JP2004270970A - 冷却装置 - Google Patents

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Hajime Sugito
肇 杉戸
Yuji Sako
雄二 迫
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Abstract

【課題】プレート部材積層方向の高さ寸法を抑制することが可能な冷却装置を提供すること。
【解決手段】複数のプレート110、120、130が積層されて構成され、発熱体10を冷却する冷却装置100において、冷却水の導入口106および導出口107は、プレート110、120、130の延在方向の端部側の面に形成され、この導入口106および導出口107に入口パイプ160および出口パイプ170が接合されている。
これによると、プレート110、120、130積層方向の高さ寸法を抑制することが可能である。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体素子等の発熱体を冷却する冷却装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
本出願人は、先に特願2002−174340において、図9に例示すような冷却装置を提案している。
【0003】
図9に示す冷却装置200は、複数のプレート部材210、220、230を積層して構成されている。冷却装置200は、冷媒槽部201、熱交換部202、冷媒拡散部203からなり、プレート部材230に形成された図示しない開口部により、内部には冷媒が封入された図示しない密閉空間および外部からの冷却水が流通する図示しない冷却水通路が形成されている。冷却水通路両端部の冷却水の導入口206および導出口207はプレート部材積層体の上面側に形成されており、導入口206には入口パイプ260が、導出口207には出口パイプ270が接合されている。
【0004】
そして、冷媒槽部201の下面側に取り付けられた発熱体10を冷却するときには、冷媒槽部201に貯留されている冷媒が発熱体10から受熱して沸騰気化し、その冷媒蒸気が有する潜熱を、熱交換部202において、入口パイプ260から導入され冷却水通路を流通し出口パイプ270から導出される冷却水に放出するようになっている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来技術の冷却装置200では、冷却水の導入口206および導出口207が上面側に形成されているので、入口パイプ260、出口パイプ270等の配管部材が接続されると、冷却装置200のプレート部材積層方向の実質的な高さが大きくなるという問題がある。冷却装置200の高さが大きくなると、高さ方向の寸法の小さなスペースには設置できない場合があるという不具合が発生する。
【0006】
本発明は、上記点に鑑みてなされたものであって、プレート部材積層方向の高さ寸法を抑制することが可能な冷却装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明では、
複数のプレート部材(110、120、130)が積層されてなり、
この複数のプレート部材(110、120、130)の積層体の内部に連通口(106、107)を介して外部と連通する流体通路(105)を備え、
表面に取り付けられた発熱体(10)の熱を、連通口(106、107)から導出入され流体通路(105)を流通する受熱媒体に放出して発熱体(10)を冷却する冷却装置において、
連通口(106、107)は、プレート部材(110、120、130)延在方向の端部側の面に形成されていることを特徴としている。
【0008】
これによると、連通口(106、107)に配管部材等を接続したとしても、プレート部材(110、120、130)積層方向の高さが大きくなり難い。したがって、プレート部材(110、120、130)積層方向の高さ寸法を抑制することが可能である。
【0009】
また、請求項2に記載の発明では、連通口(106、107)は、隣接する複数のプレート部材(130C、130D)の端部の同じ位置に同一形状の切欠部(133C、133D)を設けることにより矩形状に形成されていることを特徴としている。
【0010】
これによると、複数のプレート部材端部の異なる位置に切欠部を設ける、もしくは異なる形状の切欠部を設ける必要がないので、連通口(106、107)の形成が容易である。
【0011】
また、請求項3に記載の発明では、連通口(106、107)には、受熱媒体を流通する配管部材(160、170)が、外方に向けて突設されていることを特徴としている。
【0012】
これによると、流体通路(105)内に受熱媒体を流通し易い。
【0013】
また、請求項4に記載の発明では、配管部材(160、170)は、連結部材(180)を介して、連通口(106、107)に接合されていることを特徴としている。
【0014】
これによると、配管部材(160、170)を複数のプレート部材(110、120、130)の端部側面に接合し易い。
【0015】
また、請求項5に記載の発明では、連結部材(180)は、連通口(106、107)を覆うように配設されるとともに、配管部材(160、170)を挿設する貫通孔(183)を有することを特徴としている。
【0016】
これによると、連通口(106、107)を覆うように配設した連結部材(180)の貫通孔(183)に配管部材(160、170)を挿設して、配管部材(160、170)を連通口(106、107)に、容易かつ確実に接合することが可能である。
【0017】
また、請求項6に記載の発明では、貫通孔(183)は、円形状の孔であることを特徴としている。
【0018】
これによると、配管部材(160、170)は、一般的に円筒状であるので、配管部材(160、170)を挿設して接合し易い。
【0019】
また、請求項7に記載の発明では、連結部材(180)には突出部(182)が形成され、複数のプレート部材(110、120、130)の積層体には突出部(182)が嵌合する嵌合凹部(104a)が形成されていることを特徴としている。
【0020】
これによると、突出部(182)を嵌合凹部(104a)に嵌合させることで、連結部材(180)を、複数のプレート部材(110、120、130)の積層体に対し、容易に位置決めすることができる。
【0021】
また、請求項8に記載の発明では、連結部材(180)は、L字状に折り曲げられて突出部(182)が形成された金属板部材(180)であることを特徴としている。
【0022】
これによると、平板状の金属板部材をプレス加工等によりL字状に折り曲げることで、突出部(182)を容易に形成することができる。
【0023】
また、請求項9に記載の発明では、複数のプレート部材(110、120、130)の積層体には、連結部材(180)の形状に対応した凹部(104)が形成され、連結部材(180)はこの凹部(104)内に挿設されていることを特徴としている。
【0024】
これによると、プレート部材(110、120、130)の積層体から連結部材(180)が突出することを抑制することができる。
【0025】
また、請求項10に記載の発明では、
複数のプレート部材(110、120、130)の積層体は、内部に冷媒を貯留する冷媒槽部(101)と、冷媒と流体通路(105)を流通する受熱媒体とを熱交換させる熱交換部(102)とを有し、
冷媒槽部(101)に貯留されている冷媒が発熱体(10)から受熱して沸騰気化し、その冷媒蒸気が有する潜熱を、熱交換部(102)において流体通路(105)を流通する受熱媒体に放出して発熱体(10)を冷却することを特徴としている。
【0026】
冷媒の潜熱移動を利用した冷却効率の高い冷却装置では、冷媒槽部(101)等を設ける必要があるため、プレート部材(110、120、130)積層方向の高さが大きくなり易い。したがって、本発明により、プレート部材(110、120、130)積層方向の高さ寸法を抑制することが可能となる効果は大きい。
【0027】
なお、上記各手段に付した括弧内の符号は、後述する実施形態記載の具体的手段との対応関係の一例を示す。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。
【0029】
(第1の実施形態)
図1は、本実施形態の冷却装置100の全体側面図、図2は図1のA部拡大図、図3〜図5は各プレート110、130A〜130F、120の平面図である。
【0030】
本実施形態の冷却装置100は、冷媒を貯留する冷媒槽部101と、この冷媒槽部101で発熱体10の熱を受けて沸騰した冷媒を受熱媒体である冷却水と熱交換させる熱交換部102と、冷媒槽部101から熱交換部102を通って流入した蒸気冷媒を水平方向に拡散させる冷媒拡散部103(以上図2参照)とを備えている。
【0031】
冷却装置100は、例えば半導体素子(IGBT)等の発熱体10の熱によって、内部に封入される冷媒が沸騰気化し、外部から供給される冷却水によって冷媒蒸気が凝縮液化する際にその凝縮潜熱を冷却水に放出することで発熱体10を冷却するものとしている。冷却装置100は、冷媒の潜熱移動を利用した冷却効率の高い所謂水冷式沸騰冷却装置である。
【0032】
冷却装置100は、図2に示すように、上側プレート110と、この上側プレート110の下側に配置される下側プレート120との間に、それぞれ複数の開口部131A〜131F、132C、132D(図3〜図5参照)を有する中間プレート130(中間プレート130A〜130F)が複数積層され、配管部材である入口パイプ160および出口パイプ170、連結部材である連結プレート180が設けられたものである。尚、上記各部材は、熱伝導性に優れるアルミニウムあるいはアルミニウム合金からなり、これら部材が一体でろう付けされることによって冷却装置100は形成される。
【0033】
上側プレート110は、図3(a)に示すように、略長方形を成すプレート部材であり、図中の右辺側に2つの凹部114が設けられている。
【0034】
中間プレート130A〜130Fは、それぞれ図3(b)、図3(c)、図4(a)、図4(b)、図4(c)、図5(a)に示すように、上側プレート110と外形を同一とするプレート部材としており、中間プレート130A〜130Fには、上側プレート110の凹部114と同じ位置に同一形状の凹部134が設けられている。
【0035】
また、中間プレート130A〜130Fには、それぞれに長円状の複数の冷媒開口部131A〜131Fのいずれかが設けられている。冷媒開口部131A〜131Fは、上下方向あるいは左右方向に複数配列され、中間プレート130A〜130Fが積層された時に、互いに重なり合い(連通し合い)、1つの密閉空間を形成するようになっている。
【0036】
また、図4(a)、図4(b)に示すように、中間プレート130C、130Dには、上記の冷媒開口部131C、131Dに加えて、冷却水開口部132C、132Dが設けられている。冷却水開口部132C、132Dは、一部を除いて櫛状をなし、櫛歯に相当する部位は上記の冷媒開口部131C、131Dの間に延設されている。
【0037】
そして、冷却水開口部132C、132Dは、櫛歯の先端に相当する部位等の端部が、互いにずれた位置に設けられており、中間プレート130C、130Dを交互に積層した際に冷却水開口部132C、132D全体が連通して、受熱媒体の流体通路である冷却水通路105を形成するようになっている。
【0038】
中間プレート130C、130Dにおいて、図中上下最右方側の冷却水開口部132C、132Dと凹部134との間には、これらを連通するように2つの切欠部133C、133Dが形成されている。切欠部133C、133Dは、各中間プレート130C、130Dの同じ位置に同一の形状で形成されており、中間プレート130A〜130Fが積層された時には、後述する矩形状の導入口106および導出口107を形成するようになっている。
【0039】
下側プレート120は、図5(b)に示すように、上側プレート110と外形を同一とするプレート部材としており、下側プレート120には、上側プレート110の凹部114と同じ位置に凹部114より深い(図中左右方向に長い)凹部124が設けられている。
【0040】
そして、図2に示すように、上側プレート110と下側プレート120との間に各中間プレート130A〜130Fが積層されている。即ち、上側プレート110と下側プレート120との間には、上側プレート110側から、中間プレート130Aが2枚、中間プレート130Bが1枚、中間プレート130Cと中間プレート130Dとが交互に6枚、中間プレート130Bが1枚、中間プレート130Eが1枚、中間プレート130Fが2枚積層されている。
【0041】
上記の積層構成により、最も下側4枚のプレート部材からなる冷媒槽部101内には、冷媒を貯留するための空間が、冷媒開口部131E、131Fにより形成される。
【0042】
その上側8枚のプレート部材からなる熱交換部102内には、冷媒槽部101の冷媒貯留空間と連通した冷媒通路が、冷媒開口部131B、131C、131Dにより形成されるとともに、両端に外部との連通口としての導入口106および導出口107を有する冷却水通路105(図2には図示せず、図4参照)が、冷却水開口部132C、132Dにより形成される。
【0043】
さらに、最も上側3枚のプレート部材からなる冷媒拡散部103内には、熱交換部102の冷媒通路と連通し、冷媒蒸気を水平方向に拡散するための冷媒通路が、冷媒開口部131Aにより形成される。
【0044】
また、上述のように各プレート110、130、120が積層されると、図6に示すように、各プレート110、130、120の積層体の端面には、前述の凹部114、134、124により、後述する連結プレート180の形状に対応した凹部104が形成される。
【0045】
連結プレート180は、平板状の部材をプレス等によりL字状に折り曲げ加工した金属板部材であり、平面部181と、平面部181に対し垂直方向に突出した突出部182とからなる。図6に示すように、連結プレート180の平面部181には、配管部材である入口パイプ160および出口パイプ170(図6では出口パイプ170側の図示は省略)を挿設するための円形状の貫通孔183が形成されている。
【0046】
そして、連結プレート180を各プレート110、130、120の積層体端面の凹部104内に配設すると、平面部181が凹部104内の導入口106もしくは導出口107(図6では導出口107は省略)を覆うとともに、貫通孔183の全域が導入口106もしくは導出口107外周の内側に配設されるようになっている。図6では、導入口106内の構成の図示を省略している。
【0047】
なお、凹部104の最下部には、下側プレート120の凹部124が他のプレート110、130の凹部114、134より深く形成されることにより、連結プレート180の突出部182を嵌合するための嵌合凹部104aが形成されている。
【0048】
入口パイプ160および出口パイプ170は、同一形状をしており、外部配管との接続のために設けられた略円筒状のアルミニウム合金材からなる配管部材である。
【0049】
前述の上側プレート110および下側プレート120は、熱伝導特性よりアルミニウム材からなり、中間プレート130は、母材となるアルミニウム合金材の表面にろう材層が形成されたクラッド材を用いている。また、アルミニウム合金材からなる連結プレート180の内側面にもろう材がクラッドされている。
【0050】
冷却装置100を形成するときには、図6に示すように、上側プレート110、中間プレート130(130A〜130F)、外側プレート120を積層し、積層体の凹部104内に連結プレート180を挿設する。そして、連結プレート180の貫通孔183内に入口パイプ160および出口パイプ170(図示略)の端部を挿設する。
【0051】
このとき、入口パイプ160および出口パイプ170と連結プレート180との間には、ろう材190を供給する。このように、各部材を組み立てたら、治具等により仮固定した後、加熱して一体ろう付けする。
【0052】
なお、図示は省略しているが、このように形成された冷却装置100には、その内部の冷媒貯留空間に通じる注入パイプが設けられており、内部空間に注入パイプを通じて所定量の冷媒が注入され、注入後、注入パイプの先端を封じ切って密閉されている。冷媒としては、ここではフロン(HFC134a)を用いている。
【0053】
上記構成に基づき、本実施形態の冷却装置100の作動について簡単に説明する。冷媒槽部101における冷媒は、発熱体10の熱を受けて沸騰気化し、熱交換部102内の冷媒通路を上昇する。そして、冷却水通路105を流通する冷却水によって冷却されて主に壁面側で凝縮液化して、自重によって冷媒槽部101に還流する。
【0054】
熱交換部102内の冷媒通路上昇中に凝縮しなかった冷媒蒸気は、冷媒拡散部103内の冷媒通路により拡散し、熱交換部102内の主に上昇圧力の小さい冷媒通路を下降する。そして、冷却水通路105を流通する冷却水によって冷却されて凝縮液化して、冷媒槽部101に還流する。
【0055】
上述の構成および作動によれば、導入口106および導出口107は、各プレート110、120、130延在方向(積層方向に垂直な方向)の端部側の面に形成され、この導入口106および導出口107に入口パイプ160および出口パイプ170が外方に向けて突設されているので、各プレート部材110、120、130積層方向の実質的な高さが大きくならない。
【0056】
また、冷却装置100の上面(上側プレート110の表面)に、電子部品を搭載する必要がある場合には、入口パイプ160および出口パイプ170が干渉することなく、搭載面積を充分に確保することができる。
【0057】
また、熱交換部102の主要構成である中間プレート130C、130Dは、端部の同じ位置に同一形状の切欠部133C、133Dを有し、これにより矩形状の導入口106および導出口107を形成している。したがって、導入口106および導出口107を略円形状とする場合等に対し、中間プレートの形状パターン数を低減することができる。
【0058】
導入口106および導出口107は矩形状であるが、これらを覆うとともに、円筒状の入口パイプ160および出口パイプ170を挿設する円形状の貫通孔183を有する連結プレート180を採用することにより、導入口106および導出口107に、入口パイプ160および出口パイプ170を確実かつ容易に接合することができる。
【0059】
また、冷却装置100を形成するときには、連結プレート180は凹部104内に挿設され、連結プレート180の突出部182は、嵌合凹部104a内に挿設嵌合される。したがって、ろう付け前の仮固定時に、位置決めおよび仮固定が容易であり、接合面積も確実に確保することができる。
【0060】
さらに、ろう付け後は、連結プレート180を、各プレート110、120、130の積層体の内部に埋設できるので、冷却装置100の水平方向(各プレート部材延設方向)の寸法を抑制することが可能である。
【0061】
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態について図7に基づいて説明する。本第2の実施形態は、前述の第1の実施形態と比較して、入口パイプ160および出口パイプ170の接合部の構成が異なる。なお、第1の実施形態と同様の部分については、同一の符号をつけ、その説明を省略する。
【0062】
図7に示すように、本第2の実施形態のL字状の連結プレート185は、各プレート110、120、130の積層体の端面において、上下の中間プレート130B間(熱交換部102)に突設されている。したがって、下側から5枚目に配設された中間プレート130B以外のプレート110、120、130には、第1の実施形態で示した凹部114、124、134は形成されていない。下側から5枚目に配設された中間プレート130Bに形成された凹部134が、本実施形態における嵌合凹部であり、この凹部134に連結プレート185の突出部187が挿設嵌合され接合されている。
【0063】
上述の構成によれば、第1の実施形態と同様に、各プレート部材110、120、130積層方向の実質的な高さが大きくならない。また、凹部134に挿設嵌合された連結プレート185の突出部187は、上下の中間プレート130Dと中間プレート130Eとに挟持されるので、ろう付け前の仮固定時に、位置決めおよび仮固定が確実かつ容易である。
【0064】
(第3の実施形態)
次に、第3の実施形態について図8に基づいて説明する。本第3の実施形態は、前述の第1の実施形態と比較して、入口パイプ160および出口パイプ170の接合部に連結プレートを用いていない。なお、第1の実施形態と同様の部分については、同一の符号をつけ、その説明を省略する。
【0065】
図8に導入口106側のみ示すように、本第3の実施形態の導入口106に突設される配管部材である入口パイプ165は、各プレート110、120、130の積層体側の端部が、拡管加工もしくは縮管加工により、導入口106の形状に対応して矩形状となっている。
【0066】
そして、連結プレートを用いずに、各プレート110、120、130の積層体と入口パイプ165との間に供給されるろう材190により接合される。図8では、導入口106内の構成の図示を省略している。なお、図示していない導出口107側も同一の構成である。
【0067】
上述の構成によれば、第1の実施形態と同様に、各プレート部材110、120、130積層方向の実質的な高さが大きくならない。また、連結プレートを採用しないので、部品点数も削減できる。
【0068】
(他の実施形態)
上記各実施形態では、積層されたプレート部材の枚数は15枚であったが、これに限定されるものではない。また、各プレート部材の冷媒開口部や冷却水開口部の開口パターンも限定されるものではない。
【0069】
また、上記第1実施形態では、連結プレート180を、積層体の積層方向全域に渡って形成した凹部104内に挿設するものであり、上記第2の実施形態では、連結プレート185を、熱交換部102の端部のみに突設するものであったが、熱交換部102の端部のみに凹部を形成し、この凹部内に挿設するものであってもよい。
【0070】
これによれば、第1の実施形態に比較して、ろう付け前の仮固定時に、位置決めおよび仮固定を一層容易かつ確実におこなうことができる。
【0071】
また、上記各実施形態では、冷媒としてフロンを採用したが、水、アルコール、フロロカーボン等を用いてもよい。
【0072】
また、上記各実施形態では、冷却装置100は、所謂沸騰冷却装置であったが、冷媒による潜熱移動を介さずに、発熱体の熱を直接受熱媒体に放出するタイプの冷却装置であっても、本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態における冷却装置の全体側面図である。
【図2】図1のA部拡大図である。
【図3】(a)は上側プレート、(b)、(c)は中間プレートを示す平面図である。
【図4】(a)、(b)、(c)は中間プレートを示す平面図である。
【図5】(a)は中間プレート、(b)は下側プレートを示す平面図である。
【図6】第1の実施形態における冷却装置の要部の組み付け状態を説明するための図である。
【図7】第2の実施形態における冷却装置の要部拡大図である。
【図8】第3の実施形態における冷却装置の要部の組み付け状態を説明するための図である。
【図9】先の出願における冷却装置の全体側面図である。
【符号の説明】
10 発熱体
100 冷却装置
101 冷媒層部
102 熱交換部
104 凹部
104a 凹部(嵌合凹部)
105 冷却水通路(流体通路)
106 導入口(連通口)
107 導出口(連通口)
110 上側プレート(プレート部材)
120 下側プレート(プレート部材)
130、130A〜130E 中間プレート(プレート部材)
133C、133D 切欠部
160 入口パイプ(配管部材)
170 出口パイプ(配管部材)
180 連結プレート(連結部材、金属板部材)
182 突出部
183 貫通孔

Claims (10)

  1. 複数のプレート部材(110、120、130)が積層されてなり、
    前記複数のプレート部材(110、120、130)の積層体の内部に連通口(106、107)を介して外部と連通する流体通路(105)を備え、
    表面に取り付けられた発熱体(10)の熱を、前記連通口(106、107)から導出入され前記流体通路(105)を流通する受熱媒体に放出して前記発熱体(10)を冷却する冷却装置において、
    前記連通口(106、107)は、前記プレート部材(110、120、130)延在方向の端部側の面に形成されていることを特徴とする冷却装置。
  2. 前記連通口(106、107)は、隣接する複数の前記プレート部材(130C、130D)の端部の同じ位置に同一形状の切欠部(133C、133D)を設けることにより矩形状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の冷却装置。
  3. 前記連通口(106、107)には、前記受熱媒体を流通する配管部材(160、170)が、外方に向けて突設されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の冷却装置。
  4. 前記配管部材(160、170)は、連結部材(180)を介して、前記連通口(106、107)に接合されていることを特徴とする請求項3に記載の冷却装置。
  5. 前記連結部材(180)は、前記連通口(106、107)を覆うように配設されるとともに、前記配管部材(160、170)を挿設する貫通孔(183)を有することを特徴とする請求項4に記載の冷却装置。
  6. 前記貫通孔(183)は、円形状の孔であることを特徴とする請求項5に記載の冷却装置。
  7. 前記連結部材(180)には突出部(182)が形成され、前記複数のプレート部材(110、120、130)の積層体には前記突出部(182)が嵌合する嵌合凹部(104a)が形成されていることを特徴とする請求項4ないし請求項6のいずれか1つに記載の冷却装置。
  8. 前記連結部材(180)は、L字状に折り曲げられて前記突出部(182)が形成された金属板部材(180)であることを特徴とする請求項7に記載の冷却装置。
  9. 前記複数のプレート部材(110、120、130)の積層体には、前記連結部材(180)の形状に対応した凹部(104)が形成され、前記連結部材(180)は前記凹部(104)内に挿設されていることを特徴とする請求項4ないし請求項8のいずれか1つに記載の冷却装置。
  10. 前記複数のプレート部材(110、120、130)の積層体は、内部に冷媒を貯留する冷媒槽部(101)と、前記冷媒と前記流体通路(105)を流通する前記受熱媒体とを熱交換させる熱交換部(102)とを有し、
    前記冷媒槽部(101)に貯留されている冷媒が前記発熱体(10)から受熱して沸騰気化し、その冷媒蒸気が有する潜熱を、前記熱交換部(102)において前記流体通路(105)を流通する前記受熱媒体に放出して前記発熱体(10)を冷却することを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1つに記載の冷却装置。
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