JP2004274045A - 電気パラメータ監視機能を提供するように半導体デバイスを変更する方法、並びに、半導体デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】電気パラメータ監視機能を提供するように半導体デバイスを変更する方法、並びに、半導体デバイスを提供する。
【解決手段】半導体デバイス１００が半導体ダイ１０２及びパッケージ基板１０４を備え、パッケージ基板１０４が導電性プレーンを具備し、半導体ダイ１０２が導電性プレーンに複数の接続構造体１０６を介して接続されている場合に、電気パラメータ監視機能を提供するように半導体デバイス１００を変更する方法において、接続構造体のうちの第１の接続構造体と導電性プレーンとの間の接続を外すステップと、前記第１の接続構造体を外部パッケージ接続構造体１１８に接続することにより、前記外部パッケージ接続を通じて半導体ダイの電気パラメータを監視する能力を提供するステップと、を含む。
【選択図】図２

Description

本発明は、一般に、半導体デバイスに関するものであり、より具体的には、電気パラメータ監視機能を提供するように半導体デバイスを変更する方法、並びに、半導体デバイスに関する。

基板を備える半導体チップには、代表的に２つの相互接続構造レベルが用いられている。相互接続の第１レベルは、半導体ダイとパッケージ基板との間に設けられ、相互接続の第２レベルは、基板とプリント回路基板との間に設けられるのが一般的である。

半導体ダイをパッケージングするための一手法は、ダイのパッドをワイヤで基板に接続するものである（ワイヤボンディング）。電気導体は、通常、基板を通じてその反対側の面に延びており、一般に半導体ダイ上のそれらのパッドよりも大幅に大きい寸法で相互に離間したはんだボール（半田ボール）アレイに接続している。

幾つかの半導体チップのパッケージ基板は、１つ以上のパワープレーン（電源プレーン）及び／又はグランドプレーンを含んでいる。通常、これらのプレーンは、各々にダイ上の複数のパッドに接続されると共に複数のはんだボール（はんだ球；半田球）に接続されている。

幾つかの半導体チップにおいては、ダイ内部に専用電圧監視接続が設けられており、これらがダイ上の専用電圧監視パッドに接続されている。従って、これらのチップは、パワーパッド，グランドパッド，及びその他のパッド（信号又はデータパッド等）に加え、電圧監視用に特定的に設計されたダイパッドを含んでいる。電圧監視専用パッドは、通常、他のパッド（パワーパッドやグランドパッド等）とは異なる構造を有する。専用パッドは、無駄なスペースを最小限に抑えるように設計されるのが一般的である。電圧監視専用パッドを設けるために払わなければならない設計努力は大きい。半導体チップの中には、電圧監視機能を提供しないものもある。

本発明の一態様は、電気パラメータ監視機能を提供するように半導体デバイスを変更するための方法を提供するものである。この場合、デバイスは、半導体ダイとパッケージ基板とを含む。基板は、導電面を含む。ダイは、複数の接続構造を介してこの面に接続される。本発明の方法は、この面から第１の接続構造体の接続を外し、その第１の接続構造体を外部パッケージ接続構造体に接続するものであり、これによりダイの電気パラメータをその外部パッケージ接続構造体を通じて監視する能力が提供される。

以下の実施例の詳細な説明においては、本願の一部を構成する添付図面を参照するが、これらは本発明を実施し得る特定の実施例を示すものである。本発明の範囲から離れることなく他の実施例を採用したり、構造上又は論理上の変更を加えたりすることができることは言う迄もない。従って、以下の詳細説明は、限定的な意味に捉えられるべきものではなく、本発明の範囲は請求項により定義されるものである。

図１は、本発明の一実施例を実現するのに好適な半導体デバイス１００の側面図である。この半導体デバイス１００は、半導体ダイ１０２及びパッケージ基板１０４を有している。半導体ダイ１０２は、基板１０４の上面上において、この基板１０４上面の中心に実質的に近い位置に設けられている。複数の内部パッケージ相互接続構造体１０６がダイ１０２と基板１０４とを互いに接続している。一実施例においては、相互接続構造体１０６は、ボンディングワイヤ（接続ワイヤ）である。基板１０４の下面上には、複数の外部パッケージ相互接続構造体１０８が形成されている。一実施例においては、相互接続構造体１０８は、ボールグリッドアレイ（ＢＧＡ）として構成されたはんだボールである。本発明の一態様においては、基板１０４は、複数の内部導電面（例えば、グランドプレーン及び１つ以上のパワープレーン）を有する多層基板である。

図２は、図１に示した半導体デバイス１００の上面図である。４つの金属グランド相互接続構造体１２０Ａ〜１２０Ｄ（集合的にグランド相互接続構造体１２０と称する）、４つの金属ＶＤＤＣ電源相互接続構造体１１８Ａ〜１１８Ｄ（集合的にＶＤＤＣ電源相互接続構造体１１８と称する）、４つの金属ＶＤＤＤ電源相互接続構造体１１６Ａ〜１１６Ｄ（集合的にＶＤＤＤ電源相互接続構造体１１６と称する）、並びに、４つのセットの金属基板信号パッド１１０Ａ〜１１０Ｄ（集合的に基板信号パッド１１０と称する）が、基板１０４上面に形成されている。

４つのセットの金属ダイパッド１２２Ａ〜１２２Ｄ（集合的にダイパッド１２２と称する）は、ダイ１０２の上面上、ダイ１０２の実質的に４つの端部付近に形成されている。ダイパッド１２２は、ボンディングワイヤ１０６Ａ〜１０６Ｋ（集合的にボンディングワイヤ１０６と称する）を通じて基板１０４にそれぞれボンディングされている。ダイパッド１２２は、パワーダイパッド，グランドダイパッド，及び信号ダイパッドを含んでいる。パワーダイパッドがダイ１０２中の電源接続部に接続されており、グランドダイパッドがダイ１０２中のグランド相互接続部に接続されており、そして信号ダイパッドがダイ１０２中の各種回路に接続されている。

パワーダイパッド１２２は、ボンディングワイヤ１０６を介して電源相互接続構造体１１６又は１１８の一方に接続されている。図２に示したように、ボンディングワイヤ１０６Ｅ，１０６Ｈ，及び１０６Ｋは、３つのパワーダイパッド１２２をＶＤＤＤ電源相互接続構造体１１６Ａに接続しており、ボンディングワイヤ１０６Ｃ，１０６Ｆ，及び１０６Ｉは、３つのパワーダイパッド１２２をＶＤＤＣ電源相互接続構造体１１８Ａに接続している。グランドダイパッド１２２は、ワイヤボンディング１０６を介してグランド相互接続構造体１２０の１つに接続されている。図２に示したように、ボンディングワイヤ１０６Ｄ，１０６Ｇ，及び１０６Ｊは、３つのグランドダイパッド１２２をグランド相互接続構造体１２０Ａに接続している。信号ダイパッド１２２は、ボンディングワイヤ１０６を介して基板信号パッド１１０に接続されている。図２に示したように、ボンディングワイヤ１０６Ａ及び１０６Ｂが２つの信号ダイパッド１２２をそれぞれ基板信号パッド１１０Ａ−１及び１１０Ａ−２に接続している。

説明を簡略にするために、図２においては、様々なダイパッド１２２Ａを各々にグランド相互接続構造体１２０Ａ、電源相互接続構造体１１６Ａ及び１１８Ａ、並びに、基板信号パッド１１０Ａに接続するボンディングワイヤ１０６を、１１本しか描いていない。一実施例に基づく実際の例においては、更なるダイパッド１２２Ａが同様に相互接続構造体１１６Ａ，１１８Ａ，１２０Ａのうちの１つ、或いは基板信号パッド１１０Ａのうちの１つに接続される。同様に、ダイパッド１２２Ｂが相互接続構造体１１６Ｂ，１１８Ｂ，１２０Ｂのうちの１つ、或いは基板信号パッド１１０Ｂのうちの１つに接続され、ダイパッド１２２Ｃが相互接続構造体１１６Ｃ，１１８Ｃ，１２０Ｃのうちの１つ、或いは基板信号パッド１１０Ｃのうちの１つに接続され、ダイパッド１２２Ｄが相互接続構造体１１６Ｄ，１１８Ｄ，１２０Ｄのうちの１つ、或いは基板信号パッド１１０Ｄのうちの１つに接続される。

基板信号パッド１１０Ａは、基板信号パッド１１０Ａ−１，１１０Ａ２，１１０Ａ−３，及び１１０Ａ−４を含んでおり、これらは導電性トレース１１２Ａ〜１１２Ｄ（集合的にトレース１１２と称する）によりそれぞれにバイア１１４Ａ〜１１４Ｄ（集合的にバイア１１４と称する）に接続されている。図を簡略化するために、図２においては、４本のトレース１１２及び４つのバイア１１４しか描いていないが、一実施例に基づく実際の例においては、更なる基板信号パッド１１０Ａ〜１１０Ｄがトレース１１２によりバイア１１４に接続される。各バイア１１４は、基板１０４中を通じて基板１０４底面に存在するはんだボール１０８（図１参照）の１つに延びている。

複数のバイア１２４が、電源相互接続構造体１１６Ａ及び１１８Ａ、並びに、グランド相互接続構造体１２０Ａに接続されている。同様のバイア１２４が、相互接続構造体１１６Ｂ〜１１６Ｄ，１１８Ｂ〜１１８Ｄ，及び１２０Ｂ〜１２０Ｄに接続されているが、図を簡略化するためにこれらは描いていない。図３に示したように、そして図３を参照しつつ以下に更なる詳細を説明するように、各バイア１２４は、基板１０４中に延び、そして各バイア１２４が接続される相互接続構造体１１６，１１８，又は１２０に対応する内部面に接続されている。

図３は、図１に示した半導体デバイス１００の一部を図２における線３−３に沿って切断した場合の断面を描いた図である。図３に示したように、基板１０４は、複数の層３０２〜３１８を含んでいる。ボール層３１８は、多層基板１０４の底部にある。はんだボール１０８は、ボール層３１８の底部に形成されている。ボール層３１８上には、絶縁層３１６が形成されている。ＶＤＤＤパワープレーン３１４は、絶縁層３１６上に形成されている。ＶＤＤＤパワープレーン３１４上には、絶縁層３１２が形成されている。ＶＤＤＣパワープレーン３１０は、絶縁層３１２上に形成されている。ＶＤＤＣパワープレーン３１０上には、絶縁層３０８が形成されている。グランドプレーン３０６は、絶縁層３０８上に形成されている。グランドプレーン３０６上には、絶縁層３０４が形成されている。トレース層３０２は、絶縁層３０２上に形成されており、複数の導電性トレース（例えば、図２に示したトレース１１２Ａ〜１１２Ｄ）を含んでいる。

半導体ダイ１０２，グランド相互接続構造体１２０Ｂ，ＶＤＤＣ電源相互接続構造体１１８Ｂ，及びＶＤＤＤ電源相互接続構造体１１６Ｂは、トレース層３０２上に形成されている。バイア１２４Ａは、グランド相互接続構造体１２０Ｂをグランドプレーン３０６に接続している。バイア１２４Ｂは、ＶＤＤＣ電源相互接続構造体１１８ＢをＶＤＤＣパワープレーン３１０に接続している。バイア１２４Ｃは、ＶＤＤＤ電源相互接続構造体１１６ＢをＶＤＤＤパワープレーン３１４に接続している。バイア１２４Ｄは、グランドプレーン３０６をはんだボール１０８に接続している。

一実施例においては、グランドプレーン３０６，ＶＤＤＣパワープレーン３１０，及びＶＤＤＤパワープレーン３１４は、実質的に、基板１０４の全体長及び全体幅にわたって延びている。図３においては、簡略化のために、単一のはんだボール１０８しか示していないが、本発明の一態様においては、複数のバイア１２４が下に向かってグランドプレーン３０６から層３０８〜３１８を通じて複数のはんだボール１０８に通じている。同様に、更に複数のバイア１２４が下に向かってパワープレーン３１０及び３１４の各々からはんだボール１０８へと繋がっている。プレーン３０６，３１０，３１４のうちの１つ以上を通過するバイア１２４（及び１１４）とこれらとの間にはクリアランスが設けられており、従って、これらのバイアは、通過するプレーンに接続されないようになっている。

図４は、図１に示した半導体デバイス１００の底面図である。基板１０４の底面には複数のはんだボール１０８が形成されている。はんだボール１０８は、基板１０４の中心付近に５×５のグリッドを含み、これらははんだボールから成る５本の同心四角形リングに囲まれている。一実施例においては、内側の５×５グリッド中の各はんだボール１０８は、バイア１２４によりグランドプレーン３０６に接続されている。内側四角形リングにある第１のはんだボール群１０８の各々は、バイア１２４によりグランドプレーン３０６に接続されており、内側四角形リングにある第２のはんだボール群１０８の各々は、バイア１２４によりＶＤＤＣパワープレーン３１０に接続されており、そして内側四角形リングにある第３のはんだボール群１０８の各々は、バイア１２４によりＶＤＤＤパワープレーン３１４に接続されている。外側の４本の四角形リング中のはんだボール群１０８の各々は、バイア１１４及びトレース１１２により基板信号パッド１１０のうちの１つ、又はバイア１２４によりグランドプレーン３０６に接続されている。

ダイ１０２に電源を供給する場合、第１の電源がＶＤＤＣパワープレーン３１０に接続されたはんだボール１０８に接続され、第２の電源がＶＤＤＤパワープレーン３１４に接続されたはんだボール１０８に接続される。電流は、パワープレーン３１０及び３１４、ボンディングワイヤ１０６、並びに、パワーダイパッド１２２を通り、ダイ１０２に流れる。

図５は、図１に示した半導体デバイス１００が本発明の一実施例に基づく電源電圧監視機能を提供するように変更された後の上面図である。図５に示したように、パワーダイパッド１２２及びＶＤＤＣ電源相互接続構造体１１８Ａに接続されていたボンディングワイヤ１０６Ｃは、相互接続構造体１１８Ａから外されており、その代わりに、基板信号パッド１１０Ａ−３に接続されている。基板信号パッド１１０Ａ−３は、導電性トレース１１２Ｃによりバイア１１４Ｃに接続されている。バイア１１４Ｃは、基板１０４中に延びており、基板１０４の底面に存在するはんだボール１０８（図１参照）のうちの１つに接続されている。バイア１１４Ｃは、プレーン３０６，３１０，或いは３１４の何れにも接続されていない。従って、この変更により、パワーダイパッド１２２のうちの１つがプレーン３０６，３１０，及び３１４から独立したはんだボール１０８に接続されることになり、パワーダイパッド１２２の１つを電圧監視用に使用する能力が提供されるのである。電圧計或いは他の測定装置を、ボンディングワイヤ１０６Ｃ及びパワーダイパッド１２２に接続されたはんだボール１０８に繋げることにより、ダイ１０２中の内部電源電圧、或いは他の電気的パラメータ（例えば電流）を測定することが可能となるのである。

電圧計は、一般に高い抵抗を持っているので、はんだボール１０８，ボンディングワイヤ１０６Ｃ，及びパワーダイパッド１２２を通じて流れる電流は、非常に少ない。従って、はんだボール１０８及びパワーダイパッド１２２間の電圧降下は、ほぼ０となり、測定された電圧は、ダイ中の供給電圧となるのである。

ＶＤＤＣパワープレーン３１０からのパワーダイパッド１２２（ボンディングワイヤ１０６Ｃに接続されるもの）の切り離し（disconnect；切断若しくは取り外し）は、パワープレーン３１０の影響を回避するものであり、よって内部ダイ電圧を測定することができる。パワープレーン構造及びパワーダイパッド１２２のシステムは、一般に、大電流をダイ１０２に供給するものであり、はんだボール１０８及びパワーダイパッド１２２間には電圧降下が生じる。パワープレーン３１０から絶縁されたパワーダイパッド１２２を設けることにより、この電圧降下を回避し、はんだボール１０８においてダイ１０２の内部電圧測定が可能となる（例えば、はんだボール１０８における電圧が実質的に内部ダイ電源電圧と等しくなる）のである。

パワープレーン３１０に接続されたはんだボール１０８のうちの１つにおける電圧を測定してもダイ１０２内部の電圧を示すものとはならず、むしろパワープレーン３１０における電圧を示すものとなってしまう。パワープレーン３１０とダイ１０２内部との間には大きな電圧降下がある。ボンディングワイヤ１０６Ｃをパワープレーン３１０から切り離し、これを別の接続（例えば、トレース１１２Ｃ及びバイア１１４Ｃにより分離したはんだボール１０８に結合する基板信号パッド１１０Ａ−３）に繋げることにより、ダイ１０２内部の電圧の測定が可能なのである。

図６は、図１に示した半導体デバイス１００を、本発明の一実施例に基づく複数の電源の電圧監視を提供するように変更した後の上面図を示すものである。図６に示したように、パワーダイパッド１２２及びＶＤＤＣ電源相互接続構造体１１８Ａに接続されていたボンディングワイヤ１０６Ｃは、相互接続構造体１１８Ａから外されており、その代わりに、図５を参照しつつ上記に説明したものと同じ方法で基板信号パッド１１０Ａ−３に接続されている。加えて、パワーダイパッド１２２及びＶＤＤＤ電源相互接続構造体１１６Ａに接続されていたボンディングワイヤ１０６Ｅもまた、相互接続構造体１１６Ａから外されており、その代わりに基板信号パッド１１０Ａ−４に接続されている。基板信号パッド１１０Ａ−４は、導電性トレース１１２Ｄによりバイア１１４Ｄに接続されている。バイア１１４Ｄは、基板１０４中に延びており、基板１０４の底面に存在するはんだボール１０８（図１参照）のうちの１つに接続されている。バイア１１４Ｄは、プレーン３０６，３１０，或いは３１４の何れにも接続していない。従って、これらの変更により、パワーダイパッド１２２のうちの２つが各々にプレーン３０６，３１０，及び３１４から独立した２つのはんだボール１０８に接続されることになり、これらのパワーダイパッド１２２を両方の内部ダイ電源電圧（ＶＤＤＣ及びＶＤＤＤ）の電圧監視に用いることが可能となるのである。同様の変更により、電源がいくつあってもそれらの内部ダイ電気パラメータ（例えば電圧又は電流）の監視機能を提供することができる。

図７は、図１に示した半導体デバイス１００を本発明の一実施例に基づくグランド電圧監視機能を提供するように変更した後の上面図を描いたものである。図７に示したように、グランドダイパッド１２２及びグランド相互接続構造体１２０Ａに接続されていたボンディングワイヤ１０６Ｄは、相互接続構造体１２０Ａから外され、その代わりに、基板信号パッド１１０Ａ−４に接続されている。基板信号パッド１１０Ａ−４は、導電性トレース１１２Ｄによりバイア１１４Ｄに接続されている。バイア１１４Ｄは、基板１０４中に延びており、基板１０４の底面に存在するはんだボール１０８（図１参照）のうちの１つに接続している。バイア１１４Ｄは、プレーン３０６，３１０，或いは３１４の何れにも接続されていない。従って、この変更により、グランドダイパッド１２２のうちの１つがプレーン３０６，３１０，及び３１４から独立したはんだボール１０８に接続されることになり、グランドダイパッド１２２のうちの１つをグランド電圧監視用に使用する能力が提供されるのである。ボンディングワイヤ１０６Ｄ及びグランドダイパッド１２２に接続されたはんだボール１０８に電圧計又は他の測定装置を繋げることにより、ダイ１０２中の内部グランド電圧、或いは他の電気パラメータ（例えば、電流）を測定することが可能となるのである。

以上を要約すると、次の通りである。本発明は、電気パラメータの監視を提供するために半導体デバイス（１００）を変更（修正）する方法に関する。このデバイスは、半導体ダイ（１０２）及びパッケージ基板（１０４）を備えている。前記パッケージ基板は、導電性プレーン（３０６，３１０，又は３１４）を具備している。前記半導体ダイは、複数の接続構造体（１０６）を介して前記導電性プレーンに接続されている。本発明の方法は、接続構造体のうちの第１の接続構造体と前記導電性プレーンとの間の接続を外すステップと、前記第１の接続構造体を外部パッケージ接続構造体（１０８）に接続することにより、前記外部パッケージ接続を通じて前記半導体ダイの電気パラメータを監視する能力を提供するステップとを有する。

本発明の一態様は、新たな金属接続をダイ中或いはパッケージ中に付加することなく半導体ダイ内部の電気パラメータ（例えば、電圧又は電流）を測定するための方法を提供するものである。一実施例においては、既存のパワーダイパッドが電流供給のためにではなく、ダイ内部の電圧を検出するために用いられる。本発明の一態様においては、特別に専用の設計をする必要なく、内部ダイ電圧の検出を行うための既存のパッド設計が用いられる。一実施例においては、電圧検出用に用いられるパワーダイパッドは、他のパワーダイパッドと同じものである。パワーダイパッドは一般に、電圧監視用に特定的に設計される専用パッドよりも大きい。本発明の一態様は、元々は他の目的（例えば、電源供給又は接地）のために設計された既存のダイパッドを用いることにより、一般に内部ダイ電圧を提供することに関わる負荷を小さくするものである。

本願においては、推奨される実施例を説明する目的で特定の実施例を図示及び説明してきたが、本発明の範囲から離れることなく、幅広い変更及び／又は同等の実施例を図示及び説明した特定の実施例に代えて採用することが可能であることは当該分野の当業者には明らかである。機械，電気機械，電気，及びコンピュータ分野における当業者にとっては、本発明を様々な実施例で実現することが可能であることは容易に理解されるものである。本願は、ここに記載した実施例の何れの改変又は変更形態をも網羅することを意図したものである。よって、本発明は、明らかに請求項及びこれに相当するものによってのみ制約されることを意図したものである。

本発明の一実施例を実現するために好適な半導体デバイスの側面図である。 本発明の一実施例に基づく図１に示した半導体デバイスの上面図である。 本発明の一実施例に基づく図１に示した半導体デバイスの一部を描いた断面図である。 本発明の一実施例に基づく図１に示した半導体デバイスの底面図である。 本発明の一実施例に基づく電源電圧監視機能を提供するように図１に示した半導体デバイスを変更した後の上面図である。 本発明の一実施例に基づく複数電源電圧監視機能を提供するように図１に示した半導体デバイスを変更した後の上面図である。 本発明の一実施例に基づくグランド電圧監視機能を提供するように図１に示した半導体デバイスを変更した後の上面図である。

符号の説明

１００ 半導体デバイス
１０２ 半導体ダイ
１０４ パッケージ基板
１０６ ボンディングワイヤ（接続構造体）
１０８ はんだボール（外部パッケージ接続構造体）
１１６ ＶＤＤＤ電源相互接続構造体
１１８ ＶＤＤＣ電源相互接続構造体
１２０ グランド相互接続構造体
１２２ ダイパッド
３０６，３１０，３１４ 導電性プレーン

Claims (10)

1. 半導体デバイスが半導体ダイ及びパッケージ基板を備え、前記パッケージ基板が導電性プレーンを具備し、前記半導体ダイが前記導電性プレーンに複数の接続構造体を介して接続されている場合に、電気パラメータ監視機能を提供するように前記半導体デバイスを変更する方法であって、
   （ａ） 前記接続構造体のうちの第１の接続構造体と前記導電性プレーンとの間の接続を外すステップと、
   （ｂ） 前記第１の接続構造体を外部パッケージ接続構造体に接続することにより、前記外部パッケージ接続構造体を通じて前記半導体ダイの電気パラメータを監視する能力を提供するステップと、
   を含むことを特徴とする方法。
2. 前記導電性プレーンが、パワープレーンであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記パワープレーンが、前記複数の接続構造体を介して前記半導体ダイのパワーパッドに結合されると共に、複数のパワー外部パッケージ接続構造体に結合されることを特徴とする請求項２に記載の方法。
4. 前記導電性プレーンが、グランドプレーンであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
5. 前記グランドプレーンが、前記複数の接続構造体を介して前記半導体ダイのグランドパッドに結合されると共に、複数のグランド外部パッケージ接続構造体に結合されることを特徴とする請求項４に記載の方法。
6. 前記複数の接続構造体が、ボンディングワイヤであることを特徴とする請求項１に記載の方法。
7. 前記外部パッケージ接続構造体が、はんだ構造体であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
8. 前記電気パラメータが、前記半導体ダイの内部電圧であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
9. 前記パッケージ基板が複数の導電性プレーンを具備し、かつ、前記半導体ダイが複数の接続構造体を介して各プレーンに接続されている場合に、前記導電性プレーンの各々について前記ステップ（ａ）及び（ｂ）を繰り返すステップを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
10. パワープレーンを具備するパッケージ基板と、
    前記パワープレーンに結合されるように構成された複数のパワーパッドを具備する半導体ダイと、
    前記パワーパッドの第１のセットを前記パワープレーンに接続する第１のセットの内部パッケージ接続構造体と、
    前記パワーパッドのうちの１つを前記パワープレーンから絶縁された外部パッケージ接続構造体に接続する第２の内部パッケージ接続構造体と、
    を備えることを特徴とする半導体デバイス。

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