
請求項2記載の検査回路は、請求項1において、アナログ入力信号変換回路が、レベル増減器で変換したアナログ信号を所定の時間保持することのできるサンプルホールド回路を持ち、検査対象である1つ以上のADコンバータにそれぞれ所定のタイミングと入力レベルでアナログ信号を印加するものである。
【0011】
請求項2記載の検査回路によれば、請求項1と同様な効果のほか、信号レベルの切り換わりタイミングも調整できる。
【0012】
請求項3記載の検査回路は、請求項1または請求項2において、アナログ入力信号変換回路がLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内に組み込まれているものである。
【0013】
請求項3記載の検査回路によれば、請求項1または請求項2と同様な効果 がある。
【0014】
請求項4記載の検査回路は、1つ以上のADコンバータのデジタル信号の出力を入力とし、所定のアルゴリズムにしたがって各デジタル信号出力を切り換えて出力するセレクタを持つデジタル信号セレクタ回路を備え、デジタル出力データを格納するデジタルキャプチャにデジタル信号セレクタ回路の出力を入力することを特徴とするものである。
【0015】
請求項4記載の検査回路によれば、複数のデジタル信号出力をセレクタにより選択することにより、複数のADコンバータを測定する場合において、例えばLSIテスタに搭載されているデジタルキャプチャが測定対象のADコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0016】
請求項5記載の検査回路は、請求項4において、デジタル信号セレクタ回路が、1つ以上のADコンバータの出力であるデジタル信号を表す矩形波を入力として受け取り矩形波のレベルを変換して出力する1つ以上のレベル変換器を有し、セレクタは、1つ以上のレベル変換器の出力を入力として受け取りデジタルキャプチャに出力する信号を選択するものである。
【0017】
請求項5記載の検査回路によれば、請求項4と同様な効果のほか、ADコンバータに対応してレベル変換器を有するため、1つ以上のADコンバータの出力のデジタル信号が異なるレベルであっても、デジタルキャプチャに記憶させることができる。
【0018】
請求項6記載の検査回路は、請求項4または請求項5において、デジタル信号セレクタ回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれているものである。
【0019】
請求項6記載の検査回路によれば、請求項4または請求項5と同様な効果がある。
【0020】
請求項7記載の検査回路は、デジタル入力信号を出力するデジタル信号発生器と、デジタル入力信号を表す矩形波のレベルを個別に所定のレベルに増減したデジタル信号を出力することのできる1つ以上のレベル増減器を有するデジタル入力信号変換回路を備え、デジタル信号を検査対象である1つ以上のDAコンバータに印加することを特徴とするものである。
【0021】
請求項7記載の検査回路によれば、デジタル信号発生器のデジタル入力信号をDAコンバータの測定に必要なレベルの矩形波にデジタル信号に変換することにより、複数のDAコンバータを測定する場合において、デジタル信号発生器が測定対象のDAコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0022】
請求項8記載の検査回路は、請求項7において、デジタル入力信号変換回路は、レベル増減器で変換したデジタル信号を所定のアルゴリズムでコード変換することのできるデコーダを有し、検査対象である1つ以上のDAコンバータにそれぞれ所定のタイミングと入力レベルでデジタル信号を印加するものである。
【0023】
請求項8記載の検査回路によれば、請求項7と同様な効果のほか、同時に異なる周期のデジタル信号を入力することができるので、それぞれ必要とするデジタル信号の周期の異なるDAコンバータを並列に測定できる。
【0024】
請求項9記載の検査回路は、請求項7または請求項8において、デジタル入力信号変換回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれているものである。
【0025】
請求項9記載の検査回路によれば、請求項7または請求項8と同様な効果がある。
【0026】
請求項10記載の検査回路は、1つ以上のDAコンバータのアナログ信号の出力を入力とし、所定のアルゴリズムにしたがって各DAコンバータのアナログ出力を切換えて出力することのできるアナログ信号セレクタ回路を備え、アナログ出力データを格納するデジタイザにアナログ信号セレクタ回路の出力を入力することを特徴とするものである。
【0027】
請求項10記載の検査回路によれば、複数のアナログ信号出力をアナログ信号セレクタ回路により選択することにより、複数のDAコンバータを測定する場合において、例えばLSIテスタに搭載されているデジタイザが、各DAコンバータのアナログ出力データを記憶することができるので、測定対象のDAコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができ、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0028】
請求項11記載の検査回路は、請求項10において、アナログ信号セレクタ回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれているものである。
【0029】
請求項11記載の検査回路によれば、請求項10と同様な効果がある。
【0030】
【発明の実施の形態】
まず、課題を解決するための手段を図面を参照しながら説明する。図1は本発明を代表する検査回路図である。
【0031】
1はLSIテスタ、2はアナログ入力信号発生器、3はアナログ信号、4はアナログ入力信号変換回路、5はADコンバータ、6はデジタル信号、7はデジタル信号セレクタ回路、8はデジタルデータを格納するデジタルキャプチャ、9は制御信号、13はデジタル入力信号発生器、14はデジタル入力信号変換回路、15はDAコンバータ、16はアナログ信号セレクタ回路、17はデジタイザである。
【0032】
課題を解決するためには、最小限のアナログユニットで複数のADコンバータ5、DAコンバータ15が測定できれば、LSIテスタの価格は低く抑えることができ、その結果、ADコンバータやDAコンバータの検査コストを低くすることができる。
【0033】
以下にADコンバータ・DAコンバータそれぞれについて課題の解決手段について述べる。
【0034】
ADコンバータ5の場合、ADコンバータ5に入力するアナログ信号3を発生するアナログ入力信号発生器4の数がADコンバータ数よりも少ない場合でも、基準となるアナログ信号3から各ADコンバータ5が必要とするアナログ信号3を生成できるアナログ入力信号変換回路4を用いることで、同時に1つ以上のADコンバータ5にアナログ信号3を入力することができる。また、ADコンバータ5が出力するデジタル信号6を取り込むデジタルキャプチャ8の数がADコンバータ5の数よりも少ない場合でも、1つ以上のADコンバータ5の出力を受け取り所定のアルゴリズムで選択してデジタルキャプチャ8に出力できるデジタル信号セレクタ回路7を用意することで、並列に1つ以上のADコンバータ5のデジタル信号6を取り込むことができる。
【0035】
DAコンバータ15の場合、DAコンバータ15に入力するデジタル信号6を発生するデジタル入力信号発生器13の数がDAコンバータ数よりも少ない場合でも、基準となるデジタル信号6から各DAコンバータ15が必要とするデジタル信号6を生成できるデジタル入力信号変換回路14を用意することで、同時に1つ以上のDAコンバータ15にデジタル信号6を入力することができる。また、DAコンバータ15が出力するアナログ信号3を取り込むデジタイザの数がDAコンバータ15の数よりも少ない場合でも、1つ以上のDAコンバータ15の出力を受け取り、所定のアルゴリズムで選択してデジタイザ17に出力できるアナログ信号セレクタ回路16を用意することで、並列に1つ以上のDAコンバータ15の出力であるアナログ信号3を取り込むことができる。
【0036】
なお、アナログ入力信号変換回路4、デジタル信号セレクタ回路7、デジタル入力信号変換回路14、アナログ信号セレクタ回路16はLSIテスタ1から出力される制御信号9により制御可能である。
(実施形態1)
以下、本発明の検査回路における第1の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図2は本実施形態における検査回路図である。1はLSIテスタ、2はアナログ入力信号発生器、3はアナログ信号、4はアナログ入力信号変換回路、5はADコンバータ、6はデジタル信号、9はアナログ入力信号変換回路を制御する制御信号、10はアナログ入力信号変換回路4内にあるレベル増減器である。
【0037】
アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3はまずアナログ入力信号変換回路4の中に搭載されている1つ以上のレベル増減器10にそれぞれ入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたアナログ信号3を増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたアナログ信号3を増減して出力し、それぞれが接続されているADコンバータ5に変換したアナログ信号3を入力する。
【0038】
図3は本実施形態におけるアナログ信号変換例である。例えば、アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3が図(a)のように1.0mVステップで電圧が切り替わる階調波であり、アナログ入力信号変換回路4の中に搭載されているレベル増減器10が2つ(レベル増減器A、レベル増減器B)でありそれぞれの増減させる割合が図(b)の2倍と図(c)の0.5倍であった場合について示している。図3に示す通り、アナログ入力信号発生器2から出力される基準となるアナログ信号3が0.0mV→1.0mV→2.0mV→3.0mVと変化した場合、レベル増減器Aから出力されるアナログ信号3は0.0mV→2.0mV→4.0mV→6.0mVとなり、レベル増減器Bから出力されるアナログ信号3は0.0mV→0.5mV→1.0mV→1.5mVとなる。
【0039】
本実施形態における検査回路を使用することにより、測定対象の1つ以上のADコンバータ5が必要とするアナログ信号3の入力レベルの切り替わりタイミングが同時でよい場合、LSIテスタは測定するADコンバータ5の数よりも少ないアナログ入力信号発生器2しか持たなくても同時にアナログ信号3を入力し測定できる。また、それぞれのADコンバータ5の測定に必要なアナログ信号3の入力ステップ数がそれぞれ異なる場合でも、各ADコンバータ3は測定に必要な入力ステップ数だけAD変換してそれ以降の入力は変換しないか、または変換してもそれ以降の処理で無視すればよく、アナログ入力信号発生器2からは最大ステップ数を必要とするADコンバータ5にあわせて基準となるアナログ信号3を出力すればよい。
【0040】
なお、アナログ入力信号変換回路4はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内に組み込まれていればよい。
【0041】
また、図2ではアナログ入力信号発生器2はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にアナログ入力信号発生器2を用意してもよい。
(実施形態2)
以下、本発明の検査回路における第2の実施形態について図面を参照しながら説明する。第1の実施の形態と異なる点は、アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3はアナログ入力信号変換回路4によりレベルが増減されるだけでなくレベルの切り替わりタイミングも調整できることにある。
【0042】
図4は本実施形態における検査回路図である。
【0043】
1はLSIテスタ、2はアナログ入力信号発生器、3はアナログ信号、4はアナログ入力信号変換回路、5はADコンバータ、6はデジタル信号、9はアナログ入力信号変換回路を制御する制御信号、10はアナログ入力信号変換回路4内にあるレベル増減器、11はアナログ入力信号変換回路4内にあるサンプルホールド回路である。
【0044】
アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3はまずアナログ入力信号変換回路4の中に搭載されている1つ以上のレベル増減器10にそれぞれ入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたアナログ信号3を増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたアナログ信号3を増減して出力し、それぞれが接続されているサンプルホールド回路11に入力する。サンプルホールド回路11はLSIテスタ1から出力される制御信号9により決められた時間が経過すると保持しているレベルをそれぞれが接続されているADコンバータ5に出力するとともに、その時にレベル増減器10から入力されているアナログ信号3のレベルを保持することを繰り返す。
【0045】
図5は本実施形態におけるアナログ信号変換例である。例えば、アナログ入力信号発生器2から出力されるアナログ信号3が1.0mVステップで1μs周期で電圧が切り替わる階調波であり(図5(a))、アナログ入力信号変換回路4の中に搭載されている1つのレベル増減器10のレベル増減の割合が0.5倍に設定され(図5(b))、サンプルホールド回路11のデータ保持時間が3μsに設定されていた場合(図5(c))の変換例を示している。
【0046】
図5に示す通り、アナログ入力信号発生器2から出力される基準となるアナログ信号3が0.0mV(0μs)→1.0mV(1μs)→2.0mV(2μs)→…→10.0mV(10μs)と変化した場合(図5(a))、レベル増減器10から出力されるアナログ信号3は0.0mV(0μs)→0.5mV(1μs)→1.0mV(2μs)→1.5mV(3μs)→…→3.0mV(6μs)→…→4.5mV(9μs)→5.0mV(10μs)となる(図5(b))。サンプルホールド回路11のデータ保持時間は3μsであるので、サンプルホールド回路11のデータ切換りタイミングは0μs、3μs、9μsであり(図5(c))、出力するアナログ信号は図5(d)のように0.0mV(0μs)→1.5mV(3μs) →3.0mV(6μs)→4.5mV(9μs)となる(図5の例では最初の切り替わりが0μsと仮定)。
【0047】
本実施形態における検査回路を使用することにより、測定対象の複数のADコンバータ5が必要とするアナログ信号3の周期が異なる場合でも、測定するADコンバータ5の数よりも少ないアナログ入力信号発生器2しかなくても同時にアナログ信号3を入力することができるので、ADコンバータ5を並列に測定できる。
【0048】
ただし、アナログ入力信号発生器2は測定対象である1つ以上のADコンバータ5の入力信号周期を全て満たせるようにアナログ信号3を出力しなければならない。例えば、測定対象のADコンバータ5が2個であり入力周期がそれぞれ、4μs、6μsであれば、アナログ入力信号発生器2は少なくとも最大公約数である2μsの周期でアナログ信号3を出力しなければならない。
【0049】
なお、アナログ入力信号変換回路4はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内に組み込まれていればよい。また、図4ではアナログ入力信号発生器2はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にアナログ入力信号発生器2を用意してもよい。
(実施形態3)
以下、本発明の検査回路における第3の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図6は本実施形態における検査回路図である。1はLSIテスタ、5はADコンバータ、6はデジタル信号、7はデジタル信号セレクタ回路、8はデジタルキャプチャ、9はデジタル信号セレクタ回路7を制御する制御信号、10はデジタル信号セレクタ回路7内にあるレベル変換器であるレベル増減器、12はデジタル信号セレクタ回路7内にあるセレクタである。
【0050】
測定対象である複数のADコンバータ5から出力されるデジタル信号6は矩形波として出力され、矩形波のレベルにより0,1に分けられる。そのため、デジタル信号6といっても、並列にデータを取り込むためには各ADコンバータ5の出力レベルを同じにする必要がある。そこでまず、測定対象である複数のADコンバータ5から出力されるデジタル信号は各ADコンバータ5のデジタル出力と接続されているデジタル信号セレクタ回路7内にあるレベル増減器10に入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたデジタル信号6を表す矩形波のレベルを増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたデジタル信号6を増減して出力し、接続されているセレクタ12に変換したデジタル信号6を入力する。LSIテスタ1から入力される制御信号9によりセレクタ12は所定の間隔で複数の入力の中からどの信号をどの順番に出力するかが決められ、セレクタ12で出力されたデジタル信号はデジタルキャプチャ8に入力される。デジタルキャプチャ8はADコンバータ5の測定開始から所定のタイミングでデジタル信号セレクタ回路7から出力されるデジタル信号をサンプリングする。デジタルキャプチャ8にサンプリングされたデータがどのADコンバータ5のデータかどうかはLSIテスタ1内のメモリに記憶されており、そのメモリの内容により各ADコンバータ5の出力結果をデジタルキャプチャ8から取り出すことができ、取り出したデータを用いて各ADコンバータ5の直線性テスト等の演算・判定を行うことができる。
【0051】
図7は本実施の形態における処理フローを示す。例として2つの1bit ADコンバータ5(ADコンバータA、ADコンバータB)の出力を用いて説明する。ADコンバータAはH出力時は3V(1.5V以上でコード1)、L出力時が0V(1.5V以下でコード0)であり、出力は0μs〜4μsおよび6μs〜8μsがH出力(コード1)、4μs〜6μsおよび8μs〜10μsがL出力(コード0)の矩形波となっているとする(図7(a))。ADコンバータBはL出力時は0V(0.5V以下でコード0)、H出力時が1V(0.5V以上でコード1)であり、出力は0μs〜3μsおよび6μs〜10μsがH出力(コード1)、3μs〜6μsがL出力(コード0)の矩形波となっているとする(図7(b))。
【0052】
レベル増減器10は、LSIテスタ1から出力される制御信号9により、両ADコンバータ5から出力されるデジタル信号を表す矩形波のレベル変換の割合はそれぞれADコンバータA=2/3倍、ADコンバータA=2倍となるよう設定してあるとする。
【0053】
セレクタ12は制御信号9により1μs周期でADコンバータAとADコンバータBの出力を交互に入れ換え、ADコンバータAは0μs〜1μs、2μs〜3μs、4μs〜5μs、6μs〜7μs、8μs〜9μsに出力され、ADコンバータBは1μs〜2μs、3μs〜4μs、5μs〜6μs、7μs〜9μs、9μs〜10μsに出力されるものとする。
【0054】
デジタルキャプチャ8は1V以上をコード1、1V以下をコード0として取り込む設定であり、取り込みを1μs周期で次の0μs、1μs、2μs、3μs、4μs、5μs、6μs、7μs、8μs、9μsの10ポイントで行うものとする。
【0055】
この場合、まずADコンバータAとADコンバータBのデジタル出力はデジタル信号セレクタ回路7内にあるレベル増減器10にそれぞれ入力され、振幅2Vの矩形波に変換される(図7(c)、(d))。次に、セレクタ12は変換されたそれぞれのレベル増減器10からの出力を入力として受け取り、0μs〜1μs、2μs〜3μs、4μs〜5μs、6μs〜7μs、8μs〜9μsはADコンバータAのデジタル信号をレベル変換した信号を出力し、1μs〜2μs、3μs〜4μs、5μs〜6μs、7μs〜9μs、9μs〜10μsではADコンバータBのデジタル信号をレベル変換した信号を出力する。その結果、デジタルキャプチャ8が受け取る信号は、0μs〜1μsは2V、1μs〜2μsは0V、2μs〜3μsは2V、3μs〜4μsは2V、4μs〜5μsは0V、5μs〜6μsは2V、6μs〜7μsは2V、7μs〜8μsは0V、8μs〜9μsは0V、9μs〜10μsは0Vとなり(図7(e))、デジタルキャプチャ8は0μsは1、1μsは0、2μsは1、3μsは1、4μsは0、5μsは1、6μsは1、7μsは0、8μsは0、9μsは0というコード変換したデータを記憶する(図7(f))。
【0056】
本実施形態における検査回路を使用することにより、LSIテスタ1は測定するADコンバータ5の数よりも少ないデジタルキャプチャ8しか持たなくても、最も出力に時間がかかるADコンバータ5の測定と同じ時間で、1つ以上のADコンバータ5から出力されるデジタル信号をあらわす矩形波が異なるレベルであっても、並列に取り込むことができる。
【0057】
ただし、本実施形態ではデジタルキャプチャ8は測定対象である1つ以上のADコンバータ5の出力信号周期を全て満たせるようにサンプリングしなければならない。例えば、測定対象のADコンバータ5が2個であり出力周期がそれぞれ、4μs、6μsであれば、デジタルキャプチャ8は少なくとも最大公約数である2μsの周期でデジタル信号6をサンプリングしなければならない。
【0058】
なお、デジタル信号セレクタ回路7はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれていればよい。
【0059】
また、図6ではデジタルキャプチャ8はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にデジタルキャプチャ8を用意してもよい。
(実施形態4)
以下、本発明の検査回路における第4の実施形態について、図面を参照しながら説明する。図8は本実施形態における検査回路図である。1はLSIテスタ、3はアナログ信号、6はデジタル信号、10はデジタル入力信号変換回路14内にあるレベル増減器、13はデジタル信号発生器、14はデジタル入力信号発生器、15はDAコンバータである。
【0060】
デジタル信号発生器13から出力されるデジタル信号6を表す矩形波は、まずデジタル入力信号変換回路14の中に搭載されている1つ以上のレベル増減器10にそれぞれ入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたデジタル信号6を表す矩形波のレベルを増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたデジタル信号6を増減して出力し、それぞれが接続されているDAコンバータ15に変換したデジタル信号6を入力する。
【0061】
図9は本実施形態におけるデジタル信号変換例である。例えば、デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6がH側1V、L側が0Vの矩形波を出力し、デジタル入力信号変換回路14の中に搭載されているレベル増減器10が2つ(レベル増減器A、レベル増減器B)でありそれぞれの増減させる割合が2倍と3倍であった場合について示している。図9に示す通り、デジタル入力信号発生器13から出力される基準となるデジタル信号6(図9(a))がレベル増減器Aから出力されるデジタル信号6は、H側2V,L側が0Vの矩形波となり(図9(b))、レベル増減器Bから出力されるデジタル信号6はH側3V,L側が0Vの矩形波となる(図9(c))。
【0062】
本実施形態における検査回路を使用することにより、測定対象の複数のDAコンバータ15が必要とするデジタル信号6を表す矩形波のレベルの切り替わりタイミングが同時でよい場合、LSIテスタ1は測定するDAコンバータ15の数よりも少ないデジタル入力信号発生器13しか持たなくても同時に異なるレベルの矩形波で表されるデジタル信号6を入力し測定できる。また、それぞれのDAコンバータ15の測定に必要なデジタル信号6の入力ステップ数がそれぞれ異なる場合でも、各DAコンバータ15は測定に必要な入力ステップ数だけDA変換してそれ以降の入力は変換しないか、または変換してもそれ以降の処理で無視すればよく、デジタル入力信号発生器13からは最もステップ数を必要とするDAコンバータ15にあわせて基準となるデジタル信号6を出力すればよい。
【0063】
なお、デジタル入力信号変換回路14はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれていればよい。
【0064】
また、図8ではデジタル信号発生器13はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にデジタル信号発生器13を用意してもよい。
(実施形態5)
以下、本発明の検査回路における第5の実施形態について図面を参照しながら説明する。第4の実施の形態と異なる点は、デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6はデジタル入力信号変換回路14により矩形波のレベルが増減されるだけでなく、デジタルコード変換することにより任意にデジタル信号の周期を変換できることである。
【0065】
図10は本実施形態における検査回路図である。
【0066】
1はLSIテスタ、3はアナログ信号、6はデジタル信号、9はデジタル入力信号変換回路14を制御する制御信号、10はデジタル入力信号変換回路14内にあるレベル増減器、13はデジタル入力信号発生器、14はデジタル入力信号変換回路、15はDAコンバータ、18はデジタル入力信号変換回路14内にあるデコーダである。
【0067】
デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6はまずデジタル入力信号変換回路14の中に搭載されている1つ以上のレベル増減器10にそれぞれ入力される。レベル増減器10はLSIテスタ1から出力される制御信号9により入力されたデジタル信号6を表す矩形波のレベルを増減する割合が決定され、その決められた割合で入力されたデジタル信号6を増減して出力し、それぞれが接続されているデコーダ18に入力する。デコーダ18は入力されたデジタルコードをLSIテスタ1から出力される制御信号9により決まる所定のアルゴリズムに従い、デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6が切換るタイミングに同期してコード変換を行う。
【0068】
図11は本実施形態におけるデジタル信号変換例である。例えば、デジタル入力信号発生器13から出力されるデジタル信号6はbit0,bit1,bit2の信号で表され(図11(a))、bit0がLSB、bit2がMSBでコードが0から7へ増加する信号であり、また各デジタル信号を表す矩形波のレベルが0V〜1Vであるとする。また、アナログ入力信号変換回路4の中に搭載されているレベル増減器10のレベル増減の割合が2倍に設定され、デコーダのコード変換のアルゴリズムは入力されるコードを3で割った商に変換して出力するものであるとする。
【0069】
図11に示す通り、まずデジタル入力信号発生器13から出力される基準となるデジタル信号6のレベルがレベル増減器10により2倍の0V〜2Vに変換される(図11(b))。レベル増減器10の出力はデコーダ18に入力され、この場合3で割った商に変換するアルゴリズムで変換され、デジタルコードは、最初0,1,2,3,4,5,6,7であったものが、0,0,0,1,1,1,2,2というように変換され(図11(c))、この変換したデジタル信号6がDAコンバータ15に入力される。つまり、この例ではもとのデジタル信号は周期が3倍のデジタル信号6に変換されることになる。
【0070】
本実施形態における検査回路を使用することにより、デジタル信号発生器13から出力されるデジタル信号が階調波信号であれば、任意にデジタル信号を遅延させることができるので、測定するDAコンバータ15の数よりも少ないデジタル入力信号発生器13しかなくても、同時に異なる周期のデジタル信号6を入力することができるので、それぞれ必要とするデジタル信号6の周期が異なるDAコンバータ15を並列に測定できる。
【0071】
ただし、本実施形態ではデジタル入力信号発生器13は測定対象である1つ以上のDAコンバータ15の入力信号周期を全て満たせるようにデジタル信号6を出力しなければならない。例えば、測定対象のDAコンバータ15が2個であり入力周期がそれぞれ、4μs、6μsであれば、デジタル入力信号発生器13は少なくとも最大公約数である2μsの周期でデジタル信号6を出力しなければならない。
【0072】
なお、デジタル入力信号変換回路14はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれていればよい。
【0073】
また、図10ではデジタル信号発生器13はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にデジタル信号発生器13を用意してもよい。
(実施形態6)
以下、本発明の検査回路における第6の実施形態について図面を参照しながら説明する。
【0074】
図12は本実施形態における検査回路図である。
【0075】
1はLSIテスタ、3はアナログ信号、9はアナログ信号セレクタ回路16を制御する制御信号、12はアナログ信号セレクタ回路16内にあるセレクタ、15はDAコンバータ、16はアナログ入力信号セレクタ回路、17はアナログ信号を格納するデジタイザである。
【0076】
測定対象である1つ以上のDAコンバータ15から出力される各アナログ信号3はアナログ入力信号セレクタ回路16内のセレクタ12に入力される。LSIテスタ1から入力される制御信号9によりセレクタ12は一定の間隔で複数の入力の中からどの信号をどの順番に出力するかが決められ、セレクタ12で出力されたアナログ信号はデジタイザ17に入力される。デジタイザ17はDAコンバータ15の測定開始から所定のタイミングでアナログ信号セレクタ回路16から出力されるアナログ信号をサンプリングする。デジタイザ17にサンプリングされたデータの中からどのデータがどのDAコンバータ15のデータかはLSIテスタ1内のメモリに記憶されており、そのメモリの内容により各DAコンバータ15の出力結果をデジタイザ7から取り出すことができ、このデータを用いて各DAコンバータ15の直線性テスト等の演算・判定を行うことができる。
【0077】
図13は本実施の形態における処理フローを示す。例として2つのDAコンバータ15(DAコンバータA、DAコンバータB)の出力を用いて説明する。
【0078】
DAコンバータAは0μs〜4μsでは5.0mV、4μs〜8μsでは10.0mV、8μs〜10μsでは15.0mVで出力され(図13(a))、DAコンバータBは0μs〜2μsでは10.0mV、2μs〜4μsでは12.0mV、4μs〜6μsでは14.0mV、6μs〜8μsでは16.0mV、8μs〜10μsでは18.0mVで出力されるものとする(図13(b))。
【0079】
セレクタ12は0μs〜1μs、2μs〜3μs、4μs〜5μs、6μs〜7μs、8μs〜9μsではDAコンバータAのアナログ信号3を出力し、1μs〜2μs、3μs〜4μs、5μs〜6μs、7μs〜8μs、9μs〜10μsではDAコンバータBのアナログ信号3を出力するものとする。
【0080】
デジタイザ17はデータの取り込みを1μs周期で次の0μs、1μs、2μs、3μs、4μs、5μs、6μs、7μs、8μs、9μsの10ポイントで行うものとする(図13(d))。
【0081】
この場合、DAコンバータAとDAコンバータBのデジタル出力はアナログ信号セレクタ回路16内にあるセレクタ12に入力され、セレクタは0μs〜1μs、2μs〜3μs、4μs〜5μs、6μs〜7μs、8μs〜9μsはDAコンバータAのアナログ信号を出力し、1μs〜2μs、3μs〜4μs、5μs〜6μs、7μs〜9μs、9μs〜10μsではDAコンバータBのアナログ信号を出力する。その結果、デジタイザ17が受け取る信号は、0μs〜1μsは5mV、1μs〜2μsは10mV、2μs〜3μsは5mV、3μs〜4μsは12mV、4μs〜5μsは10mV、5μs〜6μsは14mV、6μs〜7μsは10mV、7μs〜8μsは16mV、8μs〜9μsは15mV、9μs〜10μsは18mVとなる。デジタイザ17が取り込むタイミングは0μsからスタートし1μs周期に取り込むので、デジタイザ17に格納されるデータは0μsは5mV、1μsは10mV、2μsは5mV、3μsは12mV、4μsは10mV、5μsは14mV、6μsは10mV、7μsは16mV、8μsは15mV、9μsは18mVとなる(図13(d))。
【0082】
本実施形態における検査回路を使用することにより、LSIテスタ1は測定するDAコンバータ15の数よりも少ないデジタイザ17しか持たなくても、最も出力に時間がかかるDAコンバータ15の測定と同じ時間で複数のDAコンバータ15の出力を取り込むことができる。
【0083】
ただし、本実施形態ではデジタイザ17は測定対象である1つ以上のDAコンバータ15の出力信号周期を全て満たせるようにサンプリングしなければならない。例えば、測定対象のDAコンバータ15が2個であり出力周期がそれぞれ、4μs、6μsであれば、デジタイザ17は少なくとも最大公約数である2μsの周期でアナログ信号3をサンプリングしなければならない。
【0084】
なお、アナログ信号セレクタ回路16はLSIテスタ1もしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれていればよい。
【0085】
また、図12ではデジタイザ17はLSIテスタ1に内蔵されているように表しているが、LSIテスタ1に内蔵されていなくてもよく、例えば検査ボード上にデジタル信号発生器13を用意してもよい。
【0086】
【発明の効果】
請求項1記載の検査回路によれば、アナログ入力信号発生器のアナログ入力信号をADコンバータの測定に必要なレベルである1つ以上のアナログ信号に変換することにより、複数のADコンバータを測定する場合において、アナログ入力発生器が測定対象のADコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0087】
請求項2記載の検査回路によれば、請求項1と同様な効果のほか、信号レベルの切り換わりタイミングも調整できる。
【0088】
請求項3記載の検査回路によれば、請求項1または請求項2と同様な効果 がある。
【0089】
請求項4記載の検査回路によれば、複数のデジタル信号出力をセレクタにより選択することにより、複数のADコンバータを測定する場合において、例えばLSIテスタに搭載されているデジタルキャプチャが測定対象のADコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0090】
請求項5記載の検査回路によれば、請求項4と同様な効果のほか、ADコンバータに対応してレベル変換器を有するため、1つ以上のADコンバータの出力のデジタル信号が異なるレベルであっても、デジタルキャプチャに記憶させることができる。
【0091】
請求項6記載の検査回路によれば、請求項4または請求項5と同様な効果がある。
【0092】
請求項7記載の検査回路によれば、デジタル信号発生器のデジタル入力信号をDAコンバータの測定に必要なレベルの矩形波にデジタル信号に変換することにより、複数のDAコンバータを測定する場合において、デジタル信号発生器が測定対象のDAコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができるため、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0093】
請求項8記載の検査回路によれば、請求項7と同様な効果のほか、同時に異なる周期のデジタル信号を入力することができるので、それぞれ必要とするデジタル信号の周期の異なるDAコンバータを並列に測定できる。
【0094】
請求項9記載の検査回路によれば、請求項7または請求項8と同様な効果がある。
【0095】
請求項10記載の検査回路によれば、複数のアナログ信号出力をアナログ信号セレクタ回路により選択することにより、複数のDAコンバータを測定する場合において、例えばLSIテスタに搭載されているデジタイザが、各DAコンバータのアナログ出力データを記憶することができるので、測定対象のDAコンバータの数よりも少なくても並列に測定することができ、高価格なテスタを用いなくても検査時間を大幅に短縮でき、検査コストを削減できる。
【0096】
請求項11記載の検査回路によれば、請求項10と同様な効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を代表する検査回路図である。
【図2】本発明の第1の実施形態における検査回路図である。
【図3】本発明の第1の実施形態におけるアナログ信号変換例の説明図である。
【図4】本発明の第2の実施形態における検査回路図である。
【図5】本発明の第2の実施形態におけるアナログ信号変換例の説明図である。
【図6】本発明の第3の実施形態における検査回路図である。
【図7】本発明の第3の実施形態における処理フロー図である。
【図8】本発明の第4の実施形態における検査回路図である。
【図9】本発明の第4の実施形態におけるデジタル信号変換例の説明図である。
【図10】本発明の第5の実施形態における検査回路図である。
【図11】本発明の第5の実施形態におけるデジタル信号変換例の説明図である。
【図12】本発明の第6の実施形態における検査回路図である。
【図13】本発明の第6の実施形態における処理フロー図である。
【符号の説明】
1 LSIテスタ
2 アナログ入力信号発生器
3 アナログ信号
4 アナログ入力信号変換回路
5 ADコンバータ
6 デジタル信号
7 デジタル信号セレクタ回路
8 デジタルキャプチャ
9 制御信号
10 レベル増減器
11 サンプルホールド回路
12 セレクタ
13 デジタル入力信号発生器
14 デジタル入力信号変換回路
15 DAコンバータ
16 アナログ信号セレクタ回路
17 デジタイザ
18 デコーダ
Claims (11)
- アナログ入力信号を発生するアナログ入力信号発生器と、前記アナログ入力信号のレベルを個別に所定のレベルに増減させたアナログ信号を出力することのできる1つ以上のレベル増減器を有するアナログ入力信号変換回路とを備え、前記アナログ信号を検査対象である1つ以上のADコンバータに印加することを特徴とする検査回路。
- アナログ入力信号変換回路は、レベル増減器で変換したアナログ信号を所定の時間保持することのできるサンプルホールド回路を持ち、検査対象である1つ以上のADコンバータにそれぞれ所定のタイミングと入力レベルでアナログ信号を印加する請求項1記載の検査回路。
- アナログ入力信号変換回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内に組み込まれている請求項1または請求項2記載の検査回路。
- 1つ以上のADコンバータのデジタル信号の出力を入力とし、所定のアルゴリズムにしたがって各前記デジタル信号出力を切り換えて出力するセレクタを持つデジタル信号セレクタ回路を備え、デジタル出力データを格納するデジタルキャプチャに前記デジタル信号セレクタ回路の出力を入力することを特徴とする検査回路。
- デジタル信号セレクタ回路は、1つ以上のADコンバータの出力であるデジタル信号を表す矩形波を入力として受け取り前記矩形波のレベルを変換して出力する1つ以上のレベル変換器を有し、セレクタは、前記1つ以上のレベル変換器の出力を入力として受け取りデジタルキャプチャに出力する信号を選択する請求項4記載の検査回路。
- デジタル信号セレクタ回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれている請求項4または請求項5記載の検査回路。
- デジタル入力信号を出力するデジタル信号発生器と、前記デジタル入力信号を表す矩形波のレベルを個別に所定のレベルに増減したデジタル信号を出力することのできる1つ以上のレベル増減器を有するデジタル入力信号変換回路を備え、前記デジタル信号を検査対象である1つ以上のDAコンバータに印加することを特徴とする検査回路。
- デジタル入力信号変換回路は、レベル増減器で変換したデジタル信号を所定のアルゴリズムでコード変換することのできるデコーダを有し、検査対象である1つ以上のDAコンバータにそれぞれ所定のタイミングと入力レベルでデジタル信号を印加する請求項7記載の検査回路。
- デジタル入力信号変換回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれている請求項7および請求項8記載の検査回路。
- 1つ以上の前記DAコンバータのアナログ信号の出力を入力とし、所定のアルゴリズムにしたがって各DAコンバータのアナログ出力を切換えて出力することのできるアナログ信号セレクタ回路を備え、アナログ出力データを格納するデジタイザに前記アナログ信号セレクタ回路の出力を入力することを特徴とする検査回路。
- アナログ信号セレクタ回路はLSIテスタもしくは検査ボードまたは測定デバイス内のいずれかに組み込まれている請求項10記載の検査回路。
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