JP2004245732A - 熱処理基板の温度計測方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱処理炉に収容された基板の温度計測方法であって、処理対象基板と同等材料により作成した擬似基板を内包した石英チューブごと熱処理炉内に投入して処理対象基板と同等環境におき、予め石英チューブ内の擬似基板に接続した温度計により温度を計測し、処理対象基板温度を擬似基板の計測温度により間接的に特定するようにした。前記擬似基板は小片化して石英チューブに収容するようにすれば、温度分布の計測が可能となる。前記熱処理対象基板の昇温特性に対する擬似基板の昇温特性の相対モデルを構築しておき、擬似基板温度から計測基板の温度を推定するようにしてもよい。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は熱処理基板の温度計測方法に係り、特に熱処理されている半導体基板の温度計測に好適な方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に半導体製造過程において、シリコンウェハ等の基板には酸化や拡散、あるいはアニールといった熱処理が施される。通常、熱処理のために、基板はプロセスチューブに入れられて炉内で加熱されるが、熱処理の目的によって温度領域が異なり、特定の温度に維持したり、指定した昇温もしくは降温速度に追従させるため、実際に加熱されている基板の温度をモニタする必要がある。特に、枚葉装置などでは、反応炉に基板を収容し、ウェハの温度を適切な温度に維持もしくは指定した温度に追従させるので、温度モニタは不可欠である。
【0003】
この場合ウェハの温度計測が非常に難しいものとなっている。一般的には、汚染防止の観点から、熱処理されているウェハに直接接触することはできないので、放射温度計を用いる場合が多い(特許文献1)。また、サセプタに感熱部を埋め込んでサセプタ上のウェハの温度を熱電対で計測する方法もある(特許文献2)。更に、ウェハと同じサイズの測定板を作成し、この測定板を2枚の積層構造として間に熱電対を収容して測定する方法も提案されている(特許文献3)。
【0004】
【特許文献1】特開昭62−110127号
【特許文献2】特開昭58−166228号
【特許文献3】特開2001−272280号
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記第1の例に示されるような放射温度計を用いる場合には、ウェハ以外に高温部があり、そこからの放射光を完全に遮断できない場合は誤差になり精度よく測定できない問題がある。また、第2の例に示されるように、熱電対で測定しようとすると、ウェハに接触させなければならない上に、接触状態に再現性を持たせるのが非常に困難なため正確な測定はできない。更に、第3の例に示される方法では、熱電対を間に挟んだ擬似的なウェハを作成すること自体が困難である上、ウェハボートに収容した状態で炉に入れて熱処理する場合のダミーウェハとして利用することができるだけであり、枚葉処理装置では利用することができない。
【0006】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、熱処理中のウェハの温度をできるだけ精度良く測定、あるいは推定することができる熱処理基板の温度計測方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る熱処理基板の温度計測方法は、熱処理炉に収容された基板の温度計測方法であって、処理対象基板と同等材料により作成した擬似基板を内包した石英チューブごと熱処理炉内に投入して処理対象基板と同等環境におき、石英チューブ内の擬似基板の温度を計測し、処理対象基板温度を擬似基板の計測温度により間接的に特定することを特徴としている。
【0008】
また、熱処理炉に収容された基板の温度計測方法であって、処理対象基板と同等材料により作成した擬似基板を内包した石英チューブごと熱処理炉内に投入して処理対象基板と同等環境におき、予め石英チューブ内の擬似基板に接続した温度計により温度を計測し、処理対象基板温度を擬似基板の計測温度により間接的に特定するように構成してもよい。
【0009】
上記温度計測方法において、前記擬似基板は小片化して石英チューブに収容するようにすればよく、前記擬似基板は複数に小片化して石英チューブに縦列配置して収容しつつ、各小片に温度計測手段を接続して計測対象基板の温度分布の測定を可能とすることができる。更に、前記熱処理対象基板の昇温特性に対する擬似基板の昇温特性の相対モデルを構築しておき、擬似基板温度から計測基板の温度を推定することもできる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下に、本発明に係る熱処理基板の温度計測方法につき、図面を参照して、その具体的実施の形態を詳細に説明する。
図1は第1実施形態に係る熱処理基板の温度計測方法の原理説明図である。図示のように、熱処理対象ウェハ10は熱処理炉のプロセスチューブ12に収容され、サセプタ14を介して加熱処理される。このウェハ10の近傍にウェハ10と昇降温特性が似通っている物質、例えば、ウェハ10と同一物質からなる擬似ウェハ17を設置し、これに熱電対18を取り付ける。擬似ウェハ17と熱電対18のユニットは石英チューブ19に収容し、プロセスチューブ12の内部が汚染されることを防止している。擬似ウェハ17は昇降温に影響されないサイズに小片化することが望ましい。石英チューブ19ごとプロセスチューブ12に入れ、熱処理対象ウェハ10と同等な加熱環境において、擬似ウェハ17の温度を計測し、これを熱処理対象ウェハ10の温度として取り扱うのである。材料の違いなどにより、擬似ウェハ17と熱処理対象ウェハ10の昇降温特性が一致していない場合には、相対モデルを構築してウェハ温度を推定するようにしても同一の作用・効果が得られる。
【0011】
実施形態に係る方法が適用される熱処理炉の構成を図2に示す。この熱処理炉は枚葉式であり、1枚のウェハ10を内装可能なプロセスチューブ12と、前記プロセスチューブ12の外周を覆うサセプタ14と、前記サセプタ14を覆う誘導加熱コイル16とから構成されている。
【0012】
このような熱処理対象のウェハ10の温度分布を、熱処理中に検出するための温度計測は、次のように行われる。すなわち、処理対象ウェハ10と同等材料の例えばシリコン単結晶により擬似基板の小片20を作成しておく。擬似基板小片20の各々に対しては熱電対24を取り付ける。この熱電対付きの小片20を1列に配列して石英チューブ22に収容しておき、石英チューブ22ごと熱処理炉内に投入して処理対象ウェハ10と同等環境におくのである。熱電対24のリード線24aは石英チューブ22の端部から引き出し、熱処理炉の外部に設置された計測器(図示せず)に接続する。このとき、石英チューブ22は処理対象ウェハ10の直径線に沿って平行に配置することにより、温度分布の測定が可能である。そして、石英チューブ22内の擬似基板小片20の温度を計測し、処理対象ウェハ10の温度を擬似基板小片20の計測温度により間接的に特定するようにしているのである。
【0013】
もちろん、擬似基板小片20は帯板片として1枚板を石英チューブ22に収容させ、適宜間隔をおいて複数の熱電対を接続するようにしてもよい。また、温度分布ではなく単に特定箇所の温度計測が必要である場合には、擬似基板小片20を1片だけ石英チューブ22に収容して、小片20が測定位置となるように石英チューブ22の位置を調整して熱処理炉内におき、小片に取り付けた熱電対24により温度を計測するようにすればよい。
【0014】
上記構成において、擬似基板小片20は熱処理対象ウェハ10と同一材料により形成しているが、これは他の材料により形成してもよい。この場合には、熱処理対象ウェハ10の昇温特性に対する擬似基板小片20の昇温特性の相対モデルを構築しておき、擬似基板小片20の計測温度から熱処理対象ウェハ10の温度を推定する。
【0015】
なお、図2に示した計測方法において、石英チューブ22の内部に配列する擬似基板小片20は温度分布を計測するようにウェハ10の直径方向に沿って配列して熱処理炉内に置かれるが、これはウェハ10を複数の誘導加熱コイルによって加熱する場合には、各誘導加熱コイルの加熱領域に対応させるようにする。これにより加熱ゾーン単位の温度モニタが可能となり、個別に温度管理することができるので、ウェハ10に対し、任意の熱履歴を加熱ゾーンごとに与えることができる。この適用例を図2に示している。
【0016】
図示のように、複数の誘導加熱コイル16はサセプタ14の周囲に隣接配置され、この誘導加熱コイル16ごとに前記擬似基板小片20が配置するようにしている。誘導加熱コイル16を近接して隣接配置したままでは相互誘導作用によって各コイル16を正確に電力制御できなくなるので、サセプタ14の外周に螺旋状に巻かれた複数の誘導加熱コイル16の周波数・電流位相を同期させ、あるいは設定された位相差となるように個別に電力制御可能としている。任意の誘導加熱コイル16mとその駆動制御回路50mをメインユニットとし、その他の加熱コイル16sl、16s2・・・と駆動制御回路50s1、50s2・・・をサブユニットとし、メインユニットの負荷コイル部の電流を検出し、この電流の周波数と位相が一致するように、あるいは設定される位相差を保持するようにサブユニットのインバータを運転するようにしている。これにより、擬似基板小片20による検出温度に応じて、メインユニットとサブユニットの誘導加熱コイル16への投入電力を調整することにより、隣接する誘導加熱コイル16間で相互誘導による影響を最小限に抑制してゾーンコントロールができる。
【0017】
このような実施形態によれば、熱処理の昇温・降温処理に際してウェハ10の温度分布が不均一になった場合、炉内の石英チューブ22に入っている擬似基板小片20の温度をモニタすることにより、温度変化を加熱ゾーン単位に計測することができる。したがってモニタした時の温度分布が均一でないゾーンが検出された場合には、該当ゾーンの誘導加熱コイル16を制御することにより、ウェハ10の温度分布を均一に保ちつつ加熱・冷却を行うことができる。
【0018】
特に、この実施形態では、擬似基板小片20を石英チューブ22の内部に収容し、炉内雰囲気とは遮断させた状態で温度モニタできるので、熱処理対象ウェハ10自体を汚染することが確実に防止される。
【0019】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る熱処理対象基板の温度計測方法は、処理対象基板と同等材料により作成した擬似基板を内包した石英チューブごと熱処理炉内に投入して処理対象基板と同等環境におき、石英チューブ内の擬似基板の温度を計測し、処理対象基板温度を擬似基板の計測温度により間接的に特定することができ、炉内汚染を生じることなく、ウェハの温度をできるだけ精度良く測定、あるいは推定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1の実施形態に係る温度計測方法の原理説明図である。
【図2】第2の実施形態に係る温度計測方法が適用される熱処理炉と加熱装置の説明断面図である。
【符号の説明】
10………熱処理対象ウェハ、12………プロセスチューブ、14………サセプタ、16………誘導加熱コイル、20………擬似基板小片、22………石英チューブ、24………熱電対。
Claims (5)
- 熱処理炉に収容された基板の温度計測方法であって、処理対象基板と同等材料により作成した擬似基板を内包した石英チューブごと熱処理炉内に投入して処理対象基板と同等環境におき、石英チューブ内の擬似基板の温度を計測し、処理対象基板温度を擬似基板の計測温度により間接的に特定することを特徴とする熱処理基板の温度計測方法。
- 熱処理炉に収容された基板の温度計測方法であって、処理対象基板と同等材料により作成した擬似基板を内包した石英チューブごと熱処理炉内に投入して処理対象基板と同等環境におき、予め石英チューブ内の擬似基板に接続した温度計により温度を計測し、処理対象基板温度を擬似基板の計測温度により間接的に特定することを特徴とする熱処理基板の温度計測方法。
- 前記擬似基板は小片化して石英チューブに収容されていることを特徴とする請求項1または2記載の熱処理基板の温度計測方法。
- 前記擬似基板は複数に小片化して石英チューブに縦列配置して収容しつつ、各小片に温度計測手段を接続して計測対象基板の温度分布の測定を可能としたことを特徴とする請求項2に記載の熱処理基板の温度計測方法。
- 前記熱処理対象基板の昇温特性に対する擬似基板の昇温特性の相対モデルを構築しておき、擬似基板温度から計測基板の温度を推定することを特徴とする請求項1または2記載の熱処理基板の温度計測方法。
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