JP2004328012A - セラミックス配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(イ)抗折強度が41kgf/mm2の幅25×長さ100×厚さ0.635mmのAlN基板に分割線(深さ0.15mm)を設けたものを用意する。(ロ)この基板上にAg−Cuの共晶組成にTi4重量%を添加した接合用ペーストを塗布し、該ペースト上に銅板を積層し、熱処理して銅板を接合する。(ハ)得られた接合体の銅板を塩化第二鉄溶液でエッチングして銅の不要部分を除去して銅回路を形成する。(ニ)得られた基板に人手により圧力を加え、分割線に沿って基板を分割する。
【選択図】 なし
Description
Claims (4)
- 窒化アルミニウム基板上にろう材を塗布した後に銅板を接合し、エッチング処理して所望の配線パターンの金属配線板を形成するセラミックス配線基板の製造方法において、窒化アルミニウム基板として抗折強度が40kgf/mm2以上で、分割線を設けた基板を用い、基板上に活性金属ろう材ペーストを全面あるいは所望のパターンに塗布した後、該パターンの最外形状に合わせた銅板を接合し、該銅板にエッチング処理を行って銅回路を形成し、次いで基板を該分割線に沿って分割することを特徴とするセラミックス配線基板の製造方法。
- 窒化アルミニウム基板上にろう材を塗布した後に銅板を接合し、エッチング処理して所望の配線パターンの金属配線板を形成するセラミックス配線基板の製造方法において、窒化アルミニウム基板として抗折強度が40kgf/mm2以上で、分割線を設けた基板を用い、基板上に活性金属ろう材ペーストを全面あるいは所望のパターンに塗布した後、該パターンの最外形状に合わせた銅板を接合し、該銅板上に回路パターンをレジストで印刷した後エッチング処理を行って銅回路を形成し、次いで基板を該分割線に沿って分割することを特徴とするセラミックス配線基板の製造方法。
- 窒化アルミニウム基板上にろう材を塗布した後に銅板を接合し、エッチング処理して所望の配線パターンの金属配線板を形成するセラミックス配線基板の製造方法において、窒化アルミニウム基板として抗折強度が40kgf/mm2以上で、厚さが0.635mmであって、かつ深さ0.06mm以上の分割線を設けた基板を用い、基板上に活性金属ろう材ペーストを全面あるいは所望のパターンに塗布した後、該パターンの最外形状に合わせた銅板を接合し、該銅板にエッチング処理を行って銅回路を形成し、次いで基板を該分割線に沿って分割することを特徴とするセラミックス配線基板の製造方法。
- 窒化アルミニウム基板上にろう材を塗布した後に銅板を接合し、エッチング処理して所望の配線パターンの金属配線板を形成するセラミックス配線基板の製造方法において、窒化アルミニウム基板として抗折強度が40kgf/mm2以上で、厚さが0.635mmであって、かつ深さ0.06mm以上の分割線を設けた基板を用い、基板上に活性金属ろう材ペーストを全面あるいは所望のパターンに塗布した後、該パターンの最外形状に合わせた銅板を接合し、該銅板上に回路パターンをレジストで印刷した後エッチング処理を行って銅回路を形成し、次いで基板を該分割線に沿って分割することを特徴とするセラミックス配線基板の製造方法。
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2004
- 2004-07-16 JP JP2004210691A patent/JP2004328012A/ja active Pending
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DE102013208350A1 (de) | 2012-05-08 | 2013-11-14 | Showa Denko K.K. | Herstellungsverfahren für einen kühler |
US8772926B2 (en) | 2012-05-08 | 2014-07-08 | Showa Denko K.K. | Production method of cooler |
EP2803480A2 (en) | 2013-05-17 | 2014-11-19 | Showa Denko K.K. | Production method of multilayer clad material |
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