JP2004232077A - 金属製極細管製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】スパッタリング堆積法を用いて外径500μm、肉厚5μm以上の金属製極細管を作製することができる三次元微細創製法を提供する。
【解決手段】イオン化されたアルゴン等の希ガス粒子が、チタン等の適度な機械的性質と耐食性に優れたターゲット材4に衝突し、ターゲット粒子3が表面からスパッタされる。基板5(コア材)は、基板ホルダー1に固定されたDCモータコントロールによって制御されたモータ2により1〜5rpmで回転している。ターゲット材料4と熱膨張係数が近いコア材5にターゲット材料4が堆積し、熱処理後、コア材5を腐食で極細管形状を得る。コア材5の外径変化、形状変化により、極細管内径と中空形状を制御可能とし、堆積したターゲット材料4による極細管などの三次元形状創製を特徴とする。
また、希少金属を基板(コア材)に成膜する前に、耐食性と管摩擦係数の優れた材料を成膜することで、管内の摩擦の軽減、濡れ性の向上、耐食性の優れた極細管創製を特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】イオン化されたアルゴン等の希ガス粒子が、チタン等の適度な機械的性質と耐食性に優れたターゲット材4に衝突し、ターゲット粒子3が表面からスパッタされる。基板5(コア材)は、基板ホルダー1に固定されたDCモータコントロールによって制御されたモータ2により1〜5rpmで回転している。ターゲット材料4と熱膨張係数が近いコア材5にターゲット材料4が堆積し、熱処理後、コア材5を腐食で極細管形状を得る。コア材5の外径変化、形状変化により、極細管内径と中空形状を制御可能とし、堆積したターゲット材料4による極細管などの三次元形状創製を特徴とする。
また、希少金属を基板(コア材)に成膜する前に、耐食性と管摩擦係数の優れた材料を成膜することで、管内の摩擦の軽減、濡れ性の向上、耐食性の優れた極細管創製を特徴とする。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、医療分野、生物研究分野等での血液のような体液の採取および分析用針、あるいは薬液注射針等の製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】
非常に硬い、いわゆる難加工材を従来の機械加工で中空化するには、現在、外径500μm以下、肉厚5μm以上にすることは困難である。しかし、引き抜きなどの塑性加工を用いた難加工材の加工は、外径500μm程度のチタン等の極細管の作製が可能であることは報告されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
研削などの機械加工や引き抜き加工などの塑性加工は、サイズを大から小にトップダウンする加工法である。機械加工は、極細管を作製する場合、鋭利な刃物でサイズの大きな管を削りだす加工法である。しかしながら、希少金属に関して歩留まりが悪い。また塑性加工は、ダイスと呼ばれる侵入径が大きく出口径が小さくなっている工具に径の大きな管を通し引き抜くことで、サイズダウンを行っている。非常に硬い材料、すなわち難加工材は、引き抜き限界がある。また細管加工時の、表面あるいは内面が酸化され脆化が生じる。
【0004】
【課題を解決するための手段】
極細管の創製方法には、スパッタリング堆積法を用いた。スパッタリング堆積法は、真空中に導入されたアルゴン等の希ガスがイオン化され、イオン化された粒子がターゲットに衝突し、ターゲットよりはじき飛ばされた粒子が基板(コア材)に到達して成膜される方法である。スパッタリング堆積法を用いた極細管の作製用の基板(コア材)には、スパッタ中やスパッタ後の熱収縮の影響に伴う亀裂を回避するために、ターゲット材と熱膨張係数が近く、耐食性の優れた直径10から数十μmの極細線材料を用いる。コア材をDCモータコントロールによって制御されたモータにより 1〜5rpmで回転させ、ターゲット材料を成膜する。コア材にターゲット材料を成膜後は、水素脆化を回避するために真空中やアルゴン雰囲気中(10−5Paが望ましい)で熱処理をする。熱処理後は、腐食性の媒体の酸等、例えば硝酸で、コア材をエッチングし、外径500μm以下、肉厚5μ以上の極細管を得ることが可能である。
【0005】
【発明の実施例】
【供試材料】
ターゲット材料は、難加工・希少金属である工業用純チタンである。またチタンの成膜用基板(コア材)には、表1に示したチタンと熱膨張係数の近い外径25と50μmの純銅線を用いた。
【0006】
【イオンスパッタ加工装置】
本発明を実施する装置は、直径70mmの範囲を均一に加工できるRFマグネトロンスパッタ装置であり、加工室の真空度は、2.0[Pa]である。図1に示すように、真空チャンバ内ターゲット直上には、本発明の極細極細管のコア材となる極細線材料が、毎分数回転できるモータが設置してある。
【0007】
【成膜時間と膜厚】
チタンのスパッタリング成膜圧力を2Paとし、その場合のチタンの成膜時間と膜厚の関係を図2に示す。チタンの膜厚は、図中の6(300W)、7(250W)、8(200W)、そして9(250W)のいずれの入射電力に対しても成膜時間の増加に伴い線形に増加する。成膜時間を制御することで、極細管の肉厚を自由自在に制御可能である。本実施例では、チタンのスパッタリング成膜条件を、300W、2Paを用い、4時間の成膜で約15μmのチタンの膜厚を得た。
【0008】
【作製された極細管の電子顕微鏡写真】
図3は、700℃で1分間熱処理後、硝酸でエッチング処理を施したチタン製極細管の外径、内径を表したSEM画像を示している。図中の10は外径60μm、11は内径25μmである。また図4は、比較のためゲージ20の市販の注射針と、図3に示したチタン製極細管のSEM画像を示している。
【0009】
【発明の効果】
従来の注射針は外径が500μm以上あり、刺された時、患者の痛みは個人差はあるものの、あまり好ましいものではない。とくに糖尿病患者のようにインシュリンを毎日打つような場合には、皮膚の硬化を抑制し、痛みを軽減することは患者にとって極めて望ましいことである。本発明によって得られた工業用純チタン製極細管、外径60μm、内径25μmは、蚊の口の形状と同等な径を有する。チタンは高い生体適合性と皮膚を貫通し得る剛性を持ち合わせ、無痛針としての用途が考えられる。レーザを用いて極細管の先端を加工することで、穿刺力を軽減させることが可能である。図5は、ステンレス製の極細管を用い、20A、0.8W、1000Hzの条件下で加工を行ったSEM画像を示している。図中の14は、チタン製極細管、15はレーザの加工痕を示す。
【図面の簡単な説明】
【図1】RFマグネトロンスパッタリング装置を用いた極細管の製作の概略を示す説明図である。
【図2】Ar圧力2Pa、入射電力300W、で堆積した場合のスパッタチング時間とチタン膜厚の関係を示すグラフである。
【図3】Ar圧力2Pa、入射電力300W、チタンを4時間、15μm堆積後、熱処理、エッチング処理の後得られた内径25μm、外径60μmを持つチタン製極細管の電子顕微鏡写真である。
【図4】本発明で作製したチタン製極細管と市販のステンレス注射針の比較を示す電子顕微鏡写真である。
【図5】本発明で作製したチタン製極細管を20A、0.8W、1000Hzの条件下でフェムト秒レーザを用いた先端の加工を示す電子顕微鏡写真である。
【表1】基板材料(コア材)とターゲット材料の熱膨張係数を示す表である。
【発明の属する技術分野】
本発明は、医療分野、生物研究分野等での血液のような体液の採取および分析用針、あるいは薬液注射針等の製造法に関する。
【0002】
【従来の技術】
非常に硬い、いわゆる難加工材を従来の機械加工で中空化するには、現在、外径500μm以下、肉厚5μm以上にすることは困難である。しかし、引き抜きなどの塑性加工を用いた難加工材の加工は、外径500μm程度のチタン等の極細管の作製が可能であることは報告されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
研削などの機械加工や引き抜き加工などの塑性加工は、サイズを大から小にトップダウンする加工法である。機械加工は、極細管を作製する場合、鋭利な刃物でサイズの大きな管を削りだす加工法である。しかしながら、希少金属に関して歩留まりが悪い。また塑性加工は、ダイスと呼ばれる侵入径が大きく出口径が小さくなっている工具に径の大きな管を通し引き抜くことで、サイズダウンを行っている。非常に硬い材料、すなわち難加工材は、引き抜き限界がある。また細管加工時の、表面あるいは内面が酸化され脆化が生じる。
【0004】
【課題を解決するための手段】
極細管の創製方法には、スパッタリング堆積法を用いた。スパッタリング堆積法は、真空中に導入されたアルゴン等の希ガスがイオン化され、イオン化された粒子がターゲットに衝突し、ターゲットよりはじき飛ばされた粒子が基板(コア材)に到達して成膜される方法である。スパッタリング堆積法を用いた極細管の作製用の基板(コア材)には、スパッタ中やスパッタ後の熱収縮の影響に伴う亀裂を回避するために、ターゲット材と熱膨張係数が近く、耐食性の優れた直径10から数十μmの極細線材料を用いる。コア材をDCモータコントロールによって制御されたモータにより 1〜5rpmで回転させ、ターゲット材料を成膜する。コア材にターゲット材料を成膜後は、水素脆化を回避するために真空中やアルゴン雰囲気中(10−5Paが望ましい)で熱処理をする。熱処理後は、腐食性の媒体の酸等、例えば硝酸で、コア材をエッチングし、外径500μm以下、肉厚5μ以上の極細管を得ることが可能である。
【0005】
【発明の実施例】
【供試材料】
ターゲット材料は、難加工・希少金属である工業用純チタンである。またチタンの成膜用基板(コア材)には、表1に示したチタンと熱膨張係数の近い外径25と50μmの純銅線を用いた。
【0006】
【イオンスパッタ加工装置】
本発明を実施する装置は、直径70mmの範囲を均一に加工できるRFマグネトロンスパッタ装置であり、加工室の真空度は、2.0[Pa]である。図1に示すように、真空チャンバ内ターゲット直上には、本発明の極細極細管のコア材となる極細線材料が、毎分数回転できるモータが設置してある。
【0007】
【成膜時間と膜厚】
チタンのスパッタリング成膜圧力を2Paとし、その場合のチタンの成膜時間と膜厚の関係を図2に示す。チタンの膜厚は、図中の6(300W)、7(250W)、8(200W)、そして9(250W)のいずれの入射電力に対しても成膜時間の増加に伴い線形に増加する。成膜時間を制御することで、極細管の肉厚を自由自在に制御可能である。本実施例では、チタンのスパッタリング成膜条件を、300W、2Paを用い、4時間の成膜で約15μmのチタンの膜厚を得た。
【0008】
【作製された極細管の電子顕微鏡写真】
図3は、700℃で1分間熱処理後、硝酸でエッチング処理を施したチタン製極細管の外径、内径を表したSEM画像を示している。図中の10は外径60μm、11は内径25μmである。また図4は、比較のためゲージ20の市販の注射針と、図3に示したチタン製極細管のSEM画像を示している。
【0009】
【発明の効果】
従来の注射針は外径が500μm以上あり、刺された時、患者の痛みは個人差はあるものの、あまり好ましいものではない。とくに糖尿病患者のようにインシュリンを毎日打つような場合には、皮膚の硬化を抑制し、痛みを軽減することは患者にとって極めて望ましいことである。本発明によって得られた工業用純チタン製極細管、外径60μm、内径25μmは、蚊の口の形状と同等な径を有する。チタンは高い生体適合性と皮膚を貫通し得る剛性を持ち合わせ、無痛針としての用途が考えられる。レーザを用いて極細管の先端を加工することで、穿刺力を軽減させることが可能である。図5は、ステンレス製の極細管を用い、20A、0.8W、1000Hzの条件下で加工を行ったSEM画像を示している。図中の14は、チタン製極細管、15はレーザの加工痕を示す。
【図面の簡単な説明】
【図1】RFマグネトロンスパッタリング装置を用いた極細管の製作の概略を示す説明図である。
【図2】Ar圧力2Pa、入射電力300W、で堆積した場合のスパッタチング時間とチタン膜厚の関係を示すグラフである。
【図3】Ar圧力2Pa、入射電力300W、チタンを4時間、15μm堆積後、熱処理、エッチング処理の後得られた内径25μm、外径60μmを持つチタン製極細管の電子顕微鏡写真である。
【図4】本発明で作製したチタン製極細管と市販のステンレス注射針の比較を示す電子顕微鏡写真である。
【図5】本発明で作製したチタン製極細管を20A、0.8W、1000Hzの条件下でフェムト秒レーザを用いた先端の加工を示す電子顕微鏡写真である。
【表1】基板材料(コア材)とターゲット材料の熱膨張係数を示す表である。
Claims (2)
- 加工変質層を含む表面酸化層の発生防止可能な真空中において、適度な機械的性質と耐食性に優れた金属(チタン、タンタル、ニオブ、ニッケル、クロム等)およびそれらの合金(ステンレス鋼などの耐食性の良好な合金を含む)をターゲット材料とし、外径または一辺が500μm以下の線状の基材表面上にスパッタリング堆積法を用いてターゲット材膜を成膜後,基材のみを腐食液により溶解することを特徴とする外径又は一辺が500μm以下で肉厚が5μm以上の管材を製造する方法。なお、基材はターゲット材料より耐食性が劣り、かつ熱膨張係数がターゲット材料のそれと近い材料を選ぶ必要がある。
- 請求項1に記載のターゲット材料を基材に成膜する以前に、耐食性と摩擦係数に優れた材料(たとえば、MCP(2−methacryloyloxyethylphosphorylcholine))をスパッタリング堆積法により成膜し、外径または一辺500μm以下で肉厚5μm以上の管材を製造する方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003060650A JP2004232077A (ja) | 2003-01-29 | 2003-01-29 | 金属製極細管製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003060650A JP2004232077A (ja) | 2003-01-29 | 2003-01-29 | 金属製極細管製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004232077A true JP2004232077A (ja) | 2004-08-19 |
Family
ID=32958926
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003060650A Pending JP2004232077A (ja) | 2003-01-29 | 2003-01-29 | 金属製極細管製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004232077A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006204540A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Toyo Univ | 可撓性中空針 |
US8235934B2 (en) | 2007-02-22 | 2012-08-07 | Tokai University Educational System | Functional thin tube device |
WO2014021454A1 (ja) | 2012-08-03 | 2014-02-06 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 薄肉細管並びにこれを作製する引抜き加工装置および引抜き加工方法 |
WO2014061768A1 (ja) * | 2012-10-18 | 2014-04-24 | Hoya株式会社 | 注射針 |
JP6266727B1 (ja) * | 2016-10-24 | 2018-01-24 | トクセン工業株式会社 | 医療機器用金属線 |
-
2003
- 2003-01-29 JP JP2003060650A patent/JP2004232077A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006204540A (ja) * | 2005-01-27 | 2006-08-10 | Toyo Univ | 可撓性中空針 |
JP4696284B2 (ja) * | 2005-01-27 | 2011-06-08 | 学校法人 東洋大学 | 可撓性中空針 |
US8235934B2 (en) | 2007-02-22 | 2012-08-07 | Tokai University Educational System | Functional thin tube device |
WO2014021454A1 (ja) | 2012-08-03 | 2014-02-06 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 薄肉細管並びにこれを作製する引抜き加工装置および引抜き加工方法 |
US10271971B2 (en) | 2012-08-03 | 2019-04-30 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Thin, narrow tube and drawing apparatus and drawing method for manufacturing the same |
US11065135B2 (en) | 2012-08-03 | 2021-07-20 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Thin, narrow tube and drawing apparatus and drawing method for manufacturing the same |
WO2014061768A1 (ja) * | 2012-10-18 | 2014-04-24 | Hoya株式会社 | 注射針 |
JP2014079479A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Hoya Corp | 注射針 |
JP6266727B1 (ja) * | 2016-10-24 | 2018-01-24 | トクセン工業株式会社 | 医療機器用金属線 |
WO2018078947A1 (ja) * | 2016-10-24 | 2018-05-03 | トクセン工業株式会社 | 医療機器用金属線 |
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