JP2004257790A - ガス物性値の測定方法 - Google Patents
ガス物性値の測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004257790A JP2004257790A JP2003047112A JP2003047112A JP2004257790A JP 2004257790 A JP2004257790 A JP 2004257790A JP 2003047112 A JP2003047112 A JP 2003047112A JP 2003047112 A JP2003047112 A JP 2003047112A JP 2004257790 A JP2004257790 A JP 2004257790A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- sensor output
- temperature
- measured
- standard value
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】サーモパイルから得られる実センサ出力データが取得され(S2)、センサ出力と温度との関係を示す予め定められた複数の計量線に対してそれぞれ、計量温度を代入したときの計量センサ出力が求められ(S3、S4)、この決定された複数の計量センサ出力と実センサ出力とが比較され(S5、S6)、この比較結果に基づき、出力データをもっとも適確に表す計量線が決定され(S7、S8)、この決定された計量線を用いて、被測定ガスの熱伝導率に係る所定の規格値が求められ(S9)、この規格値と熱伝導率との関係が確定される(S12)。そして、このように確定された規格値と熱伝導率との関係に基づいて、被測定ガスの物性値が測定される。
【選択図】 図4
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス物性値の測定方法に関し、特に、マイクロフローセンサを用いたガス物性値の測定方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、都市ガス提供事業としては、対電力提供事業とのコスト競争にともない、天然ガスのストレート供給及び託送の時代を迎えると、供給されるガスの成分及び熱量にかなりの変動がでることが予想される。そうなると、工業炉やバーナーの燃焼にも影響が出てきて、性能低下や製品不良が発生することも予想される。これを防止するための一方策としては、供給されるガスとガス器具との適応性を所定の指標を用いて判断する必要があるが、そのためには、熱伝導率やガス密度等のように、それぞれのガスに特有の物性値を正確に測定する必要がでてくる。
【0003】
従来、ガス物性値を測定する方法又は装置としては、下記特許文献1又は特許文献2に記載のように、ダイヤフラム上に配置した薄膜抵抗体のガス種による抵抗値変化を熱伝導率として検出するようにしたものがある。これら従来技術では、被測定ガスの温度を常に一定に保つために、計測器内部の恒温槽中に流路を入れたうえに薄膜抵抗体の駆動用の定温度回路を使用することにより、熱伝導率に対する温度変動の影響を除去するようにしている。
【0004】
【特許文献1】
特開平10−38826号公報
【特許文献2】
特開平11−174010号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記従来のガス物性値を測定する方法又は装置では、何れも装置や電気回路等の大型化、複雑化、これにともなう高コスト化を招くものであった。特に、恒温槽を設けることにより構造が複雑になり、また、恒温槽をヒータにより温度制御するために電力及び回路規模が大きくなるという問題があった。そのうえ、測定回路や定温度回路も必要であり、さらに回路規模や複雑化を招くという問題もあった。また、マイクロフローセンサを利用して、物性値を測定するという試みもあるが、図7に示すように、温度エージングにより、物性値を求めるためのセンサ出力が変動するという問題により、実用的ではなかった。なお、図7は、従来の方法において、70℃48hrの温度を掛けた後、定常温度にて測定されたセンサ出力を示すグラフである。
【0006】
よって本発明は、上述した現状に鑑み、マイクロフローセンサを利用しつつ、装置や電気回路等の大型化や複雑化を招くことなく、不要なノイズ成分である温度エージングの影響が除去された被測定ガスの物性値を測定可能とする測定方法を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するためになされた請求項1記載のガス物性値の測定方法は、被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、前記被測定ガスの物性値を測定する方法であって、所定の計量温度における前記センサ出力である実センサ出力データを取得する実センサ出力データ取得工程と、前記被測定ガスに対して想定される、前記センサ出力と温度との関係を示す予め定められた複数の計量線に対してそれぞれ、前記計量温度を代入したときの計量センサ出力を求める計量センサ出力計算工程と、前記計量センサ出力計算工程にて決定された複数の計量センサ出力と前記実センサ出力とを比較する比較工程と、前記比較工程による比較結果に基づき、前記実センサ出力データをもっとも適確に表す計量線を決定する計量線決定工程と、前記計量線決定工程にて決定された計量線を用いて、前記被測定ガスの熱伝導率に係る所定の規格値を求める規格値計算工程と、前記規格値と熱伝導率との関係を確定する確定工程と、を含むことを特徴とする。
【0008】
また、上記課題を解決するためになされた請求項2記載のガス物性値の測定方法は、請求項1記載のガス物性値の測定方法において、前記規格値を温度補正する補正規格値計算工程とを更に含み、前記確定工程では、この温度補正された規格値と熱伝導率との関係を確定する、ことを特徴とする。
【0009】
また、上記課題を解決するためになされた請求項3記載のガス物性値の測定方法は、請求項1又は2記載のガス物性値の測定方法において、前記規格値は、前記複数のサーモパイルに対応してそれぞれ決定された複数の前記計量線に基づいて求められる、ことを特徴とする。
【0010】
また、上記課題を解決するためになされた請求項4記載のガス物性値の測定方法は、被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、前記被測定ガスの物性値を測定する方法であって、所定の計量温度における前記センサ出力である実センサ出力データを取得する実センサ出力データ取得工程と、予め定められた前記被測定ガスの温度補正式を用いて、前記実センサ出力データを温度補正した補正センサ出力を求める補正センサ出力計算工程と、前記補正センサ出力を用いて、前記被測定ガスの熱伝導率に係る所定の規格値を求める規格値計算工程と、前記規格値と熱伝導率との関係を確定する確定工程と、を含むことを特徴とする。
【0011】
また、上記課題を解決するためになされた請求項5記載のガス物性値の測定方法は、請求項4記載のガス物性値の測定方法において、前記規格値は、前記複数のサーモパイルに対応してそれぞれ決定された複数の前記補正センサ出力に基づいて求められる、ことを特徴とする。
【0012】
また、上記課題を解決するためになされた請求項6記載のガス物性値の測定方法は、請求項1〜5のいずれか一項に記載のガス物性値の測定方法において、前記物性値は、前記被測定ガスの熱伝導率との相関関係に基づいて計算される密度である、ことを特徴とする。
【0013】
請求項1及び6記載の発明によれば、被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、被測定ガスの物性値が測定される。詳しくは、所定の計量温度におけるサーモパイルから得られる実センサ出力データが取得され、次に、被測定ガスに対して想定される、センサ出力と温度との関係を示す予め定められた複数の計量線に対してそれぞれ、計量温度を代入したときの計量センサ出力が求められ、次に、この決定された複数の計量センサ出力と実センサ出力とが比較され、この比較結果に基づき、出力データをもっとも適確に表す計量線が決定され、次に、この決定された計量線を用いて、被測定ガスの熱伝導率に係る所定の規格値が求められ、そして、この規格値と熱伝導率との関係が確定される。そして、このように確定された規格値と熱伝導率との関係に基づいて、例えば、被測定ガスの物性値としての密度が測定可能になる。すなわち、不要なノイズ成分である温度エージングの影響が除去された純粋な被測定ガスの物性値が測定される。
【0014】
また、請求項2記載の発明によれば、温度補正された規格値と熱伝導率との関係に基づいて被測定ガスの物性値が測定される。
【0015】
また、請求項3記載の発明によれば、規格値は複数のサーモパイルに対応してそれぞれ決定された複数の計量線に基づいて求められる。
【0016】
また、請求項4及び6記載の発明によれば、被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、被測定ガスの物性値が測定される。詳しくは、所定の計量温度におけるサーモパイルから得られる実センサ出力データが取得され、次に、予め定められた被測定ガスの温度補正式を用いて、実センサ出力データが温度補正された補正センサ出力が求められ、次に、被測定ガスの熱伝導率に係る所定の規格値が求められ、そして、この規格値と熱伝導率との関係が確定される。そして、このように確定された規格値と熱伝導率との関係に基づいて、例えば、被測定ガスの物性値としての密度が測定される。すなわち、不要なノイズ成分である温度エージングの影響が除去された純粋な被測定ガスの物性値が測定可能となる。
【0017】
また、請求項5記載の発明によれば、規格値は複数のサーモパイルに対応してそれぞれ決定された複数の補正センサ出力に基づいて求められる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明において、ガス物性値の検出素子として使用されるマイクロフローセンサ1(1′)を例示する平面図である。このマイクロフローセンサ1は、Si基板2、ダイヤフラム3、ダイヤフラム3上に形成された白金等からなるマイクロヒータ4、マイクロヒータ4の下流側でダイヤフラム3上に形成された下流側サーモパイル5、マイクロヒータ4に図示しない電源から駆動電流を供給する電源端子6A、6B、マイクロヒータ4の上流側でダイヤフラム3上に形成された上流側サーモパイル8、下流側サーモパイル5から出力される第1温度検出信号を出力する第1出力端子7A、7B、上流側サーモパイル8から出力される第2温度検出信号を出力する第2出力端子9A、9B、を備える。
【0019】
また、マイクロフローセンサ1は、マイクロヒータ4に対してガスの流れ方向(PからQへの方向)と略直交方向に配置され、第3温度検出信号を出力する右側サーモパイル11、この右側サーモパイル11から出力される第3温度検出信号を出力する第3出力端子12A、12B、マイクロヒータ4に対してガスの流れ方向(PからQへの方向)と略直交方向に配置され、第4温度検出信号を出力する左側サーモパイル13、この左側サーモパイル13から出力される第4温度検出信号を出力する第4出力端子14A、14B、ガスの温度を得るための抵抗15、16、この抵抗15、16からのガスの温度信号を出力する出力端子17A、17Bを備える。
【0020】
上流側サーモパイル8、下流側サーモパイル5、右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13は、熱電対から構成されている。この熱電対は、p++ ̄Si及びAlにより構成され、冷接点と温接点とを有し、熱を検出し、冷接点と温接点との温度差から熱起電力が発生することにより、温度検出信号を出力するようになっている。また、Si基板2上に形成されたダイヤフラム3には、マイクロヒータ4、上流側サーモパイル8、下流側サーモパイル5、右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13のそれぞれの温接点が形成されている。
【0021】
このような構成のマイクロフローセンサ1において、マイクロヒータ4が外部からの駆動電流により過熱された際の上記第1温度検出信号及び第2温度検出信号は、例えば所定の流路を通過する被測定ガスの流速を求めるために利用され、上記第3温度検出信号及び/又は第4温度検出信号は、例えばこの被測定ガスの物性値等を求めるために利用される。マイクロフローセンサ1を用いた流速計測方法は、周知であるので、ここでは詳細な説明は省略する。また、このマイクロフローセンサ1を被測定ガスの密度や熱伝導率の検出素子として利用した例は、本出願人らにより、特願2002−292049及び特願2002−292050にて出願されている。そこでは、左側又は右側サーモパイルの出力と密度や熱伝導率とは略直線性の関係があることが着目され、次の図2に示すように、マイクロフローセンサが密度や熱伝導率の検出素子として利用されている。
【0022】
すなわち、図2(A)に示すように、被測定ガスが通過するガス流路20の内壁に凹形状に形成され、ガス流路20の通じる開口部21Aを有するポケット部21が形成されている。このポケット部21内には、密度センサとして、図1で示した構成のマイクロフローセンサ1′が取り付けられている。ガス流路20には、周知のように、マイクロフローセンサ1′と同一構成の流量センサとしてのマイクロフローセンサ1が取り付けられていてもよい。また、このマイクロフローセンサ1の設置箇所に基づいて、ガス流路20の断面を均等に分割するように、複数の整流格子22がそれぞれ等間隔かつ平行になるように配置されていてもよい。更に、この整流格子22を上流側P及び下流側Qからそれぞれ挟み込むように、メッシュ23A〜23C及びメッシュ23Dが、ガス流路20の途中に配置されていてもよい。
【0023】
図2(B)に示すように、ポケット部21は、例えば、略円筒形をしており、上部には、測定面が下を向くようにして、マイクロフローセンサ1′が取り付けられている。また、ポケット部21の下部には、ガス流路20の通じる略円形状の開口部21Aが形成されている。この開口部21Aの口径は、ガス流路20を通過する被測定ガスによる流れの影響を受けないように、ポケット部21の容積に対して十分小さくしている。
【0024】
なお、流量用センサとしてのマイクロフローセンサ1は、本発明では必ずしも必要ではない。また、ガス流のない状態で密度や熱伝導率を測定する際には、ポケット部21は必ずしも必要ではない。但し、本発明では、図2に示すような構成を前提として説明を続ける。また、本明細書中、上流側サーモパイル8、下流側サーモパイル5をサーモパイルTP1、TP2とよび、右側サーモパイル11、左側サーモパイル13をサーモパイルTP3、TP4とよぶこともある。
【0025】
上記ポケット部21に取り付けられた密度センサとしてのマイクロフローセンサ1′に接続される検出回路部について図3を用いて説明する。図3に示すように、この検出回路部においては、マイクロフローセンサ1′の下流側サーモパイル5、上流側サーモパイル8、右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13にはそれぞれ、増幅器AMP1、増幅器AMP2、増幅器AMP3及び増幅器AMP4が接続されている。増幅器AMP1、増幅器AMP2、増幅器AMP3及び増幅器AMP4は、下流側サーモパイル5、上流側サーモパイル8、右側サーモパイル11及び左側サーモパイル13からそれぞれ供給される第1温度検出信号、第2温度検出信号、第3温度検出信号及び第4温度検出信号を増幅して加算回路30に出力する。
【0026】
加算回路30では、基本的に、第1〜第4検出信号を加算してゼロ点調整回路40に出力する。但し、必ずしも、第1〜第4検出信号の全てを使用する必要はない。すなわち、第1〜第4温度検出信号の少なくともいずれかひとつを使用してもよいし、第1〜第4検出信号のうちのいずれか2つ以上を使用するようにしてもよい。その組み合わせ方も任意であり、例えば、第1検出信号と第2検出信号との組み合わせ、第3検出信号と第4検出信号の組み合わせ等であってもよい。これにより、複数の温度検出信号のうちで良好な温度検出信号を採用することが可能になり、最終的にセンサ出力を向上させることができるようになる。また、ポケット部の渦流量の影響も除去することができるようになる。
【0027】
ゼロ点調整回路40は、抵抗R1、R2、Rx、可変抵抗器VR1、増幅定数変更スイッチSW1及び増幅器AMP5を含んで構成され、その入力端が加算回路30に接続され、出力端がスパン調整回路50に接続されている。そして、増幅定数変更スイッチSW1を切り替え制御することにより、増幅器AMP5の増幅率を調整することが可能である。
【0028】
スパン調整回路50は、抵抗R3、R4、Ry、可変抵抗器VR2、増幅定数変更スイッチSW2及び増幅器AMP6を含んで構成され、その入力端がゼロ点調整回路40に接続され、出力端がA/D変換回路60に接続されている。そして、増幅定数変更スイッチSW2を切り替え制御することにより、増幅器AMP6の増幅率を調整することが可能である。
【0029】
A/D変換回路60は、スパン調整回路50の増幅器AMP6から供給される増幅されたアナログ値であるセンサ出力をディジタル値に変換する。このディジタル値は制御部70を介してディジタル出力端子71から直接、出力するようにしてもよいし、制御部70にて、パルス変換して出力するようにしてもよいし、周波数変換して出力するようにしてもよいし、或いは、通信電文に変換して出力するようにしてもよい。
【0030】
制御部70は、ヒータ駆動回路90を指令して、マイクロヒータ4を最適な温度に制御したり、センサ出力を所定のディジタル出力に変換してディジタル出力端子71から出力させる。また、この制御部70はガス物性値測定用ロジック701を含む。このロジック701に関しては、図4及び図5を用いて後述する。
【0031】
D/A変換回路80は、制御部70から供給されるディジタル出力値を、必要なアナログ規格値に適合する範囲内のアナログ信号に変換して、アナログ出力端子81から出力する。出力方法としては、例えば4−20mAの定電流信号や、1−5Vの定電圧信号等が適用可能である。
【0032】
ヒータ駆動回路90は、例えばトランジスタ回路で構成され、制御部70に指令されて、マイクロヒータ4の温度制御を行う回路である。駆動方法としては、公知の定電圧駆動、定電流駆動、定電力駆動、定温度駆動、或いは、定温度差駆動等が適用可能である。
【0033】
続いて、図4及び図5を用いて、本発明の第1実施形態及び第2実施形態に係る処理手順について説明する。すなわち、第1実施形態を示す図4のステップS1においては、例えば、制御部に70に含まれるタイマ機能を利用してサンプリング時刻が待機されている(ステップS1のN)。ここで、サンプリング時刻になると(ステップS1のY)、ステップS2に進んで、計量温度Tと、この計量温度Tにおける実センサ出力V12、V34データが取得される。ここで、実センサ出力V12は、この計量温度TにおけるサーモパイルTP1、TP2のセンサ出力の和を示し、実センサ出力V34は、この温度におけるサーモパイルTP3、TP4のセンサ出力の和を示す。なお、ステップS2は、請求項中の実センサ出力データ取得工程に対応する。
【0034】
次に、ステップS3及びステップS4において、上記ガス温度Tを想定される全計量線y12(i)、y34(i)に代入して、計量センサ出力y′12(i)が求められる。詳しくは、出荷時に設定した特定ガスによるサーモパイルTP1、TP2のセンサ出力に対応する計量線y12をy12=ax+(b±Δb)と想定し、同様に、サーモパイルTP3、TP4のセンサ出力に対応する温度計量線y34をy34=a′x+(b′±Δb′)と想定し、n本の計量線について、y(n−1)(n)=ax+(b±(n/2)*Δb)と想定する。ここで、a、b、a′、b′は計量線の係数、xは計算式(計量線)上のガス温度データ、y(n−1)(n)は計算式(計量線)より求めたセンサ出力を示す。そして、想定されたi(iは0〜n)本の全計量線y12(i)、y34(i)に対して、それぞれガス温度Tを計算式上のガス温度データxとして代入して、計量センサ出力y′12(i)、y′34(i)を求める。なお、ステップS3及びステップS4は、請求項中の計量センサ出力計算工程に対応する。
【0035】
次に、ステップS5、ステップS5a及びステップS6、ステップS6aにおいて、上述のようにして求めた全ての計量センサ出力y′12(i)及びy′34(i)と、ステップS2において取得された実センサ出力V12及びV34データとが比較される。なお、ステップS5、ステップS5a及びステップS6、ステップS6aは、請求項中の比較工程に対応する。
【0036】
次に、ステップS7及びステップS8において、上記ステップS5及びステップS6での比較結果に基づき、採用する計量線y12及びy34が決定される。この決定法は、例えば、実センサ出力V12及びV34データがどの計量線の範囲内(±Δb/2)にあるのかに基づく。なお、ステップS7及びステップS8は、請求項中の計量線決定工程に対応する。
【0037】
次に、ステップS9においては、規格値γ1が求められる。この規格値γ1は、例えば、ステップS7及びステップS8にて決定された計量線y12及びy34の比率y12/y34とする。なお、ステップS9は、請求項中の規格値計算工程に対応する。
【0038】
一方、ステップS10においては、温度補正値αが求められる。この温度補正値αは、出荷時の規格値に対して設定されたもので、sx2+tx+uと表される。ここで、s、t、uは共に、規格値γの温度補正係数であり、xは上述の通りである。そして、上記ガス温度Tをガス温度データxとして上式に代入して、全ガス共通の温度補正値αが求められる。
【0039】
次に、ステップS11においては、ステップS9にて求めた規格値γ1から上記温度補正値αを減ずることにより、補正規格値γγ1が求められる。そして、ステップS12において、補正規格値γγ1と熱伝導率ρとの間に温度補正された直線関係が導かれる。なお、ステップS10、S11及びステップS12はそれぞれ、請求項中の補正規格値計算工程及び確定工程に対応する。
【0040】
そして、ステップS13においてゼロ点調整が行われ、ステップS14においてスパン調整が行われる。これらゼロ点調整及びスパン調整は、上述したように、ゼロ点調整回路40及びスパン調整回路50を用いて実行可能である。
【0041】
このように第1実施形態によれば、上述のように確定された規格値と熱伝導率との直線関係に基づいて、被測定ガスの物性値としての密度が測定可能になる。すなわち、不要なノイズ成分である温度エージングの影響が除去された純粋な被測定ガスの物性値が測定される。この結果、従来のように装置内部に恒温槽や付加流路を設ける必要がなくなるうえ測定回路や定温度回路も不要となり、測定装置の簡素化及びこれにともなう低コスト化が達成される。また、ステップS11において、温度補正された規格値と熱伝導率との関係に基づいて被測定ガスの物性値が測定されるので、より正確な被測定ガスの物性値の測定が可能となる。
【0042】
また、第2実施形態を示す図5のステップS21及びステップS22においては、上記第1実施形態中のステップS1及びステップS2と同様、所定のサンプリング時刻になると、ガス温度Tにおける実センサ出力V12、V34データが取得される。なお、ステップS22は、請求項中の実センサ出力データ取得工程に対応する。
【0043】
次に、ステップS23及びステップS24においては、温度補正値q12及びq34が求められる。ここで、温度補正値q12は上記実センサ出力V12に対応する温度補正値であり、温度補正値q34は上記実センサ出力V34に対応する温度補正値である。これら温度補正値q12及びq34はいずれも、s′x2+t′x+u′と表される。ここで、s′、t′、u′は共に、上記第1実施形態で説明したs、t、uに準じる温度補正係数であるが、但しその値が異なる。xは上述の通りである。そして、上記ガス温度Tをガス温度データxとして上式に代入して、全ガス共通の温度補正値q12及びq34が求められる。次に、ステップS25及びステップS26においては、ステップS22にて取得された実センサ出力V12及びV34データから上記温度補正値q12及びq34をそれぞれ減ずることにより、補正センサ出力y″12及びy″34が求められる。補正センサ出力y″12及びy″34は、図6に示すように、センサ出力に与える温度エージングの影響をほぼ除去していることがわかる。なお、ステップS23〜ステップS26は、請求項中の補正センサ出力計算工程に対応する。
【0044】
次に、ステップS27においては、規格値γ2が求められる。この規格値γ2は、上記ステップS25及びステップS26にて求められた補正センサ出力y″12及びy″34の比率y″12/y″34とする。場合によっては、ステップS28にて再度温度補正が行われて、補正規格値γγ2が求められる。但し、再度温度補正が不要である場合にはステップS28はスキップされ、便宜上、規格値γ2をそのまま補正規格値γγ2としてステップS29に進んで、補正規格値γγ2と熱伝導率ρとの間に温度補正された直線関係が導かれる。なお、ステップS27及びステップS29はそれぞれ、請求項中の補正センサ出力計算工程及び確定工程に対応する。
【0045】
そして、ステップS30においてゼロ点調整が行われ、ステップS31においてスパン調整が行われる。これらゼロ点調整及びスパン調整は、上述したように、ゼロ点調整回路40及びスパン調整回路50を用いて実行可能である。
【0046】
このように第2実施形態によれば、上述のように確定された規格値と熱伝導率との関係に基づいて、被測定ガスの物性値としての密度が測定可能になる。すなわち、ソフト的に温度補正するだけの非常に簡易な方法により、不要なノイズ成分である温度エージングの影響が除去された純粋な被測定ガスの物性値が測定される。この結果、従来のように装置内部に恒温槽や付加流路を設ける必要がなくなるうえ測定回路や定温度回路も不要となり、測定装置の簡素化及びこれにともなう低コスト化が達成される。
【0047】
以上のように、本発明の実施形態によれば、従来のように装置や電気回路等の大型化や複雑化を招くことなく、不要なノイズ成分である温度エージングの影響が除去された被測定ガスの物性値を測定可能とする測定方法が提供される。この結果、測定装置及び方法の簡素化並びにこれにともなう低コスト化が達成される。
【0048】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されず、その主旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、上記規格値は各実施形態にて例示した式以外であってもよい。また、測定すべきガス物性値しては、密度のみならず、熱伝導率、比熱、粘性等であってもよい。
【0049】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1及び6記載の発明によれば、被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、被測定ガスの物性値が測定される。詳しくは、所定の計量温度におけるサーモパイルから得られる実センサ出力データが取得され、次に、被測定ガスに対して想定される、センサ出力と温度との関係を示す予め定められた複数の計量線に対してそれぞれ、計量温度を代入したときの計量センサ出力が求められ、次に、この決定された複数の計量センサ出力と実センサ出力とが比較され、この比較結果に基づき、出力データをもっとも適確に表す計量線が決定され、次に、この決定された計量線を用いて、被測定ガスの熱伝導率に係る所定の規格値が求められ、そして、この規格値と熱伝導率との関係が確定される。そして、このように確定された規格値と熱伝導率との関係に基づいて、例えば、被測定ガスの物性値としての密度が測定可能になる。すなわち、不要なノイズ成分である温度エージングの影響が除去された純粋な被測定ガスの物性値が測定される。この結果、従来のように装置内部に恒温槽や付加流路を設ける必要がなくなるうえ測定回路や定温度回路も不要となり、測定装置の簡素化及びこれにともなう低コスト化が達成される。
【0050】
また、請求項2記載の発明によれば、温度補正された規格値と熱伝導率との関係に基づいて被測定ガスの物性値が測定されるので、より正確な被測定ガスの物性値の測定が可能となる。
【0051】
また、請求項3記載の発明によれば、規格値は複数のサーモパイルに対応してそれぞれ決定された複数の計量線に基づいて求められるので、より正確な被測定ガスの物性値の測定が可能となる。
【0052】
また、請求項4及び6記載の発明によれば、被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、被測定ガスの物性値が測定される。詳しくは、所定の計量温度におけるサーモパイルから得られる実センサ出力データが取得され、次に、予め定められた被測定ガスの温度補正式を用いて、実センサ出力データが温度補正された補正センサ出力が求められ、次に、被測定ガスの熱伝導率に係る所定の規格値が求められ、そして、この規格値と熱伝導率との関係が確定される。そして、このように確定された規格値と熱伝導率との関係に基づいて、例えば、被測定ガスの物性値としての密度が測定される。すなわち、ソフト的に温度補正するだけの非常に簡易な方法により、不要なノイズ成分である温度エージングの影響が除去された純粋な被測定ガスの物性値が測定可能となる。この結果、従来のように装置内部に恒温槽や付加流路を設ける必要がなくなるうえ測定回路や定温度回路も不要となり、測定装置の簡素化及びこれにともなう低コスト化が達成される。
【0053】
また、請求項5記載の発明によれば、規格値は複数のサーモパイルに対応してそれぞれ決定された複数の補正センサ出力に基づいて求められるので、より正確な被測定ガスの物性値の測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にて使用されるマイクロフローセンサの構成図である。
【図2】図2(A)はガス物性値の測定部近傍の概略断面図であり、図2(B)は図2(A)のポケット部の拡大断面図である。
【図3】本発明の実施形態に係る回路構成図である。
【図4】本発明の第1実施形態に係る処理手順を示すフローチャートである。
【図5】本発明の第2実施形態に係る処理手順を示すフローチャートである。
【図6】本発明の方法において、70℃48hrの温度を掛けた後、定常温度にて測定されたセンサ出力を示すグラフである。
【図7】従来の方法において、70℃48hrの温度を掛けた後、定常温度にて測定されたセンサ出力を示すグラフである。
【符号の説明】
1′ マイクロフローセンサ(密度センサ)
20 流路
21 ポケット部
30 加算回路
40 ゼロ点調整回路
50 スパン調整回路
60 A/D変換回路
70 制御部
71 ディジタル出力端子
80 D/A変換回路
81 アナログ出力端子
90 ヒータ駆動回路
Claims (6)
- 被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、前記被測定ガスの物性値を測定する方法であって、
所定の計量温度における前記センサ出力である実センサ出力データを取得する実センサ出力データ取得工程と、
前記被測定ガスに対して想定される、前記センサ出力と温度との関係を示す予め定められた複数の計量線に対してそれぞれ、前記計量温度を代入したときの計量センサ出力を求める計量センサ出力計算工程と、
前記計量センサ出力計算工程にて決定された複数の計量センサ出力と前記実センサ出力とを比較する比較工程と、
前記比較工程による比較結果に基づき、前記実センサ出力データをもっとも適確に表す計量線を決定する計量線決定工程と、
前記計量線決定工程にて決定された計量線を用いて、前記被測定ガスの熱伝導率に係る所定の規格値を求める規格値計算工程と、
前記規格値と熱伝導率との関係を確定する確定工程と、
を含むことを特徴とするガス物性値の測定方法。 - 請求項1記載のガス物性値の測定方法において、
前記規格値を温度補正する補正規格値計算工程とを更に含み、
前記確定工程では、この温度補正された規格値と熱伝導率との関係を確定する、
ことを特徴とするガス物性値の測定方法。 - 請求項1又は2記載のガス物性値の測定方法において、
前記規格値は、
前記複数のサーモパイルに対応してそれぞれ決定された複数の前記計量線に基づいて求められる、
ことを特徴とするガス物性値の測定方法。 - 被測定ガスが通過するガス流路に取り付けられたマイクロフローセンサに含まれる複数のサーモパイルのうちの少なくともいずれかひとつから得られるセンサ出力を利用して、前記被測定ガスの物性値を測定する方法であって、
所定の計量温度における前記センサ出力である実センサ出力データを取得する実センサ出力データ取得工程と、
予め定められた前記被測定ガスの温度補正式を用いて、前記実センサ出力データを温度補正した補正センサ出力を求める補正センサ出力計算工程と、
前記補正センサ出力を用いて、前記被測定ガスの熱伝導率に係る所定の規格値を求める規格値計算工程と、
前記規格値と熱伝導率との関係を確定する確定工程と、
を含むことを特徴とするガス物性値の測定方法。 - 請求項4記載のガス物性値の測定方法において、
前記規格値は、
前記複数のサーモパイルに対応してそれぞれ決定された複数の前記補正センサ出力に基づいて求められる、
ことを特徴とするガス物性値の測定方法。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載のガス物性値の測定方法において、
前記物性値は、前記被測定ガスの熱伝導率との相関関係に基づいて計算される密度である、
ことを特徴とするガス物性値の測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003047112A JP4068475B2 (ja) | 2003-02-25 | 2003-02-25 | ガス物性値の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003047112A JP4068475B2 (ja) | 2003-02-25 | 2003-02-25 | ガス物性値の測定方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004257790A true JP2004257790A (ja) | 2004-09-16 |
JP4068475B2 JP4068475B2 (ja) | 2008-03-26 |
Family
ID=33113441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003047112A Expired - Fee Related JP4068475B2 (ja) | 2003-02-25 | 2003-02-25 | ガス物性値の測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4068475B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010236890A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Yamatake Corp | 物性値測定システム及び物性値測定方法 |
CN109655488A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-04-19 | 江苏海事职业技术学院 | 基于混合煤气预热燃烧的煤气热值软测量方法 |
CN109580711B (zh) * | 2018-12-17 | 2021-06-01 | 江苏海事职业技术学院 | 高炉煤气与转炉煤气混烧条件下的煤气热值软测量方法 |
-
2003
- 2003-02-25 JP JP2003047112A patent/JP4068475B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010236890A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-21 | Yamatake Corp | 物性値測定システム及び物性値測定方法 |
CN109655488A (zh) * | 2018-12-17 | 2019-04-19 | 江苏海事职业技术学院 | 基于混合煤气预热燃烧的煤气热值软测量方法 |
CN109655488B (zh) * | 2018-12-17 | 2021-03-30 | 江苏海事职业技术学院 | 基于混合煤气预热燃烧的煤气热值软测量方法 |
CN109580711B (zh) * | 2018-12-17 | 2021-06-01 | 江苏海事职业技术学院 | 高炉煤气与转炉煤气混烧条件下的煤气热值软测量方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4068475B2 (ja) | 2008-03-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6662121B1 (en) | Thermal fluid sensor, fluid discriminating apparatus and method, flow sensor, and flow rate measuring apparatus and method | |
ES2705433T3 (es) | Método para la compensación de deriva de temperatura de dispositivo de medición de temperatura que usa termopar | |
KR100791431B1 (ko) | 유체 계측 장치 및 유체 계측 방법 | |
JP5304766B2 (ja) | 流量測定装置 | |
EP1657532A1 (en) | Thermal mass flow sensor | |
WO2003029759A1 (fr) | Instrument de mesure de debit | |
JP3726261B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP2007527990A (ja) | 温度較正の方法および構成 | |
JP4068475B2 (ja) | ガス物性値の測定方法 | |
EP3348969B1 (en) | Measurement of a fluid parameter and sensor device therefore | |
WO2019031329A1 (ja) | 風速測定装置および風量測定装置 | |
JP2004257789A (ja) | ガス物性値の測定方法 | |
JP2004294433A (ja) | 抵抗温度計用のキャリブレーション装置、気体組成分析計および抵抗温度計のキャリブレーション方法 | |
JP2007285849A (ja) | ガス濃度検出装置 | |
JP3210222B2 (ja) | 温度測定装置 | |
JP5511120B2 (ja) | ガス濃度検出装置 | |
JPH09297070A (ja) | 温度係数補正型温度検出装置 | |
JP4648662B2 (ja) | フローセンサの駆動方法および駆動回路 | |
JP3968324B2 (ja) | ガス物性値の測定装置 | |
JP3896060B2 (ja) | マイクロフローセンサを用いたガス密度測定方法 | |
JP7306259B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP3741029B2 (ja) | 気体流量計 | |
JP2003090751A (ja) | フローセンサ式流量計及びその校正方法 | |
JPH07295653A (ja) | マスフローコントローラ | |
JP4820017B2 (ja) | フローセンサを用いた流量計測装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050426 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080110 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110118 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4068475 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110118 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120118 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120118 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130118 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130118 Year of fee payment: 5 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130118 Year of fee payment: 5 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130118 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140118 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |