JP2004238695A - Dlcコーティング膜 - Google Patents
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Abstract
【課題】高硬度と高い潤滑性能を併せ持ったDLCコーティング膜を提供する。
【解決手段】不活性ガスを導入した真空チャンバにワーク1と金属ターゲット及びグラファイトターゲットを配置し、真空チャンバでグロー放電を発生させてプラズマを形成し、プラズマ中のイオンによってターゲット原子を弾き飛ばし、このターゲット原子をワーク上に堆積させるスパッタによりワーク1上に炭素を主成分とするDLCコーティング膜9を形成する製造方法において、金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタして基板層4を形成した後、金属の比率が基板層4より高い表面層を形成した。
【選択図】 図1
【解決手段】不活性ガスを導入した真空チャンバにワーク1と金属ターゲット及びグラファイトターゲットを配置し、真空チャンバでグロー放電を発生させてプラズマを形成し、プラズマ中のイオンによってターゲット原子を弾き飛ばし、このターゲット原子をワーク上に堆積させるスパッタによりワーク1上に炭素を主成分とするDLCコーティング膜9を形成する製造方法において、金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタして基板層4を形成した後、金属の比率が基板層4より高い表面層を形成した。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐摩耗性が要求される機械部品等に表面層として施されるDLCコーティング膜の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
Diamond Like Carbon(以下、「DLC」と称する)は、ダイヤモンドに似た特性を持つアモルファス状の硬質炭化物であり、硬度が高く、耐摩耗性等に優れていることから、近年、耐摩耗性が要求される機械部品の表面層として利用されつつある。
【0003】
こうしたDLCコーティング膜を形成する方法としては、スパッタ法やアークイオンプレーティング法等の物理的蒸着法(PVD法)、および化学的蒸着法(CVD法)等が用いられる。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−119843号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のDLCコーティング膜にあっては、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れやすく、潤滑性能を十分に高められないという問題点があった。
【0006】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、高硬度と高い潤滑性能を併せ持ったDLCコーティング膜を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、不活性ガスを導入した真空チャンバにワークと金属ターゲット及びグラファイトターゲットを配置し、真空チャンバでグロー放電を発生させてプラズマを形成し、プラズマ中のイオンによってターゲット原子を弾き飛ばし、このターゲット原子をワーク上に堆積させるスパッタによりワーク上に炭素を主成分とするDLCコーティング膜に適用する。
【0008】
そして、金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタして基板層を形成した後、金属の比率が基板層より高い表面層を形成したことを特徴とするものとした。
【0009】
第2の発明は、第1の発明において、表面層を構成する金属としてクロム、タングステン、チタン、シリコンのうち少なくとも一つを用いたことを特徴とするものとした。
【0010】
第3の発明は、第1または第2の発明において、金属製ワーク上に金属ターゲットのみをスパッタしてボンド層を形成し、このボンド層上に金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタしかつターゲット出力を次第に変化させることにより中間層を形成し、この中間層上に金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタしかつターゲット出力を略一定にすることにより金属の比率を3〜18%の範囲にした前記基板層を形成し、前記表面層をこの基板層上に形成したことを特徴とするものとした。
【0011】
【発明の作用および効果】
第1の発明によると、表面層は、潤滑油中の油性剤が吸着しやすい金属の含有量が多いため、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れにくく、潤滑性能を十分に高められる。
【0012】
第2の発明によると、表面層を構成する金属としてクロム、タングステン、チタン、シリコンのうち潤滑油中の油性剤が吸着しやすい金属を用いることにより、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れにくく、潤滑性能を有効に高められる。
【0013】
第3の発明によると、金属製ワーク上に金属の比率を100%にしたボンド層と、金属の比率を次第に減らす金属と炭素の傾斜組成膜からなる中間層を設け、中間層の上に炭素を主成分とする基板層を設けることにより、ワークに対する基板層の結合強度を高められる。
【0014】
基板層に含まれる金属の比率を3〜18%の範囲に設定することにより、基板層の密着性や靱性を高められ、高荷重によってワークが変形するような場合、割れや、剥離が生じることを防止できる。そして、基板層の硬度の低下を抑えられ、耐摩耗性を確保できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【0016】
図1に示すDLCコーティング膜9は、アンバランスマグネトロンスパッタ法(以下、「UBMスパッタ法」と称する)によって形成される。
【0017】
スパッタの原理は、図2に示すように、アルゴン等の不活性ガスを導入した真空中でターゲット11を陰極として陽極の間でグロー放電させてプラズマを形成し、このプラズマ中のイオンをターゲット11に衝突させてターゲット11の原子を弾き飛ばし、この原子をターゲット11と対向して配置されたワーク1上に堆積させて皮膜を形成するようになっている。
【0018】
UBMスパッタ法は、スパッタ蒸発源10にターゲット11の中心部と周辺部で異なる磁気特性を有する磁石12,13が配置されて、プラズマを形成しつつ強力な磁石12により発生する磁力線の一部がワーク1の近傍に達し、ワーク1にバイアス電圧を印加することによって、ターゲット材14を構成する物質がワーク1上に堆積される。
【0019】
図3は、UBMスパッタ装置20の基本構成を示す。真空チャンバ21に4つのスパッタ蒸発源10a〜10dが設けられ、その中央に配置された自公転式ワークテーブル26上にワーク1置かれ、ワーク1に外周からコーティングが行われる。スパッタ蒸発源10a〜10dには皮膜材料となる平板状ターゲットが取り付けられる。真空チャンバ21にはアルゴン等の不活性ガスとメタンガス等の炭化水素ガスが所定量充填される。
【0020】
スパッタ蒸発源10a,10cにはターゲットとしてグラファイトを使用し、スパッタ蒸発源10b,10dにはターゲットとして金属を使用する。
【0021】
DLCコーティング膜9は、図1に示すように、ワーク(母材)1の表面にボンド層2、中間層3、基板層4、表面層5が順に積層して形成される。そして、表面層5が図示しない表面研磨機により研磨され、所定の平滑度を持つ構成とする。
【0022】
図4は、上記DLCコーティング膜9を形成するのにあたって、ターゲット出力が変化する様子を示している。
【0023】
ボンド層2は、金属ターゲット10b,10dのみをスパッタして、金属膜として形成される。このボンド層2を形成するのにあたって、図4に示すように、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲット出力を100%とし、スパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲット出力を0%と一定にして、所定時間だけスパッタが行われる。
【0024】
中間層3は、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲットとスパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲットを同時にスパッタし、ターゲット出力を次第に変化させて金属と炭素の傾斜組成膜として形成される。この中間層3を形成するのにあたって、図4に示すように、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲット出力を100%から一次的に減少させる一方、スパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲット出力を0%から一次的に増加させて、所定時間だけスパッタが行われる。
【0025】
基板層4は、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲットとスパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲットを同時にスパッタし、ターゲット出力を略一定にしてスパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲットとスパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲットのスパッタ率を所定範囲に保って、所定時間だけスパッタが行われる。
【0026】
この基板層4を形成するのにあたって、図4に示すように、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲット出力を10%程度とし、スパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲット出力を90%程度と一定にして、基板層4に含まれる金属の比率は3〜18%の範囲に設定する。さらに望ましくは、基板層4に含まれる金属の比率を3〜12%の範囲に設定する。
【0027】
表面層5は、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲットとスパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲットを同時にスパッタし、ターゲット出力を次第に変化させて金属と炭素の傾斜組成膜として形成される。この中間層3を形成するのにあたって、図4に示すように、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲット出力を10%から一次的に増加させる一方、スパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲット出力を90%から一次的に減少させて、所定時間だけスパッタが行われる。これにより、表面層5は、金属の比率が基板層4より高くなる。
【0028】
スパッタ蒸発源10b,10dのターゲット金属は、潤滑油中の油性剤が吸着しやすいものとして、クロム、タングステン、チタン、シリコンのうち少なくとも一つを用いる。
【0029】
以上のように構成されて、次に作用について説明する。
【0030】
金属製ワーク1上に100%金属のボンド層2と金属の比率を次第に減らす金属と炭素の傾斜組成膜からなる中間層3を設け、中間層3の上に炭素を主成分とする基板層4を設けることにより、ワーク1に対する基板層4の結合強度を高められる。
【0031】
基板層4の金属の比率を3〜18%の範囲に設定することにより、基板層4の密着性や靱性を高められ、高荷重によってワーク1が変形するような場合、割れや、剥離が生じることを防止できる。
【0032】
図5に基板層4に含まれる金属の比率と靱性及び硬度の関係を示すように、金属の比率を3〜18%の範囲に設定することにより、基板層4の靱性と硬度の両方を高められる。さらに基板層4に含まれる金属の比率を3〜12%の範囲に設定することにより、基板層4の靱性と硬度の両方を著しく高められる。
【0033】
表面層5は、潤滑油中の油性剤が吸着しやすい金属の含有量が多いため、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れにくく、潤滑性能を十分に高められる。
【0034】
表面層5を構成する金属としてクロム、タングステン、チタン、シリコンのうち潤滑油中の油性剤が吸着しやすい金属を用いることにより、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れにくく、潤滑性能を有効に高められる。
【0035】
また、潤滑油中に添加される油性剤としてDLCコーティング膜9に吸着しやすいものを用いることによっても、潤滑性能を有効に高められる。
【0036】
本発明は上記の実施の形態に限定されずに、その技術的な思想の範囲内において種々の変更がなしうることは明白である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すDLCコーティング膜の断面図。
【図2】同じくスパッタ法の原理を示す説明図。
【図3】同じくUBMスパッタ装置の構成図。
【図4】同じくターゲット出力が変化する様子を示す特性図。
【図5】同じく基板層に含まれる金属の比率と靱性及び硬度の関係を示す特性図。
【符号の説明】
1 ワーク
2 ボンド層
3 中間層
4 基板層
5 表面層
9 DLCコーティング膜
10a〜10d スパッタ蒸発源
20 UBMスパッタ装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、耐摩耗性が要求される機械部品等に表面層として施されるDLCコーティング膜の改良に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
Diamond Like Carbon(以下、「DLC」と称する)は、ダイヤモンドに似た特性を持つアモルファス状の硬質炭化物であり、硬度が高く、耐摩耗性等に優れていることから、近年、耐摩耗性が要求される機械部品の表面層として利用されつつある。
【0003】
こうしたDLCコーティング膜を形成する方法としては、スパッタ法やアークイオンプレーティング法等の物理的蒸着法(PVD法)、および化学的蒸着法(CVD法)等が用いられる。
【0004】
【特許文献1】
特開2000−119843号公報
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような従来のDLCコーティング膜にあっては、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れやすく、潤滑性能を十分に高められないという問題点があった。
【0006】
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、高硬度と高い潤滑性能を併せ持ったDLCコーティング膜を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、不活性ガスを導入した真空チャンバにワークと金属ターゲット及びグラファイトターゲットを配置し、真空チャンバでグロー放電を発生させてプラズマを形成し、プラズマ中のイオンによってターゲット原子を弾き飛ばし、このターゲット原子をワーク上に堆積させるスパッタによりワーク上に炭素を主成分とするDLCコーティング膜に適用する。
【0008】
そして、金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタして基板層を形成した後、金属の比率が基板層より高い表面層を形成したことを特徴とするものとした。
【0009】
第2の発明は、第1の発明において、表面層を構成する金属としてクロム、タングステン、チタン、シリコンのうち少なくとも一つを用いたことを特徴とするものとした。
【0010】
第3の発明は、第1または第2の発明において、金属製ワーク上に金属ターゲットのみをスパッタしてボンド層を形成し、このボンド層上に金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタしかつターゲット出力を次第に変化させることにより中間層を形成し、この中間層上に金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタしかつターゲット出力を略一定にすることにより金属の比率を3〜18%の範囲にした前記基板層を形成し、前記表面層をこの基板層上に形成したことを特徴とするものとした。
【0011】
【発明の作用および効果】
第1の発明によると、表面層は、潤滑油中の油性剤が吸着しやすい金属の含有量が多いため、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れにくく、潤滑性能を十分に高められる。
【0012】
第2の発明によると、表面層を構成する金属としてクロム、タングステン、チタン、シリコンのうち潤滑油中の油性剤が吸着しやすい金属を用いることにより、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れにくく、潤滑性能を有効に高められる。
【0013】
第3の発明によると、金属製ワーク上に金属の比率を100%にしたボンド層と、金属の比率を次第に減らす金属と炭素の傾斜組成膜からなる中間層を設け、中間層の上に炭素を主成分とする基板層を設けることにより、ワークに対する基板層の結合強度を高められる。
【0014】
基板層に含まれる金属の比率を3〜18%の範囲に設定することにより、基板層の密着性や靱性を高められ、高荷重によってワークが変形するような場合、割れや、剥離が生じることを防止できる。そして、基板層の硬度の低下を抑えられ、耐摩耗性を確保できる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【0016】
図1に示すDLCコーティング膜9は、アンバランスマグネトロンスパッタ法(以下、「UBMスパッタ法」と称する)によって形成される。
【0017】
スパッタの原理は、図2に示すように、アルゴン等の不活性ガスを導入した真空中でターゲット11を陰極として陽極の間でグロー放電させてプラズマを形成し、このプラズマ中のイオンをターゲット11に衝突させてターゲット11の原子を弾き飛ばし、この原子をターゲット11と対向して配置されたワーク1上に堆積させて皮膜を形成するようになっている。
【0018】
UBMスパッタ法は、スパッタ蒸発源10にターゲット11の中心部と周辺部で異なる磁気特性を有する磁石12,13が配置されて、プラズマを形成しつつ強力な磁石12により発生する磁力線の一部がワーク1の近傍に達し、ワーク1にバイアス電圧を印加することによって、ターゲット材14を構成する物質がワーク1上に堆積される。
【0019】
図3は、UBMスパッタ装置20の基本構成を示す。真空チャンバ21に4つのスパッタ蒸発源10a〜10dが設けられ、その中央に配置された自公転式ワークテーブル26上にワーク1置かれ、ワーク1に外周からコーティングが行われる。スパッタ蒸発源10a〜10dには皮膜材料となる平板状ターゲットが取り付けられる。真空チャンバ21にはアルゴン等の不活性ガスとメタンガス等の炭化水素ガスが所定量充填される。
【0020】
スパッタ蒸発源10a,10cにはターゲットとしてグラファイトを使用し、スパッタ蒸発源10b,10dにはターゲットとして金属を使用する。
【0021】
DLCコーティング膜9は、図1に示すように、ワーク(母材)1の表面にボンド層2、中間層3、基板層4、表面層5が順に積層して形成される。そして、表面層5が図示しない表面研磨機により研磨され、所定の平滑度を持つ構成とする。
【0022】
図4は、上記DLCコーティング膜9を形成するのにあたって、ターゲット出力が変化する様子を示している。
【0023】
ボンド層2は、金属ターゲット10b,10dのみをスパッタして、金属膜として形成される。このボンド層2を形成するのにあたって、図4に示すように、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲット出力を100%とし、スパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲット出力を0%と一定にして、所定時間だけスパッタが行われる。
【0024】
中間層3は、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲットとスパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲットを同時にスパッタし、ターゲット出力を次第に変化させて金属と炭素の傾斜組成膜として形成される。この中間層3を形成するのにあたって、図4に示すように、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲット出力を100%から一次的に減少させる一方、スパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲット出力を0%から一次的に増加させて、所定時間だけスパッタが行われる。
【0025】
基板層4は、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲットとスパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲットを同時にスパッタし、ターゲット出力を略一定にしてスパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲットとスパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲットのスパッタ率を所定範囲に保って、所定時間だけスパッタが行われる。
【0026】
この基板層4を形成するのにあたって、図4に示すように、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲット出力を10%程度とし、スパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲット出力を90%程度と一定にして、基板層4に含まれる金属の比率は3〜18%の範囲に設定する。さらに望ましくは、基板層4に含まれる金属の比率を3〜12%の範囲に設定する。
【0027】
表面層5は、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲットとスパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲットを同時にスパッタし、ターゲット出力を次第に変化させて金属と炭素の傾斜組成膜として形成される。この中間層3を形成するのにあたって、図4に示すように、スパッタ蒸発源10b,10dの金属ターゲット出力を10%から一次的に増加させる一方、スパッタ蒸発源10a,10cのグラファイトターゲット出力を90%から一次的に減少させて、所定時間だけスパッタが行われる。これにより、表面層5は、金属の比率が基板層4より高くなる。
【0028】
スパッタ蒸発源10b,10dのターゲット金属は、潤滑油中の油性剤が吸着しやすいものとして、クロム、タングステン、チタン、シリコンのうち少なくとも一つを用いる。
【0029】
以上のように構成されて、次に作用について説明する。
【0030】
金属製ワーク1上に100%金属のボンド層2と金属の比率を次第に減らす金属と炭素の傾斜組成膜からなる中間層3を設け、中間層3の上に炭素を主成分とする基板層4を設けることにより、ワーク1に対する基板層4の結合強度を高められる。
【0031】
基板層4の金属の比率を3〜18%の範囲に設定することにより、基板層4の密着性や靱性を高められ、高荷重によってワーク1が変形するような場合、割れや、剥離が生じることを防止できる。
【0032】
図5に基板層4に含まれる金属の比率と靱性及び硬度の関係を示すように、金属の比率を3〜18%の範囲に設定することにより、基板層4の靱性と硬度の両方を高められる。さらに基板層4に含まれる金属の比率を3〜12%の範囲に設定することにより、基板層4の靱性と硬度の両方を著しく高められる。
【0033】
表面層5は、潤滑油中の油性剤が吸着しやすい金属の含有量が多いため、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れにくく、潤滑性能を十分に高められる。
【0034】
表面層5を構成する金属としてクロム、タングステン、チタン、シリコンのうち潤滑油中の油性剤が吸着しやすい金属を用いることにより、境界潤滑領域にて潤滑油膜が途切れにくく、潤滑性能を有効に高められる。
【0035】
また、潤滑油中に添加される油性剤としてDLCコーティング膜9に吸着しやすいものを用いることによっても、潤滑性能を有効に高められる。
【0036】
本発明は上記の実施の形態に限定されずに、その技術的な思想の範囲内において種々の変更がなしうることは明白である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すDLCコーティング膜の断面図。
【図2】同じくスパッタ法の原理を示す説明図。
【図3】同じくUBMスパッタ装置の構成図。
【図4】同じくターゲット出力が変化する様子を示す特性図。
【図5】同じく基板層に含まれる金属の比率と靱性及び硬度の関係を示す特性図。
【符号の説明】
1 ワーク
2 ボンド層
3 中間層
4 基板層
5 表面層
9 DLCコーティング膜
10a〜10d スパッタ蒸発源
20 UBMスパッタ装置
Claims (3)
- 不活性ガスを導入した真空チャンバにワークと金属ターゲット及びグラファイトターゲットを配置し、真空チャンバでグロー放電を発生させてプラズマを形成し、プラズマ中のイオンによってターゲット原子を弾き飛ばし、このターゲット原子をワーク上に堆積させるスパッタによりワーク上に炭素を主成分とするDLCコーティング膜において、
金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタして基板層を形成した後、金属の比率がこの基板層より高い表面層を形成したことを特徴とするDLCコーティング膜。 - 前記表面層を構成する金属としてクロム、タングステン、チタン、シリコンのうち少なくとも一つを用いたことを特徴とする請求項1に記載のDLCコーティング膜。
- 金属製ワーク上に金属ターゲットのみをスパッタしてボンド層を形成し、このボンド層上に金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタしかつターゲット出力を次第に変化させることにより中間層を形成し、この中間層上に金属ターゲットとグラファイトターゲットを同時にスパッタしかつターゲット出力を略一定にすることにより金属の比率を3〜18%の範囲にした前記基板層を形成し、前記表面層をこの基板層上に形成したことを特徴とする請求項1または2に記載のDLCコーティング膜。
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JP2003030255A JP2004238695A (ja) | 2003-02-07 | 2003-02-07 | Dlcコーティング膜 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP (1) | JP2004238695A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006177522A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Kayaba Ind Co Ltd | スクリュネジ機構 |
KR100851483B1 (ko) | 2006-12-21 | 2008-08-08 | 주식회사 포스코 | 전지 전극재용 흑연분말의 표면처리 방법 및 그 장치 |
CN103160782A (zh) * | 2011-12-16 | 2013-06-19 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 在汽车发动机气门挺柱表面制备类金刚石涂层的方法 |
JP2014098184A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-05-29 | Minebea Co Ltd | 多層dlc皮膜を有する摺動部材 |
CN106756847A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-05-31 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 |
CN114703449B (zh) * | 2022-04-02 | 2024-01-30 | 合肥工业大学智能制造技术研究院 | Ptfe活塞环表面镀含钛铬碳基纳米多层膜及制备方法 |
-
2003
- 2003-02-07 JP JP2003030255A patent/JP2004238695A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006177522A (ja) * | 2004-12-24 | 2006-07-06 | Kayaba Ind Co Ltd | スクリュネジ機構 |
KR100851483B1 (ko) | 2006-12-21 | 2008-08-08 | 주식회사 포스코 | 전지 전극재용 흑연분말의 표면처리 방법 및 그 장치 |
CN103160782A (zh) * | 2011-12-16 | 2013-06-19 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 在汽车发动机气门挺柱表面制备类金刚石涂层的方法 |
JP2014098184A (ja) * | 2012-11-14 | 2014-05-29 | Minebea Co Ltd | 多層dlc皮膜を有する摺動部材 |
CN106756847A (zh) * | 2016-12-21 | 2017-05-31 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 |
CN106756847B (zh) * | 2016-12-21 | 2019-03-22 | 蚌埠玻璃工业设计研究院 | 一种钨掺杂类金刚石薄膜的制备方法 |
CN114703449B (zh) * | 2022-04-02 | 2024-01-30 | 合肥工业大学智能制造技术研究院 | Ptfe活塞环表面镀含钛铬碳基纳米多层膜及制备方法 |
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