JP3480386B2 - 沸騰冷却装置 - Google Patents

沸騰冷却装置

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JP3480386B2
JP3480386B2 JP26874099A JP26874099A JP3480386B2 JP 3480386 B2 JP3480386 B2 JP 3480386B2 JP 26874099 A JP26874099 A JP 26874099A JP 26874099 A JP26874099 A JP 26874099A JP 3480386 B2 JP3480386 B2 JP 3480386B2
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    • F28D15/00Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies
    • F28D15/02Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes
    • F28D15/0266Heat-exchange apparatus with the intermediate heat-transfer medium in closed tubes passing into or through the conduit walls ; Heat-exchange apparatus employing intermediate heat-transfer medium or bodies in which the medium condenses and evaporates, e.g. heat pipes with separate evaporating and condensing chambers connected by at least one conduit; Loop-type heat pipes; with multiple or common evaporating or condensing chambers

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  • Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、冷媒の沸騰及び凝
縮作用によって発熱体を冷却する沸騰冷却装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来装置として、産業用のパワーユニッ
トクーラ(沸騰冷却器)がある。この冷却器は、冷媒を
貯留する冷媒槽の受熱面にIGBT等の発熱体を接触さ
せ、その発熱体から発生する熱を冷媒に伝達して放熱部
へ輸送し、放熱部で外部流体(例えば空気)に放熱する
装置である。ここで、発熱体であるIGBTは、単独で
パッケージされているため、冷却器に対し比較的自由に
取り付けることができる。しかし、発熱体がプリント基
板上に設置されたコンピュータチップである場合、コン
ピュータチップと接触する冷媒槽の受熱面側または冷媒
槽の周囲に突起部があると、その突起部がプリント基板
上の部品またはプリント基板自体と干渉する可能性があ
る。従って、冷却器としては、冷媒槽の受熱面側または
冷媒槽の周囲に突起部のない構造であることが望まれ
る。
【0003】そこで、本出願人は、特願平10−330
986号において、図4に示す沸騰冷却装置を提案し
た。この装置は、平板状の冷媒槽4を備え、この冷媒槽
4の一方の平面側に放熱部5を設けて、冷媒槽4の他方
の面(受熱面)に発熱体(例えばコンピュータチップ
3)を取り付ける構造である。放熱部5は、冷媒槽4に
対し略垂直方向に一組のヘッダタンク16を差し込み、
両ヘッダタンク16間に放熱チューブ17と放熱フィン
18とを配置して構成されている。これにより、冷媒槽
4の外形内で一方の平面側に放熱部5を収めることがで
きるので、冷媒槽4の受熱面側及び冷媒槽4の周囲に突
起部のない沸騰冷却装置を構成できる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、先願の沸騰
冷却装置は、図18に示すように、ヘッダタンク16の
端部を冷媒槽4内に差し込んで組付けているが、ヘッダ
タンク16の差込量にばらつきが生じると、冷媒槽4と
接触する放熱フィン18aが潰れたり、冷媒槽4の表面
から放熱フィン18aが浮いたりすることにより、放熱
性能が損なわれるという問題があった。本発明は、上記
事情に基づいて成されたもので、その目的は、放熱フィ
ンの潰れや浮きを防止して放熱性能の低下を防ぐことの
できる沸騰冷却装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】(請求項1の手段)放熱
フィンを介して冷媒槽に最も近接する放熱チューブを第
1の放熱チューブとし、この第1の放熱チューブと冷媒
槽との間に介在される放熱フィンを第1の放熱フィンと
した場合に、冷媒槽と第1の放熱チューブとの間隔が第
1の放熱フィンのフィン高さに基づく所定値となるよう
に、冷媒槽内へ差し込まれるヘッダタンクの差込量が規
制されている。これにより、ヘッダタンクの差込量を適
正値に保つことができるので、第1の放熱フィンの潰れ
や浮きの発生を防止できる。
【0006】(請求項2の手段)請求項1に記載した沸
騰冷却装置において、ヘッダタンクの差込量は、ヘッダ
タンクに設けた基準面を冷媒槽の表面に当接させること
で規制できる。
【0007】(請求項3の手段)請求項1に記載した沸
騰冷却装置において、ヘッダタンクの差込量は、冷媒槽
内へ差し込まれるヘッダタンクの端面を冷媒槽内の壁面
に当接させることで規制できる。
【0008】(請求項4〜7の手段)請求項1に記載し
た沸騰冷却装置において、ヘッダタンクの差込量をスペ
ーサによって規制することができる。具体的には、請求
項5の手段に記載したように、スペーサの端面を冷媒槽
の表面に当接させる。または請求項6の手段に記載した
ように、冷媒槽内へ差し込まれるスペーサの端面を冷媒
槽内の壁面に当接させることで規制できる。あるいは、
請求項7の手段に記載したように、第1の放熱チューブ
と冷媒槽との間にスペーサを介在させてヘッダタンクの
差込量を規制することができる。
【0009】(請求項8の手段)請求項1に記載した沸
騰冷却装置において、第1の放熱フィンの冷媒槽側にも
放熱チューブを配置し、この放熱チューブを冷媒槽の表
面に接触させることでヘッダタンクの差込量を規制でき
る。
【0010】(請求項9の手段)請求項4に記載した沸
騰冷却装置において、スペーサは、例えば切削加工によ
って冷媒槽と一体に設けることができる。あるいは、複
数枚の板状部材を積み重ねて冷媒槽を構成する場合に
は、各板状部材にそれぞれスペーサの一部を成す柱部を
設けておき、その柱部同士が積み重なることでスペーサ
を設けることもできる。
【0011】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例を図面に基
づいて説明する。本実施例の沸騰冷却装置1は、プリン
ト基板2(図6参照)に設置されたコンピュータチップ
3(以下チップ3と略す)に適用されるもので、図4に
示すように、内部に液冷媒(例えば水、アルコール、フ
ロロカーボン、フロン等)を貯留する冷媒槽4と、この
冷媒槽4でチップ3の熱を受けて沸騰した冷媒蒸気の熱
を外部流体に放出する放熱部5とを備え、一体ろう付け
により製造されている。
【0012】先ず、冷媒槽4と放熱部5の基本的な構成
について説明する。 A)冷媒槽4は、熱伝導性に優れる金属材料(例えばア
ルミニウム)で形成された薄型容器6とプレート状の蓋
部品7から構成され、図4に示すように、直立した状態
で使用される。薄型容器6は、図5に示すように、平面
形状が縦長の長方形であり、厚み方向の一方側(図5の
裏側)が平坦面でチップ3の取付け面(受熱面)として
使用され、他方側には下述する沸騰空間8、一組のヘッ
ダ接続部9、10、液戻り通路11、及び冷媒注入部1
2が設けられている。また、薄型容器6の上下両端部に
は、薄型容器6の表面(平坦面)にチップ3を固定する
ための接続部品(例えば螺子、ボルト等)を通すための
孔13が複数箇所設けられている。
【0013】沸騰空間8は、チップ3の熱を受けて液冷
媒が沸騰する空間で、薄型容器6の中央部全体に設けら
れている。この沸騰空間8には、多数の角柱14が一定
の間隔をおいて格子状に配置され、沸騰空間8全体が碁
盤の目のように区画された冷媒通路を形成している。な
お、沸騰空間8に設けられた多数の角柱14は、冷媒槽
4の強度を確保するための補強リブとしても機能してい
る。ヘッダ接続部9、10は、放熱部5のヘッダタンク
16(下述する)を接続する部分で、ヘッダタンク16
の断面形状に対応したスペースが設けられている。一方
のヘッダ接続部9は、沸騰空間8の上部右側に隣接して
設けられ、沸騰空間8と連通している。他方のヘッダ接
続部10は、沸騰空間8の上部左側に設けられ、液戻り
通路11を通じて沸騰空間8に連通している。
【0014】液戻り通路11は、放熱部5で液化された
凝縮液を沸騰空間8へ戻すための通路で、他方のヘッダ
接続部10の下部から下方へ延びて設けられ、沸騰空間
8の最下部に通じている。冷媒注入部12は、冷媒槽4
の内部(沸騰空間8)へ冷媒を注入する時の注入通路で
あり、一方のヘッダ接続部9の下方に設けられて、沸騰
空間8に通じている。上記の沸騰空間8、ヘッダ接続部
9、10、液戻り通路11、及び冷媒注入部12等は、
切削、放電加工、鍛造、鋳造等によって形成することが
できる。
【0015】蓋部品7は、例えば、表面にろう材を一体
成型したクラッド材から成り、薄型容器6の他方側を全
面的に塞いで、薄型容器6に設けられた沸騰空間8及び
液戻り通路11の開口面を閉じている。但し、蓋部品7
の上部両側には、ヘッダタンク16の端部を差し込むた
めの差込み口(図示しない)が開けられ、この差込み口
がそれぞれ薄型容器6のヘッダ接続部9、10に通じて
いる。また、蓋部品7には、薄型容器6に設けられた冷
媒注入部12に通じる丸孔(図示しない)が一方の差込
み口の下部に開けられ、この丸孔に注入パイプ15が接
続される。注入パイプ15は、冷媒槽4内へ冷媒を注入
する時の注入口であり、注入パイプ15を通じて冷媒槽
4内へ所定量の冷媒を注入した後、注入パイプ15の先
端開口部が封じられる。
【0016】B)放熱部5は、一組のヘッダタンク16
(16A、16B)とコア部(下述する)を備え、冷媒
槽4に対し略垂直に組付けられている。一組のヘッダタ
ンク16は、冷媒槽4の沸騰空間8でチップ3の熱を受
けて沸騰した冷媒蒸気が流入する蒸気側ヘッダタンク1
6Aと、コア部で液化した凝縮液が流入する液側ヘッダ
タンク16Bであり、図1に示すように、それぞれ内側
ヘッダプレート16aと外側ヘッダプレート16bとを
組み合わせて構成されている。蒸気側ヘッダタンク16
Aは、長手方向の一端部が蓋部品7の一方の差込み口よ
り冷媒槽4の内部(一方のヘッダ接続部9)へ差し込ま
れ、蓋部品7に対して略垂直方向に延びた状態で配置さ
れる。液側ヘッダタンク16Bは、長手方向の一端部が
蓋部品7の他方の差込み口より冷媒槽4の内部(他方の
ヘッダ接続部10)へ差し込まれ、蓋部品7に対して略
垂直方向に延びた状態で配置される。
【0017】コア部は、複数本の放熱チューブ17と、
各放熱チューブ17の間に介在される放熱フィン18と
から成り、図6に示すように、ダクト19を介して外部
流体(例えば空気)が供給される。放熱チューブ17
は、放熱フィン18が接触する表面の幅に対して厚みが
薄い偏平形状に設けられ、両ヘッダタンク16A、16
B間に複数本並設されて、それぞれ両ヘッダタンク16
A、16Bに連通している。放熱フィン18は、熱伝導
性に優れる薄い金属板(例えばアルミニウム板)を交互
に折り曲げて波状に形成したもので、放熱チューブ17
の表面に熱的に接合されている。
【0018】ダクト19は、図6に示すように、両ヘッ
ダタンク16A、16Bの外側を通って放熱部5を囲む
ように設置されている。なお、ダクト19は、各ヘッダ
タンク16A、16Bの外側表面との間に大きな隙間が
生じない程度に、あるいは各ヘッダタンク16A、16
Bの外側表面と略接触した状態で、各ヘッダタンク16
A、16Bの外側表面に沿って配されている。ダクト1
9を通じてコア部へ導入される外部流体は、図6に矢印
で示すように、下方から上方へ向かって流れている。
【0019】次に、本実施例の作動を説明する。冷媒槽
4内の液冷媒は、チップ3の熱を受けて沸騰し、沸騰空
間8より蒸気側ヘッダタンク16Aへ進入し、蒸気側ヘ
ッダタンク16Aから各放熱チューブ17へ流れる。放
熱チューブ17を流れる冷媒蒸気は、ダクト19を通っ
てコア部に導入される外部流体によって冷却され、放熱
チューブ17内で凝縮する。凝縮した冷媒は、液滴とな
って液側ヘッダタンク16Bへ進入し、更に液側ヘッダ
タンク16Bより冷媒槽4内の液戻り通路11を通って
沸騰空間8へ還流する。この作動における冷媒の流れを
図7に示す。
【0020】続いて、冷媒槽4内に差し込まれるヘッダ
タンク16の差込量を規制する実施例について説明す
る。 (第1実施例)図1〜3はヘッダタンク16の差込量を
規制する方法を示す断面図である。本実施例では、図1
において、最下部の放熱チューブ17a(本発明の第1
の放熱チューブ)と冷媒槽4との間隔Lが、最下段の放
熱フィン18a(本発明の第1の放熱フィン)のフィン
高さに基づく所定値となるように、冷媒槽4内へ差し込
まれるヘッダタンク16の差込量が規制されている。な
お、上記の「所定値」とは、放熱フィン18aの適正な
フィン高さと略同一寸法(例えばフィン高さ±0.0
5)である。
【0021】ヘッダタンク16の差込量を規制する手段
としては、図1に示すように、ヘッダタンク16を構成
する内側ヘッダプレート16aに段差面20(本発明の
基準面)を設け、この段差面20を冷媒槽4の上面に当
接させることでヘッダタンク16の差込量を規制してい
る。または、図2に示すように、外側ヘッダプレート1
6bに段差面20を設けて、その段差面20を冷媒槽4
の上面に当接させることでヘッダタンク16の差込量を
規制しても良い。このように、何方か一方のヘッダプレ
ート16aまたは16bのみでヘッダタンク16の差込
量を規制する場合は、両ヘッダプレート16a、16b
に位置決め部16cを設け、この位置決め部16cによ
って両ヘッダプレート16a、16bを所定の位置に組
付けることにより、両ヘッダプレート16a、16bの
ずれを防止できる。
【0022】あるいは、図3に示すように、両ヘッダプ
レート16a、16bにそれぞれ段差面20を設けて、
その段差面20を冷媒槽4の上面に当接させてヘッダタ
ンク16の差込量を規制しても良い。この場合、上記の
位置決め部16cは不要である。本実施例の構成によれ
ば、ヘッダタンク16の差込量がばらつくことなく、適
正値に保つことができるので、冷媒槽4と最下部の放熱
チューブ17aとの間に介在される放熱フィン18aの
潰れや浮きの発生を防止でき、放熱性能の低下を防ぐこ
とができる。
【0023】(第2実施例)図8〜10はヘッダタンク
16の差込量を規制する方法を示す断面図である。本実
施例では、図8に示すように、冷媒槽4内に差し込まれ
る内側ヘッダプレート16aの端面を冷媒槽4の底面に
当接させることでヘッダタンク16の差込量を規制して
いる。または、図9に示すように、外側ヘッダプレート
16bの端面を冷媒槽4の底面に当接させることでヘッ
ダタンク16の差込量を規制しても良い。なお、冷媒槽
4とヘッダタンク16との連通を妨げないように、内側
ヘッダプレート16aまたは外側ヘッダプレート16b
の端部に開口部21を設けても良い。
【0024】このように、何方か一方のヘッダプレート
16aまたは16bのみでヘッダタンク16の差込量を
規制する場合は、第1実施例と同様に、両ヘッダプレー
ト16a、16bを位置決め部16cによって所定の位
置に組付けることにより、両ヘッダプレート16a、1
6bのずれを防止できる。あるいは、図10に示すよう
に、内側ヘッダプレート16aの端面と外側ヘッダプレ
ート16bの端面の両方を冷媒槽4の底面に当接させて
ヘッダタンク16の差込量を規制しても良い。この場
合、両ヘッダプレート16a、16bに位置決め部16
cを設ける必要はない。
【0025】(第3実施例)図11〜13はヘッダタン
ク16の差込量を規制する方法を示す断面図である。本
実施例では、スペーサ22を使用してヘッダタンク16
の差込量を規制している。スペーサ22は、例えば図1
1に示すように、内側ヘッダプレート16aに設けた段
差部23と冷媒槽4の上面との間に介在される。この場
合、スペーサ22の下端面が冷媒槽4の上面に当接する
ことでヘッダタンク16の差込量を規制することができ
る。または、図12に示すように、スペーサ22を内側
ヘッダプレート16aに設けた段差部23と冷媒槽4の
底面との間に介在させても良い。この場合、スペーサ2
2の下端面が冷媒槽4内の底面に当接することでヘッダ
タンク16の差込量を規制することができる。
【0026】なお、外側ヘッダプレート16bに段差部
23を設け、その段差部23と冷媒槽4との間にスペー
サ22を介在させてヘッダタンク16の差込量を規制し
ても良いことは言うまでもない。このように、何方か一
方のヘッダプレート16aまたは16bと冷媒槽4との
間にスペーサ22を介在させる場合は、両ヘッダプレー
ト16a、16bを位置決め部16cによって所定の位
置に組付けることにより、両ヘッダプレート16a、1
6bのずれを防止できる。あるいは、図13に示すよう
に、冷媒槽4内に差し込まれる内側ヘッダプレート16
aと外側ヘッダプレート16bの両端面と冷媒槽4の底
面との間にスペーサ22を介在させても良い。この場
合、両ヘッダプレート16a、16bに位置決め部16
cは不要である。
【0027】(第4実施例)図14はヘッダタンク16
の差込量を規制する方法を示す断面図である。本実施例
では、図14に示すように、最下段に配される放熱フィ
ン18aの下側にも放熱チューブ17bを配置し、この
放熱チューブ17bを冷媒槽4の上面に接触させること
でヘッダタンク16の差込量を規制している。この場
合、他の放熱フィン18と同様に、最下段の放熱フィン
18aを放熱チューブ17aと放熱チューブ17bとの
間に保持できるので、最下段に配される放熱フィン18
aの潰れや浮きを防止できる。なお、最下段に配される
放熱フィン18aの下側には、放熱チューブ17bの代
わりに、適切なスペーサを配置しても良い。
【0028】(第5実施例)図15はヘッダタンク16
の差込量を規制する方法を示す断面図である。本実施例
では、図15に示すように、冷媒槽4を構成する蓋部品
7にヘッダタンク16の差込量を規制するためのヘッダ
受け部24を設けている。ヘッダタンク16は、蓋部品
7のヘッダ受け部24にヘッダタンク16の端面が当接
することで差込量が規制される。この構造では、ヘッダ
タンク16の下端部をヘッダ受け部24にろう付けでき
るので、接合強度の向上を期待できる。
【0029】(第6実施例)図16及び図17は、それ
ぞれヘッダタンク16の差込量を規制する方法を示す断
面図である。本実施例は、冷媒槽4の内部にヘッダタン
ク16の差込み量を規制するスペーサ25を有し、且つ
このスペーサ25を冷媒槽4と一体に設けた例である。
この場合、例えば冷媒槽4を切削加工や冷間鍛造加工に
より形成することで、図16に示すように、スペーサ2
5を冷媒槽4の薄形容器6と一体に設けることができ
る。また、図17に示すように、冷媒槽4を複数枚の板
状部材4aを積み重ねて構成する場合は、各板状部材4
aにそれぞれスペーサ25の一部を成す柱部4bを設け
ておき、その柱部4b同士が積み重なることでスペーサ
25を設けることができる。
【0030】本実施例の構造によれば、第5実施例の場
合と同様に、ヘッダタンク16の下端面をスペーサ25
の上端面にろう付けできるので、接合強度を向上でき
る。なお、本実施例の構造では、ろう付けされる前の組
付状態において、ヘッダタンク16の下端面とスペーサ
25の上端面との間に若干の隙間が確保されており、ろ
う付け時にろう材の溶融と共にヘッダタンク16が沈み
込んでスペーサ25に接触するように構成されている。
即ち、ろう付け時に溶融するろう材量を考慮して、スペ
ーサ25の高さ寸法を設定している。
【図面の簡単な説明】
【図1】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す断
面図である(第1実施例)。
【図2】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す断
面図である(第1実施例)。
【図3】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す断
面図である(第1実施例)。
【図4】沸騰冷却装置の斜視図である。
【図5】薄型容器の平面図である。
【図6】沸騰冷却装置の使用状態を示す斜視図である。
【図7】冷媒の流れを示す沸騰冷却装置の斜視図であ
る。
【図8】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す断
面図である(第2実施例)。
【図9】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す断
面図である(第2実施例)。
【図10】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す
断面図である(第2実施例)。
【図11】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す
断面図である(第3実施例)。
【図12】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す
断面図である(第3実施例)。
【図13】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す
断面図である(第3実施例)。
【図14】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す
断面図である(第4実施例)。
【図15】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す
断面図である(第5実施例)。
【図16】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す
断面図である(第6実施例)。
【図17】ヘッダタンクの差込量を規制する方法を示す
断面図である(第6実施例)。
【図18】冷媒槽とヘッダタンクとの接続部を示す断面
図である(先願技術)。
【符号の説明】
1 沸騰冷却装置 4 冷媒槽 5 放熱部 16 ヘッダタンク 17 放熱チューブ 17a 最下部の放熱チューブ(第1の放熱チューブ) 18 放熱フィン 18a 最下段の放熱フィン(第1の放熱フィン) 20 段差面(ヘッダタンクに設けた基準面) 22 スペーサ(第3実施例) 25 スペーサ(第6実施例)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大原 貴英 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 株式 会社デンソー内 (72)発明者 前田 明宏 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 株式 会社デンソー内 (72)発明者 田中 栄太郎 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 株式 会社デンソー内 (56)参考文献 特開 平9−107058(JP,A) 特開 平10−335549(JP,A) 特開2000−156444(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01L 23/427 H05K 7/20

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】内部に液冷媒を貯留する冷媒槽と、 この冷媒槽に接続される一組のヘッダタンク、両ヘッダ
    タンクを連通する放熱チューブ、この放熱チューブの表
    面に接触する放熱フィンを有し、前記ヘッダタンクの端
    部を前記冷媒槽内に差し込んで組付けられる放熱部とを
    備え、 前記冷媒槽で発熱体の熱を受けて沸騰した冷媒蒸気を前
    記放熱部で外部流体との熱交換により液化する沸騰冷却
    装置であって、 前記放熱フィンを介して前記冷媒槽に最も近接する前記
    放熱チューブを第1の放熱チューブとし、この第1の放
    熱チューブと前記冷媒槽との間に介在される前記放熱フ
    ィンを第1の放熱フィンとした場合に、 前記冷媒槽と前記第1の放熱チューブとの間隔が前記第
    1の放熱フィンのフィン高さに基づく所定値となるよう
    に、前記冷媒槽内へ差し込まれる前記ヘッダタンクの差
    込量が規制されていることを特徴とする沸騰冷却装置。
  2. 【請求項2】請求項1に記載した沸騰冷却装置におい
    て、 前記ヘッダタンクの差込量は、前記ヘッダタンクに設け
    た基準面を前記冷媒槽の表面に当接させて規制されてい
    ることを特徴とする沸騰冷却装置。
  3. 【請求項3】請求項1に記載した沸騰冷却装置におい
    て、 前記ヘッダタンクの差込量は、前記冷媒槽内へ差し込ま
    れる前記ヘッダタンクの端面を前記冷媒槽内の壁面に当
    接させて規制されていることを特徴とする沸騰冷却装
    置。
  4. 【請求項4】請求項1に記載した沸騰冷却装置におい
    て、 前記ヘッダタンクの差込量を規制するスペーサを有して
    いることを特徴とする沸騰冷却装置。
  5. 【請求項5】請求項4に記載した沸騰冷却装置におい
    て、 前記ヘッダタンクの差込量は、前記スペーサの端面を前
    記冷媒槽の表面に当接させて規制されていることを特徴
    とする沸騰冷却装置。
  6. 【請求項6】請求項4に記載した沸騰冷却装置におい
    て、 前記ヘッダタンクの差込量は、前記冷媒槽内へ差し込ま
    れる前記スペーサの端面を前記冷媒槽内の壁面に当接さ
    せて規制されていることを特徴とする沸騰冷却装置。
  7. 【請求項7】請求項4に記載した沸騰冷却装置におい
    て、 前記ヘッダタンクの差込量は、前記第1の放熱チューブ
    と前記冷媒槽との間に前記スペーサを介在させて規制さ
    れていることを特徴とする沸騰冷却装置。
  8. 【請求項8】請求項1に記載した沸騰冷却装置におい
    て、 前記第1の放熱フィンの前記冷媒槽側にも前記放熱チュ
    ーブを配置し、この放熱チューブを前記冷媒槽の表面に
    接触させることで前記ヘッダタンクの差込量が規制され
    ていることを特徴とする沸騰冷却装置。
  9. 【請求項9】請求項4に記載した沸騰冷却装置におい
    て、 前記スペーサは、前記冷媒槽と一体に設けられているこ
    とを特徴とする沸騰冷却装置。
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