JP4802013B2 - 温度センサおよびその製造方法 - Google Patents
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図1を用いて、本発明の実施の形態にかかる温度センサの測温抵抗体について説明する。図1は実施の形態にかかる温度センサの測温抵抗体の膜構造を示す断面図である。実施の形態にかかる温度センサの測温抵抗体は、図1に示すように、絶縁基板1およびNi基合金膜2を有している。なお、図2には、実際の温度センサとしての使用に供する抵抗素子の模式図を示す。絶縁基板1上のNi基合金膜2はフォトリソグラフィ技術により抵抗パターン化され、このNi基合金膜2の抵抗パターンにリード線3が接続される。
比較例1にかかる温度センサの測温抵抗体について説明する。比較例1にかかる温度センサの測温抵抗体は、絶縁基板たるSrTiO3(001)単結晶基板および厚さ約120nmの純Pt膜を有している。すなわち、実施の形態との相違点は、Ni基合金膜に代わりに純Pt膜を有している点である。
比較例2にかかる温度センサの測温抵抗体について説明する。比較例2にかかる温度センサの測温抵抗体は、絶縁基板たるSrTiO3(001)単結晶基板および厚さ約120nmのNi−22mol%Pt二元合金膜を有している。すなわち、実施の形態との相違点は、Pt濃度が若干異なる点である。
2 Ni基合金膜
3 リード線
Claims (9)
- 絶縁基板上に形成され、20〜40mol%のPtを含有し、加熱処理されたNi基合金薄膜を備えた温度センサ。
- 前記加熱処理の温度が600〜1200℃であることを特徴とする請求項1に記載の温度センサ。
- 絶縁基板上に形成されたNi基合金薄膜を備えた温度センサであって、前記Ni基合金が金属間化合物Ni3Ptを含有する温度センサ。
- 前記Ni基合金が20〜30mol%のPtを含有することを特徴とする請求項3に記載の温度センサ。
- 前記絶縁基板がSrTiO3であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の温度センサ。
- 絶縁基板上に20〜40mol%のPtを含有するNi基合金薄膜を形成する工程と、前記Ni基合金薄膜を非酸化雰囲気中で加熱処理する工程とを備えた温度センサの製造方法。
- 前記Ni基合金薄膜を形成する工程として、スパッタリング法を用いることを特徴とする請求項6に記載の温度センサの製造方法。
- 前記加熱処理の温度が600〜1200℃であることを特徴とする請求項6に記載の温度センサの製造方法。
- 前記絶縁基板にSrTiO3を用いることを特徴とする請求項6〜8のいずれか1項に記載の温度センサの製造方法。
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