JP2004247721A - Method and apparatus for manufacturing electronic circuit board - Google Patents

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Tetsuya Hayashi
徹也 林
Takayoshi Akamatsu
孝義 赤松
Futoshi Okuyama
太 奥山
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for manufacturing a high-precision electronic circuit board which can peel a flexible sheet forming a flexible electronic circuit board from a reinforcing plate in low stress, even if electronic parts are mounted. <P>SOLUTION: A peeling member is inserted between a reinforcing plate of an electronic circuit board member and the flexible sheet in which an electronic circuit pattern is formed on the reverse surface to the sticking surface of the flexible sheet stuck on one side of the reinforcing plate. The flexible sheet is peeled from the reinforcing plate. <P>COPYRIGHT: (C)2004,JPO&NCIPI

Description

本発明は、電子回路基板を製造する方法および装置に関する。   The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing an electronic circuit board.

電子回路基板を製造する方法にはいろいろあるが、各種のエレクトロニクス製品に多用されている、いわゆるフレキシブル電子回路基板を製造する方法の一つに、ガラス板等の剛性を有する補強板の一面に、ポリイミド等の薄いシートからなる、フレキシブル電子回路基板を形成する可撓性シートを貼着し、可撓性シートの、貼着面とは反対側の面に電子回路パターンを形成した後、補強板から可撓性シートを剥離する方法がある(特許文献1参照)。可撓性シートを、電子部品を実装した後に剥離する場合もある。このような方法においては、可撓性シートを応力が極力加わらないように剥離することが重要になる。剥離時に可撓性シートに応力が加わると、その表面に形成されている電子回路パターンに歪みができ、パターンの精度が低下してしまう。また、電子部品が実装されている場合には、電子部品の接続状態に異常を生じたり、著しい場合には電子部品が脱落してしまうこともある。特に、微細な電子回路パターンが形成されているようなものにあっては、μmオーダーで歪みを抑えることが要求されている。   There are various methods for manufacturing an electronic circuit board, and one of the methods for manufacturing a so-called flexible electronic circuit board, which is frequently used for various electronic products, is to use one side of a rigid reinforcing plate such as a glass plate. After attaching a flexible sheet that forms a flexible electronic circuit board made of a thin sheet of polyimide or the like, and forming an electronic circuit pattern on the surface of the flexible sheet opposite to the attachment surface, a reinforcing plate There is a method of peeling a flexible sheet from a sheet (see Patent Document 1). The flexible sheet may be peeled off after mounting the electronic component. In such a method, it is important to peel the flexible sheet so that stress is not applied as much as possible. When a stress is applied to the flexible sheet at the time of peeling, the electronic circuit pattern formed on the surface is distorted, and the precision of the pattern is reduced. In addition, when the electronic component is mounted, an abnormality may occur in the connection state of the electronic component, and when the electronic component is severe, the electronic component may fall off. In particular, in the case where a fine electronic circuit pattern is formed, it is required to suppress distortion in the order of μm.

ところで、電子回路基板の分野において、剛性を有する基板に貼られた可撓性フィルムを剥離するようなことは、たとえば、銅張積層板のようなプリント配線基板において行われている。このようなプリント配線基板においては、保存時や運搬時の保護のために表面に保護フィルムが貼られていることがあり、使用時にこの保護フィルムを剥離することが必要になるからである。この剥離は、たとえば、保護フィルムの一隅に粘着テープを貼り付け、その粘着テープを持ち上げて保護フィルムを部分的に剥離した後、保護フィルムを対角線方向に引っ張ることによって行っている(例えば、特許文献2参照)。しかしながら、かかる方法は、保護フィルムの貼り合せ強度にもよるが、剥離時に保護フィルムに大きな引き剥し応力が加わるので、上述した方法における可撓性シートの剥離に適用するには難がある。
特開2003−101193号公報 特開平5−319675号公報
By the way, in the field of electronic circuit boards, peeling of a flexible film attached to a rigid substrate is performed on a printed wiring board such as a copper-clad laminate, for example. This is because in such a printed wiring board, a protective film may be attached to the surface for protection during storage or transportation, and it is necessary to peel off the protective film during use. This peeling is performed, for example, by attaching an adhesive tape to one corner of the protective film, lifting the adhesive tape to partially peel off the protective film, and then pulling the protective film diagonally (for example, see Patent Document 1). 2). However, although this method depends on the bonding strength of the protective film, a large peeling stress is applied to the protective film at the time of peeling, so it is difficult to apply the method to the peeling of the flexible sheet in the above-described method.
JP 2003-101193 A JP-A-5-319675

本発明は、従来の技術の上述した要求に鑑みてなされたもので、その目的は、補強板からフレキシブル電子回路基板を形成する可撓性シートを低い応力で剥離することができ、たとえ電子部品が実装されている場合であっても、高精度の電子回路基板を得ることができる方法と装置を提供する。   The present invention has been made in view of the above-mentioned demands of the related art, and an object of the present invention is to enable a flexible sheet forming a flexible electronic circuit board to be peeled from a reinforcing plate with low stress. Provided is a method and an apparatus capable of obtaining a high-precision electronic circuit board even when is mounted.

すなわち本発明は以下の構成からなる。
(1)補強板の一面に貼着された可撓性シートの貼着面とは反対側の面に電子回路パターンを形成してなる電子回路基板部材の補強板と可撓性シートとの間に剥離部材を挿通し、補強板から可撓性シートを剥離することを特徴とする電子回路基板の製造方法。
(2)剥離部材がくさび形であることを特徴とする上記(1)に記載の電子回路基板の製造方法。
(3)補強板としてガラス板を用いる、上記(1)に記載の電子回路基板の製造方法。
(4)可撓性シートを電子部品を実装した後に剥離する、上記(1)に記載の電子回路基板の製造方法。
(5)剥離に際して電子回路基板部材を加熱する、上記(1)に記載の電子回路基板の製造方法。
(6)補強板の一面に貼着された可撓性シートの貼着面とは反対側の面に電子回路パターンを形成してなる電子回路基板部材が保持される保持手段と、剥離部材を有する、可撓性シートの剥離手段と、これら保持手段と剥離手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする電子回路基板の製造装置。
(7)剥離部材がくさび形であることを特徴とする上記(6)に記載の電子回路基板の製造装置。
(8)保持手段が電子回路基板部材の加熱手段を含んでいる、上記(6)に記載の電子回路基板の製造装置。
(9)剥離手段が剥離部材の位置決め機構を備えている、上記(6)に記載の電子回路基板の製造装置。
(10)剥離部材が片刃のくさびである、上記(6)に記載の電子回路基板の製造装置。
(11)上記(1)〜(5)のいずれかに記載の方法または上記(6)〜10のいずれかに記載の装置によって製造された電子回路基板。
That is, the present invention has the following configurations.
(1) Between the reinforcing sheet and the flexible sheet of the electronic circuit board member having an electronic circuit pattern formed on the surface opposite to the attaching surface of the flexible sheet attached to one surface of the reinforcing plate A method for manufacturing an electronic circuit board, comprising: inserting a peeling member through a flexible sheet; and peeling the flexible sheet from the reinforcing plate.
(2) The method for manufacturing an electronic circuit board according to the above (1), wherein the peeling member has a wedge shape.
(3) The method for manufacturing an electronic circuit board according to the above (1), wherein a glass plate is used as a reinforcing plate.
(4) The method for manufacturing an electronic circuit board according to (1), wherein the flexible sheet is peeled after mounting the electronic component.
(5) The method for manufacturing an electronic circuit board according to (1), wherein the electronic circuit board member is heated at the time of peeling.
(6) holding means for holding an electronic circuit board member having an electronic circuit pattern formed on a surface of the flexible sheet affixed to one surface of the reinforcing plate opposite to the affixing surface; An apparatus for manufacturing an electronic circuit board, comprising: a flexible sheet peeling means; and a moving means for relatively moving the holding means and the peeling means.
(7) The apparatus for manufacturing an electronic circuit board according to (6), wherein the peeling member has a wedge shape.
(8) The apparatus for manufacturing an electronic circuit board according to (6), wherein the holding unit includes a heating unit for the electronic circuit board member.
(9) The apparatus for manufacturing an electronic circuit board according to (6), wherein the peeling means includes a positioning mechanism for the peeling member.
(10) The apparatus for manufacturing an electronic circuit board according to (6), wherein the peeling member is a single-edged wedge.
(11) An electronic circuit board manufactured by the method according to any one of (1) to (5) or the device according to any one of (6) to (10).

本発明によれば、可撓性シートを接合剤層を介して補強板に貼り合わせ、寸法精度を維持することで、高精度な回路パターンを形成した後、あるいは、さらに電子部品を回路パターンに接合した後、補強板からフレキシブル電子回路基板を形成する可撓性シートを低い応力でダメージなく剥離することができ、たとえ電子部品が実装されている場合であっても、高精度の電子回路基板を得ることができる。   According to the present invention, by attaching a flexible sheet to a reinforcing plate via a bonding agent layer and maintaining dimensional accuracy, a high-precision circuit pattern is formed, or further, an electronic component is formed into a circuit pattern. After bonding, the flexible sheet forming the flexible electronic circuit board can be peeled from the reinforcing plate with low stress without damage, and even when electronic components are mounted, a high-precision electronic circuit board can be used. Can be obtained.

上記において、補強板は、その上に貼着される可撓性シートの形態を維持するためのもので、剛性を有し、容易に塑性変形することがなく、熱や吸湿による寸法変化が小さく、表面平滑性にも優れた、たとえば、ホウケイ酸ガラス等のガラス板や、アルミナ等のセラミックス板や、ガラス繊維強化樹脂板のようなものである。なかでも、比較的安価なガラス板を用いるのが好ましい。厚みは、材質等にもよるが、0.3〜1.1mm程度である。   In the above, the reinforcing plate is for maintaining the form of the flexible sheet adhered thereon, has rigidity, does not easily plastically deform, and has a small dimensional change due to heat and moisture absorption. For example, a glass plate made of borosilicate glass or the like, a ceramic plate made of alumina or the like, or a glass fiber reinforced resin plate having excellent surface smoothness can be used. Especially, it is preferable to use a relatively inexpensive glass plate. The thickness is about 0.3 to 1.1 mm, depending on the material and the like.

補強板の上には、フレキシブル電子回路基板を形成する可撓性シートを貼着する。可撓性シートは、たとえば、厚みが4〜125μm程度のポリエチレンテレフタレートシート、ポリフェニレンサルファイドシート、ポリイミドシート等の合成樹脂シートからなっている。なかでも、耐熱性に優れ、耐薬品性にも優れるポリイミドシートを用いるのが好ましい。   A flexible sheet forming a flexible electronic circuit board is attached on the reinforcing plate. The flexible sheet is made of, for example, a synthetic resin sheet such as a polyethylene terephthalate sheet, a polyphenylene sulfide sheet, and a polyimide sheet having a thickness of about 4 to 125 μm. Among them, it is preferable to use a polyimide sheet which is excellent in heat resistance and chemical resistance.

補強板への可撓性シートの貼着には、アクリル系、ウレタン系、シリコーン系等の、一般に再剥離剤と呼ばれる接着剤や粘着剤を用いることができる。これらの接着剤や粘着剤は、補強板と可撓性シートとの間に一様な厚みの層として介在させるのが好ましい。この、いわゆる接合剤層の厚みは、あまり薄いと剥離部材を挿通させにくくなり、また、あまり厚いと電子部品を実装する際の熱によって可撓性シートが歪んだりすることがあるので、0.5〜5μm程度の厚みとするのが好ましい。なお、これら接着剤や粘着剤は、スピンコータ、ロールコータ、ダイコータ等の塗布装置を用いて、通常、補強板上に塗布される。   For attaching the flexible sheet to the reinforcing plate, an adhesive or pressure-sensitive adhesive generally called a re-peeling agent such as an acrylic, urethane, or silicone can be used. These adhesives and pressure-sensitive adhesives are preferably interposed between the reinforcing plate and the flexible sheet as a layer having a uniform thickness. If the thickness of the so-called bonding agent layer is too small, it becomes difficult to insert the peeling member. If the thickness is too large, the flexible sheet may be distorted by heat when mounting the electronic component. The thickness is preferably about 5 to 5 μm. Note that these adhesives and pressure-sensitive adhesives are usually applied onto a reinforcing plate using an application device such as a spin coater, a roll coater, or a die coater.

接合剤は弱粘着性であることが可撓性シートの剥離を容易にでき好ましい。具体的な剥離力としては、接合層を介して補強板と貼り合わせた1cm幅の可撓性シートを剥離するときの180°方向ピール強度が0.098N/mから98N.mの範囲であることが好ましい。ただし、剥離力を測定するときの剥離速度を300mm/分とする。   It is preferable that the bonding agent is weakly adhesive because the flexible sheet can be easily peeled off. As a specific peeling force, the 180 ° peel strength at the time of peeling a 1 cm wide flexible sheet bonded to a reinforcing plate via a bonding layer is from 0.098 N / m to 98 N.m. It is preferably in the range of m. However, the peeling speed when measuring the peeling force is 300 mm / min.

可撓性シートへの電子回路パターンの形成は、たとえば、よく知られた印刷法によることができる。また、フォトレジストを用いるサブトラクティブ法、セミアディティブ法、フルアディティブ法によることができる。   The formation of the electronic circuit pattern on the flexible sheet can be performed by, for example, a well-known printing method. In addition, a subtractive method using a photoresist, a semi-additive method, or a full-additive method can be used.

補強板からの可撓性シートの剥離、離脱には、後述する剥離部材を用いる。これにより、可撓性シートをそれに大きな応力を加えることなく剥離することができるようになる。剥離に際して、電子回路基板部材を加熱すると、補強板と可撓性シートとの貼着力が下がり、より低い応力で剥離を行うことができるようになる。なお、補強板からの可撓性シートの剥離は、電子部品、たとえばICチップや抵抗素子、容量素子を実装する前に行うこともできるが、可撓性シートが補強板で支えられている間のほうが実装を行いやすく、また、高精度な実装ができる。したがって、実装の後に剥離するのが好ましい。なお、剥離後に可撓性シートに接着剤や粘着剤が残存しているような場合等、必要に応じて剥離後の可撓性シートを洗浄することもできる。洗浄には、有機溶剤や、中性の水溶性洗浄液等を用いることができる。   A peeling member to be described later is used for peeling and separating the flexible sheet from the reinforcing plate. Thereby, the flexible sheet can be peeled off without applying a large stress thereto. When the electronic circuit board member is heated at the time of peeling, the adhesive force between the reinforcing plate and the flexible sheet is reduced, and the peeling can be performed with lower stress. Note that the peeling of the flexible sheet from the reinforcing plate can be performed before mounting electronic components, for example, an IC chip, a resistor, and a capacitor, but while the flexible sheet is supported by the reinforcing plate. Is easier to implement, and can be implemented with higher precision. Therefore, it is preferable to peel off after mounting. In addition, the flexible sheet after peeling can be washed as needed, for example, when an adhesive or a pressure-sensitive adhesive remains on the flexible sheet after peeling. For cleaning, an organic solvent, a neutral water-soluble cleaning liquid, or the like can be used.

本発明はまた、上記目的を達成するために、補強板の一面に貼着された可撓性シートの貼着面とは反対側の面に電子回路パターンを形成してなる電子回路基板部材が保持される保持手段と、剥離部材を有する、可撓性フィルムの剥離手段と、これら保持手段と剥離手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする電子回路基板の製造装置を提供する。   The present invention also provides an electronic circuit board member having an electronic circuit pattern formed on a surface opposite to a bonding surface of a flexible sheet bonded to one surface of a reinforcing plate. An electronic circuit board, comprising: a holding means to be held; a peeling means for a flexible film having a peeling member; and a moving means for relatively moving the holding means and the peeling means. Provide a manufacturing device.

上記において、保持手段は、補強板の一面に貼着された可撓性シートの貼着面とは反対側の面に電子回路パターンを形成してなる電子回路基板部材を所定の位置に正しく保持するためのもので、たとえば、減圧源に接続された多孔板等からなる載置テーブルを有するようなものである。電子回路基板部材は、載置テーブル上に載せられ、減圧源による吸着作用によってその載置テーブル上に吸着保持される。   In the above, the holding means correctly holds the electronic circuit board member having the electronic circuit pattern formed on the surface opposite to the sticking surface of the flexible sheet attached to one surface of the reinforcing plate at a predetermined position. For example, it has a mounting table made of a perforated plate or the like connected to a reduced pressure source. The electronic circuit board member is mounted on the mounting table, and is suction-held on the mounting table by the suction action of the reduced pressure source.

保持手段は、また、電子回路基板部材の加熱手段を備えているのが好ましい。加熱手段は、保持手段の、たとえば載置テーブルに内蔵されてもよく、載置テーブルに対向して、たとえば赤外線ランプや熱風送風機等を設けることであってもよい。   Preferably, the holding means further comprises heating means for the electronic circuit board member. The heating means may be built in, for example, the mounting table of the holding means, or may be provided with, for example, an infrared lamp, a hot air blower, or the like, facing the mounting table.

剥離手段は、剥離部材の位置決め機構を備えているのが好ましい。これにより、剥離部材を電子回路基板部材の所定の部位に正しく整合させることができるようになり、可撓性シートの剥離をより高精度で行うことができるようになる。そのような位置決め機構は、たとえば、調整ねじ機構として構成することができる。   The peeling means preferably includes a positioning mechanism for the peeling member. Accordingly, the peeling member can be correctly aligned with a predetermined portion of the electronic circuit board member, and the flexible sheet can be peeled with higher precision. Such a positioning mechanism can be configured, for example, as an adjusting screw mechanism.

本発明の剥離部材としては、くさび形、薄板形あるいはワイヤー形などの形状が採用できるが、いずれも補強板と可撓性シートの間に挿通できるだけの薄さと剥離を進行できる剛性を備える。剥離部材の挿通により、電子回路が形成された可撓性シートを補強板から剥離する際に、剥離点で可撓性シートと補強板とがなす角で定義する剥離角が大きくなると、可撓性シートがカールしたり、折れたりする。剥離部材の形状や厚みなどを選択し、剥離角を80°以下にすることが好ましく、70°以下にすることがさらに好ましい。   As the peeling member of the present invention, a shape such as a wedge shape, a thin plate shape, or a wire shape can be adopted, and all of them have a thickness enough to be inserted between the reinforcing plate and the flexible sheet and a rigidity capable of progressing the peeling. When the flexible sheet on which the electronic circuit is formed is peeled off from the reinforcing plate by the insertion of the peeling member, if the peeling angle defined by the angle between the flexible sheet and the reinforcing plate at the peeling point increases, Sheet is curled or broken. The shape and thickness of the peeling member are selected, and the peel angle is preferably 80 ° or less, more preferably 70 ° or less.

くさび形の剥離部材は、切削性に優れる工具鋼等からなる。片刃のくさびであるのが好ましい。両刃のくさびであってもよいが、両刃のくさびは可撓性シートを剥離するときの剥離角が片刃のものにくらべて大きくなるので、その分、可撓性シートに歪みを与えやすい。刃先角は、大きすぎると可撓性シートがカールしたり、著しい場合には折れたりするようになり、また、小さすぎると機械的強度を保てなくなるので、5〜30°、好ましくは5〜20°の範囲内とするのがよい。なお、くさびは、見掛上の刃先角を小さくするために、刃先が挿通面に向かうようにやや傾斜させて用いるのが好ましい。   The wedge-shaped peeling member is made of tool steel or the like having excellent machinability. Preferably it is a single-edged wedge. A double-edge wedge may be used, but since the peel angle of the double-edge wedge when peeling the flexible sheet is larger than that of a single-edge wedge, the flexible sheet is likely to be distorted accordingly. When the blade angle is too large, the flexible sheet curls or breaks when it is remarkable, and when it is too small, the mechanical strength cannot be maintained, so that it is 5 to 30 °, preferably 5 to 30 °. It is better to be within the range of 20 °. The wedge is preferably used with a slight inclination so that the cutting edge is directed toward the insertion surface in order to reduce the apparent cutting edge angle.

薄板形の剥離部材の厚みは、補強板と可撓性シートの間に挿通でき、かつ剥離される可撓性シートが剥離の際に大きく曲げられることがないように100μm以下であることが好ましく、50μm以下であることがさらに好ましい。一方、補強板と可撓性シートとの間に挿通できるだけの剛性を確保するためには、薄板型の剥離部材の厚みは、4μm以上であることが好ましい。薄板形の剥離部材には、帯状の金属や樹脂が採用できる。剥離進行に伴う応力に耐えるように剛性が高い材料を用いることが好ましく、金属では工具鋼が好適に採用でき、樹脂ではアラミドフィルムや液晶ポリマーフィルムが好適に採用できる。形態を保持するために、薄板形の剥離部材の長さ方向に張力を与えることが好ましい。張力の与え方としては、帯状の剥離部材の両端を把持して引っ張る方法や帯状の剥離部材の両端を繋ぎ、輪にして、2つ以上の支持点間に張力を加える方法がある。上記のくさび形剥離部材においても全体が非常に薄く自己形態保持性が不足する場合は、長さ方向に張力を与えたり、帯状の剥離部材を輪にして、2つ以上の支持点間に張力を加えることが好ましい。帯状の剥離部材を輪にして用いることについて、一態様を図5を使って説明する。帯状の剥離部材8は端部をつなぎ合わされて輪になっている。この輪に張力を加えて駆動ロール9、10間に渡し、矢印Aの方向に駆動する。剥離部材8が補強板と可撓性シートの間に挿通されるように図示されていない駆動ロール保持機構あるいは電子回路基板部材保持手段を上下させて、剥離部材8と電子回路基板部材とを位置合わせして、矢印Bの方向から電子回路基板部材を剥離部材に接触させ、端部から徐々に可撓性シートを剥離する。   The thickness of the thin plate-shaped peeling member is preferably 100 μm or less so that the flexible sheet that can be inserted between the reinforcing plate and the flexible sheet and is not greatly bent at the time of peeling. , 50 μm or less. On the other hand, in order to secure rigidity enough to be inserted between the reinforcing plate and the flexible sheet, it is preferable that the thickness of the thin plate type peeling member is 4 μm or more. A strip-shaped metal or resin can be adopted as the thin plate-shaped peeling member. It is preferable to use a material having high rigidity so as to withstand the stress caused by the progress of peeling. For metal, tool steel can be suitably used, and for resin, aramid film or liquid crystal polymer film can be suitably used. In order to maintain the shape, it is preferable to apply tension in the length direction of the thin plate-shaped peeling member. As a method of applying the tension, there are a method of gripping and pulling both ends of the strip-shaped peeling member, and a method of connecting both ends of the strip-shaped peeling member to form a loop and apply tension between two or more support points. If the wedge-shaped peeling member is too thin and lacks self-retention, the tension may be applied in the length direction or the belt-shaped peeling member may be looped to provide tension between two or more support points. Is preferably added. One mode of using a strip-shaped peeling member as a ring will be described with reference to FIGS. The strip-shaped stripping members 8 are joined together at their ends to form a ring. The wheel is tensioned and passed between the drive rolls 9 and 10 and driven in the direction of arrow A. The drive roll holding mechanism or the electronic circuit board member holding means (not shown) is moved up and down so that the peeling member 8 is inserted between the reinforcing plate and the flexible sheet, and the peeling member 8 and the electronic circuit board member are positioned. At the same time, the electronic circuit board member is brought into contact with the peeling member from the direction of arrow B, and the flexible sheet is gradually peeled from the end.

剥離部材を輪にした場合、輪を作る帯の長さ方向に剥離部材を均等に使用して寿命を延ばすためと張力を加えやすくするために、2つ以上のロール間に輪をわたして回転させることが好ましい。さらに、輪を回転させつつ剥離を進行させ、かつ、輪を作る帯の幅方向端部を研磨することが剥離部材の寿命を延ばし、また、剥離された可撓性シートにカール、折れ、ささくれを発生させない点で好ましい。輪に加工することなく、帯状のままでも長さ方向に均等に使用するために帯の長さ方向に往復運動させつつ剥離することが好ましい。   When a peeling member is used as a loop, rotate the wheel between two or more rolls in order to extend the life of the peeling member evenly in the length direction of the loop to extend the life and to easily apply tension. Preferably. Further, the peeling is advanced while rotating the ring, and polishing the widthwise end of the belt forming the ring extends the life of the peeling member. In addition, the peeled flexible sheet curls, breaks, and sags. Is not preferred. In order to use the belt evenly in the length direction without processing it into a ring, it is preferable to peel off the belt while reciprocating in the length direction of the band.

ワイヤー形の剥離部材の太さは、補強板と可撓性シートの間に挿通でき、かつ剥離される可撓性シートが剥離の際に大きく曲げられる(剥離角が大きい)ことがないように100μm以下であることが好ましく、50μm以下であることがさらに好ましい。ワイヤー形の剥離部材には、金属ワイヤーや樹脂ワイヤーが採用できる。薄板形の剥離部材と同様に、形態を保持するために、ワイヤー形剥離部材の長さ方向に張力を与えることが好ましい。   The thickness of the wire-shaped peeling member is set so that the flexible sheet can be inserted between the reinforcing plate and the flexible sheet, and the flexible sheet to be peeled is not largely bent (peeling angle is large) at the time of peeling. It is preferably 100 μm or less, more preferably 50 μm or less. A metal wire or a resin wire can be adopted as the wire-shaped peeling member. It is preferable to apply tension in the length direction of the wire-shaped peeling member in order to maintain the shape, similarly to the thin plate-shaped peeling member.

上記の剥離部材において、剥離開始が容易である点でくさび形の剥離部材が優れている。   Among the above peeling members, a wedge-shaped peeling member is excellent in that the peeling is easily started.

保持手段と剥離手段とを相対的に移動させる移動手段は、剥離手段を移動させることによることもできるが、通常は、剥離手段を固定とし、保持手段を移動させるように構成する。たとえば、基台と、この基台上に敷設したレールとを有するものとして構成することができる。レール上には、上述の載置テーブルが載せられる。載置テーブルは、たとえばサーボモータによるボールねじ機構によってレール上を往動し、また、復動せしめられる。   The moving means for relatively moving the holding means and the peeling means can be based on moving the peeling means, but usually, the peeling means is fixed and the holding means is moved. For example, it can be configured as having a base and a rail laid on the base. The mounting table described above is mounted on the rail. The mounting table is moved forward and backward on the rail by a ball screw mechanism by a servomotor, for example.

図1、図2、図3は、本発明の一形態に係る電子回路基板の製造装置を示す。図1において、装置は、上面にレール1が敷設された基台2を有する。レール1上には、載置テーブル3が載せられている。この載置テーブル3は、図示しない、サーボモータで駆動されるボールねじに連結されており、サーボモータが駆動されることでレール1上を図面左右方向に往復動することができる。   FIGS. 1, 2 and 3 show an apparatus for manufacturing an electronic circuit board according to one embodiment of the present invention. In FIG. 1, the apparatus has a base 2 on which a rail 1 is laid on the upper surface. A mounting table 3 is mounted on the rail 1. The mounting table 3 is connected to a ball screw (not shown) driven by a servomotor, and can reciprocate on the rail 1 in the left-right direction in the drawing by driving the servomotor.

基台2には、また、フレーム7が装着されており、このフレーム7には、複数個のフリーロール4、4、・・・が図面左右方向に一定の高さで並べて装着されている。   A frame 7 is mounted on the base 2, and a plurality of free rolls 4, 4,... Are mounted on the frame 7 side by side at a constant height in the horizontal direction in the drawing.

レール1の上方には、昇降自在に設けた剥離手段5が設置されている。この剥離手段5は、調整ねじ機構等からなる高さ調整機構5aと、この高さ調整機構5aに連結されたクレードル5bと、このクレードル5bに装着されたくさび5cとを有している。高さ調整手段5aは、くさび5cの刃先の高さを調整するもので、これにより、剥離手段5が下降したときに、刃先5cを、後述する電子回路基板部材6の接合剤層6bと可撓性シート6cとの界面に正しく整合させることができるようになる。また、剥離手段5は、図2に示すように、両持構造として構成されており、後述するように、補強板から剥離される可撓性シートがクレードル5b、5b間を通り抜けることができるようになっている。   Above the rail 1, a peeling means 5 is provided so as to be movable up and down. The peeling means 5 has a height adjusting mechanism 5a such as an adjusting screw mechanism, a cradle 5b connected to the height adjusting mechanism 5a, and a wedge 5c mounted on the cradle 5b. The height adjusting means 5a adjusts the height of the cutting edge of the wedge 5c, so that when the peeling means 5 is lowered, the cutting edge 5c can be connected to the bonding agent layer 6b of the electronic circuit board member 6 described later. It becomes possible to correctly match the interface with the flexible sheet 6c. Further, as shown in FIG. 2, the peeling means 5 is configured as a double-sided structure so that the flexible sheet peeled from the reinforcing plate can pass between the cradle 5b and 5b as described later. It has become.

さて、この形態の装置においては、まず、図1に示すように、電子回路基板部材6を載置テーブル3上に載置し、固定する。この電子回路基板部材6は、補強板6aと、この補強板6aに接合剤層6bを介して貼着された、補強板6aへの貼着面とは反対側の面に電子回路パターンを形成してなる可撓性シート6cとを含んでいる。   In the apparatus of this embodiment, first, as shown in FIG. 1, the electronic circuit board member 6 is mounted on the mounting table 3 and fixed. The electronic circuit board member 6 has a reinforcing plate 6a and an electronic circuit pattern formed on a surface of the reinforcing plate 6a that is attached to the reinforcing plate 6a via a bonding agent layer 6b and that is opposite to a surface attached to the reinforcing plate 6a. And a flexible sheet 6c.

次に、剥離手段5を下降させるとともに、載置テーブル3をレール1上を矢印方向(図面右方向)に向かって一定の速度で移動させる。載置テーブル3が移動すると、その移動に伴って、図3に示すように、剥離手段5のくさび5cが電子回路基板部材6の接合剤層6bと可撓性シート6cとの界面に挿通され、可撓性シート6cが接合剤層6bから剥離される。すなわち、可撓性シート6cが補強板6aから剥離、離脱される。くさび5cが補強板6aと接合剤層6bの界面もしくは接合剤層6b中に層通された場合でも接合剤層と可撓性シートとの剥離力を補強板と接合剤層との剥離力や接合剤層の内部破壊に比べて充分小さくしておくことによって、剥離が数mm〜数cm進と剥離界面は自然に接合剤層6bと可撓性シート6cの界面に移動する。   Next, the peeling means 5 is lowered, and the mounting table 3 is moved on the rail 1 at a constant speed in the direction of the arrow (rightward in the drawing). When the mounting table 3 moves, the wedge 5c of the peeling means 5 is inserted into the interface between the bonding agent layer 6b of the electronic circuit board member 6 and the flexible sheet 6c as shown in FIG. Then, the flexible sheet 6c is separated from the bonding agent layer 6b. That is, the flexible sheet 6c is peeled and separated from the reinforcing plate 6a. Even when the wedge 5c is laid through the interface between the reinforcing plate 6a and the bonding agent layer 6b or in the bonding agent layer 6b, the peeling force between the bonding agent layer and the flexible sheet is determined by the peeling force between the reinforcing plate and the bonding agent layer. By making it sufficiently smaller than the internal destruction of the bonding agent layer, the separation proceeds by several mm to several cm and the separation interface naturally moves to the interface between the bonding agent layer 6b and the flexible sheet 6c.

剥離される可撓性シート6cは、載置テーブル3のさらなる移動に伴い、図2に示した、剥離部材5のクレードル5b、5b間を通り抜け、図3に2点鎖線で示すように、フリーロール4、4、・・・上に載せられ、図示しない移載手段等によって次の工程に運ばれる。   The flexible sheet 6c to be peeled passes through between the cradle 5b and the cradle 5b of the peeling member 5 shown in FIG. 2 with further movement of the mounting table 3, and becomes free as shown by a two-dot chain line in FIG. Are placed on the rolls 4, 4,... And transported to the next step by a transfer means (not shown).

次に、剥離手段5を下降前の位置に上昇させるとともに、載置テーブル3を図面左方に向かって復動させる。載置テーブル3が元の位置まで復動すると、図示しない移載手段が、載置テーブル3上の、可撓性シート6cが剥離、離脱せしめられた後の電子回路基板部材を取り除き、新しい電子回路基板部材を載置テーブル3上に載せる。以後、同様の操作を繰り返すことによって電子回路基板を次々に製造する。   Next, the peeling means 5 is raised to the position before the lowering, and the mounting table 3 is moved back to the left in the drawing. When the mounting table 3 is returned to the original position, the transfer means (not shown) removes the electronic circuit board member from the mounting table 3 after the flexible sheet 6c has been peeled off and separated, and a new electronic device is mounted. The circuit board member is placed on the placing table 3. Thereafter, electronic circuit boards are manufactured one after another by repeating the same operation.

上記において、載置テーブルの移動速度は、電子回路基板部材の接合剤層を形成している接着剤や粘着剤の種類等、すなわち接合力や、くさびの刃先角度等にもよるが、速すぎると剥離面が不均一になったり剥離される可撓性シートに皺等ができることがあり、また、遅すぎると製造効率が悪くなるので、50〜1,000mm/分程度とするのがよい。   In the above description, the moving speed of the mounting table depends on the type of the adhesive or the pressure-sensitive adhesive forming the bonding agent layer of the electronic circuit board member, that is, the bonding force or the wedge edge angle, but is too fast. In some cases, the release sheet may become uneven or wrinkles may be formed on the flexible sheet to be peeled off, and if it is too slow, the production efficiency deteriorates.

図4は、本発明の剥離手段5の別の一形態の説明図である。クレドール5bに薄板形の剥離部材5dが装着されている。薄板形の剥離部材5dは、クレドール5bに設けられた把持手段5eにより端部を固定されており、かつ長さ方向に張力が加えられている。薄板形の剥離部材を用いる場合は、補強板と可撓性シートの剥離開始位置を数mm程度あらかじめ別の手段で剥がしておくことが薄板形の剥離部材を補強板と可撓性シートとの間に層通できる点で好ましい。剥離開始位置から数mm程度であれば、電子回路基板の有効エリア外とすることができるので、剥離開始位置付近において剥離後の品位が悪くとも許容することができる。また、剥離開始位置付近数mm程度の可撓性シートと補強板との間に接合剤層を設けないことや可撓性シートを補強板から数mmはみ出させておくことも同様の効果があり好ましい。   FIG. 4 is an explanatory view of another embodiment of the peeling means 5 of the present invention. A cradle 5b is provided with a thin stripping member 5d. The end of the thin plate-shaped peeling member 5d is fixed by a gripping means 5e provided on the cradle 5b, and tension is applied in the length direction. When using a thin plate-shaped peeling member, the peeling start position of the reinforcing plate and the flexible sheet may be peeled off by about several mm in advance by another means. This is preferable in that it allows layers to pass between them. If it is about several mm from the peeling start position, it can be out of the effective area of the electronic circuit board, so that the quality after peeling near the peeling start position can be tolerated. Also, the same effect can be obtained by not providing a bonding agent layer between the flexible sheet and the reinforcing plate about several mm in the vicinity of the peeling start position, and making the flexible sheet protrude a few mm from the reinforcing plate. preferable.

実施例1:
補強板として、厚みが1.1mmで、300mm角のアルミノホウケイ酸塩ガラス板を、可撓性シートとして、厚みが25μmで、290mm角のポリイミドシート(東レデュポン株式会社製“カプトン”100EN)をそれぞれ用意した。
Example 1
As a reinforcing plate, an aluminoborosilicate glass plate having a thickness of 1.1 mm and a square of 300 mm, and as a flexible sheet, a polyimide sheet having a thickness of 25 μm and a square of 290 mm (“Kapton” 100EN manufactured by Toray Dupont Co., Ltd.) Each was prepared.

次に、上記ガラス板の上に、ダイコータを用いて、紫外線硬化型アクリル系粘着剤(綜研化学株式会社製“SKダイン”SW−22)と、同社製硬化剤L45とを重量比で50:1になるように混合したものを塗布し、80℃で2分間乾燥した。乾燥後の粘着剤層(接合剤層)の厚みは2μmであった。次に、粘着剤層の上に、ロール式ラミネータを用いて上記ポリイミドシートを貼り付け、ガラス板側から紫外線を照射して粘着剤を硬化させた。次に、ポリイミドシートの上に、スパッタリングによって、厚みが5nmのクロム・ニッケル合金膜と、厚みが200nmの銅膜をこの順序で形成した。次に、スピンコータを用いて、銅膜上にポジ型フォトレジストを塗布し、80℃で10分間乾燥し、フォトレジスト層を形成した。フォトレジスト層の厚みは10μmであった。次に、フォトマスクを介してフォトレジスト層を露光した後、現像した。   Next, using a die coater, an ultraviolet-curable acrylic pressure-sensitive adhesive (“SK Dyne” SW-22 manufactured by Soken Chemical Co., Ltd.) and a hardening agent L45 manufactured by Soken Chemical Co., Ltd. were used in a weight ratio of 50: The mixture was adjusted to 1 and dried at 80 ° C. for 2 minutes. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer (bonding agent layer) after drying was 2 μm. Next, the polyimide sheet was attached on the adhesive layer using a roll laminator, and the adhesive was cured by irradiating ultraviolet rays from the glass plate side. Next, a chromium / nickel alloy film having a thickness of 5 nm and a copper film having a thickness of 200 nm were formed in this order on the polyimide sheet by sputtering. Next, a positive type photoresist was applied on the copper film using a spin coater, and dried at 80 ° C. for 10 minutes to form a photoresist layer. The thickness of the photoresist layer was 10 μm. Next, the photoresist layer was exposed through a photomask and developed.

次に、120℃で10分間ポストベークした後、銅膜を電極として厚みが5μmの銅層を電解めっきで形成した。次に、フォトレジスト層を剥離液で剥離し、過酸化水素・硫酸系水溶液によるソフトエッチングによってフォトレジスト層の下の銅膜とクロム・ニッケル合金膜を除去し、さらに無電界めっき法を用いて銅膜上に厚み0.4μmの錫層を形成し、電子回路パターンを得た。次に、フリップチップボンダを用い、電子回路パターン上にモデルICチップを装着し、電子回路基板部材を形成した。   Next, after post-baking at 120 ° C. for 10 minutes, a copper layer having a thickness of 5 μm was formed by electrolytic plating using the copper film as an electrode. Next, the photoresist layer is stripped with a stripping solution, the copper film and the chromium-nickel alloy film under the photoresist layer are removed by soft etching with a hydrogen peroxide / sulfuric acid-based aqueous solution, and further, using an electroless plating method. A tin layer having a thickness of 0.4 μm was formed on the copper film to obtain an electronic circuit pattern. Next, using a flip chip bonder, a model IC chip was mounted on the electronic circuit pattern to form an electronic circuit board member.

次に、図1〜3に示した装置を用い、図1〜3を用いて説明した方法によって、ポリイミドシートと粘着剤層との間に片刃のくさびを挿通し、ガラス板からポリイミドシートを徐々に剥離した。なお、片刃のくさびの刃先角は10°であり、載置テーブルの移動速度は300mm/分とした。得られたポリイミドシート、すなわちフレキシブル電子回路基板には、カールは認められなかった。また、モデルICチップの装着部においてもポリイミドシートを容易に剥離することができ、回路パターンに折れや変形が発生することもなかった。   Next, using the apparatus shown in FIGS. 1 to 3, a single-edge wedge is inserted between the polyimide sheet and the adhesive layer by the method described with reference to FIGS. 1 to 3, and the polyimide sheet is gradually removed from the glass plate. Was peeled off. The edge angle of the wedge of one edge was 10 °, and the moving speed of the mounting table was 300 mm / min. No curl was observed in the obtained polyimide sheet, that is, in the flexible electronic circuit board. Also, the polyimide sheet could be easily peeled off at the mounting portion of the model IC chip, and no break or deformation occurred in the circuit pattern.

実施例2:
実施例1において、剥離に先立って、載置テーブル上の電子回路基板部材を、赤外線ランプを用いて150℃に加熱した。剥離時の抵抗は実施例1にくらべて小さくなり、また、ポリイミドシートの剥離面に粘着剤の残存は認められなかった。また、モデルICチップの装着部においてもポリイミドシートを容易に剥離することができ、剥離後のカールも認められず、回路パターンに折れや変形が発生することもなかった。
Example 2:
In Example 1, prior to peeling, the electronic circuit board member on the mounting table was heated to 150 ° C. using an infrared lamp. The resistance at the time of peeling was smaller than that of Example 1, and no adhesive remained on the peeled surface of the polyimide sheet. Also, the polyimide sheet could be easily peeled off at the mounting portion of the model IC chip, no curl was observed after peeling, and no break or deformation occurred in the circuit pattern.

実施例3:
接合剤層をガラス基板に塗布する際に、塗布エリアを290mm×285mmとし、290mm角のポリイミドフィルムの一辺を5mmだけ接合剤層からはみ出させたこと以外は、実施例1と同様にして、電子回路パターンを得、さらに電子回路パターン上にモデルICを装着して電子回路基板部材を形成した。
Example 3
When applying the bonding agent layer to the glass substrate, the same as in Example 1 except that the application area was 290 mm × 285 mm and one side of the 290 mm square polyimide film was protruded by 5 mm from the bonding agent layer. A circuit pattern was obtained, and a model IC was mounted on the electronic circuit pattern to form an electronic circuit board member.

図1に示した剥離装置の剥離手段5のくさび形剥離部材を図4に示した薄板形剥離部材に換えた。薄板形剥離部材は、厚さ8μmのポリアミドフィルム(”アラミカ”東レ(株)製)で幅を30mmとし、クレドール5b間で張力をかけて保持した。ポリイミドフィルムの一辺が接合剤層からはみ出した箇所のポリイミドフィルムとガラス板との間に薄板形剥離部材を挿入し、載置テーブルを300mm/分で移動することで、ガラス板からポリイミドフィルムを剥離した。   The wedge-shaped peeling member of the peeling means 5 of the peeling device shown in FIG. 1 was replaced with the thin plate-shaped peeling member shown in FIG. The thin strip-shaped release member was made of a polyamide film having a thickness of 8 μm (“ALAMICA” manufactured by Toray Industries, Inc.) with a width of 30 mm, and was held under tension between credols 5b. Insert a thin stripping member between the polyimide film and the glass plate where one side of the polyimide film protrudes from the bonding agent layer, and move the mounting table at 300 mm / min to separate the polyimide film from the glass plate did.

得られたポリイミドシート、すなわちフレキシブル電子回路基板には、カールは認められなかった。また、モデルICチップの装着部においてもポリイミドシートを容易に剥離することができ、回路パターンに折れや変形が発生することもなかった。   No curl was observed in the obtained polyimide sheet, that is, in the flexible electronic circuit board. Also, the polyimide sheet could be easily peeled off at the mounting portion of the model IC chip, and no break or deformation occurred in the circuit pattern.

比較例:
実施例1における電子回路基板部材から、ポリイミドシートの端部を手で把持し、徐々に持ち上げてポリイミドシートをガラス板から剥離した。
Comparative example:
From the electronic circuit board member in Example 1, the end of the polyimide sheet was grasped by hand, and was gradually lifted to separate the polyimide sheet from the glass plate.

モデルICチップが装着されている部分では剥離力が大きくなり、ポリイミドシート上の回路パターンの一部に折れが見られた。   The peeling force was increased in the portion where the model IC chip was mounted, and a part of the circuit pattern on the polyimide sheet was broken.

本発明の一形態に係る電子回路基板の製造装置を示す概略正面図。FIG. 1 is a schematic front view showing an electronic circuit board manufacturing apparatus according to one embodiment of the present invention. 図1における剥離手段の要部の概略斜視図。FIG. 2 is a schematic perspective view of a main part of a peeling unit in FIG. 図1に示した電子回路基板の製造装置の動きを示す、製造装置の概略正面図。FIG. 2 is a schematic front view of the manufacturing apparatus showing the movement of the electronic circuit board manufacturing apparatus shown in FIG. 1. 本発明の剥離手段の別の一形態を示す概略図。FIG. 4 is a schematic view showing another embodiment of the peeling means of the present invention. 本発明の剥離手段の別の一形態を示す概略図。FIG. 4 is a schematic view showing another embodiment of the peeling means of the present invention.

符号の説明Explanation of reference numerals

1:レール
2:基台
3:載置テーブル
4:フリーロール
5:剥離手段
5a:高さ調整機構
5b:クレードル
5c:くさび形剥離部材
5d:薄板形剥離部材
5e:薄板形剥離部材把持手段
6:電子回路基板部材
6a:補強板
6b:接合剤層
6c:可撓性シート
7:フレーム
8:薄板状剥離部材
9、10:駆動ロール
1: rail 2: base 3: mounting table 4: free roll 5: peeling means
5a: Height adjustment mechanism
5b: Cradle
5c: wedge-shaped peeling member
5d: thin plate type peeling member
5e: Thin plate-type peeling member gripping means 6: Electronic circuit board member
6a: reinforcing plate
6b: bonding agent layer
6c: flexible sheet 7: frame 8: thin strip-shaped release member 9, 10: drive roll

Claims (11)

補強板の一面に貼着された可撓性シートの貼着面とは反対側の面に電子回路パターンを形成してなる電子回路基板部材の補強板と可撓性シートとの間に剥離部材を挿通し、補強板から可撓性シートを剥離することを特徴とする電子回路基板の製造方法。 A peeling member between a reinforcing plate and a flexible sheet of an electronic circuit board member having an electronic circuit pattern formed on a surface opposite to a bonding surface of a flexible sheet attached to one surface of a reinforcing plate. And peeling the flexible sheet from the reinforcing plate. 剥離部材がくさび形であることを特徴とする請求項1に記載の電子回路基板の製造方法。 The method for manufacturing an electronic circuit board according to claim 1, wherein the peeling member has a wedge shape. 補強板としてガラス板を用いる、請求項1に記載の電子回路基板の製造方法。 The method for manufacturing an electronic circuit board according to claim 1, wherein a glass plate is used as the reinforcing plate. 可撓性シートを電子部品を実装した後に剥離する、請求項1に記載の電子回路基板の製造方法。 The method for manufacturing an electronic circuit board according to claim 1, wherein the flexible sheet is peeled after mounting the electronic component. 剥離に際して電子回路基板部材を加熱する、請求項1に記載の電子回路基板の製造方法。 The method for manufacturing an electronic circuit board according to claim 1, wherein the electronic circuit board member is heated at the time of peeling. 補強板の一面に貼着された可撓性シートの貼着面とは反対側の面に電子回路パターンを形成してなる電子回路基板部材が保持される保持手段と、剥離部材を有する、可撓性シートの剥離手段と、これら保持手段と剥離手段とを相対的に移動させる移動手段とを備えていることを特徴とする電子回路基板の製造装置。 Holding means for holding an electronic circuit board member formed by forming an electronic circuit pattern on a surface opposite to the sticking surface of the flexible sheet attached to one surface of the reinforcing plate; and a peeling member. An apparatus for manufacturing an electronic circuit board, comprising: a flexible sheet peeling unit; and a moving unit that relatively moves the holding unit and the peeling unit. 剥離部材がくさび形であることを特徴とする請求項6に記載の電子回路基板の製造装置。 The apparatus for manufacturing an electronic circuit board according to claim 6, wherein the peeling member has a wedge shape. 保持手段が電子回路基板部材の加熱手段を含んでいる、請求項6に記載の電子回路基板の製造装置。 7. The apparatus for manufacturing an electronic circuit board according to claim 6, wherein the holding means includes a heating means for the electronic circuit board member. 剥離手段が剥離部材の位置決め機構を備えている、請求項6に記載の電子回路基板の製造装置。 The apparatus for manufacturing an electronic circuit board according to claim 6, wherein the peeling means includes a positioning mechanism for the peeling member. 剥離部材が片刃のくさびである、請求項6のいずれかに記載の電子回路基板の製造装置。 The apparatus for manufacturing an electronic circuit board according to claim 6, wherein the peeling member is a single-edge wedge. 請求項1〜5のいずれかに記載の方法または請求項6〜10のいずれかに記載の装置によって製造された電子回路基板。 An electronic circuit board manufactured by the method according to any one of claims 1 to 5 or the apparatus according to any one of claims 6 to 10.
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