JP2004268249A - 板状ワーク研磨装置及び板状ワークの研磨方法 - Google Patents

Abstract

【課題】極薄いプリント基板材は、研磨された面側が突出するように湾曲し、このため研磨用ローラー組を出て、上下に配置された搬送ローラーから成る搬送ローラー組へ渡される際に、プリント基板材の先端部が折れてしまうおそれがある。
【解決手段】プリント基板材Ｗが下面研磨用ローラー組５ａを通り、下面側が研磨されるとプリント基板Ｗは下側へ湾曲するが、ガイド部材６９、７０によって案内され搬送ローラー組４１の搬送ローラー６５、６７の間に入り込む。また、ガイド部材６９の薄板７５はバックアップローラー１１の外周面に当接しているので、バックアップローラー１１の外周面に付着している研磨滓を掻き取るスクレーパーとしての機能も果たす。
【選択図】 図１０

Description

本発明はプリント基板材等の板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨装置及び板状ワーク研磨方法に係り、特に０．１ｍｍ以下の極薄い板状ワークに対応できる板状ワーク研磨装置及び板状ワーク研磨方法に関するものである。

プリント基板材は平滑度を出す等の目的で、その表裏面を研磨する必要があり、この研磨に多く用いられているのが、板状ワーク研磨装置である。
バフロール式研磨装置は、バフローラーが下側にバックアップローラーが上側に配置された下面研磨用ローラー組と、バフローラーが上側にバックアップローラーが下側に配置された上面研磨用ローラー組とが交互に配置されており、これらバフローラーとバックアップローラーとの間にプリント基板材を通してプリント基板材の表裏面の研磨を行う。
研磨を行う際には研磨滓の洗浄及び摩擦抵抗の軽減のために板状ワークに対し大量の水がかけられる。また、プリント基板材の搬送は上下に対向して配置された搬送ローラーによって行われる。

上記下面研磨用ローラー組は板状ワークの下面を研磨し、上面研磨用ローラー組は上面を研磨する。これら研磨用ローラー組のバフローラー、バックアップローラー共にプリント基板材が送られる方向へ回転し、研磨を行うためにバフローラーはバックアップローラー及び搬送ローラーよりかなり速い周速度で回転する。
以下の説明において、バフロール式研磨装置にかけられたプリント基板材が搬送される方向側を下流側といい、この下流側と反対方向側を上流側という。また、プリント基板材の下流側の端部を先端部、上流側の端部を後端部という。
近年、電子機器の小型化の要請に伴い、これに搭載されるプリント基板も薄型化が求められている。プリント基板を薄型のものにするためには、銅板等によって構成されるプリント基板材を薄いものにする必要がある。

しかしながら、厚さ寸法０．１ｍｍ以下のプリント基板材を従来の板状ワーク研磨装置を用いて研磨した場合には、次のような問題を生じる。
（１）プリント基板材は研磨された面側が突出するように湾曲するが、厚さ寸法が小さい場合には湾曲の程度が大きい。このため研磨用ローラー組を出て、上下に配置された搬送ローラーから成る搬送ローラー組へ渡される際に、プリント基板材の先端部が折れてしまうおそれがある。即ち、プリント基板材が湾曲した状態で搬送ローラー組を構成する搬送ローラー間に入り込むと、搬送ローラーによってプリント基板材の先端部が折り返されてしまい、不良品となるおそれが高い。
（２）前記したようにバフローラーは搬送ローラー等よりかなり速い周速度で回転しているので、このバフローラーの回転力を受けたプリント基板材が、研磨用ローラー組と、この研磨用ローラー組より下流側の搬送ローラー組との間で湾曲させられ折れてしまうおそれがある。
（３）プリント基板材が研磨用ローラー組を通過した直後に、プリント基板材の後端部が当該研磨用ローラー組の回転しているバフローラーに接触して折れてしまい不良品になってしまうおそれがある。
（４）上面研磨用ローラー組では、バフローラーが上側に配置されており、研磨されるプリント基板材には水がかけられる。このため、研磨滓を含んだ水が下流方向及び上流方向へ飛散することになり、この研磨滓が搬送ローラー組によって搬送されるプリント基板材の上面に載ってしまうことがある。そして、そのまま搬送ローラー組や研磨用ローラー組の間を通過すると、ローラーの圧力によって研磨滓が載った部分が凹んで凹み状の傷や打痕ができ、これも不良品となってしまう。
さらに、研磨滓がプリント基板材に形成された穴内に入り込むと、この穴を介して行うプリント基板の層間における導通接続の不良の原因になる。

本発明は上記した問題点に鑑みて為されたものであり、極薄いプリント基板材等の板状ワークであっても、（１）上記した先端部の折れ、（２）中間部の湾曲による折れ、（３）後端部の折れ、（４）凹み状の傷や打痕の発生を防止でき、またプリント基板の層間の穴を介して行う導通接続の不良の原因を除去できる板状ワーク研磨装置を提供することを目的とする。

この目的を達成するために、請求項１の発明は、バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、前記バフローラーを回転させるバフローラー駆動手段と、前記バックアップローラーを回転させるバックアップローラー駆動手段と、前記バフローラー駆動手段及びバックアップローラー駆動手段を制御する制御手段と、板状ワークを搬送する搬送ローラーとを有し、プリント基板材等の板状ワークを前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨装置において、前記研磨用ローラー組のバフローラーとバックアップローラーとの間を通った板状ワークを搬送ローラーへ案内するガイド部材を備えたことを特徴とする板状ワーク研磨装置である。

請求項２の発明は、バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、前記バフローラーを回転させるバフローラー駆動手段と、前記バックアップローラーを回転させるバックアップローラー駆動手段と、前記バフローラー駆動手段及びバックアップローラー駆動手段を制御する制御手段と、板状ワークを搬送する搬送ローラーとを有し、プリント基板材等の板状ワークを前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨装置において、前記研磨用ローラー組はバフローラーが下側にバックアップローラーが上側に配置された下面研磨用ローラー組とバフローラーが上側にバックアップローラーが下側に配置された上面研磨用ローラー組とが交互に配置され、且つ研磨される板状ワークに水をかける水供給手段を備えており、前記上研磨用ローラー組において発生する研磨滓を含む水しぶきが、少なくともワーク搬送方向側へ飛ぶのを防止する遮蔽部材を備えたことを特徴とする板状ワーク研磨装置である。

請求項３の発明は、請求項２に記載した板状ワーク研磨装置において、遮蔽部材に当たった水を機外へ移送する移送路を備えたことを特徴とする板状ワーク研磨装置である。

請求項４の発明は、請求項３に記載した板状ワーク研磨装置において、遮蔽部材と移送路とが一体に形成されていることを特徴とする板状ワーク研磨装置である。

請求項５の発明は、請求項２から４のいずれかに記載した板状ワーク研磨装置において、遮蔽部材は上研磨用ローラー組のバフローラーの周面に沿って湾曲する形状に形成されており、前記遮蔽部材はバフローラーの周面の少なくとも一部を覆うように配置されていることを特徴とする板状ワーク研磨装置である。

請求項６の発明は、バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、前記バフローラーを回転させるバフローラー駆動手段と、前記バックアップローラーを回転させるバックアップローラー駆動手段と、前記バフローラー駆動手段及びバックアップローラー駆動手段を制御する制御手段と、板状ワークを搬送する搬送ローラーとを有し、プリント基板材等の板状ワークを前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨装置において、前記制御手段は板状ワークの後端部が前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間から出る直前にバフローラーの回転を停止する制御を行うことを特徴とする板状ワーク研磨装置である。

請求項７の発明は、バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、前記バフローラーを回転させるバフローラー駆動手段と、前記バックアップローラーを回転させるバックアップローラー駆動手段と、前記バフローラー駆動手段及びバックアップローラー駆動手段を制御する制御手段と、板状ワークを搬送する方向へ回転する搬送ローラーとを有しており、プリント基板材等の板状ワークを前記板状ワークが送られる方向へ前記搬送ローラーより速い周速度で回転する前記バフローラーと前記板状ワークが送られる方向へ回転するバックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨装置において、板状ワークの一部分が研磨用ローラー組のバフローラーとバックアップローラーとの間に位置し、且つ板状ワークの先端部が前記研磨用ローラー組を挟んで板状ワークの搬送方向側に位置する対向配置された一対の搬送ローラーの間に入り込み、しかも当該板状ワークの後端部が前記研磨用ローラー組を挟んで板状ワークの搬送方向と逆の方向側に位置する対向配置された一対の搬送ローラーの間から外れる前に前記制御手段は前記バフローラーを板状ワークが送られる方向と逆の方向へ一時的に回転させる制御を行うことを特徴とする板状ワーク研磨装置である。

請求項８の発明は、プリント基板材等の板状ワークをバフローラーとバックアップローラーとの間に供給して板状ワークに水をかけながら板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨方法において、研磨滓を含む水しぶきが、少なくともワーク搬送方向側へ飛ぶのを防止しながら板状ワークを研磨することを特徴とする板状ワーク研磨方法である。

請求項９の発明は、請求項８に記載した板状ワーク研磨方法において、遮蔽部材に当たった水を機外へ移送することを特徴とする板状ワーク研磨方法である。

請求項１０の発明は、プリント基板材等の板状ワークをバフローラーとバックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨方法において、板状ワークが前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間から出る直前にバフローラーの回転を停止することを特徴とする板状ワーク研磨方法である。

請求項１１の発明は、バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、板状ワークを搬送する方向へ回転する搬送ローラーとを利用し、前記バフローラーをプリント基板材等の板状ワークが送られる方向へ前記搬送ローラーより速い周速度で回転させながら、バックアップローラーを前記板状ワークが送られる方向へ回転させることでその間に供給された板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨方法において、
板状ワークの一部分が研磨用ローラー組のバフローラーとバックアップローラーとの間に位置し、且つ板状ワークの先端部が前記研磨用ローラー組を挟んで板状ワークの搬送方向側に位置する対向配置された一対の搬送ローラーの間に入り込み、しかも当該板状ワークの後端部が前記研磨用ローラー組を挟んで板状ワークの搬送方向と逆の方向側に位置する対向配置された一対の搬送ローラーの間から外れる前に前記バフローラーを板状ワークが送られる方向と逆の方向へ一時的に回転させることを特徴とする板状ワーク研磨方法である。

請求項１２の発明は、請求項１１に記載した板状ワーク研磨方法において、バフローラーを板状ワークが送られる方向と逆の方向へ一時的に回転させるときの周速度を前記バフローラーが板状ワークの送られる方向へ回転させるときの周速度より小さくしたことを特徴とする板状ワーク研磨方法である。

本発明によれば、
（１）極薄いプリント基板材等の板状ワークであっても、先端部の折れを防止することができる。
（２）板状ワークの中間部の湾曲による折れを防止することができる。
（３）板状ワークの後端部の折れを防止することができる。
（４）板状ワークの凹み状傷や打痕の発生を防止することができる。また、プリント基板材の穴に研磨滓が入るのを防止できるので、プリント基板の層間の穴を介して行う導通接続の不良の原因を除去できるようになる。

以下に、本発明の実施の形態に係る板状ワーク研磨装置１について説明する。
図１、図２において符号３は機枠を示し、この機枠３には入り口３１と出口３２が形成され、さらに下面研磨用ローラー組５ａ、５ｃ、上面研磨用ローラー組７ｂ、７ｄが、下面研磨用ローラー組５ａを先頭に交互に配置されている。即ち、下面研磨用ローラー組５ａ、上面研磨用ローラー組７ｂ、下面研磨用ローラー組５ｃ、上面研磨用ローラー組７ｄは、この順で下流側に向かって配置されている。

下面研磨用ローラー組５ａ、５ｃは下側に位置するバフローラー９と上側に位置するバックアップローラー１１とが互いに対向して配置され構成されている。また、上面研磨用ローラー組７ｂ、７ｄは、上側に位置するバフローラー９と下側に位置するバックアップローラー１１とが互いに対向して配置され構成されている。
バフローラー９は研磨用のバフロールを備えており、またバフローラー９の軸１２は軸受１３によって回転自在に支持されている。軸１２の一端部にはプーリー１５が取り付けられている。

符号１７ａはバフローラー用モーターを示し、このバフローラー用モーター１７ａの駆動軸１８にはプーリー１９が取り付けられている。このプーリー１９と前記軸１２のプーリー１５とにＶベルト２１が掛け渡されている。
軸１２、プーリー１５、バフローラー用モーター１７ａ、プーリー１９及びＶベルト２１によってバフローラー駆動手段が構成されている。
符号２３ａはバックアップローラー用モーターを示し（図２参照）、このバックアップローラー用モーター２３ａの駆動軸２４にもプーリー２５が取り付けられている。またバックアップローラー１１の軸２７にもプーリー２９が取り付けられており、このプーリー２９とプーリー２５とにＶベルト（図示せず）が掛け渡されている。
軸２７、プーリー２９、バックアップローラー用モーター２３ａ、プーリー２５及び図示しないＶベルトとによってバックアップローラー駆動手段が構成されている。

もう１つの下面研磨用ローラー組５ｃのバフローラー９及びバックアップローラー１１の駆動機構は、上記した下面研磨用ローラー組５ａと同じ構造となっているので、基本的には同じ符号を付して説明を省略する。但し、説明の便宜のためバフローラー用モーターについては符号１７ｃを、またバックアップローラー用モーターについては符号２３ｃを用いる。

上面研磨用ローラー組７ｂ、７ｄのバフローラー９及びバックアップローラー１１の駆動機構も、上記した下面研磨用ローラー組５ａと同様であるので、基本的には同じ符号を付して説明を省略する。但し、説明の便宜のためバフローラー用モーターについては符号１７ｂ、１７ｄを、またバックアップローラー用モーターについては符号２３ｂ、２３ｄを用いる。
バフローラー用モーター１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、バックアップローラー用モーター２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄは、いずれもパルスモーターである。

機枠３の入り口３１が形成され、この入り口３１の上流側には多数の搬送コロ３３が備えられており、この搬送コロ３３は図示しないモーターによって回転させられる。
搬送コロ３３と下面研磨用ローラー組５ａとの間には、搬送ローラー組３５、３７、３９が備えられている。また、下面研磨用ローラー組５ａと上面研磨用ローラー組７ｂとの間には、搬送ローラー組４１、搬送ローラー４２及び搬送ローラー組４３が備えられている。上面研磨用ローラー組７ｂと下面研磨用ローラー組５ｃとの間には、搬送ローラー組４５、搬送ローラー組４７、搬送ローラー組４９が備えられている。下面研磨用ローラー組５ｃと上面研磨用ローラー組７ｄとの間には搬送ローラー組５１、搬送ローラー５３、搬送ローラー組５５が備えられている。さらに、上面研磨用ローラー組７ｄより下流側には搬送ローラー組５７、５９、６１及び搬送ローラー６３が備えられている。

搬送ローラー組４１、４３、４５、４７、４９、５１、５５、５７、５９、６１は、搬送ローラー６５と搬送ローラー６７とによって構成されている。搬送ローラー６５と搬送ローラー６７は図示しないモーターによって回転させられるようになっている。

下面研磨用ローラー組５ａと搬送ローラー組４１との間には、図３に詳細に示すようにガイド部材６９、７０が備えられている。ガイド板６９は断面「Ｌ」字形のフレーム７１と、このフレーム７１に固定され、当該フレーム７１の幅方向の両側に突出するアクリル製の薄板７３、７５とによって構成されている。薄板７３、７５は１ｍｍ程度の厚さで、可撓性を有している。また薄板７３より薄板７５の方が、幅寸法が大きくフレーム７１からの突出寸法も大きい。
ガイド部材７０は、断面「Ｌ」字形のフレーム７１と、このフレーム７１に固定され、当該フレーム７１の幅方向の両側に突出するアクリル製の薄板７３とによって構成され、薄板７５は備えていない。

ガイド部材６９、７０は薄板７３を下流側にして機枠３に図示しないボルトによって固定され、上流側に向かって開き、下流側にいくに従って互いに間隔が狭くなるように配置されている。即ち、ガイド部材６９、７０は上流側に向かって開く「ハ」の字状に配置されている。また薄板７５は、下面研磨用ローラー組５ａのバックアップローラー１１の外周面に当接している。
また、搬送ローラー４２の上側にはガイド部材７０が備えられ、機枠３に図示しないボルトによって固定されている。このガイド部材７０は薄板７３が下流側を向き、且つ薄板７３側が下がるように傾斜する姿勢で備えられている。

上面側研磨用ローラー組７ｂと搬送ローラー組４５との間には、ガイド部材６９、７０が備えられている。これらのガイド部材６９、７０は、下面研磨用ローラー組５ａと搬送ローラー組４１との間に備えられたものと同じものであるが、上面側研磨用ローラー組７ｂと搬送ローラー組４５との間に備えられたガイド部材６９、７０とは上下逆に配置されている。即ち、ガイド部材７０が上側に、ガイド部材６９が下側に配置されている。ガイド部材６９の薄板７５は、上面側研磨用ローラー組７ｂのバックアップローラー１１の外周面に当接している。

下面研磨用ローラー組５ｃと搬送ローラー組５１との間には、ガイド部材６９、７０が備えられている。ガイド部材６９、７０の姿勢、固定方法は下面研磨用ローラー組５ａと搬送ローラー組４１との間に設けられたガイド部材６９、７０と同じである。
搬送ローラー５３の上側にはガイド部材７０が備えられている。このガイド部材７０の姿勢及び固定方法は、搬送ローラー４２の上側に備えられているガイド部材７０と同じである。
上面側研磨用ローラー組７ｄと搬送ローラー組５７との間には、ガイド部材６９、７０が備えられている。ガイド部材６９、７０の姿勢、固定方法は上面研磨用ローラー組７ｂと搬送ローラー組４５との間に設けられたガイド部材６９、７０と同じである。

符号７７は水供給管を示し、この水供給管７７はバフローラー９に沿って延びている。水供給管７７には複数のノズル７９が取り付けられており、この複数のノズル７９は水供給管７７の長手方向に配列されている。これら水供給管７７とノズル７９とによって水供給手段が構成されている。
機枠３内には長方形の板状の遮蔽部材としての遮蔽板８３が機枠３に固定されて備えられている。遮蔽板８３は上流側のバフローラー９を挟んで上流側と下流側にそれぞれ配置され、さらに下流側のバフローラー９の上流側に配置されている。遮蔽板８３は上研磨用ローラー組７ｂのバフローラー９の長さ寸法とほぼ同じ幅寸法を有している。遮蔽板８３の下端部には、移送路としての樋８５が一体に形成されている。樋８５は遮蔽板８３の下端部の左右両側（下流側と上流側）に備えられており、また樋８５は図３において手前方向へ傾斜している。

符号８７はワーク検知用のセンサー８７を示し、この検知センサー８７は機枠３の入り口３１の僅かに下流側に備えられている。
符号８９は操作ボックスを示し、この操作ボックス８９には制御手段９０（図７参照）を構成する各種回路等が収容されており、さらに操作ボックス８９の前扉９１には操作スイッチ等が配置されている。
図７に示すように制御手段９０には、センサー８７、バフローラー用モーター１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、バックアップローラー用モーター２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ及び電源９３が接続されている。

次に、このバフローラー式研磨装置１を用いてプリント基板Ｗを研磨する方法について説明する。
まず、操作ボックス８９の前扉９１に備えられているスイッチを操作して、バフローラー用モーター１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ、バックアップローラー用モーター２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ及び搬送コロ３３用の図示しないモーターを駆動させる。
バフローラー用モーター１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄの駆動軸１８と共にプーリー１９が駆動すると、この駆動力がＶベルト２１を介して軸１２に固定されたプーリー１５に伝達されてバフローラー９が回転する。
下面研磨用ローラー組５ａ、５ｃのバフローラー９は図２において反時計回りの方向へ回転し、上面研磨用ローラー組７ｂ、７ｄのバフローラー９は時計回りの方向へ回転する。即ち、バフローラー９はプリント基板材Ｗを送る方向へ回転する。

バックアップローラー用モーター２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄの駆動軸２４と共にプーリー２５が駆動すると、この駆動力が図示しないＶベルトを介して軸２７に固定されたプーリー２９に伝達されてバックアップローラー１１が回転する。
下面研磨用ローラー組５ａ、５ｃのバックアップローラー１１は図２において時計回りの方向へ回転し、上面研磨用ローラー組７ｂ、７ｄのバックアップローラー１１は反時計回りの方向へ回転する。即ち、バックアップローラー１１はプリント基板材Ｗを送る方向へ回転する。

また、搬送コロ３３が図２において反時計回りの方向へ回転する。さらに、水供給管７７へ水が供給されて、ノズル７９から水が噴射される。
この状態で、板状ワークとしてプリント基板材Ｗを搬送コロ３３上に載せると、プリント基板材Ｗは搬送コロ３３によって下流側へ搬送され、この際にセンサー８７によってプリント基板材Ｗの先端部が検知される。そして、後述するようにプリント基板材Ｗは搬送される途中において、その表面がノズル７９から噴射される水をかけられながら研磨される。
以下に説明するバフローラー用モーター１７ａ、１７ｃ及びバックアップローラー用モーター２３ａ、２３ｃに対する制御は、制御手段９０からの指令により行われ、バフローラー用モーター１７ａ、１７ｃの正転、逆転等、停止、再起動等のタイミングは、センサー８７がプリント基板材Wを検知した後、これらのモーターのパルスをカウントすることによって決定される。

プリント基板材Ｗは機枠３の入り口３１から機枠３内へ入り、搬送ローラー組３５、３７、３９の搬送ローラー６５と搬送ローラー６７の間に挟まれて下面研磨用ローラー組５ａに搬送される。なお、プリント基板材が搬送される速度は板厚や材質等によって異なるが、一般的には０．５〜２．５ｍ／分である。但し、本発明の適用は前記プリント基板材の搬送速度に限定されるものではない。
下面研磨用ローラー組５ａに到達したプリント基板材Ｗはバフローラー９とバックアップローラー１１との間を通過して下面が研磨される。
図８に示すように、プリント基板材Ｗの一部分がバフローラー９とバックアップローラー１１との間に位置し、且つプリント基板材Ｗの先端部が、搬送ローラー組４１の対向配置された一対の搬送ローラー６５、６７の間に位置し、プリント基板材Ｗの後端部が搬送ローラー組３９の対向配置された一対の搬送ローラー６５、６７の間から外れる前、即ち一対の搬送ローラー６５、６７の間を抜ける前に、バフローラー９をプリント基板材Ｗが送られる方向と反対の方向（図８において実線の矢印で示す時計回りの方向）へ回転させる。これによりプリント基板材Ｗの搬送ローラー組４１と下面研磨用ローラー組５ａとの間に位置する部分が、図８において一点鎖線で示すように折れるのを防止することができる。
なお、上記バフローラー９の時計回りの方向への回転は、プリント基板材Ｗの後端がバフローラー９とバックアップローラー１１との間を抜けるまで継続し、その後反時計回りの方向へ回転させる。

前記したように下面研磨用ローラー組５ａのバフローラー９は図８において一点鎖線で示す反時計回りの方向回転し、その周速度は搬送ローラー６５、６７よりかなり速く、例えば５００〜１０００ｍ／分に設定されている。このため、プリント基板材Ｗの一部分がバフローラー９とバックアップローラー１１との間に位置し、且つプリント基板材Ｗの先端部が、搬送ローラー組４１の対向配置された一対の搬送ローラー６５、６７の間に入り込み、しかもプリント基板材Ｗの後端部が搬送ローラー組３９の対向配置された一対の搬送ローラー６５、６７から外れると、高速回転するバフローラー９が搬送ローラー組４１によりもプリント基板材Ｗを下流方向へ速く送ろうとするため、プリント基板材Ｗの中間部分が一点鎖線で示すように折れてしまう。
そこで、バフローラー９をプリント基板材Ｗが送られる方向とは逆の方向、即ち図８において時計回りの方向へ一時的に回転させて、プリント基板材Ｗの搬送ローラー組４１と下面研磨用ローラー組５ａとの間に位置する部分が折れるのを防止している。
なお、プリント基板材Ｗの後端部が搬送ローラー組３９から外れる前においては、プリント基板材Ｗが搬送ローラー組３９の搬送ローラー６５、６７によって挟持され、これによりプリント基板材Ｗがバフローラー９によって下流方向へ移動してしまうのが規制されるので、プリント基板材Ｗの中間部分が一点鎖線で示すように折れてしまうことはない。

また、上記バフローラー９を、プリント基板材Ｗが送られる方向とは逆の方向、即ち時計回りの方向へ回転するときの周速度は、プリント基板材Ｗが送られる方向、即ち反時計回りの方向へ回転するときの周速度より小さく、例えば４５０〜９００ｍ／分に設定する。
このようにバフローラー９の時計回りの方向へ回転するときの周速度を反時計回りの方向へ回転するときの周速度より小さくするのは、図９に示すプリント基板材Ｗの送り方向中心Ｓ（図において二点鎖線で示す。）付近を境にして後半部Ｗｂが前半部Ｗａより一点鎖線で示すように伸びてしまうのを防止するためである（図面で後半部Ｗｂの伸びてしまう部分を誇張して描いてある。）
即ち、プリント基板材Ｗの一部分がバフローラー９とバックアップローラー１１との間に位置し、且つプリント基板材Ｗの先端部が、搬送ローラー組４１の対向配置された一対の搬送ローラー６５、６７の間に位置し、プリント基板材Ｗの後端部が搬送ローラー組３９の対向配置された一対の搬送ローラー６５、６７から外れる前に、反時計回りの方向へ回転するときと同じ周速度で時計回りの方向へ回転させると、後半部Ｗｂが上流側へかなり大きな力で引っ張られることになるため、後半部Ｗｂが伸びてしまうことになる。そこで、上記のように周速度を小さくすることによって後半部Ｗｂの伸びを抑えて、前半部Ｗａの伸びと後半部Ｗｂの伸びを均等し、プリント基板材Ｗ全体における歪みを低減する。これにより、プリント基板材Ｗ全体における歪みを低減できるので、回路の位置合わせ不良を防止できる。
なお、上記動作におけるバフローラー９の時計回り方向の回転数は、反時計回り方向の回転数が決定すれば、プリント基板材Ｗの搬送速度から計算して自動制御する。

図１０に示すように、プリント基板材Ｗの後端部が下面研磨用ローラー組５ａを通過する直前にバフローラー９の回転を停止させて、プリント基板材Ｗの後端部が回転するバフローラー９に接触して、折れてしまうのを防止する。バフローラー９はプリント基板材Ｗの後端部がバフローラー９に接触しない位置へ移動する時間経過後、再起動する。

また、プリント基板材Ｗが下面ローラー組５ａを通り、下面側が研磨されるとプリント基板材Ｗは下側へ湾曲するが、図１１に示すようにガイド部材６９、７０によって案内され搬送ローラー組４１の搬送ローラー６５、６７の間に入り込む。ガイド部材６９、７０が備えられていないと、前記したようにプリント基板材Ｗが湾曲しているため、プリント基板材Ｗの先端部が搬送ローラー６５、６７の間に入り込むことができない。このためプリント基板材Ｗの先端部が折れてしまい、そのまま搬送ローラー６５、６７の間へ入って、折り返されてしまうことになる。
さらに、ガイド部材６９の薄板７５はバックアップローラー１１の外周面に当接しているので、バックアップローラー１１の外周面に付着している研磨滓等の汚れを掻き取るスクレーパーとしての機能も果たす。薄板７５によって掻き取られた研磨滓等はノズル７９から噴射される水によって洗い流される。

また、プリント基板材Ｗが下流側へ搬送され、ガイド部材７０によって搬送ローラー組４３の搬送ローラー６５、６７の間へ入り込む。ガイド部材７０が備えられていないと、前記したようにプリント基板材Ｗが湾曲しているため、プリント基板材Ｗの先端部が搬送ローラー６５、６７の間に入り込むことができない。このためプリント基板材Ｗの先端部が折れてしまい、そのまま搬送ローラー６５、６７の間へ入って、折り返されてしまうことになる。

搬送ローラー組４１、搬送ローラー４２、搬送ローラー組４３によってプリント基板材Ｗは、さらに下流側へ搬送される。そして上面研磨用ローラー組７ｂに到達したプリント基板材Ｗはバフローラー９とバックアップローラー１１との間を通過して上面が研磨される。さらにプリント基板材Ｗはガイド部材６９、７０に案内されて搬送ローラー組４５、４７、４９によって下流側へ搬送される。ガイド部材６９は上面研磨用ローラー組７ｂのバックアップローラー１１に対するスクレーパーの役目を果たしている。

さらに、下面研磨用ローラー組５ｃに到達したプリント基板材Ｗは、前記した下面研磨用ローラー組５ａにおける場合と同様に、下面研磨用ローラー組５ｃのバフローラー９によって下面が研磨される。
下面研磨用ローラー組５ｃのバフローラー９も、図８及び図１０により説明した動作と同様の動作を行う。但し、図８により説明したバフローラー９をプリント基板材Ｗが送られる方向と逆の方向、図２、図８において時計回りの方向へ回転させるタイミングを、下面研磨用ローラー組５ａにおける場合とずらして行う。バフローラー９が時計回りの方向へ回転すると、その間バフローラー９に接触している部分の研磨が十分行われないおそれがある。そこで、下面研磨用ローラー組５ａのバフローラー９が時計回りの方向へ回転するタイミングと下面研磨用ローラー組５ｃのバフローラー９が時計回りの方向へ回転するタイミングとを異ならせて、プリント基板材Ｗのバフローラー９が時計回りの方向へ回転しているときに接触する部分をずらし、研磨が不十分となる部分が生じるのを防止する。

プリント基板材Ｗは、下面研磨用ローラー組５ｃを出る際にガイド部材６９、７０に案内され、搬送ローラー組５１、搬送ローラー５３及び搬送ローラー組５５によって下流へ搬送され、且つ搬送ローラー５３の上方に配置されたガイド部材７０に案内されて上面研磨用ローラー組７ｄに到達する。
上面研磨用ローラー組７ｄに到達したプリント基板材Ｗは、上面研磨用ローラー組７ｂにおける場合と同様にして上面が研磨され、ガイド部材６９、７０に案内され、搬送ローラー組５７、５９、６１及び搬送ローラー６３によって搬送され、出口３２から機外に搬出される。ガイド部材６９の薄板７５は上面研磨用ローラー組７ｄのバックアップローラー１１に対するスクレーパーの役目を果たしている。

遮蔽板８３が設けられているので、上面研磨用ローラー組７ｂのバフローラー９が回転すると、ノズル７９から噴射された水を跳ね上げても、この水は遮蔽板８３に当たり、遮蔽板８３に沿って落下して、さらに樋８５を通って機外へ排出される。従って、研磨滓を含む水が上流側及び下流方向へ飛散するのを防止しながらプリント基板材Ｗを研磨でき、プリント基板材Ｗに凹状の傷や打痕ができてしまうのを防止できる。
即ち、バフローラー９が跳ね上げる水には研磨滓が含まれており、この研磨滓が搬送されているプリント基板材Ｗ上に載り、そのまま搬送ローラー６５、６７の間や下面研磨ローラー組５ｃを通ると、研磨滓がプリント基板材Ｗに押し付けられて凹状の傷ができてしまうおそれがあるが、遮蔽板８３が設けられているので、研磨滓が含まれる水が下流側へ飛散せず、プリント基板材Ｗに凹状の傷や打痕ができてしまうのを防止できる。
上面研磨用ローラー組７ｄにおいても、遮蔽板８３によって研磨滓を含む水が上流側及び下流側へ飛散するのを防ぐことができ、プリント基板材Ｗに凹状の傷や打痕ができてしまうのを防止できる。

図１２〜図１９にその他の実施の形態に係る遮蔽部材及び移送路を示す。
図１２において、遮蔽部材としての遮蔽板８３ａと移送路としての樋８５ａは一体に形成され、樋８５ａは下流側（出口３２側）にのみ設けられている。
図１３において、遮蔽部材としての遮蔽板８３ｂと移送路としての樋８５ｂは一体に形成され、樋８５ｂは上流側（入り口３１側）にのみ設けられている。
図１４において、遮蔽部材としての遮蔽板８３ｃと移送路としての樋８５ｃは各々独立した部材である。遮蔽板８３ｃは長方形の板状で、樋８５ｃは平坦な底部とこの底部の幅方向両側に一体に形成された立ち上がり部とによって構成されている。

図１５〜図１８に示す実施の形態に係る遮蔽部材としての遮蔽板は、図１４の遮蔽板８３ｃと同様の形状なので、同じ符号を付して説明を省略し、移送路としての樋についてのみ説明する。
図１５の樋８５ｄは底部が幅方向中心に向かって傾斜する形状で、底部の幅方向両側に立ち上がり部が形成されている。
図１６の樋８５ｅは幅方向中心に向かって傾斜する底部のみによって構成されている。
図１７の樋８５ｆは円筒を縦断した形状に形成されている。
図１８の樋８５ｇは、その長手方向中心を境にして左右方向へ傾斜するように曲がった形状に形成されている。

図１９、図２０の遮蔽部材としての遮蔽板８３ｄはバフローラー９の周面に沿って湾曲する形状に形成されており、開放部８６が設けられている。この遮蔽板８３ｄの湾曲する方向の両端部には移送路としての樋８５ｈが遮蔽板８３ｄと一体に形成されている。樋８５ｈは浅い溝によって構成され、遮蔽板８３ｄに沿って延びている。
遮蔽板８３ｄはバフローラー９に隙間を開けて配置され、開放部８６が下側を向く姿勢に備えられている。従って、遮蔽板８３ｄは、バフローラー９の側方と上方の領域を完全に覆うことになる。よって、遮蔽板８３ｄはバフローラー９周辺の水が飛散する領域全部を覆い、搬送されるプリント基板材Ｗに研磨滓を含む水がかかるのを完全に防止する。

以上、本発明の実施の形態について詳述してきたが、具体的構成は、この実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲における設計の変更などがあっても発明に含まれる。
例えば、上記実施の形態では、板状ワークとしてプリント基板材を研磨対象としたが、本発明はこれに限定されず、薄板状のワークであれば如何なるものでも研磨対象とすることができる。
また、遮蔽板８３は上面研磨ローラー組７ｂの少なくとも下流側の直後にのみ備える構成としても良い。即ち、遮蔽板８３を上面研磨ローラー組７ｂの上流側または下流側の一方のみに配置する、或いは上流側と下流側の両方に配置する、いずれの構成としても良い。
また、上記実施の形態では、図８において説明したように、プリント基板材Ｗの一部分がバフローラー９とバックアップローラー１１との間に位置し、且つプリント基板材Ｗの先端部が、搬送ローラー組４１の対向配置された一対の搬送ローラー６５、６７の間に位置し、プリント基板材Ｗの後端部が搬送ローラー組３９の対向配置された一対の搬送ローラー６５、６７の間から外れる前に、バフローラー９をプリント基板材Ｗが送られる方向と反対の方向（図８において実線の矢印で示す時計回りの方向）へ回転させるときの周速度を、プリント基板材Ｗが送られる方向、即ち反時計回りの方向へ回転するときの周速度より小さく設定したが、本発明はこれに限定されず、プリント基板材の厚さ寸法等によっては、上記バフローラー９の時計回りの方向の周速度を、反時計回りの方向の周速度以上にすることも可能である。

本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の内部構造の模式図である。 本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の部分斜視図である。 本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の部分斜視図である。 本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の部分斜視図である。 本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の部分斜視図である。 本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の制御系の模式図である。 本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の動作を説明するための模式図である。 プリント基板材の研磨による延びを原因とする歪みを説明するための図である。 本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の動作を説明するための模式図である。 本発明の実施の形態に係る板状ワークの研磨装置の動作を説明するための模式図である。 本発明の実施の形態に係る遮蔽板及び樋の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る遮蔽板及び樋の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る遮蔽板及び樋の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る遮蔽板及び樋の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る遮蔽板及び樋の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る遮蔽板及び樋の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る遮蔽板及び樋の斜視図である。 本発明の実施の形態に係る遮蔽板及び樋の斜視図である。 図１９の正面図である。

符号の説明

１ バフローラー式研磨装置 ３ 機枠
５ａ、５ｃ 下面研磨用ローラー組 ７ｂ、７ｄ 上面研磨用ローラー組
９ バフローラー １１ バックアップローラー
１２ 軸 １３ 軸受
１５ プーリー
１７ａ、１７ｂ、１７ｃ、１７ｄ バフローラー用モーター
１８ 回転軸 １９ プーリー
２１ Ｖベルト
２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄ バックアップローラー用モーター
２４ 回転軸 ２５ 回転軸
２７ 軸 ２９ プーリー
３１ 入り口 ３２ 出口
３３ 搬送コロ ３５、３７、３９、 搬送ローラー組
４１ 搬送ローラー組 ４２ 搬送ローラー
４３、４５、４７、４９、５１ 搬送ローラー組
５３ 搬送ローラー
５５、５７、５９、６１ 搬送ローラー組
６３、６５ 搬送ローラー ６９、７０ ガイド部材
７１ フレーム ７３、７５ 薄板
７７ 水供給管 ７９ ノズル
８３、８３ａ、８３ｂ、８３ｃ、８３ｄ 遮蔽板
８５、８５ａ、８５ｂ、８５ｄ、８５ｅ、８５ｆ、８５ｇ、８５ｈ 樋
８６ 開放部 ８７ センサー
８９ 操作ボックス ９０ 制御手段
９１ 前扉

Claims (12)

1. バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、前記バフローラーを回転させるバフローラー駆動手段と、前記バックアップローラーを回転させるバックアップローラー駆動手段と、前記バフローラー駆動手段及びバックアップローラー駆動手段を制御する制御手段と、板状ワークを搬送する搬送ローラーとを有し、プリント基板材等の板状ワークを前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨装置において、前記研磨用ローラー組のバフローラーとバックアップローラーとの間を通った板状ワークを搬送ローラーへ案内するガイド部材を備えたことを特徴とする板状ワーク研磨装置。
2. バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、前記バフローラーを回転させるバフローラー駆動手段と、前記バックアップローラーを回転させるバックアップローラー駆動手段と、前記バフローラー駆動手段及びバックアップローラー駆動手段を制御する制御手段と、板状ワークを搬送する搬送ローラーとを有し、プリント基板材等の板状ワークを前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨装置において、前記研磨用ローラー組はバフローラーが下側にバックアップローラーが上側に配置された下面研磨用ローラー組とバフローラーが上側にバックアップローラーが下側に配置された上面研磨用ローラー組とが交互に配置され、且つ研磨される板状ワークに水をかける水供給手段を備えており、前記上研磨用ローラー組において発生する研磨滓を含む水しぶきが、少なくともワーク搬送方向側へ飛ぶのを防止する遮蔽部材を備えたことを特徴とする板状ワーク研磨装置。
3. 請求項２に記載した板状ワーク研磨装置において、遮蔽部材に当たった水を機外へ移送する移送路を備えたことを特徴とする板状ワーク研磨装置。
4. 請求項３に記載した板状ワーク研磨装置において、遮蔽部材と移送路とが一体に形成されていることを特徴とする板状ワーク研磨装置。
5. 請求項２から４のいずれかに記載した板状ワーク研磨装置において、遮蔽部材は上研磨用ローラー組のバフローラーの周面に沿って湾曲する形状に形成されており、前記遮蔽部材はバフローラーの周面の少なくとも一部を覆うように配置されていることを特徴とする板状ワーク研磨装置。
6. バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、前記バフローラーを回転させるバフローラー駆動手段と、前記バックアップローラーを回転させるバックアップローラー駆動手段と、前記バフローラー駆動手段及びバックアップローラー駆動手段を制御する制御手段と、板状ワークを搬送する搬送ローラーとを有し、プリント基板材等の板状ワークを前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨装置において、前記制御手段は板状ワークの後端部が前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間から出る直前にバフローラーの回転を停止する制御を行うことを特徴とする板状ワーク研磨装置。
7. バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、前記バフローラーを回転させるバフローラー駆動手段と、前記バックアップローラーを回転させるバックアップローラー駆動手段と、前記バフローラー駆動手段及びバックアップローラー駆動手段を制御する制御手段と、板状ワークを搬送する方向へ回転する搬送ローラーとを有しており、プリント基板材等の板状ワークを前記板状ワークが送られる方向へ前記搬送ローラーより速い周速度で回転する前記バフローラーと前記板状ワークが送られる方向へ回転するバックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨装置において、板状ワークの一部分が研磨用ローラー組のバフローラーとバックアップローラーとの間に位置し、且つ板状ワークの先端部が前記研磨用ローラー組を挟んで板状ワークの搬送方向側に位置する対向配置された一対の搬送ローラーの間に入り込み、しかも当該板状ワークの後端部が前記研磨用ローラー組を挟んで板状ワークの搬送方向と逆の方向側に位置する対向配置された一対の搬送ローラーの間から外れる前に前記制御手段は前記バフローラーを板状ワークが送られる方向と逆の方向へ一時的に回転させる制御を行うことを特徴とする板状ワーク研磨装置。
8. プリント基板材等の板状ワークをバフローラーとバックアップローラーとの間に供給して板状ワークに水をかけながら板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨方法において、研磨滓を含む水しぶきが、少なくともワーク搬送方向側へ飛ぶのを防止しながら板状ワークを研磨することを特徴とする板状ワーク研磨方法。
9. 請求項８に記載した板状ワーク研磨方法において、遮蔽部材に当たった水を機外へ移送することを特徴とする板状ワーク研磨方法。
10. プリント基板材等の板状ワークをバフローラーとバックアップローラーとの間に供給して、板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨方法において、板状ワークが前記バフローラーと前記バックアップローラーとの間から出る直前にバフローラーの回転を停止することを特徴とする板状ワーク研磨方法。
11. バフローラーと前記バフローラーに対向配置されたバックアップローラーから成り複数設けられた研磨用ローラー組と、板状ワークを搬送する方向へ回転する搬送ローラーとを利用し、前記バフローラーをプリント基板材等の板状ワークが送られる方向へ前記搬送ローラーより速い周速度で回転させながら、バックアップローラーを前記板状ワークが送られる方向へ回転させることでその間に供給された板状ワークの表面を研磨する板状ワーク研磨方法において、
    板状ワークの一部分が研磨用ローラー組のバフローラーとバックアップローラーとの間に位置し、且つ板状ワークの先端部が前記研磨用ローラー組を挟んで板状ワークの搬送方向側に位置する対向配置された一対の搬送ローラーの間に入り込み、当該板状ワークの後端部が前記研磨用ローラー組を挟んで板状ワークの搬送方向と逆の方向側に位置する対向配置された一対の搬送ローラーの間から外れる前に前記バフローラーを板状ワークが送られる方向と逆の方向へ一時的に回転させることを特徴とする板状ワーク研磨方法。
12. 請求項１１に記載した板状ワーク研磨方法において、バフローラーを板状ワークが送られる方向と逆の方向へ一時的に回転させるときの周速度を前記バフローラーが板状ワークの送られる方向へ回転させるときの周速度より小さくしたことを特徴とする板状ワーク研磨方法。

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