JP2004234718A - 磁気記録媒体 - Google Patents
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 59
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 37
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910000914 Mn alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 13
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 9
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 7
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 29
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 229910018104 Ni-P Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 229910018536 Ni—P Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 abstract description 2
- 238000007670 refining Methods 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000943 NiAl Inorganic materials 0.000 description 1
- NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N Raney nickel Chemical compound [Al].[Ni] NPXOKRUENSOPAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005290 antiferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/7368—Non-polymeric layer under the lowermost magnetic recording layer
- G11B5/7369—Two or more non-magnetic underlayers, e.g. seed layers or barrier layers
- G11B5/737—Physical structure of underlayer, e.g. texture
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/72—Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73911—Inorganic substrates
- G11B5/73913—Composites or coated substrates
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/73—Base layers, i.e. all non-magnetic layers lying under a lowermost magnetic recording layer, e.g. including any non-magnetic layer in between a first magnetic recording layer and either an underlying substrate or a soft magnetic underlayer
- G11B5/739—Magnetic recording media substrates
- G11B5/73911—Inorganic substrates
- G11B5/73917—Metallic substrates, i.e. elemental metal or metal alloy substrates
- G11B5/73919—Aluminium or titanium elemental or alloy substrates
Abstract
【課題】新しい下地層構造を提供することによって、結晶粒径の微細化と結晶性を両立させることでSNR特性を高め、記録密度を向上させること。
【解決手段】円周方向にNi−Pメッキ層を有するアルミ合金の非磁性基体11上に、第1下地層12aと、Cr−Mn層15と、第2下地層12bと、Co合金の磁性記録層13と、カーボン保護層14とが順次DCマグネトロンスパッタ成膜されている。Cr−Mn層15の組成とその膜厚は、Cr−Mn合金薄膜中のMn組成が20at%以下かつCr−Mn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、3nm以下、あるいはCr−Mn合金薄膜中のMn組成が30at%以下かつCr−Mn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、2.5nm以下である。
【選択図】 図2
【解決手段】円周方向にNi−Pメッキ層を有するアルミ合金の非磁性基体11上に、第1下地層12aと、Cr−Mn層15と、第2下地層12bと、Co合金の磁性記録層13と、カーボン保護層14とが順次DCマグネトロンスパッタ成膜されている。Cr−Mn層15の組成とその膜厚は、Cr−Mn合金薄膜中のMn組成が20at%以下かつCr−Mn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、3nm以下、あるいはCr−Mn合金薄膜中のMn組成が30at%以下かつCr−Mn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、2.5nm以下である。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体に関し、より詳細には、コンピュータなどの情報機器用記憶装置などに使用される磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、コンピュータなどの情報機器用記憶装置の高記録密度化が進み、磁気記録装置においても情報を読み書きする磁気ヘッドの高度化や情報が読み書きされる磁気記録媒体の高度化により高記録密度化が進められている。磁気記録媒体の高記録密度化のためには、情報信号の記録再生を行う際の再生信号と媒体ノイズの比率であるSNRを高める必要がある。一般に、磁気記録媒体は、複数の薄膜の積層構造を有している。
【0003】
図1は、一般的な磁気記録媒体の層構成模式図で、図中符号1は非磁性基体、2は非磁性下地層、3は磁性記録層、4は保護層を示している。
一般に磁気記録媒体は、アルミ合金やガラスなど非磁性基体1上に、結晶配向性を制御するための非磁性下地層2(以下、下地層という)と、情報が記載される磁性記録層3と、磁気ヘッドとの摺動から磁性記録層を保護するための保護層4とを順次成膜することにより製造される。
【0004】
非磁性基体1に接する下地層2から、非磁性基体1からもっとも遠い磁性記録層3までの間には、結晶的な継続性が存在する。一般に下地層2の材料には、bcc構造を有するCrやCr合金といった金属薄膜ないしNiAlのような金属間化合物が用いられ、また、磁性記録層3には、CoとCrの合金を主体としこれに数種類の元素を添加した磁性薄膜が用いられ、さらに、保護層4には、カーボンを主体とする薄膜がそれぞれ用いられる。
【0005】
成膜方法には、薄膜特性の制御が容易で、かつ高品質の薄膜が得られることから、一般にスパッタ法やCVD法が用いられる。
【0006】
下地層2および磁性記録層3は、微小な金属結晶粒子の集合体から成る。SNRを高めて記録密度を改善するためには、磁性記録層3の結晶構造を制御する必要がある。具体的にはより微細で、所定の方向に配向した欠陥の少ない結晶構造が好ましい。非磁性基体1上に初めに成膜される下地層2の結晶構造は、磁性記録層3の結晶構造を決定する重要な役目を担う。
【0007】
そのため下地層2の粒径や結晶配向性を制御することは、磁気記録媒体の記録密度改善のために不可欠である。例えば、磁性記録層3との結晶格子整合性を高めるために、下地層2を適宜合金化して組成を選択する、配向性の高い下地層と格子整合性の高い下地層とを積層化するなどの手法が採用されてきた(例えば、特許文献1,2参照)。また、下地層の結晶微細化のためには、結晶粒径が肥大化しないようにその膜厚を減じる、成膜ガス圧をより高めるなどのことが有効であり、従来から採用されてきた。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−312814号公報
【0009】
【特許文献2】
特開平10−241937号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
このように、記録密度をさらに高めるためには、下地層の結晶制御が必要不可欠である。しかしながら、従来の手法では、結晶成長や結晶配向性の改善と粒径の微細化を高度に両立させることは困難である。例えば、下地層の膜厚を過剰に減ずることで結晶粒径は微細化されるが、結晶成長が不十分になるため、結晶配向性を劣化させてしまうという問題が生じる。また、組成や材料系を選択することで結晶性を高めることは可能であるが、同時に微細化を行うためにはやはり膜厚の減少など結晶性を犠牲にする手法を併用する必要がある。
【0011】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、新しい下地層構造を提供することによって、結晶粒径の微細化と結晶性を両立させることでSNR特性を高め、記録密度を向上させるようにした磁気記録媒体を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、非磁性基体上にスパッタリング法により少なくとも非磁性下地層と磁性記録層とが順次形成され、さらに継続してスパッタリング法もしくはCVD法により保護層が形成された薄膜の積層構造を有する磁気記録媒体において、前記磁性記録層がCo合金で、前記非磁性下地層がbcc構造を有する純金属または合金から選ばれた2層以上の組合せの積層構造を有し、該積層構造の非磁性下地層間にCr−Mn合金薄膜が設けられていることを特徴とする。
【0013】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記非磁性下地層が純CrまたはCr合金であり、該非磁性下地層間に存在するCrMn合金薄膜中のMn組成が20at%以下であり、CrMn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、3nm以下であることを特徴とする。
【0014】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記非磁性下地層が純CrまたはCr合金であり、該非磁性下地層間に存在するCrMn合金薄膜中のMn組成が30at%以下であり、CrMn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、2.5nm以下であることを特徴とする。
【0015】
このような構成により、磁気記録媒体のSNR特性を高めて記録密度を改善した。積層構造を形成する下地層の材料としては、bcc構造を有する金属薄膜であることが望まれる。特に、純CrあるいはCrとMo,W,V,Ti,B,Taの中から選ばれる少なくとも1つの元素との合金薄膜であることが好ましい。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の態様について説明する。
図2は、本発明に係る磁気記録媒体の一実施形態を説明するための断面図で、図中符号11は非磁性基体、12aは非磁性第1下地層、12bは非磁性第2下地層、13は磁性記録層、14はカーボン保護層、15はCr−Mn層を示している。
【0017】
円周方向に平均粗さ0.5nmのテクスチャー加工が施されたNi−Pメッキ層を有するアルミ合金の非磁性基体11上に、非磁性第1下地層12a(以下、第1下地層という)と、Cr−Mn層15と、非磁性第2下地層12b(以下、第2下地層という)と、Co合金の磁性記録層13と、カーボン保護層14とが順次DCマグネトロンスパッタ成膜されている。
【0018】
つまり、磁性記録層13がCo合金で、下地層12a,12bがbcc構造を有する純金属または合金から選ばれた2層以上の組合せの積層構造を有し、この積層構造の下地層12a,12b間にCr−Mn合金薄膜が設けられている。
【0019】
Co合金の磁性記録層13の組成は、Co−18Cr−12Pt−6B(at%)、膜厚は15nm一定とした。第1下地層12aはbcc構造であり、非磁性基体11の円周方向への結晶配向性に優れる純Crを用い、第2下地層12bは、Co合金の磁性記録層13との結晶格子間隔整合性が高いCr−20Mo(at%)を用いた。また、第1下地層12aの膜厚は7nm一定とし、第2下地層12bの膜厚は3nm一定とした。
【0020】
Cr−Mn層15中のMn組成は、10,20,30at%の3種類を選択した。いずれの金属薄膜についても、ターゲット組成と成膜される薄膜の組成はほぼ等しいことが確認されている。非磁性基体11の外形は、外周φ95mm−内周φ25mmのドーナツ状で、厚さ1.0mmである。カーボン保護層14の膜厚は5nmとした。スパッタ時のアルゴン圧力は5mTorr一定とした。スパッタ成膜前には、第1下地層12aの成膜直前の基体温度が約250℃になるように基体加熱を行っている。
【0021】
図3は、Cr−Mn膜厚の変化に伴うSNR特性と高周波特性をあらわす分解能の変化を示した図である。測定にはスピンスタンドタイプのR/Wテスターを使用した。測定用磁気ヘッドにはGMR(巨大磁気抵抗)タイプのものを使用し、測定半径は33mm、基体回転数は4500rpm、測定線記録密度を308kfciとした。
【0022】
Cr−Mn層15を膜厚0.5nm設けることで、Cr−Mn層15が0nmである従来の記録媒体に対するSNRの改善が認められた。同時に分解能も増加しており、周波数特性の改善、すなわち高記録密度への適用性が増していることが確認された。いずれのCr−Mn組成についても、Cr−Mn層の膜厚が厚くなるとSNRは低下していく。
【0023】
Cr−Mn層15が、Cr−10Mn、Cr−20Mnの場合は厚さ3nmまで、Cr−30Mnの場合は、厚さ2.5nmまでは従来の記録媒体よりも高いSNR値を維持しており、この膜厚が本発明における上限である。3nm以下の極薄い膜を物性や膜厚ともに安定して均一に成膜するのは困難である。特に0.5nm未満の領域は、それが顕著となることから、本実施形態では0.5nm未満を適用外としている。0.5nm以上、3nm以下の範囲では、生産性の点を考慮すればより厚膜であることが好ましく、必要とされるSNR改善幅に応じてCr−Mn膜厚を適宜選択することが好ましい。
【0024】
つまり、好ましいCr−Mn層15の組成とその膜厚は、Cr−Mn合金薄膜中のMn組成が20at%以下かつCr−Mn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、3nm以下、あるいはCr−Mn合金薄膜中のMn組成が30at%以下かつCr−Mn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、2.5nm以下である。
【0025】
組成の範囲限定は、次の考察により行われる。Cr−30Mnではそれ以下のMn量と比較して、適用できるCr−Mn膜厚の範囲が狭くなっている。これ以上Mnを添加すれば適用膜厚範囲はさらに狭まることになり、生産マージンが減少する。そのためMn量には上限が存在し、本実施形態からその値を30%に限定した。Mnの結晶構造は、単純なbcc格子を複数個組み合わせた形の立方格子であることが知られている。したがって、Crのようなbcc結晶にMnを添加していくと、bcc格子が徐々に乱れてくる。Mnの過剰添加によるSNRの低下はこの格子の乱れのためであると考えられる。Mn添加量が少ない場合にはこのような結晶格子の乱れは生じ得ないため、下限についてはとくに限定されるものではない。
【0026】
本実施形態中Cr−10Mnを1.6nm挿入した磁気記録媒体の活性化体積は、従来の記録媒体よりも約12%小さいことが確認されている。活性化体積は近似的に結晶粒の体積に等価な値であり、この値が小さいことは、より微細な結晶粒が形成されていることを示している。また、電子線回折測定結果などから、Cr−Mn層の挿入による結晶性や結晶配向性の劣化は見られていない。以上のことから、Cr−Mn層の挿入によるSNR特性の改善は、結晶性や結晶配向性を劣化させることなく、結晶粒径を微細化することによるものであると考えられる。
【0027】
本発明は、結晶性を維持しながら微細な下地構造を提供するものである。したがって、下地層が成膜された以降の層構成によってその効果が失われるものではない。多方面で報告されている新しいタイプの磁気記録媒体、例えば、下地層と磁性記録層との間にCo合金系の薄膜が挿入された磁気記録媒体、Ru層を介した2層以上の磁性層の間に反強磁性結合が得られている記録媒体などに対しても有効である。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、磁性記録層がCo合金で、非磁性下地層がbcc構造を有する純金属または合金から選ばれた2層以上の組合せの積層構造を有し、この積層構造の非磁性下地層間にCr−Mn合金薄膜が設けられているので、非磁性下地層を複数の薄膜からなる積層構造とし、その積層構造間に所定の組成と膜厚を有するCr−Mn合金薄膜を挿入することによって薄膜の結晶性を劣化することなく結晶粒径を微細化し、SNR特性を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的な磁気記録媒体の層構成模式図である。
【図2】本発明に係る磁気記録媒体の一実施形態を説明するための断面図である。
【図3】Cr−Mn膜厚の変化に伴うSNR特性と高周波特性をあらわす分解能の変化を示した図である。
【符号の説明】
1 非磁性基体
2 非磁性下地層
3 磁性記録層
4 保護層
11 非磁性基体
12a 非磁性第1下地層
12b 非磁性第2下地層
13 磁性記録層
14 カーボン保護層
15 Cr−Mn層
【発明の属する技術分野】
本発明は、磁気記録媒体に関し、より詳細には、コンピュータなどの情報機器用記憶装置などに使用される磁気記録媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、コンピュータなどの情報機器用記憶装置の高記録密度化が進み、磁気記録装置においても情報を読み書きする磁気ヘッドの高度化や情報が読み書きされる磁気記録媒体の高度化により高記録密度化が進められている。磁気記録媒体の高記録密度化のためには、情報信号の記録再生を行う際の再生信号と媒体ノイズの比率であるSNRを高める必要がある。一般に、磁気記録媒体は、複数の薄膜の積層構造を有している。
【0003】
図1は、一般的な磁気記録媒体の層構成模式図で、図中符号1は非磁性基体、2は非磁性下地層、3は磁性記録層、4は保護層を示している。
一般に磁気記録媒体は、アルミ合金やガラスなど非磁性基体1上に、結晶配向性を制御するための非磁性下地層2(以下、下地層という)と、情報が記載される磁性記録層3と、磁気ヘッドとの摺動から磁性記録層を保護するための保護層4とを順次成膜することにより製造される。
【0004】
非磁性基体1に接する下地層2から、非磁性基体1からもっとも遠い磁性記録層3までの間には、結晶的な継続性が存在する。一般に下地層2の材料には、bcc構造を有するCrやCr合金といった金属薄膜ないしNiAlのような金属間化合物が用いられ、また、磁性記録層3には、CoとCrの合金を主体としこれに数種類の元素を添加した磁性薄膜が用いられ、さらに、保護層4には、カーボンを主体とする薄膜がそれぞれ用いられる。
【0005】
成膜方法には、薄膜特性の制御が容易で、かつ高品質の薄膜が得られることから、一般にスパッタ法やCVD法が用いられる。
【0006】
下地層2および磁性記録層3は、微小な金属結晶粒子の集合体から成る。SNRを高めて記録密度を改善するためには、磁性記録層3の結晶構造を制御する必要がある。具体的にはより微細で、所定の方向に配向した欠陥の少ない結晶構造が好ましい。非磁性基体1上に初めに成膜される下地層2の結晶構造は、磁性記録層3の結晶構造を決定する重要な役目を担う。
【0007】
そのため下地層2の粒径や結晶配向性を制御することは、磁気記録媒体の記録密度改善のために不可欠である。例えば、磁性記録層3との結晶格子整合性を高めるために、下地層2を適宜合金化して組成を選択する、配向性の高い下地層と格子整合性の高い下地層とを積層化するなどの手法が採用されてきた(例えば、特許文献1,2参照)。また、下地層の結晶微細化のためには、結晶粒径が肥大化しないようにその膜厚を減じる、成膜ガス圧をより高めるなどのことが有効であり、従来から採用されてきた。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−312814号公報
【0009】
【特許文献2】
特開平10−241937号公報
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
このように、記録密度をさらに高めるためには、下地層の結晶制御が必要不可欠である。しかしながら、従来の手法では、結晶成長や結晶配向性の改善と粒径の微細化を高度に両立させることは困難である。例えば、下地層の膜厚を過剰に減ずることで結晶粒径は微細化されるが、結晶成長が不十分になるため、結晶配向性を劣化させてしまうという問題が生じる。また、組成や材料系を選択することで結晶性を高めることは可能であるが、同時に微細化を行うためにはやはり膜厚の減少など結晶性を犠牲にする手法を併用する必要がある。
【0011】
本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、新しい下地層構造を提供することによって、結晶粒径の微細化と結晶性を両立させることでSNR特性を高め、記録密度を向上させるようにした磁気記録媒体を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、このような目的を達成するために、請求項1に記載の発明は、非磁性基体上にスパッタリング法により少なくとも非磁性下地層と磁性記録層とが順次形成され、さらに継続してスパッタリング法もしくはCVD法により保護層が形成された薄膜の積層構造を有する磁気記録媒体において、前記磁性記録層がCo合金で、前記非磁性下地層がbcc構造を有する純金属または合金から選ばれた2層以上の組合せの積層構造を有し、該積層構造の非磁性下地層間にCr−Mn合金薄膜が設けられていることを特徴とする。
【0013】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記非磁性下地層が純CrまたはCr合金であり、該非磁性下地層間に存在するCrMn合金薄膜中のMn組成が20at%以下であり、CrMn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、3nm以下であることを特徴とする。
【0014】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記非磁性下地層が純CrまたはCr合金であり、該非磁性下地層間に存在するCrMn合金薄膜中のMn組成が30at%以下であり、CrMn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、2.5nm以下であることを特徴とする。
【0015】
このような構成により、磁気記録媒体のSNR特性を高めて記録密度を改善した。積層構造を形成する下地層の材料としては、bcc構造を有する金属薄膜であることが望まれる。特に、純CrあるいはCrとMo,W,V,Ti,B,Taの中から選ばれる少なくとも1つの元素との合金薄膜であることが好ましい。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の態様について説明する。
図2は、本発明に係る磁気記録媒体の一実施形態を説明するための断面図で、図中符号11は非磁性基体、12aは非磁性第1下地層、12bは非磁性第2下地層、13は磁性記録層、14はカーボン保護層、15はCr−Mn層を示している。
【0017】
円周方向に平均粗さ0.5nmのテクスチャー加工が施されたNi−Pメッキ層を有するアルミ合金の非磁性基体11上に、非磁性第1下地層12a(以下、第1下地層という)と、Cr−Mn層15と、非磁性第2下地層12b(以下、第2下地層という)と、Co合金の磁性記録層13と、カーボン保護層14とが順次DCマグネトロンスパッタ成膜されている。
【0018】
つまり、磁性記録層13がCo合金で、下地層12a,12bがbcc構造を有する純金属または合金から選ばれた2層以上の組合せの積層構造を有し、この積層構造の下地層12a,12b間にCr−Mn合金薄膜が設けられている。
【0019】
Co合金の磁性記録層13の組成は、Co−18Cr−12Pt−6B(at%)、膜厚は15nm一定とした。第1下地層12aはbcc構造であり、非磁性基体11の円周方向への結晶配向性に優れる純Crを用い、第2下地層12bは、Co合金の磁性記録層13との結晶格子間隔整合性が高いCr−20Mo(at%)を用いた。また、第1下地層12aの膜厚は7nm一定とし、第2下地層12bの膜厚は3nm一定とした。
【0020】
Cr−Mn層15中のMn組成は、10,20,30at%の3種類を選択した。いずれの金属薄膜についても、ターゲット組成と成膜される薄膜の組成はほぼ等しいことが確認されている。非磁性基体11の外形は、外周φ95mm−内周φ25mmのドーナツ状で、厚さ1.0mmである。カーボン保護層14の膜厚は5nmとした。スパッタ時のアルゴン圧力は5mTorr一定とした。スパッタ成膜前には、第1下地層12aの成膜直前の基体温度が約250℃になるように基体加熱を行っている。
【0021】
図3は、Cr−Mn膜厚の変化に伴うSNR特性と高周波特性をあらわす分解能の変化を示した図である。測定にはスピンスタンドタイプのR/Wテスターを使用した。測定用磁気ヘッドにはGMR(巨大磁気抵抗)タイプのものを使用し、測定半径は33mm、基体回転数は4500rpm、測定線記録密度を308kfciとした。
【0022】
Cr−Mn層15を膜厚0.5nm設けることで、Cr−Mn層15が0nmである従来の記録媒体に対するSNRの改善が認められた。同時に分解能も増加しており、周波数特性の改善、すなわち高記録密度への適用性が増していることが確認された。いずれのCr−Mn組成についても、Cr−Mn層の膜厚が厚くなるとSNRは低下していく。
【0023】
Cr−Mn層15が、Cr−10Mn、Cr−20Mnの場合は厚さ3nmまで、Cr−30Mnの場合は、厚さ2.5nmまでは従来の記録媒体よりも高いSNR値を維持しており、この膜厚が本発明における上限である。3nm以下の極薄い膜を物性や膜厚ともに安定して均一に成膜するのは困難である。特に0.5nm未満の領域は、それが顕著となることから、本実施形態では0.5nm未満を適用外としている。0.5nm以上、3nm以下の範囲では、生産性の点を考慮すればより厚膜であることが好ましく、必要とされるSNR改善幅に応じてCr−Mn膜厚を適宜選択することが好ましい。
【0024】
つまり、好ましいCr−Mn層15の組成とその膜厚は、Cr−Mn合金薄膜中のMn組成が20at%以下かつCr−Mn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、3nm以下、あるいはCr−Mn合金薄膜中のMn組成が30at%以下かつCr−Mn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、2.5nm以下である。
【0025】
組成の範囲限定は、次の考察により行われる。Cr−30Mnではそれ以下のMn量と比較して、適用できるCr−Mn膜厚の範囲が狭くなっている。これ以上Mnを添加すれば適用膜厚範囲はさらに狭まることになり、生産マージンが減少する。そのためMn量には上限が存在し、本実施形態からその値を30%に限定した。Mnの結晶構造は、単純なbcc格子を複数個組み合わせた形の立方格子であることが知られている。したがって、Crのようなbcc結晶にMnを添加していくと、bcc格子が徐々に乱れてくる。Mnの過剰添加によるSNRの低下はこの格子の乱れのためであると考えられる。Mn添加量が少ない場合にはこのような結晶格子の乱れは生じ得ないため、下限についてはとくに限定されるものではない。
【0026】
本実施形態中Cr−10Mnを1.6nm挿入した磁気記録媒体の活性化体積は、従来の記録媒体よりも約12%小さいことが確認されている。活性化体積は近似的に結晶粒の体積に等価な値であり、この値が小さいことは、より微細な結晶粒が形成されていることを示している。また、電子線回折測定結果などから、Cr−Mn層の挿入による結晶性や結晶配向性の劣化は見られていない。以上のことから、Cr−Mn層の挿入によるSNR特性の改善は、結晶性や結晶配向性を劣化させることなく、結晶粒径を微細化することによるものであると考えられる。
【0027】
本発明は、結晶性を維持しながら微細な下地構造を提供するものである。したがって、下地層が成膜された以降の層構成によってその効果が失われるものではない。多方面で報告されている新しいタイプの磁気記録媒体、例えば、下地層と磁性記録層との間にCo合金系の薄膜が挿入された磁気記録媒体、Ru層を介した2層以上の磁性層の間に反強磁性結合が得られている記録媒体などに対しても有効である。
【0028】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、磁性記録層がCo合金で、非磁性下地層がbcc構造を有する純金属または合金から選ばれた2層以上の組合せの積層構造を有し、この積層構造の非磁性下地層間にCr−Mn合金薄膜が設けられているので、非磁性下地層を複数の薄膜からなる積層構造とし、その積層構造間に所定の組成と膜厚を有するCr−Mn合金薄膜を挿入することによって薄膜の結晶性を劣化することなく結晶粒径を微細化し、SNR特性を改善することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的な磁気記録媒体の層構成模式図である。
【図2】本発明に係る磁気記録媒体の一実施形態を説明するための断面図である。
【図3】Cr−Mn膜厚の変化に伴うSNR特性と高周波特性をあらわす分解能の変化を示した図である。
【符号の説明】
1 非磁性基体
2 非磁性下地層
3 磁性記録層
4 保護層
11 非磁性基体
12a 非磁性第1下地層
12b 非磁性第2下地層
13 磁性記録層
14 カーボン保護層
15 Cr−Mn層
Claims (3)
- 非磁性基体上にスパッタリング法により少なくとも非磁性下地層と磁性記録層とが順次形成され、さらに継続してスパッタリング法もしくはCVD法により保護層が形成された薄膜の積層構造を有する磁気記録媒体において、前記磁性記録層がCo合金で、前記非磁性下地層がbcc構造を有する純金属または合金から選ばれた2層以上の組合せの積層構造を有し、該積層構造の非磁性下地層間にCr−Mn合金薄膜が設けられていることを特徴とする磁気記録媒体。
- 前記非磁性下地層が純CrまたはCr合金であり、該非磁性下地層間に存在するCrMn合金薄膜中のMn組成が20at%以下であり、CrMn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、3nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記非磁性下地層が純CrまたはCr合金であり、該非磁性下地層間に存在するCrMn合金薄膜中のMn組成が30at%以下であり、CrMn合金薄膜の膜厚が0.5nm以上、2.5nm以下であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003019263A JP2004234718A (ja) | 2003-01-28 | 2003-01-28 | 磁気記録媒体 |
US10/766,535 US20040258959A1 (en) | 2003-01-28 | 2004-01-28 | Magnetic recording medium and method of forming thereof, and underlayer structure thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003019263A JP2004234718A (ja) | 2003-01-28 | 2003-01-28 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004234718A true JP2004234718A (ja) | 2004-08-19 |
Family
ID=32949176
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003019263A Pending JP2004234718A (ja) | 2003-01-28 | 2003-01-28 | 磁気記録媒体 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20040258959A1 (ja) |
JP (1) | JP2004234718A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007272949A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-18 | Hoya Corp | 磁気ディスク |
WO2009041399A1 (ja) * | 2007-09-25 | 2009-04-02 | Sanyo Special Steel Co., Ltd. | 磁気記録媒体における下地膜製造用Cr-Mn-B系スパッタリングターゲット材およびこれを用いて製造した薄膜 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070122660A1 (en) * | 2005-11-28 | 2007-05-31 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording media with manganese-containing underlayer |
US20070237986A1 (en) * | 2006-04-07 | 2007-10-11 | Seagate Technology Llc | Perpendicular magnetic recording media without soft magnetic underlayer and method of fabricating same |
JP2008108328A (ja) * | 2006-10-24 | 2008-05-08 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US7670694B2 (en) * | 2006-12-22 | 2010-03-02 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Media for recording devices |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5993956A (en) * | 1997-04-22 | 1999-11-30 | Carnegie Mellon University | Manganese containing layer for magnetic recording media |
US6207269B1 (en) * | 1997-12-12 | 2001-03-27 | Seagate Technology Llc | High substrate bias sputtering underlayer for longitudinal recording media |
US6432562B1 (en) * | 1998-09-25 | 2002-08-13 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording medium with a nialru seedlayer |
US6346339B1 (en) * | 1998-09-30 | 2002-02-12 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording media with a nialox sub-seedlayer |
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JP3653007B2 (ja) * | 2001-05-14 | 2005-05-25 | 株式会社日立製作所 | 垂直磁気記録媒体とその製造方法および磁気記憶装置 |
-
2003
- 2003-01-28 JP JP2003019263A patent/JP2004234718A/ja active Pending
-
2004
- 2004-01-28 US US10/766,535 patent/US20040258959A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20040258959A1 (en) | 2004-12-23 |
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