JP2004294207A - センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン基板18上に、下部窒化膜20、下部酸化膜21、ヒータ部16、感温部17、上部酸化膜22、上部窒化膜23および最上層の酸化膜25を形成し、メンブレン15の形成部分のシリコン基板18に空洞部19を形成する。最上層の酸化膜25の硬度よりも、上部窒化膜23の硬度の方が高いので、測定時にメンブレン15へのダストの衝突で最上層の酸化膜25に損傷を受けても、上部窒化膜23に及ぶのを抑制できる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、2層以上の膜が積層された膜構造を有し、測定環境においては最上層の膜の表面に微小粒子などにより損傷を受けるような使用形態のセンサ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
この種のセンサ装置としては、例えば、空気の流量を測定するためのエアフローセンサがある。センサは一般に測定環境に検出部位を曝した状態で、種々のデータを検出するものであるが、その種類によっては厳しい環境に曝されるものがある。こうした厳しい環境下においても、高い信頼性で且つ高い精度で検出動作を行うことができるようにすることが要求される。
【0003】
例えば、自動車のエンジンの吸気経路に設けられるエアフローセンサはそのひとつである。図15はそのエアフローセンサの模式的な断面図である。この構成では、基板1の一部に空洞部2を形成し、基板1の表面1a側には、下から順に、下部膜3、膜構成のヒータ4および感温部5、上部膜6、強化膜7を積層形成している。これらの積層した膜の一部が空洞部2ではメンブレン8として機能するように構成されている。
【0004】
上記構成において、強化膜7は、メンブレン8に加わる応力でメンブレン8が破壊するのを防止するために、機械的強度を高めるように設けられている。この強化膜7としては、例えばアルミナや窒化シリコン、炭化シリコンなどの膜が用いられる。これにより、メンブレン8の全体の膜厚が厚くなるのを抑制しながら上記した応力に対する強化を図ることができるものである。
【0005】
【特許文献1】
特開2001−194201号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記したような従来のものでは、次のような不具合がある。
すなわち、第1の問題点は、一般に、エアフローセンサの測定環境は、測定する空気の中にダストが含まれているとこれがセンサの測定部位にも衝突する可能性がある。上記したエアフローセンサの表面に流通する空気中のダストが衝突すると、最表面の強化膜7に亀裂(キズ)が入る。
【0007】
そこで、第1の問題点として、亀裂が入るとその後に印加される圧力(印加される圧力の例として、ダストがメンブレン8に衝突することによる圧力,流量が急激に変化することでメンブレン8の表面と裏面の圧力差が生じるによる圧力や冷熱サイクルによる圧力がある)により亀裂が上部膜6を越えて伸展し、メンブレン8破壊をさせることになるという問題がある。
【0008】
第2の問題点として、上部膜6がSiO2膜の場合、亀裂が上部膜6まで到達すると、測定空気中に含まれるイオンなどが透過し、ヒータ特性に変動を来すような影響を及ぼすことがあるという問題がある。
【0009】
第3の問題点として、最表面の強化膜7の膜厚が薄い構成で、上部膜6がSiO2膜で形成されている場合には、亀裂が直接上部膜6まで達したときに、流通する測定空気中に含まれるイオンなどがヒータ4部分まで透過し、ヒータ特性に変動を起こさせることがあるという問題がある。
【0010】
第4の問題点として、上部膜6または最表面の強化膜7がSiO2膜により形成されている場合には、そのSiO2膜が水分を吸収して吸湿状態になると、その膜応力が変動することがあり、この結果、ヒータ4を形成している抵抗体が応力を受けてピエゾ抵抗効果によりヒータ特性変動を起こしてしまうことがあるという問題がある。
【0011】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、上記した問題点を解決して、測定環境下でメンブレン部分にダストなどが衝突して最上層の膜が損傷を受ける場合でも測定精度の低下を来したり信頼性の低下を来すことがないようにしたセンサ装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
請求項1の発明によれば、2層以上の膜を、下層側の膜の硬度は上層側の膜の硬度よりも高い材質のものを用いた構成としているので、測定環境において最上層の膜の表面に微小粒子などにより損傷を受けるような使用形態であっても、下層側の膜まで損傷が及び難いようにすることができ、これによって膜構造が破壊されたり、特性変動を来したり、あるいは測定精度の低下を抑制することができるようになり、信頼性の低下も抑制することができるようになる。
【0013】
請求項2の発明によれば、上記請求項1の発明において、下層側の膜を窒化シリコン(SiN)膜とし、上層側の膜を酸化シリコン(SiO2)膜としたので、上記の特性を有する膜として通常の膜生成過程を経ることにより実現できるようになるので、大幅なコストアップを来たすことなく形成することができる。
【0014】
請求項3の発明によれば、上記請求項2の発明において、上層側に用いる酸化シリコン膜が最上層膜である場合には、その酸化シリコン膜の膜厚を1.5μm以上に設定したので、ダストなどの微粒子が最上層膜の酸化シリコン膜を貫通するのを抑制することができるようになり、下層の膜に及ぼす影響を抑制して特性変動などを防止することができるようになる。
【0015】
請求項4の発明によれば、上記した請求項2および3の発明において、上層側に用いる酸化シリコン膜を、1000℃以上の熱処理を経て形成するようにしたので、酸化シリコン膜の吸湿性などに起因した膜応力の変動を抑制することができるようになり、下層の膜や内部の膜構成に応力に起因した悪影響を防止することができるようになる。
【0016】
請求項5の発明によれば、上記請求項2ないし4の発明において、下層側に用いる窒化シリコン膜を、低圧CVD(Chemical Vapor Deposition)膜としたので、他のプラズマCVD法などに比べてピンホールの発生が少ない緻密な膜であることから、ピンホールに起因した不具合を回避するための膜厚を薄くすることができるようになり、全体として特性変動を抑制するための膜構造について薄膜化を図ることができるようになる。
【0017】
請求項6の発明によれば、上記請求項2ないし4の発明において、下層側に用いる窒化シリコン膜を、膜厚が0.8μm以上のプラズマCVD膜としたので、上記した低圧CVD法に比べるとピンホールの発生が多いが、低応力膜が必要な条件の場合に膜厚を0.8μm以上に設定することでピンホールに起因した不具合を回避することができるようになる。
【0018】
なお、ここでは、ピンホールに起因した不具合については膜厚が低圧CVD法のものに比べて厚くなるが、膜応力の条件で必要となる場合や、強度的な条件で必要となる場合も存在するので、用途や条件に応じて適宜適切なものを選択的に使用することができるものである。
【0019】
請求項7の発明は、3層以上の膜が積層された膜構造を有し、測定環境においては3層以上の膜のうちの最上層の膜の表面に微小粒子などにより損傷を受けるような使用形態のセンサ装置において、最上層の膜を含む連続した3層の膜を、最上層の膜の硬度が中間層の膜の硬度よりも高く、下層の膜の硬度が中間層の膜の硬度よりも高い材質のものを用いた構成とした。
【0020】
これにより、上記請求項1の発明と同様にして、測定環境において最上層の膜の表面に微小粒子などにより損傷を受けるような使用形態であっても、下層側の膜まで損傷が及び難いようにすることができ、これによって膜構造が破壊されたり、特性変動を来したり、あるいは測定精度の低下を抑制することができるようになり、信頼性の低下も抑制することができるようになると共に、全体の膜厚を請求項1の発明における膜構成に比べて薄く形成しながら、損傷に強い膜とすることができる。
【0021】
請求項8の発明によれば、上記請求項7の発明において、最上層の膜を含む連続した3層の膜を、最上層の膜を窒化シリコン膜とし、中間層の膜を酸化シリコン膜とし、下層の膜を窒化シリコン膜としたので、上記の特性を有する膜として通常の膜生成過程を経ることにより実現できるようになるので、大幅なコストアップを来たすことなく形成することができる。
【0022】
請求項9の発明によれば、上記請求項8の発明において、最上層に用いる窒化シリコン膜を、膜厚が0.7μm以上となるように設定したので、最上層に酸化膜を用いる場合に比べて薄膜化した構成としながらダストなどの微粒子により受ける損傷を下層側に与えないようにすることができるようになる。
【0023】
請求項10の発明によれば、上記請求項8及び9の発明において、最上層に用いる窒化シリコン膜を、プラズマCVD膜としたので、低応力膜として採用することができるようになる。
【0024】
請求項11の発明によれば、上記請求項8ないし10の発明において、下層に用いる窒化シリコン膜を、低圧CVD膜としたので、ピンホールに起因した不具合を回避するための膜厚を薄くすることができるようになり、全体として特性変動を抑制するための膜構造について薄膜化を図ることができるようになる。
【0025】
請求項12の発明によれば、上記請求項8ないし10の発明において、下層に用いる窒化シリコン膜を、膜厚が0.8μm以上のプラズマCVD膜としたので、低圧CVD法に比べるとピンホールの発生が多いが、低応力膜が必要な条件の場合に膜厚を0.8μm以上に設定することでピンホールに起因した不具合を回避することができるようになる。
【0026】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下、本発明を自動車の内燃機関の吸気経路に設けるエアフローセンサに適用した場合の第1の実施形態について図1ないし図6を参照して説明する。
図2はエアフローセンサ11の使用状態で示す図である。吸気通路12はエアクリーナから内燃機関に至る空気の流路に設けられる配管であり、この吸気通路12内には流路部材13が配設され、内部を流通する吸気の一部が取り込まれるようになっている。流路部材13にはエアフローセンサ11が取り付けられ、その表面を空気が流通するように配置されている。
【0027】
流路部材13には、吸気通路12の外側部分に、信号生成回路14が付設されている。そして、エアフローセンサ11と信号生成回路14とは、流路部材13内に収納されている配線(図示略)によって接続されている。エアフローセンサ11には、メンブレン15(図1参照)が形成されていて、この部分に形成されたヒータ部16と感温部17とにより流通する空気の流量を感知するようになっており、その検出結果について信号生成回路14にて流量を示す電気信号として生成するものである。
【0028】
図1はエアフローセンサ11のチップの断面構造を模式的に示すものである。半導体基板としてのシリコン基板18には、裏面側から異方性エッチング処理により形成された空洞部19が設けられている。このシリコン基板18の上面側にはメンブレン15を含んだ各種層が形成されている。
【0029】
シリコン基板18上に、下部窒化膜(SiN)20、下部酸化膜(SiO2)21が積層形成されている。下部窒化膜20は、例えば低圧CVD法により膜厚0.15μm程度に形成したものである。下部酸化膜21は、例えばCVD法により0.2μm程度に形成したものである。
【0030】
この上に、多結晶シリコン膜をパターニングして形成したヒータ部16および感温部17が設けられている。ヒータ部16および感温部17は、シリコン基板18の空洞部19部分に対応する位置すなわちメンブレン15部分に形成されている。
【0031】
この上部には、上部酸化膜22、上部窒化膜23が積層形成されている。上部酸化膜22は、例えばCVD法により膜厚1.4μm程度に形成されており、上部窒化膜23は、例えば低圧CVD法により膜厚0.15μmに形成されている。この場合、上部窒化膜23は、プラズマCVD法により形成する場合には、膜厚を0.8μmに設定する。
【0032】
上部酸化膜22および上部窒化膜23には、ヒータ部16の端部に対応して開口部が形成されており、この部分とオーミックコンタクトをとるようにアルミニウム膜が形成され、フォトリソグラフィ処理によってパターニングされ、電極パッド24が形成されている。これらの膜の上部には最上層膜として、酸化膜25が形成されている。この酸化膜25は、例えばプラズマCVD法により1.5μmの膜厚に形成されている。また、シリコン基板18の裏面側には、空洞部19を形成する際に必要となるエッチングマスクとしてのシリコン窒化膜26が形成されている。
【0033】
上記説明したとおり、シリコン基板18上に積層形成した膜構成は合計の膜厚が数μmから5μmの範囲に入る程度であり、これに対してシリコン基板18の厚さ寸法は、例えば数百μmのものを使用することが一般的であるから、図示の状態が誇張されたものであることがわかる。つまり、実際には、メンブレン15の部分は、高々5μm程度の膜厚の極薄い膜構造となっており、これをシリコン基板18が保持した状態に形成されているものである。
【0034】
なお、上記構成において、上部窒化膜23と最上層の酸化膜25とが本発明でいうところの2層の膜に相当し、下層側の膜が上部窒化膜23、上層側の膜が最上層の酸化膜25に対応している。そして、上記構成において、最上層膜である酸化膜25に対して、その下層に形成された上部窒化膜23は硬度が高いので、酸化膜25にダストにより入った亀裂(キズ)はその後に印加される圧力により伸展しても、酸化膜25と上部窒化膜23の界面で横に曲がり、上部窒化膜23には亀裂伸展せずに、メンブレン15の破壊を防ぐことができる。
【0035】
上部窒化膜23が低圧CVD膜の場合は、緻密な膜として形成することがでるので、図5に示すように、膜厚を0.15μm以上に形成することでピンホールの発生を抑制することができる。図5は、窒化膜の膜厚と発生するピンホールの密度の相関を測定により求めたもので、窒化膜を低圧CVD法で形成する場合には、0.15μm程度の薄い膜厚でもピンホールフリーであることがわかる。これにより、イオンの透過やその下層の上部酸化膜22の吸湿を防ぎ、ヒータ部16の抵抗変動を抑制することができる。
【0036】
上部窒化膜23がプラズマCVD膜の場合は、低圧CVD法に比べると緻密さが低いので、図5に示すように、膜厚を0.8μm以上に形成することでピンホールフリーの状態に形成することができる。これにより、低圧CVD法により形成する場合同等の効果を得ることができる。
【0037】
なお、酸化膜(SiO2)は、ピンホールが発生していなくてもイオンを透過させるという特性があるので、上部窒化膜23を透過したイオンはヒータ部16に達する可能性は大である。しかし、一方で、メンブレン15の膜厚が薄い方が熱伝導量が小さくなり、測定の精度を向上させることができるので、上部窒化膜23としては、プラズマCVD膜より低圧CVD膜でピンホールフリーとなる程度の膜厚で形成した方が実用上では望ましいといえる。
【0038】
また、図6はダストを含む流体(空気)中における酸化膜及び窒化膜に入る亀裂の深さを示している。酸化膜に入る亀裂(キズ)の深さは最大で1.5μmであるので、最上層の酸化膜25を1.5μm以上の膜厚にすれば、ダスト衝突により直接上部窒化膜23に亀裂が入るのを抑制することができる。
【0039】
次に、上記構成のエアフローセンサ11の製造工程について図3および図4を参照しながら簡単に説明する。図示はしないが、実際にはエアフローセンサ11を単体で製造するのではなく、所定の径のウエハに多数個のエアフローセンサ11のチップを同時に形成するものである。
【0040】
まず、図3(a)に示すように、シリコン基板18の上面側に、低圧CVD法により下部窒化膜20を例えば0.15μmの膜厚で形成する。この下部窒化膜20は後述する空洞部19形成時の水酸化カリウム(KOH)水溶液での裏面エッチングで、メンブレン部15を形成する際のエッチングストップの機能を兼ねた膜になる。
【0041】
次に、下部窒化膜20の上に、下部酸化膜21をCVD法により膜厚0.20μmで形成する(同図(a)参照)。この下部酸化膜21は、その上に形成する多結晶シリコン膜のヒータ部16および感温部17との密着性を高めるためと多結晶シリコン膜をフォトリソグラフィ処理によりエッチングする際のストッパー膜としても機能する。
【0042】
次に、下部酸化膜21上に多結晶シリコン膜を形成し、この後、不純物としてのリン(P)をデポジションする方法あるいは熱酸化の後リン(P)のイオン注入処理およびアニール処理をすることで多結晶シリコン膜の内部に不純物を導入して低抵抗化を図る。続いて、多結晶シリコン膜をフォトリソグラフィ処理によりパターニングしてヒータ部16および感温部17を形成する(同図(b)参照)。この後、必要に応じて熱酸化工程を実施してヒータ部16、感温部17を構成している多結晶シリコン膜の表面に酸化膜を形成する(図示せず)。
【0043】
次に、同図(c)に示すように、ヒータ部16および感温部17の上に、上部酸化膜22膜をCVD法により膜厚1.4μmで形成する。この上部酸化膜22は多結晶シリコン膜からなるヒータ部16および感温部17との密着性を高めるためと被覆性を高めるために形成するものである。その後に上部窒化膜23を低圧CVD法により膜厚0.15μmで形成する(同図(c)参照)。
【0044】
なお、上部窒化膜23は、低圧CVD法以外にもプラズマCVD法で形成することができるが、この場合には、前述した理由により、その膜厚を0.7μmとすることで上記した場合と同等の効果を得ることができる。
【0045】
次に、フォトリソグラフィ処理によりパターニングしてエッチングを行う。ここでは、上部窒化膜23と上部酸化膜22との一部にコンタクト窓27を形成すると共に、チップ外周部にスクライブ上の上部窒化膜23と上部酸化膜22と下部酸化膜21と下部窒化膜20をエッチングしてシリコン基板18の面を露出させる(図4(d)参照)。
【0046】
続いて、この上面にアルミニウム膜を蒸着法などにより全面に形成し、フォトリソグラフィ処理でエッチング処理を行うことによりパターニングして電極パッド24を形成する。その後、プラズマCVD法により、酸化膜25を膜厚1.5μmで形成する(同図(e)参照)。
【0047】
次に、同図(f)に示すように、最上層の酸化膜25をフォトリソグラフィ処理によりエッチングしてパッド電極24部分に窓部28を開口形成する。このとき、同時にスクライブ上の酸化膜25もエッチングで除去する。
【0048】
続けて、裏面にプラズマCVD法で窒化膜26を形成し、メンブレン15を形成したい領域のみ窒化膜26をエッチングして除去し、その後、窒化膜26をマスクとして水酸化カリウム(KOH)水溶液でシリコン基板18をエッチングしてメンブレン15を形成する(同図(f)参照)。
【0049】
以上の製造工程を経ることによりエアフローセンサ11を形成することができる。なお、この後、ウエハ状態で形成したものを各チップ単位にスクライブラインに沿ってダイシング装置などで切断し、リードフレームなどにダイボンディングをしてパッケージングする。この場合、メンブレン15の部分は測定環境に露出した状態となるようにパッケージングされる。
【0050】
このような第1の実施形態によれば、メンブレン15を構成している積層膜の構造として、最上層の膜として酸化膜25を1.5μm程度設け、その下層に上部窒化膜23を設ける構成としたので、酸化膜25に衝突するダストが貫通しない程度の膜厚(1.5μm)により、直接上部窒化膜23にダメージが及ぶのを防止すると共に、酸化膜25よりも硬度の高い上部窒化膜23により、酸化膜25側で発生する亀裂が上部窒化膜23に及ぶのを防止できる。
【0051】
また、上部窒化膜23を低圧CVD法により形成するので、膜厚を0.15μm程度の薄い構成としてもピンホールフリーにすることができ、メンブレン15の膜厚を薄くすることができるようになるので、検出精度の向上を図ることができるようになる。
【0052】
(第2の実施形態)
図7ないし図11は本発明の第2の実施形態を示すもので、以下、第1の実施形態と異なる部分について説明する。図7は、エアフローセンサ29のチップの断面構造を模式的に示すものである。この構成においては、膜の積層構成はほぼ同じであるが、製造工程の順序を入れ替えることで、最上層の酸化膜25を高温熱処理するようにしている。
【0053】
すなわち、最上層の酸化膜25は膜厚が1.5μmでノンドープのSiO2膜で形成され、デポ後は1000℃以上でアニール処理をしている。このために最上層の酸化膜25を形成した後にコンタクト窓30を形成し、電極パッド31を形成している。これにより、最上層の酸化膜25が応力変動でヒータ部16の抵抗値が変動するのを抑制するようにしている。
【0054】
図10は各種の熱処理した酸化膜(SiO2)を高湿高温環境下に置いた時の酸化膜応力の変動を測定した実験結果である。この結果からわかるように、高温で熱処理を行った酸化膜と低温で熱処理を行った酸化膜とで応力変動量に大きな差があることがわかった。これよりノンドープの酸化膜を高温で熱処理した膜を最上層の酸化膜として用いることによって吸湿による応力変動は抑制でき、ピエゾ抵抗効果によるヒータ抵抗変動を抑制できる。
【0055】
また、図11は各種の熱処理をした酸化膜を高温環境下において放置した時の酸化膜応力の変動を測定した実験結果である。これよりノンドープの酸化膜を高温で熱処理した膜の応力変動は抑制でき、ピエゾ抵抗効果によるヒータ抵抗変動を抑制できることがわかる。よって、最上層の酸化膜25の形成後に1000℃以上の熱処理を実施することにより、センサが300℃の高温になってもヒータ抵抗変動を抑制できるようになる。
【0056】
図8および図9はその製造工程に対応した模式的な断面を示している。図8(a)〜(c)の過程では、前述の第1の実施形態と同様に各膜が形成される。同図(c)に示すように、シリコン基板18上に、下部窒化膜20、下部酸化膜21、ヒータ部16、感温部17、上部酸化膜22、上部窒化膜23が積層形成された状態である。
【0057】
次に、図9(d)に示すように、CVD法により酸化膜25を1.5μm形成し、この後1000℃で10分の熱処理(アニール処理)を行う。そして、最上層の酸化膜25と上部窒化膜23と上部酸化膜22をエッチングし、コンタクト窓30を形成する。同時にスクライブライン上の最上層の酸化膜25、上部窒化膜23、上部酸化膜22、下部酸化膜21および下部窒化膜20をエッチングにより除去する。
【0058】
次に、全面にアルミニウム膜を形成し、フォトリソグラフィ処理でエッチングして電極パッド31を形成する。そして、裏面にプラズマCVD法で窒化膜26を形成し、前述同様にして空洞部19を形成する(同図(e)参照)。
【0059】
このような第2の実施形態によれば、電極パッド31を最後の工程で形成することで、最上層の酸化膜25を1000℃で熱処理をすることができる製造プロセスを採用するようにしたので、酸化膜25が吸湿することによる応力変動を抑制することができるようになり、多結晶シリコン膜からなるヒータ部16のピエゾ抵抗効果によるヒータ抵抗変動を抑制することができ、これによって検出精度の向上を図ることができるようになる。
【0060】
(第3の実施形態)
図12ないし図14は本発明の第3の実施形態を示すもので、第1の実施形態と異なるところは、エアフローセンサ32として、上部窒化膜23の上に、酸化膜33を形成すると共に、さらに最上層の膜として窒化膜34を形成する構成としたところである。
【0061】
図12は、エアフローセンサ32のチップの断面構造を模式的に示すものである。最上層の膜は窒化膜34で膜厚が0.7μmである。その直下の膜は酸化膜33で厚さは0.20μmであり、1000℃以上の熱処理(アニール)を行っている。この酸化膜33の直下の膜は上部窒化膜23で、その膜が低圧CVDのSiN膜の場合は0.15μmの膜厚で、プラズマSiN膜の場合は0.7μmの膜厚である。
【0062】
上記構成において、最上層の窒化膜34、酸化膜33および上部窒化膜23が本発明でいうところの3層の膜構造に相当しており、最上層の膜が窒化膜34、中間層の膜が酸化膜33、下層の膜が上部窒化膜23に対応している。
【0063】
このような層構成を採用することで、酸化膜の硬度に比べて窒化膜の硬度が高いことにより、最上層の窒化膜34に対してダストにより入った亀裂(キズ)はその後に印加される圧力により伸展し、酸化膜33に達してからさらに伸展して上部窒化膜23に達してもここで抑止することができる。
【0064】
すなわち、酸化膜33と上部窒化膜23との界面で、亀裂が横方向つまり面に平行な方向に曲がるようになるので、上部窒化膜23内には亀裂が伸展するのを抑止できるようになり、これによってメンブレン15の破壊を防ぐことができるようになる。
【0065】
ここで、上部窒化膜23が低圧CVD法で形成した膜である場合は、第1の実施形態における図5に示すように、膜厚が0.15μmでピンホールフリーとなり、イオンの透過やその上部酸化膜22の吸湿を防ぎ、ヒータ抵抗変動を抑制することができる。
【0066】
また、上部窒化膜23がプラズマCVD法で形成した膜である場合は、同様に図5に示すように、膜厚が0.7μmでピンホールフリーとなり、イオンの透過やその下層の上部酸化膜22の吸湿を防ぎ、ヒータ抵抗変動を抑制する(SiO2膜はピンホールがなくてもイオンを透過させる)。
【0067】
なお、メンブレン15の膜厚が薄い方が熱伝導量が小さくなるので、最上層の窒化膜34は、プラズマCVD膜より低圧CVD膜の方が望ましい。また、酸化膜33には1000℃以上の熱処理がしてあるので、最上層の窒化膜34の亀裂により酸化膜33が流体(空気)と直接接しても吸湿による応力変動を抑制でき、ピエゾ抵抗効果によるヒータ抵抗変動を抑制できる。
【0068】
また、第1の実施形態における図6で示したように、最上層の膜はダストを含む流体中における酸化膜が1.5μmで貫通しないようになったのに対して、窒化膜では、膜厚を0.7μm程度に形成することでダストの貫通を抑制できるようになるので、最上層の窒化膜34を0.7μmにすれば、ダスト衝突により上部窒化膜23に亀裂が入ることはなくなる。
【0069】
図13および図14は、製造工程に対応した模式的な断面を示している。図13(a),(b)の過程では、前述の第1の実施形態と同様に各膜が形成される。同図(b)に示すように、シリコン基板18上に、下部窒化膜20、下部酸化膜21、ヒータ部16、感温部17が積層形成された状態である。
【0070】
次に、ヒータ部16および感温部17を形成した下部酸化膜21の上に、前述同様にして上部酸化膜22および上部窒化膜23を形成するが、この実施形態においては、さらにその上に酸化膜33を積層形成する(同図(c)参照)。ここでは、酸化膜33として、CVD法によりSiO2膜を膜厚0.2μm形成し、形成後に1000℃で10分の熱処理(アニール処理)を行う。
【0071】
次に、図14(d)に示すように、酸化膜33、上部窒化膜23および上部酸化膜22をエッチングし、コンタクト窓35を形成する。同時にスクライブライン上の酸化膜33、上部窒化膜23、上部酸化膜22、下部酸化膜21および下部窒化膜20をエッチングにより除去する。
【0072】
次に、前述同様にして、全面にアルミニウム膜を形成し、フォトリソグラフィ処理でエッチングして電極パッド24を形成する。この後、最上層の窒化膜34として、プラズマCVD法で膜厚0.7μmに設定して形成する(図6(e)参照)。
【0073】
次に、同図(f)に示すように、最上層の窒化膜34をフォトリソグラフィ処理によりエッチングしてパッド電極24部分に窓部36を開口形成する。このとき、同時にスクライブ上の窒化膜34もエッチングで除去する。そして、裏面にプラズマCVD法により窒化膜26を形成し、前述同様にして空洞部19を形成する。
【0074】
このような第3の実施形態によれば、最上層に窒化膜34を設けることにより、メンブレン15部分が受けるダストのダメージを膜厚0.7μm程度でダストの貫通を防止することができ、しかも、その下層に酸化膜33を設ける構成としているので、酸化膜33まで及んだ亀裂などを上部窒化膜23に及ぶのを防止することができるようになる。この結果、メンブレン15部分の全体の膜厚を薄くすることができ、検出精度の向上を図ることができるようになる。
【0075】
また、上部窒化膜23の上部に形成する酸化膜33は、1000℃で熱処理するようにしているので、応力変動によるヒータ部16のピエゾ抵抗効果による抵抗値変動を抑制することができ、これによって信頼性の高いものを提供することができるようになる。
【0076】
(他の実施形態)
本発明は、上記実施形態にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張できる。
上記各実施形態においては、エアフローセンサに適用した場合で説明したが、これに限らず、過酷な測定環境に曝されるセンサ装置として、例えば圧力センサや、ガスセンサなどにも適用することができる。
【0077】
上記各実施形態においては、電極パッド24や31を、開口部を形成する膜の肩部分に差し掛かるようにパターニング形成しているが、これに限らず、開口部の露出している多結晶シリコンの面のみに接触する形状にパターニングすることもできる。
【0078】
なお、上記各実施形態においては、メンブレン15部分を形成する膜構造は、膜厚が薄くなりすぎると、内的あるいは外的な応力による歪みでヒータ部16や感温部17の多結晶シリコン膜がピエゾ抵抗効果で抵抗値変動を起こす場合もあるので、検出精度や信頼性との相関関係で適宜の膜厚となるように設定することが好ましいものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示すエアフローセンサの模式的な縦断側面図
【図2】測定環境への設置状態で示す縦断側面図
【図3】製造工程の各段階に対応して示す模式的な縦断側面図(その1)
【図4】製造工程の各段階に対応して示す模式的な縦断側面図(その2)
【図5】窒化膜の膜厚に対するピンホール発生密度の相関関係を示す図
【図6】ダストを含む流体(空気)中における酸化膜及び窒化膜に入る亀裂の深さを示す図
【図7】本発明の第2の実施形態を示す図1相当図
【図8】図3相当図
【図9】図4相当図
【図10】各種の熱処理をしたSiO2膜を高湿高温環境下に置いた時のSiO2膜応力の変動を測定した実験結果の図
【図11】各種の熱処理をしたSiO2膜を高温環境下において放置した時のSiO2膜応力の変動を測定した実験結果の図
【図12】本発明の第3の実施形態を示す図1相当図
【図13】図3相当図
【図14】図4相当図
【図15】従来例を示す図1相当図
【符号の説明】
11,29,32はエアフローセンサ、12は吸気通路、13は流路部材、14は信号生成回路、15はメンブレン、16はヒータ部、17は感温部、18はシリコン基板(半導体基板)、19は空洞部、20は下部窒化膜、21は下部酸化膜、22は上部酸化膜、23は上部窒化膜、24,31は電極パッド、25は酸化膜(最上層膜)、26は窒化膜、33は酸化膜、34は窒化膜(最上層膜)である。
Claims (12)
- 少なくとも測定部位に2層以上の膜が積層された膜構造を有し、測定環境においてはその測定部位が最上層の膜の表面に微小粒子などにより損傷を受けるような使用形態のセンサ装置において、
前記2層以上の膜は、下層側の膜の硬度は上層側の膜の硬度よりも高い材質のものを用いた構成としていることを特徴とするセンサ装置。 - 請求項1に記載のセンサ装置において、
前記下層側の膜を窒化シリコン(SiN)膜とし、前記上層側の膜を酸化シリコン(SiO2)膜としたことを特徴とするセンサ装置。 - 請求項2に記載のセンサ装置において、
前記上層側に用いる酸化シリコン膜が最上層膜である場合には、その酸化シリコン膜の膜厚を1.5μm以上に設定することを特徴とするセンサ装置。 - 請求項2または3に記載のセンサ装置において、
前記上層側に用いる酸化シリコン膜は、1000℃以上の熱処理を経て形成されたものであることを特徴とするセンサ装置。 - 請求項2ないし4のいずれかに記載のセンサ装置において、
前記下層側に用いる窒化シリコン膜は、低圧CVD(Chemical Vapor Deposition)膜であることを特徴とするセンサ装置。 - 請求項2ないし4のいずれかに記載のセンサ装置において、
前記下層側に用いる窒化シリコン膜は、膜厚が0.8μm以上のプラズマCVD膜であることを特徴とするセンサ装置。 - 3層以上の膜が積層された膜構造を有し、測定環境においては前記3層以上の膜のうちの最上層の膜の表面に微小粒子などにより損傷を受けるような使用形態のセンサ装置において、
前記最上層の膜を含む連続した3層の膜は、前記最上層の膜の硬度が中間層の膜の硬度よりも高く、下層の膜の硬度が前記中間層の膜の硬度よりも高い材質のものを用いた構成としたことを特徴とするセンサ装置。 - 請求項7に記載のセンサ装置において、
前記最上層の膜を含む連続した3層の膜は、前記最上層の膜を窒化シリコン膜とし、中間層の膜を酸化シリコン膜とし、下層の膜を窒化シリコン膜としたことを特徴とするセンサ装置。 - 請求項8に記載のセンサ装置において、
前記最上層に用いる窒化シリコン膜は、膜厚が0.7μm以上のものが形成されていることを特徴とするセンサ装置。 - 請求項8または9に記載のセンサ装置において、
前記最上層に用いる窒化シリコン膜は、プラズマCVD膜であることを特徴とするセンサ装置。 - 請求項8ないし10のいずれかに記載のセンサ装置において、
前記下層に用いる窒化シリコン膜は、低圧CVD膜であることを特徴とするセンサ装置。 - 請求項8ないし10のいずれかに記載のセンサ装置において、
前記下層に用いる窒化シリコン膜は、膜厚が0.8μm以上のプラズマCVD膜であることを特徴とするセンサ装置。
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