JP2004311743A - 測温抵抗体膜 - Google Patents
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Abstract
【目的】高温に曝されても抵抗体の抵抗値が変化しにくい測温抵抗体膜を提供することにある。
【構成】本発明の測温抵抗体膜における膜構成の第一の実施形態は、基体上に、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するTi又はNiCrの抵抗体膜の第一の層と、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するSiN又はSiO2の保護膜の第二の層を備えてなる。
【選択図】 図2
【構成】本発明の測温抵抗体膜における膜構成の第一の実施形態は、基体上に、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するTi又はNiCrの抵抗体膜の第一の層と、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するSiN又はSiO2の保護膜の第二の層を備えてなる。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ラジエントヒーターやハロゲンヒーターを用いた赤外線加熱調理器、電磁加熱(IH)調理器、電子レンジ等の測温計又は過熱防止センサに使用される測温抵抗体膜に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、測温抵抗体は、シリコン又はガラスからなる支持基板上に、絶縁被膜が設けられ、その上に白金、ニッケル等の抵抗の温度係数が大きな金属又は合金からなる金属薄膜が形成されてなるものである(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開昭60−12706号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1に記載の測温抵抗体は、ラジエントヒーターやハロゲンヒーターを用いた赤外線加熱調理器、電磁加熱(IH)調理器、電子レンジ等の調理器に使用すると、400℃以上の高温で、長時間曝されたり、室温から400℃まで昇降温を繰り返されたりする場合があり、その場合、測温抵抗体の抵抗値が変化するという問題があった。
【0005】
本発明の目的は、高温に曝されても抵抗体の抵抗値が変化しにくい測温抵抗体膜を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、特許文献1に記載の測温抵抗体膜が、400℃以上の高温で、長時間曝されたり、室温から400℃以上の高温まで昇降温を繰り返したりすると、抵抗体が薄膜であり、その表面積が大きいため、高温で酸化しやすく、抵抗体の抵抗値が変化することを突き止め、抵抗体の上に、保護膜を形成することによって、高温に曝されても抵抗体の抵抗値が変化しないことを見出し、本発明として提案するものである。
【0007】
すなわち本発明の測温抵抗体膜は、基体上に形成される2つの層を含み、基体側から順に、金属又は合金からなる抵抗体膜である第一の層と、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物又は酸炭窒化物からなる保護膜である第二の層を備えてなることを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の測温抵抗体膜は、基体上に形成される2つの層を含み、基体側から順に、金属又は合金からなる抵抗体膜である第一の層と、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物又は酸炭窒化物からなる保護膜である第二の層を備えてなるため、高温に曝されても抵抗体の抵抗値が変化せず、摩耗しにくい。すなわち、抵抗体膜の上に保護膜が形成されてなるため、400℃以上の高温に曝されても、抵抗体が酸化せず、また、加熱調理器に使用した場合、調理器具、皿、容器等と直接接触することがあっても、抵抗体膜の上に形成された保護膜によって保護されるからである。
【0009】
また本発明の測温抵抗体膜は、基体と抵抗体膜である第一の層の間に、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物又は酸炭窒化物からなる保護膜である層を備えてなると、高温に曝されてもさらに抵抗体の抵抗値が変化しにくい。
【0010】
また、抵抗体膜が、Pt、Ti、Nb、VもしくはCrの金属、またはNiCr又はハステロイの合金からなると好ましく、特に、Ti又はNiCrであると耐熱性があり、安価で、抵抗値に対する温度係数が大きいため好ましい。
【0011】
また、保護膜が、Si、AlもしくはTiの酸化物、窒化物又は炭化物であると好ましく、特にSiNまたはSiO2であると、耐熱性が高く、酸化防止効果に優れ、硬度が高いため摩耗しにくくさらに好ましい。
【0012】
また、抵抗体膜及び保護膜は、化学蒸着法(CVD)、物理蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法等の物理蒸着法によって形成された膜であると好ましく、特にスパッタ法によって形成された膜であると、基材に強固に形成されるためさらに好ましい。
【0013】
また、本発明の測温抵抗体膜は、抵抗体膜及び保護膜を形成後、400〜700℃で30〜60分熱処理してなると、抵抗値の温度係数が安定するため好ましい。熱処理温度の好ましい範囲は、450〜550℃である。
【0014】
本発明の測温抵抗体膜における膜構成の第一の実施形態は、基体上に、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するTi又はNiCrの抵抗体膜の第一の層と、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するSiN又はSiO2の保護膜の第二の層を備えてなる。
【0015】
また、本発明の測温抵抗体膜における膜構成の第二の実施形態は、基体上に、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するSiN又はSiO2の保護膜の第二の層と、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するTi又はNiCrの抵抗体膜の第一の層と、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するSiN又はSiO2の保護膜の第二の層を備えてなる。
【0016】
また、基体上に抵抗体膜及び保護膜を形成後、超音波振動下で最外層の保護膜上に、合金半田を半田付けして、前記合金半田を最外層の保護膜から内層の抵抗体膜に浸透到達させて電極を形成すると、絶縁体である保護層があっても導通させることが可能となるため好ましい。尚前記合金半田は、Snを主成分とし残りの成分がPbを除く他の金属からなる合金半田、又はInを主成分とし残りの成分がPbを除く他の金属からなる合金半田であり、具体的には、主成分としてのSnを50質量%以上含み、残りの50質量%未満が、Zn、Sb、In、Bi、Ag、Au、Al、Pt、Pd、Rh、Os、Ru及びCuから選ばれる少なくとも1種の金属を含む合金半田、又は主成分としてのInを50質量%以上含み、残りの50質量%未満が、Zn、Sb、Sn、Bi、Ag、Au、Al、Pt、Pd、Rh、Os、Ru及びCuから選ばれる少なくとも1種の金属を含む合金半田である。さらに好ましい合金半田としては、主成分としてのSnを50質量%以上含み、残りの50質量%未満が、Zn、Sbおよび/またはInからなり、かつ、Znが1質量%以上、Sb及び/またはInが15質量%以下の合金半田、又は主成分としてのInを50質量%以上含み、残りの50質量%未満が、Agからなる合金半田である。
【0017】
【実施例】
本発明の測温抵抗体膜を、実施例に基づいて詳細に説明する。
【0018】
表1は、実施例1〜6及び比較例の測温抵抗体膜の膜構成を示す。図1〜6は、それぞれ実施例1〜6の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフであり、図7は、比較例の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【0019】
【表1】
【0020】
ガラスからなる基体上に、表1に示す膜材質と膜厚になるようにスパッタ法で抵抗体膜と保護膜を形成し、実施例1〜6及び比較例の測温抵抗体膜を作製した。尚、実施例2、4、6は、成膜後、さらに500℃で30分間熱処理を施した。また、表1において、抵抗体膜には、星印をつけて示した。
【0021】
次に、実施例1〜6及び比較例を、電熱器を用いて室温から400℃まで昇降温を2〜3サイクル繰り返し、その際の温度と抵抗値を測定することによって、抵抗体膜の耐熱性を評価した。尚、測温抵抗体を形成した基体表面の温度は、熱電対によって測定し、測温抵抗体膜の抵抗値は、測温抵抗体膜の端部に超音波振動下で最外層の保護膜上に、Snが97質量%、Znが2質量%、Sbが1質量%からなる合金半田を半田付けして、前記合金半田を最外層の保護膜から内層の抵抗体膜に浸透到達させて電極を形成し、テスターを用いて測定した。
【0022】
図1〜6に示すように、実施例1、3、5は、1サイクル目の昇温時の抵抗値は少し安定しなかったものの、それ以後の抵抗値は、400℃まで昇降温を繰り返しても温度に対する抵抗値の傾きは安定していた。また、熱処理を施した実施例2、4、6は、400℃まで昇降温を繰り返しても温度に対する抵抗値の傾きは、非常に安定していた。
【0023】
一方、図7に示すように、比較例は、2サイクル目の降温時には、抵抗値が非常に大きくなった。
【0024】
【効果】
以上説明したように、本発明の測温抵抗体膜は、高温に曝されても抵抗体の抵抗値が変化しにくく、摩耗しにくいため、ラジエントヒーターやハロゲンヒーターを用いた赤外線加熱調理器、電磁加熱(IH)調理器、電子レンジ等の測温計又は過熱防止センサに好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図2】実施例2の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図3】実施例3の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図4】実施例4の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図5】実施例5の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図6】実施例6の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図7】比較例の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ラジエントヒーターやハロゲンヒーターを用いた赤外線加熱調理器、電磁加熱(IH)調理器、電子レンジ等の測温計又は過熱防止センサに使用される測温抵抗体膜に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、測温抵抗体は、シリコン又はガラスからなる支持基板上に、絶縁被膜が設けられ、その上に白金、ニッケル等の抵抗の温度係数が大きな金属又は合金からなる金属薄膜が形成されてなるものである(例えば、特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開昭60−12706号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献1に記載の測温抵抗体は、ラジエントヒーターやハロゲンヒーターを用いた赤外線加熱調理器、電磁加熱(IH)調理器、電子レンジ等の調理器に使用すると、400℃以上の高温で、長時間曝されたり、室温から400℃まで昇降温を繰り返されたりする場合があり、その場合、測温抵抗体の抵抗値が変化するという問題があった。
【0005】
本発明の目的は、高温に曝されても抵抗体の抵抗値が変化しにくい測温抵抗体膜を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、特許文献1に記載の測温抵抗体膜が、400℃以上の高温で、長時間曝されたり、室温から400℃以上の高温まで昇降温を繰り返したりすると、抵抗体が薄膜であり、その表面積が大きいため、高温で酸化しやすく、抵抗体の抵抗値が変化することを突き止め、抵抗体の上に、保護膜を形成することによって、高温に曝されても抵抗体の抵抗値が変化しないことを見出し、本発明として提案するものである。
【0007】
すなわち本発明の測温抵抗体膜は、基体上に形成される2つの層を含み、基体側から順に、金属又は合金からなる抵抗体膜である第一の層と、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物又は酸炭窒化物からなる保護膜である第二の層を備えてなることを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
本発明の測温抵抗体膜は、基体上に形成される2つの層を含み、基体側から順に、金属又は合金からなる抵抗体膜である第一の層と、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物又は酸炭窒化物からなる保護膜である第二の層を備えてなるため、高温に曝されても抵抗体の抵抗値が変化せず、摩耗しにくい。すなわち、抵抗体膜の上に保護膜が形成されてなるため、400℃以上の高温に曝されても、抵抗体が酸化せず、また、加熱調理器に使用した場合、調理器具、皿、容器等と直接接触することがあっても、抵抗体膜の上に形成された保護膜によって保護されるからである。
【0009】
また本発明の測温抵抗体膜は、基体と抵抗体膜である第一の層の間に、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物又は酸炭窒化物からなる保護膜である層を備えてなると、高温に曝されてもさらに抵抗体の抵抗値が変化しにくい。
【0010】
また、抵抗体膜が、Pt、Ti、Nb、VもしくはCrの金属、またはNiCr又はハステロイの合金からなると好ましく、特に、Ti又はNiCrであると耐熱性があり、安価で、抵抗値に対する温度係数が大きいため好ましい。
【0011】
また、保護膜が、Si、AlもしくはTiの酸化物、窒化物又は炭化物であると好ましく、特にSiNまたはSiO2であると、耐熱性が高く、酸化防止効果に優れ、硬度が高いため摩耗しにくくさらに好ましい。
【0012】
また、抵抗体膜及び保護膜は、化学蒸着法(CVD)、物理蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法等の物理蒸着法によって形成された膜であると好ましく、特にスパッタ法によって形成された膜であると、基材に強固に形成されるためさらに好ましい。
【0013】
また、本発明の測温抵抗体膜は、抵抗体膜及び保護膜を形成後、400〜700℃で30〜60分熱処理してなると、抵抗値の温度係数が安定するため好ましい。熱処理温度の好ましい範囲は、450〜550℃である。
【0014】
本発明の測温抵抗体膜における膜構成の第一の実施形態は、基体上に、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するTi又はNiCrの抵抗体膜の第一の層と、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するSiN又はSiO2の保護膜の第二の層を備えてなる。
【0015】
また、本発明の測温抵抗体膜における膜構成の第二の実施形態は、基体上に、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するSiN又はSiO2の保護膜の第二の層と、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するTi又はNiCrの抵抗体膜の第一の層と、1〜1000nmの幾何学的厚みを有するSiN又はSiO2の保護膜の第二の層を備えてなる。
【0016】
また、基体上に抵抗体膜及び保護膜を形成後、超音波振動下で最外層の保護膜上に、合金半田を半田付けして、前記合金半田を最外層の保護膜から内層の抵抗体膜に浸透到達させて電極を形成すると、絶縁体である保護層があっても導通させることが可能となるため好ましい。尚前記合金半田は、Snを主成分とし残りの成分がPbを除く他の金属からなる合金半田、又はInを主成分とし残りの成分がPbを除く他の金属からなる合金半田であり、具体的には、主成分としてのSnを50質量%以上含み、残りの50質量%未満が、Zn、Sb、In、Bi、Ag、Au、Al、Pt、Pd、Rh、Os、Ru及びCuから選ばれる少なくとも1種の金属を含む合金半田、又は主成分としてのInを50質量%以上含み、残りの50質量%未満が、Zn、Sb、Sn、Bi、Ag、Au、Al、Pt、Pd、Rh、Os、Ru及びCuから選ばれる少なくとも1種の金属を含む合金半田である。さらに好ましい合金半田としては、主成分としてのSnを50質量%以上含み、残りの50質量%未満が、Zn、Sbおよび/またはInからなり、かつ、Znが1質量%以上、Sb及び/またはInが15質量%以下の合金半田、又は主成分としてのInを50質量%以上含み、残りの50質量%未満が、Agからなる合金半田である。
【0017】
【実施例】
本発明の測温抵抗体膜を、実施例に基づいて詳細に説明する。
【0018】
表1は、実施例1〜6及び比較例の測温抵抗体膜の膜構成を示す。図1〜6は、それぞれ実施例1〜6の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフであり、図7は、比較例の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【0019】
【表1】
【0020】
ガラスからなる基体上に、表1に示す膜材質と膜厚になるようにスパッタ法で抵抗体膜と保護膜を形成し、実施例1〜6及び比較例の測温抵抗体膜を作製した。尚、実施例2、4、6は、成膜後、さらに500℃で30分間熱処理を施した。また、表1において、抵抗体膜には、星印をつけて示した。
【0021】
次に、実施例1〜6及び比較例を、電熱器を用いて室温から400℃まで昇降温を2〜3サイクル繰り返し、その際の温度と抵抗値を測定することによって、抵抗体膜の耐熱性を評価した。尚、測温抵抗体を形成した基体表面の温度は、熱電対によって測定し、測温抵抗体膜の抵抗値は、測温抵抗体膜の端部に超音波振動下で最外層の保護膜上に、Snが97質量%、Znが2質量%、Sbが1質量%からなる合金半田を半田付けして、前記合金半田を最外層の保護膜から内層の抵抗体膜に浸透到達させて電極を形成し、テスターを用いて測定した。
【0022】
図1〜6に示すように、実施例1、3、5は、1サイクル目の昇温時の抵抗値は少し安定しなかったものの、それ以後の抵抗値は、400℃まで昇降温を繰り返しても温度に対する抵抗値の傾きは安定していた。また、熱処理を施した実施例2、4、6は、400℃まで昇降温を繰り返しても温度に対する抵抗値の傾きは、非常に安定していた。
【0023】
一方、図7に示すように、比較例は、2サイクル目の降温時には、抵抗値が非常に大きくなった。
【0024】
【効果】
以上説明したように、本発明の測温抵抗体膜は、高温に曝されても抵抗体の抵抗値が変化しにくく、摩耗しにくいため、ラジエントヒーターやハロゲンヒーターを用いた赤外線加熱調理器、電磁加熱(IH)調理器、電子レンジ等の測温計又は過熱防止センサに好適である。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例1の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図2】実施例2の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図3】実施例3の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図4】実施例4の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図5】実施例5の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図6】実施例6の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
【図7】比較例の温度サイクルでの抵抗値の変化を示すグラフである。
Claims (7)
- 基体上に形成される2つの層を含み、基体側から順に、金属又は合金からなる抵抗体膜である第一の層と、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物又は酸炭窒化物からなる保護膜である第二の層を備えてなる測温抵抗体膜。
- 基体と抵抗体膜である第一の層の間に、酸化物、窒化物、酸窒化物、炭化物、酸炭化物又は酸炭窒化物からなる保護膜である層を備えてなる請求項1に記載の測温抵抗体膜。
- 抵抗体膜が、Pt、Ti、Nb、VもしくはCrの金属、またはNiCr又はハステロイの合金からなる請求項1又は2に記載の測温抵抗体膜。
- 保護膜が、Si、AlもしくはTiの酸化物、窒化物又は炭化物である請求項1又は2に記載の測温抵抗体膜。
- 抵抗体膜及び保護膜がスパッタ膜である請求項1〜4のいずれかに記載の測温抵抗体膜。
- 基体上に抵抗体膜及び保護膜を形成後、400〜700℃で熱処理してなる請求項1〜5のいずれかに記載の測温抵抗体膜。
- 基体上に抵抗体膜及び保護膜を形成後、超音波振動下で最外層の保護膜上に、合金半田を半田付けして、前記合金半田を最外層の保護膜から内層の抵抗体膜に浸透到達させて電極を形成する請求項1〜6のいずれかに記載の測温抵抗体膜。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003103795A JP2004311743A (ja) | 2003-04-08 | 2003-04-08 | 測温抵抗体膜 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003103795A JP2004311743A (ja) | 2003-04-08 | 2003-04-08 | 測温抵抗体膜 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004311743A true JP2004311743A (ja) | 2004-11-04 |
Family
ID=33466797
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003103795A Pending JP2004311743A (ja) | 2003-04-08 | 2003-04-08 | 測温抵抗体膜 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2004311743A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106148895A (zh) * | 2015-04-27 | 2016-11-23 | 中国振华集团云科电子有限公司 | 一种片式薄膜固定电阻器的低阻保护层的制作方法 |
JP2018056562A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-04-05 | 積水化学工業株式会社 | λ/4型電波吸収体用抵抗皮膜及びλ/4型電波吸収体 |
US20210010107A1 (en) * | 2018-03-20 | 2021-01-14 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Iambda/4 TYPE RADIO WAVE ABSORBER |
CN115028474A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-09-09 | 中北大学 | 一种石墨烯传感器复合热防护结构及其制备 |
-
2003
- 2003-04-08 JP JP2003103795A patent/JP2004311743A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018056562A (ja) * | 2016-09-23 | 2018-04-05 | 積水化学工業株式会社 | λ/4型電波吸収体用抵抗皮膜及びλ/4型電波吸収体 |
US20210010107A1 (en) * | 2018-03-20 | 2021-01-14 | Sekisui Chemical Co., Ltd. | Iambda/4 TYPE RADIO WAVE ABSORBER |
CN115028474A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-09-09 | 中北大学 | 一种石墨烯传感器复合热防护结构及其制备 |
CN115028474B (zh) * | 2022-05-11 | 2023-09-08 | 中北大学 | 一种石墨烯传感器复合热防护结构及其制备 |
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